JP5971389B2 - レーザガス分析装置 - Google Patents
レーザガス分析装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5971389B2 JP5971389B2 JP2015140254A JP2015140254A JP5971389B2 JP 5971389 B2 JP5971389 B2 JP 5971389B2 JP 2015140254 A JP2015140254 A JP 2015140254A JP 2015140254 A JP2015140254 A JP 2015140254A JP 5971389 B2 JP5971389 B2 JP 5971389B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- laser
- measurement
- reference cell
- receiving element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Description
本発明は、レーザガス分析計の測定波長を安定化させることを目的とする。
測定ガスにレーザ光をその発振波長をスキャンしながら照射する半導体レーザを含む光源ユニットと、
前記測定ガスを透過したレーザ光を検出する受光素子と、
この受光素子の出力信号が入力されるゲイン可変のアンプと、
このアンプの出力信号が入力されるA/D変換器と、
このA/D変換器の出力データに基づき前記測定ガスの濃度を演算する演算処理部を含む検出ユニット、とで構成されたレーザガス分析装置において、
前記半導体レーザの後段にN2O基準セルを配置し、該N2O基準セルを通ったレーザを前記受光素子で検出するように構成したことを特徴とする。
測定ガスにレーザ光をその発振波長をスキャンしながら照射する半導体レーザを含む光源ユニットと、
前記測定ガスを透過したレーザ光を検出する受光素子と、
この受光素子の出力信号が入力されるアンプと、
このアンプの出力信号が入力されるA/D変換器と、
このA/D変換器の出力データに基づき前記測定ガスの濃度を演算する演算処理部を含む検出ユニット、とで構成されたレーザガス分析装置において、
前記半導体レーザの後段に基準セルを配置し、この基準セルを通ったレーザを前記受光素子で検出するように構成し、
前記基準セルは、前記測定ガスとは異なるガスであって、吸収スペクトルが前記測定ガスのスペクトルと重畳せず、かつ前記測定ガスの吸収ピーク近隣に存在するガスが封入されたことを特徴とする。
前記測定ガスがCOガスであり、前記基準セルに封入されたガスがN2Oガスであることを特徴とする。
なお、P−P検出器であらかじめノイズのP−Pの閾値を設定しておき、その閾値を超えた場合は、ダイナミックオートゲイン調整を実行するシステムにすることにより、ノイズ低減による低濃度測定を実現し、プロセス環境の変化にも対応したシステムを構築することも考えられるが、本発明はノイズが極めて少ないプロセスに適用するものであり、P−Pの閾値を設定するまでには至らないプロセスに用いて好適である。
図5(b)は半導体レーザ11の後段に基準セルとしてCOセル12を配置した状態を示すブロック図である。この基準セル12には、測定波長を安定させるため、参照用ガス(COガス)を封入し、測定対象のガス濃度が低下した場合も測定波長が変動することなく測定できる構成となっている。
a)プロセスからの輻射熱などの影響で、基準セル内のCOガスの吸収スペクトル形状が変化するため、基準セル内の温度変動が測定値に影響を与える。特に、プロセス濃度が低い場合はその影響が大きい。
b)基準セル内の温度変動を補正するには常時温度を測定するなどの対応が必要となり、かつ温度勾配を考慮するとその補正は複雑かつ困難である。
c)基準ガスセルが破損した場合、分析計内部にCOガスが漏洩するので危険である。
図3において、半導体レーザ11の後段に基準セルとしてN2O基準セル13を配置した以外は図5(b)に示す従来のレーザガス分析計と同様である。
a)プロセスの急激な環境の変化(輻射熱など)が発生しても測定対象のCOガス濃度には影響を与えない。
b)プロセスガス濃度が低い場合も安定して測定が可能となる。
c)基準セル内の温度変動などを補正する必要がない。
d)万が一、基準セルが破損した場合でも即死するような危険なガスではない。
従って本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形を含むものである。
11 半導体レーザ
12 CO基準セル
13 N2O基準セル
20 測定ガス
30 検出ユニット
31 受光素子
32 ゲイン可変アンプ
33 A/D変換器
34 積算器
35 メモリ
36 CPU
41 P−P検出器
44 ゲイン設定部
45 ゲイン変換部
Claims (3)
- 測定ガスにレーザ光をその発振波長をスキャンしながら照射する半導体レーザを含む光源ユニットと、
前記測定ガスを透過したレーザ光を検出する受光素子と、
この受光素子の出力信号が入力されるゲイン可変のアンプと、
このアンプの出力信号が入力されるA/D変換器と、
このA/D変換器の出力データに基づき前記測定ガスの濃度を演算する演算処理部を含む検出ユニット、とで構成されたレーザガス分析装置において、
前記半導体レーザの後段にN2O基準セルを配置し、該N2O基準セルを通ったレーザを前記受光素子で検出するように構成したことを特徴とするレーザガス分析装置。 - 測定ガスにレーザ光をその発振波長をスキャンしながら照射する半導体レーザを含む光源ユニットと、
前記測定ガスを透過したレーザ光を検出する受光素子と、
この受光素子の出力信号が入力されるアンプと、
このアンプの出力信号が入力されるA/D変換器と、
このA/D変換器の出力データに基づき前記測定ガスの濃度を演算する演算処理部を含む検出ユニット、とで構成されたレーザガス分析装置において、
前記半導体レーザの後段に基準セルを配置し、この基準セルを通ったレーザを前記受光素子で検出するように構成し、
前記基準セルは、前記測定ガスとは異なるガスであって、吸収スペクトルが前記測定ガスのスペクトルと重畳せず、かつ前記測定ガスの吸収ピーク近隣に存在するガスが封入されたことを特徴とするレーザガス分析装置。 - 前記測定ガスがCOガスであり、前記基準セルに封入されたガスがN2Oガスであることを特徴とする請求項2に記載のレーザガス分析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015140254A JP5971389B2 (ja) | 2015-07-14 | 2015-07-14 | レーザガス分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015140254A JP5971389B2 (ja) | 2015-07-14 | 2015-07-14 | レーザガス分析装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011225923A Division JP5867691B2 (ja) | 2011-10-13 | 2011-10-13 | レーザガス分析装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015180899A JP2015180899A (ja) | 2015-10-15 |
