JP5944876B2 - レーザ光を用いた距離測定装置 - Google Patents
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Description
図1は、本実施の形態に係るレーザ光を用いた距離測定装置1の構成と光路を示すブロック図である。なお、以降の説明では、レーザ光を用いた距離測定装置1を単に距離測定装置1と表し説明する。距離測定装置1は、レーザダイオード(半導体レーザ)などのレーザ光源2と、レーザ光源2が出射したレーザ光R1を平行光に変換する第1の光学素子3と、レーザ光R1を被測定物4および測定部5に向かって偏向走査する光偏向手段6を備えている。さらに、距離測定装置1は、第1の光学素子3と光偏向手段6の間に配置されると共に、光偏向手段6によって走査された走査レーザ光R2を、被測定物4の測定部5の表面で収束させる(焦点を結ぶこと)第2の光学素子7と、測定部5の表面から反射された反射光R3の光量を検出する光量検出器8を備えている。また、光偏向手段6は、揺動可能な揺動ミラー9を備えている。そして、第1の光学素子3と揺動ミラー9の間のレーザ光R1の光路には、反射光R3を分岐して光量検出器8に導光する光分岐手段としてのハーフミラー10を備えている。
図3は、本実施の形態に係る光偏向手段6の構成の1例を示す平面図である。図3に図示した光偏向手段6は、揺動ミラー9が二次元に揺動可能な構成の1例を示している。なお、図示の横方向をX方向、X方向に直交する縦方向をY方向と表し説明する。光偏向手段6は、静電駆動方式のアクチュエータであって、ベース基板30に固定部と可動部と導電層とを半導体製造技術を用いて形成したMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)構造体である。ベース基板30は、厚さが一様な四角形のシリコン基板(半導体基板)などで形成されている。ベース基板30の中央部には、フレーム31が形成されており、フレーム31はY方向両側を第1トーションバー32のみでベース基板30に接続されている。第1トーションバー32は、フレーム31のX方向中央部に配置され、第1トーションバー32のX方向中央部はフレーム31のベース基板30に対する第1回転軸33である。
まず、第1回転軸33回りの揺動について説明する。ベース基板30の右側領域45と左側領域46に、それぞれ異なる電位の電力を供給すると、間挿された櫛歯電極間に電界が発生し、たとえば、右側領域45側で、第1櫛歯電極37と第3櫛歯電極39の間に吸引力が働くとすると、第1トーションバー32が捩じられて、第1回転軸33を回転軸として揺動ミラー9および可動部34を含むフレーム31が回転する。可動部34の鏡面に仕上げられた表面である揺動ミラー9をY2方向から視認すると、揺動ミラー9は、時計回りに回転する。
続いて、第2の光学素子としての可変焦点レンズ7の構造について説明する。可変焦点レンズ7は、第1の光学素子3から入射される走査レーザ光R2を、被測定物4の被走査面上で走査レーザ光R2のスポット径を均一、かつ最小にするために焦点距離を変化させるものである。
図9は、レーザ光を用いた距離測定方法の主たる工程を示すフローチャートであり、図10は、レーザ光を用いた距離測定方法を模式的に示す説明図である。図9、図10を参照してレーザ光を用いた距離測定方法を説明する。
続いて、レーザ光を用いた他の距離測定方法を図11および図12を用いて説明する。図11は、レーザ光を用いた他の距離測定走査方法の主たる工程を示すフローチャートである。図12は、レーザ光を用いた他の距離測定方法を模式的に示す説明図である。
2…レーザ光源
3…第1の光学素子(コリメータレンズ)
4…被測定物
5…測定部
6…光偏向手段
7…第2の光学素子(可変焦点レンズ)
8…光量検出器
9…揺動ミラー
10…光分岐手段(ハーフミラー)
Claims (4)
- レーザ光を用いた距離測定装置において、
レーザ光源と、
前記レーザ光源が出射したレーザ光を平行光に変換する第1の光学素子と、
揺動可能なミラーを備え、前記レーザ光を被測定物の表面に走査する光偏向手段と、
前記第1の光学素子と前記光偏向手段の間に配置され、前記光偏向手段によって走査された走査レーザ光を、前記被測定物の表面で収束させる第2の光学素子と、
前記被測定物の表面から反射された反射光の光量の最大値を検出する光量検出器と、
前記ミラーの駆動タイミングと前記第2の光学素子の駆動タイミングを同期して駆動させて、前記レーザ光の走査位置および前記第2の光学素子の焦点距離を制御する制御部と、を有し、
前記制御部は、
前記第2の光学素子の焦点距離を変えながら前記反射光の光量値を予め、または測定時に前記光量検出器で検出して記憶し、この時の前記走査レーザ光の走査位置と前記第2の光学素子の焦点距離に係るパラメータを関連付けて記憶し、
前記走査レーザ光を走査し、各走査位置で前記第2の光学素子の焦点距離を変更しながら前記反射光の光量の最大値を検出し、前記光量の最大値と前記パラメータを用いて前記ミラーから前記被測定物の表面までの距離を算出する、
ことを特徴とする走査レーザ光を用いた距離測定装置。 - 請求項1に記載のレーザ光を用いた距離測定装置において、
前記第2の光学素子は、印加する電圧によって焦点距離を変更する可変焦点レンズである、
ことを特徴とするレーザ光を用いた距離測定装置。 - 請求項1または2に記載のレーザ光を用いた距離測定装置において、
前記光偏向手段は、前記ミラーを揺動させる静電駆動方式のMEMS構造体である、
ことを特徴とするレーザ光を用いた距離測定装置。 - 請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のレーザ光を用いた距離測定装置において、
前記ミラーと前記第1の光学素子の間の光路に、前記反射光を前記光量検出器に導光する光路分岐手段を備えている、
ことを特徴とするレーザ光を用いた距離測定装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013217045A JP5944876B2 (ja) | 2013-10-18 | 2013-10-18 | レーザ光を用いた距離測定装置 |
US14/516,863 US9753125B2 (en) | 2013-10-18 | 2014-10-17 | Distance measuring apparatus using laser light |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013217045A JP5944876B2 (ja) | 2013-10-18 | 2013-10-18 | レーザ光を用いた距離測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015078941A JP2015078941A (ja) | 2015-04-23 |
JP5944876B2 true JP5944876B2 (ja) | 2016-07-05 |
Family
ID=52825922
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013217045A Active JP5944876B2 (ja) | 2013-10-18 | 2013-10-18 | レーザ光を用いた距離測定装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9753125B2 (ja) |
JP (1) | JP5944876B2 (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102415072B1 (ko) | 2014-11-27 | 2022-06-30 | 칼 짜이스 에스엠티 게엠베하 | 복수의 개별적으로 제어가능한 기록 헤드를 포함하는 리소그래피 장치 |
KR101665418B1 (ko) * | 2015-08-17 | 2016-10-12 | 한국항공우주산업 주식회사 | 리플렉터를 이용한 레이저 장치 검증방법 |
DE102016220504A1 (de) * | 2016-10-19 | 2018-04-19 | Robert Bosch Gmbh | 3D-LIDAR-Sensor |
CN110073243B (zh) | 2016-10-31 | 2023-08-04 | 杰拉德·迪尔克·施密茨 | 利用动态体素探测的快速扫描激光雷达 |
CN110226184B (zh) | 2016-12-27 | 2023-07-14 | 杰拉德·迪尔克·施密茨 | 用于机器感知的系统和方法 |
DE102017215671A1 (de) * | 2017-09-06 | 2019-03-07 | Robert Bosch Gmbh | Scansystem und Sende- und Empfangsvorrichtung für ein Scansystem |
RU192814U1 (ru) * | 2017-10-02 | 2019-10-02 | Общество с ограниченной ответственностью "Смартсенсор" | Лазерный быстродействующий трехмерный дальномер для навигации мобильных робототехнических устройств |
CN111279217A (zh) | 2017-10-26 | 2020-06-12 | 深圳源光科技有限公司 | 光扫描仪 |
JP7077822B2 (ja) * | 2018-07-05 | 2022-05-31 | 株式会社デンソー | 光測距装置 |
IT201900004199A1 (it) * | 2019-03-22 | 2020-09-22 | St Microelectronics Srl | Struttura microelettromeccanica di specchio risonante biassiale ad attuazione piezoelettrica con migliorate caratteristiche |
DE102019107998A1 (de) | 2019-03-28 | 2020-10-01 | Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh | Laserabstrahlvorrichtung und LiDAR-basierter Umgebungssensor mit einer Laserabstrahlvorrichtung |
KR102476949B1 (ko) * | 2020-03-30 | 2022-12-14 | 주식회사 나무가 | 운전자 모니터링을 위한 거리측정장치 및 운전자 모니터링 시스템 |
KR102208301B1 (ko) * | 2020-05-14 | 2021-01-28 | 현대모비스 주식회사 | 라이다 센서 조립체 |
JP7413426B2 (ja) * | 2022-03-18 | 2024-01-15 | 維沃移動通信有限公司 | 投光装置、測距装置及び電子機器 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH063617A (ja) * | 1992-06-24 | 1994-01-14 | Fujitsu Ltd | 光走査装置 |
US6141105A (en) * | 1995-11-17 | 2000-10-31 | Minolta Co., Ltd. | Three-dimensional measuring device and three-dimensional measuring method |
JP2005107097A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 共焦点型検査装置 |
US7817176B2 (en) * | 2005-12-26 | 2010-10-19 | Ricoh Company, Ltd. | Light source device, optical scanning device, and image forming apparatus |
JP2009270937A (ja) * | 2008-05-07 | 2009-11-19 | Hideo Fujii | 3次元形状計測装置 |
JP5710279B2 (ja) | 2011-01-06 | 2015-04-30 | 日本信号株式会社 | 光測距装置 |
-
2013
- 2013-10-18 JP JP2013217045A patent/JP5944876B2/ja active Active
-
2014
- 2014-10-17 US US14/516,863 patent/US9753125B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20150109604A1 (en) | 2015-04-23 |
JP2015078941A (ja) | 2015-04-23 |
US9753125B2 (en) | 2017-09-05 |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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