JP5971389B2 true JP5971389B2 (ja) | 2016-08-17 |
Family
ID=54329184
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015140254A Active JP5971389B2 (ja) | 2015-07-14 | 2015-07-14 | レーザガス分析装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5971389B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105548017A (zh) * | 2015-12-30 | 2016-05-04 | 北方华锦化学工业集团有限公司 | 非接触式半导体激光气体分析仪 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2438294B2 (de) * | 1974-08-09 | 1977-05-18 | Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt | Infrarotgasanalysator |
JP2796650B2 (ja) * | 1991-07-24 | 1998-09-10 | 東京瓦斯株式会社 | 多種ガス検出装置 |
JPH11148898A (ja) * | 1997-11-17 | 1999-06-02 | Japan Radio Co Ltd | 同位体分析装置 |
JP2009216385A (ja) * | 2006-05-19 | 2009-09-24 | Toyota Motor Corp | ガス分析装置及びガス分析装置におけるレーザの波長掃引制御方法 |
JP2008298452A (ja) * | 2007-05-29 | 2008-12-11 | Yokogawa Electric Corp | 赤外線ガス分析計 |
JP2011013126A (ja) * | 2009-07-03 | 2011-01-20 | Shimadzu Corp | ガス濃度測定装置 |
-
2015
- 2015-07-14 JP JP2015140254A patent/JP5971389B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015180899A (ja) | 2015-10-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5440524B2 (ja) | レーザガス分析装置 | |
JP5983779B2 (ja) | ガス吸収分光装置及びガス吸収分光方法 | |
WO2014112502A1 (ja) | レーザガス分析装置 | |
JP5867691B2 (ja) | レーザガス分析装置 | |
JP5482741B2 (ja) | レーザガス分析装置 | |
TWI732264B (zh) | 具有用於干擾弱化之交錯的資料擷取之共振腔環路衰減光譜術 | |
US5886247A (en) | High sensitivity gas detection | |
JP5347983B2 (ja) | ガス分析装置 | |
CN111656166A (zh) | 气体吸收分光装置 | |
JP2019002791A (ja) | 光検出器の出力補正用演算式の算出方法、及び光検出器の出力補正方法 | |
JP2014206541A (ja) | レーザガス分析装置 | |
JP5971389B2 (ja) | レーザガス分析装置 | |
JP2018169203A (ja) | ガス吸収分光装置及びガス吸収分光法 | |
JP5170034B2 (ja) | ガス分析装置 | |
JP5359832B2 (ja) | ガス分析装置 | |
JP6128150B2 (ja) | レーザガス分析装置 | |
JP7215632B1 (ja) | レーザ式ガス分析計 | |
JP6201551B2 (ja) | ガス分析装置 | |
EP3591773B1 (en) | Sweeping signal generating device | |
JP6881081B2 (ja) | 分析装置、吸収特性演算回路、及び分析方法 | |
JP6314605B2 (ja) | ガス分析装置 | |
CN115667884A (zh) | 分析装置、分析装置用程序及分析方法 | |
Gao et al. | An improved Savitzky-Golay filtering algorithm for measuring pharmaceutical vial’s oxygen content based on wavelength modulation spectroscopy | |
JP2015021879A (ja) | ガス濃度測定装置及びガス濃度測定方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150714 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160323 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160401 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160414 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160614 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160627 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5971389 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |