JP5941821B2 - Breathable sheet, adsorption method of work object on adsorption unit, and ceramic capacitor manufacturing method - Google Patents
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Description
本発明は、通気性シートに関する。本発明はまた、吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法に関する。本発明はまた、セラミックコンデンサの製造方法に関する。 The present invention relates to a breathable sheet. The present invention also relates to a method for adsorbing a work object to an adsorption unit. The present invention also relates to a method for manufacturing a ceramic capacitor.
携帯電話、パソコン等の電子機器には、セラミックコンデンサが用いられている。セラミックコンデンサは、誘電体の作用を利用した蓄電素子であり、電圧が印加されることにより、印加された電圧に応じた電荷を蓄えることができる。セラミックコンデンサは、例えば、電源電圧を安定させる平滑回路、回路を保護するバックアップ回路、または電源回路等におけるノイズを取り除いて所望の信号のみを抽出するカップリング素子等のフィルターに用いられている。 Ceramic capacitors are used in electronic devices such as mobile phones and personal computers. A ceramic capacitor is a power storage element that utilizes the action of a dielectric, and can store a charge corresponding to the applied voltage when a voltage is applied. Ceramic capacitors are used for filters such as a smoothing circuit that stabilizes a power supply voltage, a backup circuit that protects the circuit, or a coupling element that extracts only a desired signal by removing noise in the power supply circuit or the like.
セラミックコンデンサの一般的な製造方法は、下記のとおりである。まず、チタン酸バリウム等の高誘電率のセラミックス粉体と、バインダーおよび有機溶剤とを混合してスラリーを調製する。次に、ポリエチレンテレフタレートフィルム等の剥離フィルム上にスラリーを塗布し、乾燥させてセラミックグリーンシートを作製する。次に、スクリーン印刷によって、セラミックグリーンシート上に導電体ペーストを印刷し、電極パターンを形成する。次に、電極パターンが形成されたセラミックグリーンシートを、積み重ね、加熱圧着し、裁断することにより、チップ化する。最後に、チップ化されたセラミックグリーンシートを焼結して、セラミックコンデンサを得る。 A general method for manufacturing a ceramic capacitor is as follows. First, a high dielectric constant ceramic powder such as barium titanate, a binder and an organic solvent are mixed to prepare a slurry. Next, a slurry is applied on a release film such as a polyethylene terephthalate film and dried to produce a ceramic green sheet. Next, a conductor paste is printed on the ceramic green sheet by screen printing to form an electrode pattern. Next, the ceramic green sheets on which the electrode patterns are formed are stacked, heat-pressed, and cut into chips. Finally, the ceramic green sheet formed into chips is sintered to obtain a ceramic capacitor.
上記のセラミックコンデンサの製造方法では、セラミックグリーンシートの搬送を要する。セラミックグリーンシートの搬送には、金属性の吸着ヘッドを用いた吸着固定搬送が主に採用されていた。しかし、金属性の吸着ヘッドを用いた吸着固定搬送では、金属性の吸着ヘッドがセラミックグリーンシートに接触することにより、セラミックグリーンシートの表面（主面）に微小な傷がついたり、汚れが付着したりして、製造されるセラミックコンデンサの品質が低下することがあった。これを避けるために、セラミックグリーンシートと金属ヘッドとの間に通気性のある吸着用シート（例えば、特許文献１の超高分子量ポリエチレンからなる多孔質樹脂シート（ＵＨＭＷＰＥシート））を挟むことが行われていた。 In the above method for manufacturing a ceramic capacitor, it is necessary to convey a ceramic green sheet. For conveyance of the ceramic green sheet, adsorption fixed conveyance using a metallic adsorption head has been mainly employed. However, in the suction fixed conveyance using the metallic suction head, the metallic suction head comes into contact with the ceramic green sheet, so that the surface (main surface) of the ceramic green sheet is scratched or dirty. As a result, the quality of the manufactured ceramic capacitor may be deteriorated. In order to avoid this, a breathable adsorption sheet (for example, a porous resin sheet (UHMWPE sheet) made of ultrahigh molecular weight polyethylene disclosed in Patent Document 1) is sandwiched between the ceramic green sheet and the metal head. It was broken.
セラミックコンデンサの小型・高容量化が進んでおり、セラミックグリーンシートの薄層化が進んでいる。現在では、厚さが１〜２μｍ程度のセラミックグリーンシートが開発されている。セラミックグリーンシートの薄層化が進むと、セラミックグリーンシート自身が通気性を持つようになり、セラミックグリーンシートの吸着が困難になる。また、セラミックグリーンシートの薄層化が進むと、セラミックグリーンシートと離型フィルムとの間のファンデルワールス力が大きくなり、これに由来する引力によりセラミックグリーンシートの剥離が困難になる。これらの問題を解消するためには、吸着用シートの通気性を高めることが望ましい。 Ceramic capacitors are becoming smaller and higher capacity, and ceramic green sheets are becoming thinner. At present, ceramic green sheets having a thickness of about 1 to 2 μm have been developed. As the ceramic green sheet becomes thinner, the ceramic green sheet itself becomes air permeable and it becomes difficult to adsorb the ceramic green sheet. Further, when the ceramic green sheet is made thinner, the van der Waals force between the ceramic green sheet and the release film increases, and the ceramic green sheet is difficult to peel off due to the attractive force derived therefrom. In order to solve these problems, it is desirable to increase the air permeability of the adsorption sheet.
ところで、シートの通気性を向上させるためには、通気経路の容積を大きくして通気抵抗を減らす手法が一般的である。例えば、多孔質シートの場合、その孔径および／または気孔率を大きくすることでシートの通気性が向上する。しかし、多孔質シートを吸着用シートに用いる場合、孔径を大きくすると、セラミックグリーンシートが吸着用シート表面の孔に吸い込まれ易くなり、セラミックグリーンシートの変形および積層不良が誘発される。一方、気孔率を大きくすると、セラミックグリーンシートの吸着時に吸着用シートが変形し易くなり、セラミックグリーンシートの変形および積層不良が誘発される。変形および積層不良の問題は、薄膜化されたセラミックグリーンシートで特に起き易い。特許文献２では、吸着用シートにおいて、厚さ方向に直線状に貫通するストレート孔を形成することにより、通気性を確保するための孔の径（開口径）を小さく保ちながら、通気性を確保している。 By the way, in order to improve the air permeability of the sheet, a general method is to reduce the airflow resistance by increasing the volume of the air flow path. For example, in the case of a porous sheet, the air permeability of the sheet is improved by increasing the pore diameter and / or the porosity. However, when a porous sheet is used for the adsorption sheet, if the hole diameter is increased, the ceramic green sheet is likely to be sucked into the holes on the surface of the adsorption sheet, thereby inducing deformation and poor stacking of the ceramic green sheet. On the other hand, when the porosity is increased, the adsorbing sheet is easily deformed when the ceramic green sheet is adsorbed, and deformation and poor stacking of the ceramic green sheet are induced. The problem of deformation and stacking failure is particularly likely to occur with a thinned ceramic green sheet. According to Patent Document 2, air permeability is ensured while keeping the diameter (opening diameter) of the hole for ensuring air permeability by forming a straight hole penetrating linearly in the thickness direction in the suction sheet. doing.
セラミックグリーンシートを搬送する工程では、粉塵等の黒色系（黒、緑等）の異物がセラミックグリーンシートに付着することがある。セラミックグリーンシートに付着した異物が吸着用シートに付着すると、吸着用シートの通気性が低下し、セラミックグリーンシートを固定吸着し難くなる。また、吸着用シートに異物が付着した状態で吸着用シートによりセラミックグリーンシートが吸着されると、セラミックグリーンシートに異物が押しつけられて、セラミックグリーンシートに傷（凹凸）が生じることがあった。このような傷は製造されるセラミックコンデンサの品質を低下させるものであり（例えば、誘電率が局所的に変動する）、セラミックグリーンシートが薄層化している現在においては、このような傷がつくことを特に避けるべきである。 In the process of conveying the ceramic green sheet, black-based (black, green, etc.) foreign matter such as dust may adhere to the ceramic green sheet. If the foreign matter adhering to the ceramic green sheet adheres to the adsorption sheet, the air permeability of the adsorption sheet is lowered, and it becomes difficult to fix and adsorb the ceramic green sheet. In addition, when the ceramic green sheet is adsorbed by the adsorption sheet in a state where foreign matter is adhered to the adsorption sheet, the foreign substance is pressed against the ceramic green sheet, and the ceramic green sheet may be damaged (uneven). Such a flaw degrades the quality of the manufactured ceramic capacitor (for example, the dielectric constant varies locally), and such a flaw is present at the present when the ceramic green sheet is thinned. This should be avoided in particular.
特許文献２に記載されている吸着用シートは透明であった。吸着ヘッドの色が黒色系であることもあり、この場合に透明な吸着用シートに付着した異物（特に黒色系の異物）を視認することは難しく、当該吸着用シートから異物を除去することは難しかった。また、セラミックグリーンシートの吸い込みを抑制でき、通気性が高く、かつ自身に付着した異物を容易に視認できる吸着用シートは、従来は存在しなかった。 The adsorption sheet described in Patent Document 2 was transparent. The color of the suction head may be black. In this case, it is difficult to visually recognize foreign matter (particularly black foreign matter) adhering to the transparent suction sheet, and removing the foreign matter from the suction sheet was difficult. Further, there has not been a suction sheet that can suppress suction of the ceramic green sheet, has high air permeability, and can easily visually recognize foreign matter attached to itself.
また、被濾過液体を濾過するための濾過膜、エアフィルタ用の濾材、ベントフィルタ−用の通気膜等についても、通気性が高く、付着した異物を容易に視認できることが望まれることがある。 In addition, it may be desired that a filtration membrane for filtering the liquid to be filtered, a filter medium for an air filter, a vent membrane for a vent filter, and the like have high air permeability and can easily see attached foreign matter.
こうした事情の下、本発明は、良好な通気性を有し、かつ、付着した異物を視認し易い通気性シートを提供することを目的とする。 Under such circumstances, an object of the present invention is to provide a breathable sheet that has good breathability and allows easy recognition of attached foreign matter.
本発明は、
厚さ方向に通気性を有する通気性シートであって、
前記厚さ方向に直線状に貫通する複数のストレート孔が形成された樹脂フィルムと、
前記樹脂フィルムの内部に分散された白色粒子および／または前記樹脂フィルムの主面上に配置された白色層と、を備え、
前記複数のストレート孔の径は２０μｍ以下であり、
当該通気性シートにおける少なくとも一方の主面のＪＩＳ Ｐ８１２３に準拠して測定した白色度は、７０以上である、
通気性シート、
を提供する。
The present invention
A breathable sheet having breathability in the thickness direction,
A resin film formed with a plurality of straight holes penetrating linearly in the thickness direction;
White particles dispersed inside the resin film and / or a white layer disposed on the main surface of the resin film,
The diameter of the plurality of straight holes is 20 μm or less,
The whiteness measured according to JIS P8123 of at least one main surface of the breathable sheet is 70 or more.
Breathable sheet,
I will provide a.
本発明は、その別の側面から、
吸着ユニットの吸着面に、前記吸着面との直接の接触を防ぎ、厚さ方向に通気性を有する吸着用シートを介して作業対象物を吸着させる吸着工程を含み、
前記吸着用シートは、当該吸着用シートにおける第１の主面が前記吸着面に対向し、当該吸着用シートの第２の主面が前記作業対象物に対向するように配置され、
前記吸着用シートは、前記厚さ方向に直線状に貫通する複数のストレート孔が形成された樹脂フィルムと、前記樹脂フィルムの内部に分散された白色粒子および／または前記第２の主面に配置された白色層と、を備え、
前記複数のストレート孔の径は２０μｍ以下であり、
前記吸着用シートの厚さ方向の通気度は、ＪＩＳ Ｐ８１１７に準拠して測定したガーレー数にして１０秒／１００ｍＬ以下であり、前記吸着用シートにおける前記第２の主面のＪＩＳ Ｐ８１２３に準拠して測定した白色度は７０以上である、
吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法、
を提供する。
From another aspect of the present invention,
A suction step of preventing a direct contact with the suction surface of the suction unit and sucking a work object through a suction sheet having air permeability in the thickness direction;
The suction sheet is arranged such that a first main surface of the suction sheet faces the suction surface, and a second main surface of the suction sheet faces the work object,
The adsorption sheet is disposed on a resin film having a plurality of straight holes penetrating linearly in the thickness direction, white particles dispersed in the resin film, and / or the second main surface. A white layer, and
The diameter of the plurality of straight holes is 20 μm or less,
The air permeability in the thickness direction of the adsorption sheet is 10 seconds / 100 mL or less in terms of Gurley number measured according to JIS P8117, and conforms to JIS P8123 of the second main surface of the adsorption sheet. The measured whiteness is 70 or more.
A method for adsorbing work objects to the adsorption unit,
I will provide a.
本発明は、さらにその別の側面から、
離型フィルム上に形成されたセラミックグリーンシートを、吸着ユニットの吸着面に、前記セラミックグリーンシートと前記吸着面との直接の接触を防ぎ、厚さ方向に通気性を有する吸着用シートを介して吸着させて前記離型フィルムから剥離する剥離工程と、
剥離した前記セラミックグリーンシートを、前記吸着面に吸着させたまま搬送し、搬送先で他のセラミックグリーンシートと積層する積層工程と、
前記剥離工程および前記積層工程を複数回繰り返して得られた前記セラミックグリーンシートの積層体を焼成する焼成工程と、を含み、
前記剥離工程および前記積層工程において、前記吸着用シートは、当該吸着用シートにおける第１の主面が前記吸着面に対向し、当該吸着用シートの第２の主面が前記セラミックグリーンシートに対向するように配置され、
前記吸着用シートは、前記厚さ方向に直線状に貫通する複数のストレート孔が形成された樹脂フィルムと、前記樹脂フィルムの内部に分散された白色粒子および／または前記第２の主面に配置された白色層と、を備え、
前記複数のストレート孔の径は２０μｍ以下であり、
前記吸着用シートの厚さ方向の通気度は、ＪＩＳ Ｐ８１１７に準拠して測定したガーレー数にして１０秒／１００ｍＬ以下であり、前記吸着用シートにおける前記第２の主面のＪＩＳ Ｐ８１２３に準拠して測定した白色度は７０以上である、セラミックコンデンサの製造方法、
を提供する。
The present invention is further directed from another aspect thereof.
The ceramic green sheet formed on the release film is placed on the suction surface of the suction unit through the suction sheet that prevents direct contact between the ceramic green sheet and the suction surface and has air permeability in the thickness direction. A peeling step of adsorbing and peeling from the release film;
The laminated ceramic green sheet is conveyed while adsorbed on the adsorption surface, and laminated with another ceramic green sheet at the conveyance destination;
A firing step of firing the laminate of the ceramic green sheets obtained by repeating the peeling step and the laminating step a plurality of times,
In the peeling step and the laminating step, the suction sheet has a first main surface of the suction sheet facing the suction surface, and a second main surface of the suction sheet facing the ceramic green sheet. Arranged to
The adsorption sheet is disposed on a resin film having a plurality of straight holes penetrating linearly in the thickness direction, white particles dispersed in the resin film, and / or the second main surface. A white layer, and
The diameter of the plurality of straight holes is 20 μm or less,
The air permeability in the thickness direction of the adsorption sheet is 10 seconds / 100 mL or less in terms of Gurley number measured according to JIS P8117, and conforms to JIS P8123 of the second main surface of the adsorption sheet. The whiteness measured in this way is 70 or more, the method for producing a ceramic capacitor,
I will provide a.
本発明に係る通気性シートでは、樹脂フィルムにおける厚さ方向に直線状に貫通する複数のストレート孔が形成され、ストレート孔の径が２０μｍ以下である。このような通気性シートを吸着用シートとして用いれば、当該吸着用シートの主面に存在する孔（開口）への作業対象物の吸い込みが抑制されながら、当該作業対象物が効率よく吸着される。 In the breathable sheet according to the present invention, a plurality of straight holes penetrating linearly in the thickness direction of the resin film are formed, and the diameter of the straight holes is 20 μm or less. If such a breathable sheet is used as an adsorption sheet, the work object is efficiently adsorbed while suppressing the suction of the work object into a hole (opening) present in the main surface of the adsorption sheet. .
さらに、本発明に係る通気性シートでは、樹脂フィルムの内部に白色粒子が分散しており、および／または樹脂フィルムの主面上に白色層が配置されており、通気性シートにおける少なくとも一方の主面のＪＩＳ Ｐ８１２３に準拠して測定した白色度が７０以上である。このような通気性シートを吸着用シートとして用いた場合、吸着用シートにおける白色度が７０以上である側の主面が作業対象物（例えばセラミックグリーンシート）側となるように吸着用シートを配置すれば、この主面に付着した異物（特に黒色系の異物）を視認し易い。 Furthermore, in the air permeable sheet according to the present invention, white particles are dispersed inside the resin film and / or a white layer is disposed on the main surface of the resin film, and at least one of the main parts in the air permeable sheet. The whiteness of the surface measured according to JIS P8123 is 70 or more. When such a breathable sheet is used as an adsorbing sheet, the adsorbing sheet is arranged so that the main surface of the adsorbing sheet on which the whiteness is 70 or more is the work object (for example, ceramic green sheet) side. Then, it is easy to visually recognize foreign matter (particularly black foreign matter) adhering to the main surface.
また、本発明の通気性シートは、被濾過液体を濾過するための濾過膜、エアフィルタ用の濾材またはベントフィルタ−用の通気膜にも好適に利用できる。 The breathable sheet of the present invention can also be suitably used for a filtration membrane for filtering a liquid to be filtered, a filter medium for an air filter, or a vent membrane for a vent filter.
また、本発明に係る吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法で用いる吸着用シートにはストレート孔が形成され、この吸着用シートの通気度は１０秒／１００ｍＬ以下であるので、この吸着方法によれば、作業対象物の吸い込みを抑制しながら、作業対象物を効率よく吸着できる。また、この吸着方法で使用する吸着用シートにおける第２の主面の白色度は７０以上であり、第２の主面に付着した異物を視認し易いため、容易に異物を除去できる。したがって、第２の主面に付着した異物によって作業対象物が傷つくおそれが低減する。 In addition, a straight hole is formed in the suction sheet used in the suction method of the work object to the suction unit according to the present invention, and the air permeability of the suction sheet is 10 seconds / 100 mL or less. Accordingly, the work object can be efficiently adsorbed while suppressing the suction of the work object. In addition, the whiteness of the second main surface in the suction sheet used in this suction method is 70 or more, and the foreign matter attached to the second main surface is easy to visually recognize, so the foreign matter can be easily removed. Therefore, the possibility that the work object is damaged by the foreign matter attached to the second main surface is reduced.
また、本発明に係るセラミックコンデンサの製造方法で用いる吸着用シートにはストレート孔が形成され、この吸着用シートの通気度は１０秒／１００ｍＬ以下であるので、この製造方法によれば、セラミックグリーンシートの吸い込みを抑制しながら、セラミックグリーンシートを効率よく吸着できる。また、この製造方法で使用する吸着用シートにおける第２の主面の白色度は７０以上であり、第２の主面に付着した異物を視認し易いため、容易に異物を除去できる。したがって、第２の主面に付着した異物によってセラミックグリーンシートが傷つき、セラミックコンデンサの品質が低下するおそれが低減する。 Further, the suction sheet used in the method for manufacturing a ceramic capacitor according to the present invention is formed with straight holes, and the air permeability of the suction sheet is 10 seconds / 100 mL or less. The ceramic green sheet can be efficiently adsorbed while suppressing the suction of the sheet. In addition, the whiteness of the second main surface in the suction sheet used in this manufacturing method is 70 or more, and the foreign matter attached to the second main surface can be easily seen, so the foreign matter can be easily removed. Therefore, the possibility that the ceramic green sheet is damaged by the foreign matter attached to the second main surface and the quality of the ceramic capacitor is reduced is reduced.
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
（第一実施形態）
第一実施形態では、通気性シートを吸着用シートとして用いた形態を説明する。以下、本実施形態に係る吸着用シートを用いた、吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法を説明する。図１に示す吸着工程では、吸着ユニット１４に作業対象物１５（例えば、セラミックグリーンシート）が吸着される。吸着ユニット１４の吸着面１３には、図１に示す吸着用シート４が配置され、作業対象物１５は、吸着用シート４を介して吸着面１３に吸着される。具体的には、吸着用シート４は、吸着用シート４の第１の主面４ａが吸着面１３に対向し（接し）、吸着用シート４の第２の主面４ｂが作業対象物１５に対向する（接する）ように配置される。吸着ユニット１４は、吸着ユニット１４に吸引力を発生させるポンプ（図示せず）に接続されている。図１に示す吸着ユニット１４の吸着面１３には複数の孔１６が形成されており、孔１６によって、吸着ユニット１４の吸着面１３に吸引力が発生する。第２の主面４ｂの白色度は高いので、第２の主面４ｂに異物が付着したとしても、付着した異物は容易に視認される（詳細は後述）。なお、典型的には、吸着ユニット１４における孔１６が形成されている範囲Ｌ１は、作業対象物１５の範囲Ｌ２よりも狭い。
(First embodiment)
1st embodiment demonstrates the form which used the air permeable sheet as a sheet | seat for adsorption | suction. Hereinafter, a method for adsorbing a work object to an adsorption unit using the adsorption sheet according to the present embodiment will be described. In the adsorption process shown in FIG. 1, the work object 15 (for example, a ceramic green sheet) is adsorbed to the adsorption unit 14. The suction sheet 4 shown in FIG. 1 is disposed on the suction surface 13 of the suction unit 14, and the work object 15 is sucked to the suction surface 13 via the suction sheet 4. Specifically, in the suction sheet 4, the first main surface 4 a of the suction sheet 4 faces (contacts) the suction surface 13, and the second main surface 4 b of the suction sheet 4 faces the work target 15. It arrange | positions so that it may oppose (contact | connect). The suction unit 14 is connected to a pump (not shown) that causes the suction unit 14 to generate a suction force. A plurality of holes 16 are formed in the suction surface 13 of the suction unit 14 shown in FIG. 1, and a suction force is generated on the suction surface 13 of the suction unit 14 by the holes 16. Since the whiteness of the second main surface 4b is high, even if foreign matter adheres to the second main surface 4b, the attached foreign matter is easily visually recognized (details will be described later). Typically, the range L1 in which the holes 16 in the suction unit 14 are formed is narrower than the range L2 of the work target 15.
図２に、本発明の第一実施形態に係る吸着用シート４を示す。吸着用シート４は、厚さ方向に通気性を有するシートであり、樹脂フィルム９と、樹脂フィルム９の内部に分散された白色粒子１０とを備えている。吸着用シート４を、厚さ方向に沿って観察したときの平面図を図３に示す。また、吸着用シート４を、厚さ方向に平行な断面で切断した断面図を図４に示す。 FIG. 2 shows a suction sheet 4 according to the first embodiment of the present invention. The adsorption sheet 4 is a sheet having air permeability in the thickness direction, and includes a resin film 9 and white particles 10 dispersed inside the resin film 9. FIG. 3 shows a plan view when the suction sheet 4 is observed along the thickness direction. FIG. 4 shows a cross-sectional view of the suction sheet 4 cut along a cross section parallel to the thickness direction.
吸着用シート４における一方の主面（第２の主面４ｂ）のＪＩＳ Ｐ８１２３に準拠して測定した白色度は、７０以上であり、７５以上が好ましく、８０以上がより好ましい。吸着用シート４における第２の主面４ｂの白色度は、吸着用シート４における白色粒子１０の含有量および粒子径により調整できる。 The whiteness measured according to JIS P8123 of one main surface (second main surface 4b) of the adsorption sheet 4 is 70 or more, preferably 75 or more, and more preferably 80 or more. The whiteness of the second main surface 4b in the adsorption sheet 4 can be adjusted by the content and particle diameter of the white particles 10 in the adsorption sheet 4.
吸着用シート４の可視光透過率を低くすると、異物の発見が容易になる。この観点から、吸着用シート４の厚さ方向の可視光透過率は６０％以下が好ましく、５０％以下がより好ましい。 When the visible light transmittance of the adsorption sheet 4 is lowered, it is easy to find foreign matter. From this viewpoint, the visible light transmittance in the thickness direction of the adsorption sheet 4 is preferably 60% or less, and more preferably 50% or less.
吸着用シート４の厚さ方向の通気度は、ＪＩＳ Ｐ８１１７に準拠して測定したガーレー数にして例えば１０秒／１００ｍＬ以下であり、３秒／１００ｍＬ以下が好ましい。吸着用シート４の通気度は、樹脂フィルム９におけるストレート孔１２（詳細は後述）の径およびストレート孔１２の密度（面密度）により調整できる。 The air permeability in the thickness direction of the adsorption sheet 4 is, for example, 10 seconds / 100 mL or less, and preferably 3 seconds / 100 mL or less in terms of the Gurley number measured according to JIS P8117. The air permeability of the adsorption sheet 4 can be adjusted by the diameter of the straight holes 12 (details will be described later) and the density (surface density) of the straight holes 12 in the resin film 9.
作業対象物１５と吸着用シート４との摩擦により作業対象物１５が吸着用シート４の厚さ方向に垂直な方向にずれることを防ぐ観点、および作業対象物１５の表面に微小な傷がつくことを避ける観点からは、吸着用シート４は平滑なシートであることが好ましい。この観点から、ＪＩＳ Ｂ０６０１に準拠して測定したときの、吸着用シート４の表面（第２の主面４ｂ）における算術平均粗さＲａは１．０μｍ以下が好ましく、０．６μｍ以下がより好ましく、例えば０．０７〜１．０μｍである。最大高さＲｍａｘは２．０μｍ以下が好ましく、１．５μｍ以下がより好ましく、例えば０．１〜２．０μｍである。 From the viewpoint of preventing the work object 15 from shifting in the direction perpendicular to the thickness direction of the suction sheet 4 due to friction between the work object 15 and the suction sheet 4, and the surface of the work object 15 is minutely scratched. From the viewpoint of avoiding this, the adsorption sheet 4 is preferably a smooth sheet. From this viewpoint, the arithmetic average roughness Ra on the surface (second main surface 4b) of the adsorption sheet 4 when measured in accordance with JIS B0601 is preferably 1.0 μm or less, and more preferably 0.6 μm or less. For example, it is 0.07-1.0 micrometer. The maximum height Rmax is preferably 2.0 μm or less, more preferably 1.5 μm or less, for example, 0.1 to 2.0 μm.
樹脂フィルム９は、高分子樹脂からなるフィルムである。樹脂フィルム９の寸法は特に限定されないが、樹脂フィルム９の厚さは例えば１０〜２００μｍである。 The resin film 9 is a film made of a polymer resin. Although the dimension of the resin film 9 is not specifically limited, The thickness of the resin film 9 is 10-200 micrometers, for example.
樹脂フィルム９は非多孔質のフィルムであり、樹脂フィルム９には厚さ方向に直線状に貫通する多数のストレート孔１２が形成されている。樹脂フィルム９は、厚さ方向に通気性を有する。なお、非多孔質とは、当該ストレート孔１２以外に、厚さ方向の通気経路となる孔を有さないことを言う。樹脂フィルム９は、典型的には、当該ストレート孔１２を除いて無孔のフィルムである。 The resin film 9 is a non-porous film, and the resin film 9 is formed with a large number of straight holes 12 penetrating linearly in the thickness direction. The resin film 9 has air permeability in the thickness direction. In addition, non-porous means not having the hole used as the ventilation path | route of the thickness direction other than the said straight hole 12. FIG. The resin film 9 is typically a non-porous film except for the straight holes 12.
樹脂フィルム９のストレート孔１２の径（開口径）は２０μｍ以下である。これにより、吸着用シート４の第２の主面４ｂに存在する孔（開口）への作業対象物１５の吸い込みが抑制される。ストレート孔１２の径が２０μｍを超えると、第２の主面４ｂに存在するストレート孔１２への作業対象物１５の吸い込みが生じ易い。また、吸い込みが起こらないまでも、作業対象物１５の表面に開口の跡がつくことで、作業対象物１５の厚さにバラツキが生じ易い。作業対象物１５がセラミックグリーンシートである場合、シートの厚さのバラツキは、積層工程におけるセラミックグリーンシートの積層不良の発生につながる。ストレート孔１２の径は１０μｍ以下が好ましい。このような微細なストレート孔１２は、例えば、イオンビーム照射およびエッチングにより形成できる。ストレート孔１２の径（開口径）の下限は、吸着用シート４の通気度がＪＩＳ Ｐ８１１７に準拠して測定したガーレー数にして１０秒／１００ｍＬ以下となるように定めることができる。当該下限は、例えば、０．８μｍである。 The diameter (opening diameter) of the straight hole 12 of the resin film 9 is 20 μm or less. Thereby, the suction | inhalation of the work target 15 to the hole (opening) which exists in the 2nd main surface 4b of the sheet | seat 4 for adsorption | suction is suppressed. When the diameter of the straight hole 12 exceeds 20 μm, the work object 15 is likely to be sucked into the straight hole 12 present in the second main surface 4b. Further, even if no suction occurs, the thickness of the work object 15 is likely to vary due to the trace of the opening on the surface of the work object 15. When the work object 15 is a ceramic green sheet, the variation in the thickness of the sheet leads to the occurrence of defective lamination of the ceramic green sheets in the lamination process. The diameter of the straight hole 12 is preferably 10 μm or less. Such fine straight holes 12 can be formed by, for example, ion beam irradiation and etching. The lower limit of the diameter (opening diameter) of the straight hole 12 can be determined so that the air permeability of the adsorption sheet 4 is 10 seconds / 100 mL or less in terms of the Gurley number measured according to JIS P8117. The lower limit is, for example, 0.8 μm.
ストレート孔１２の平面視（吸着用シート４の厚さ方向に沿って観察したときの）の形状は特に限定されず、その開口形状としては、円形および不定形が例示される。樹脂フィルム９において、ストレート孔１２の平面視の開口形状は円形である。また、ストレート孔１２の断面形状（厚さ方向に平行な断面におけるストレート孔１２の形状）も特に限定されず、長方形、台形、中央が窪んだ形状が例示される。樹脂フィルム９において、ストレート孔１２の断面形状は長方形である。ストレート孔１２の立体形状としては、円柱型、円錐台型、砂時計型（２つの円錐台が組み合わさった形状であって、各々の面積が小さい側の底面が接続された形状）が例示される。樹脂フィルム９において、ストレート孔１２の立体形状は円柱型である。 The shape of the straight hole 12 in plan view (when observed along the thickness direction of the suction sheet 4) is not particularly limited, and examples of the opening shape include a circle and an indeterminate shape. In the resin film 9, the opening shape of the straight hole 12 in a plan view is a circle. The cross-sectional shape of the straight hole 12 (the shape of the straight hole 12 in a cross section parallel to the thickness direction) is not particularly limited, and examples thereof include a rectangle, a trapezoid, and a shape in which the center is recessed. In the resin film 9, the cross-sectional shape of the straight hole 12 is a rectangle. Examples of the three-dimensional shape of the straight hole 12 include a columnar shape, a truncated cone shape, and an hourglass shape (a shape in which two truncated cones are combined, and the bottom surfaces of the smaller areas are connected). . In the resin film 9, the three-dimensional shape of the straight hole 12 is a cylindrical shape.
ストレート孔１２の軸線は、通常、樹脂フィルム９の主面に垂直な方向に延びている。当該ストレート孔１２が樹脂フィルム９の厚さ方向に貫通する（当該ストレート孔１２によって、樹脂フィルム９の厚さ方向の通気が確保される）限り、主面に垂直な方向から傾いていてもよい。また、２つ以上のストレート孔１２が接続されていてもよい。 The axis of the straight hole 12 usually extends in a direction perpendicular to the main surface of the resin film 9. As long as the straight hole 12 penetrates in the thickness direction of the resin film 9 (the straight hole 12 ensures ventilation in the thickness direction of the resin film 9), the straight hole 12 may be inclined from a direction perpendicular to the main surface. . Two or more straight holes 12 may be connected.
樹脂フィルム９を構成する材料は特に限定されない。樹脂フィルム９は、例えば、イオンビーム照射およびエッチングによって上記ストレート孔１２が形成される材料から構成される。このような材料は、例えば、アルカリ物質および／または酸化剤を含んだエッチング処理液により分解される（加水分解性および／または酸化分解性を有する）材料である。アルカリ物質は、例えば、水酸化カリウム、水酸化ナトリウムである。酸化剤は、例えば、亜塩素酸およびその塩、次亜塩素酸およびその塩、過酸化水素、過マンガン酸カリウムである。 The material which comprises the resin film 9 is not specifically limited. The resin film 9 is made of, for example, a material in which the straight hole 12 is formed by ion beam irradiation and etching. Such a material is, for example, a material (having hydrolyzability and / or oxidative decomposability) that is decomposed by an etching treatment solution containing an alkaline substance and / or an oxidizing agent. The alkaline substance is, for example, potassium hydroxide or sodium hydroxide. Examples of the oxidizing agent include chlorous acid and its salt, hypochlorous acid and its salt, hydrogen peroxide, and potassium permanganate.
樹脂フィルム９の材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）およびポリフッ化ビニリデン（ＰＶｄＦ）から選ばれる少なくとも１種の材料から選択される。これらの樹脂は、アルカリ物質および／または酸化剤を含んだエッチング処理液により分解される材料である。ＰＩは、次亜塩素酸ナトリウムを主成分として含むエッチング処理液により分解される。その他の樹脂は、水酸化ナトリウムを主成分として含むエッチング処理液により分解される。 The material of the resin film 9 is selected from, for example, at least one material selected from polyethylene terephthalate (PET), polycarbonate (PC), polyimide (PI), polyethylene naphthalate (PEN), and polyvinylidene fluoride (PVdF). The These resins are materials that are decomposed by an etching treatment solution containing an alkaline substance and / or an oxidizing agent. PI is decomposed by an etching treatment liquid containing sodium hypochlorite as a main component. Other resins are decomposed by an etching treatment liquid containing sodium hydroxide as a main component.
樹脂フィルム９の材料としては、ＰＥＴが好ましい。ＰＥＴによって樹脂フィルム９を構成すれば、当該樹脂フィルム９の第２の主面４ｂが平滑となり、作業対象物１５を吸着用シート４により吸着する際に作業対象物１５の変形を抑制できる。具体的には、ＰＥＴによって樹脂フィルム９を構成すれば、ＪＩＳ Ｂ０６０１に準拠して測定したときの、（白色粒子１０を省略した場合の）樹脂フィルム９における表面の表面粗さＲａを０．０５μｍ程度に、最大高さＲｍａｘを０．１μｍ程度にできる。ＵＨＭＷＰＥシートでは、表面の表面粗さＲａは０．５μｍ程度であり、最大高さＲｍａｘは１５μｍ程度であることを考慮すると、定量的にもＰＥＴは樹脂フィルム９の好適な材料であり、ＰＥＴからなる樹脂フィルム９を用いた吸着用シート４は作業対象物１５の吸着に適していると言える。また、ＰＥＴから構成される樹脂フィルム９の厚み精度は、シート厚が１２．５〜１００μｍの範囲で、±２μｍ程度とすることができる。この厚み精度は、表面を平滑に調整したＵＨＭＷＰＥ多孔質シートにおける厚み精度（±５μｍ）に比べて、非常に優れている。 As a material of the resin film 9, PET is preferable. If the resin film 9 is made of PET, the second main surface 4 b of the resin film 9 becomes smooth, and deformation of the work object 15 can be suppressed when the work object 15 is sucked by the suction sheet 4. Specifically, if the resin film 9 is made of PET, the surface roughness Ra of the surface of the resin film 9 (when the white particles 10 are omitted) when measured in accordance with JIS B0601 is 0.05 μm. The maximum height Rmax can be reduced to about 0.1 μm. In the UHMWPE sheet, considering that the surface roughness Ra of the surface is about 0.5 μm and the maximum height Rmax is about 15 μm, PET is a suitable material for the resin film 9 quantitatively. It can be said that the adsorption sheet 4 using the resin film 9 is suitable for adsorption of the work object 15. In addition, the thickness accuracy of the resin film 9 made of PET can be set to about ± 2 μm when the sheet thickness is in the range of 12.5 to 100 μm. This thickness accuracy is very superior to the thickness accuracy (± 5 μm) of the UHMWPE porous sheet whose surface is adjusted to be smooth.
樹脂フィルム９の気孔率は特に限定されない。作業対象物１５の吸着時における吸着用シート４の変形を抑制する観点からは、４０％以下が好ましく、３０％以下がより好ましい。樹脂フィルム９の気孔率がこのように低い場合においても、その通気経路を構成するストレート孔１２の形状により、樹脂フィルム９（すなわち吸着用シート４）は非常に高い通気性を有する。 The porosity of the resin film 9 is not particularly limited. From the viewpoint of suppressing deformation of the suction sheet 4 during the suction of the work object 15, 40% or less is preferable, and 30% or less is more preferable. Even when the porosity of the resin film 9 is so low, the resin film 9 (that is, the adsorption sheet 4) has a very high air permeability due to the shape of the straight holes 12 constituting the ventilation path.
樹脂フィルム９の一方の面（第２の主面４ｂ）に、当該面の離型性を向上させるコーティングが施されていてもよい。コーティングは、例えば、フッ素化合物等、表面の摩擦係数を低下させる作用を有する化合物のコーティングである。これにより、吸着ユニット１４からの作業対象物１５（セラミックグリーンシート）の離型性が向上する。 One surface (second main surface 4b) of the resin film 9 may be provided with a coating that improves the releasability of the surface. The coating is, for example, a coating of a compound having an action of reducing the friction coefficient of the surface, such as a fluorine compound. Thereby, the releasability of the work object 15 (ceramic green sheet) from the suction unit 14 is improved.
樹脂フィルム９の一方の面（第２の主面４ｂ）に、当該面におけるストレート孔１２の開口が露出するように、粘着剤が配置されていてもよい。粘着剤の種類は特に限定されない。ストレート孔１２の開口は、樹脂フィルム９の通気度に関する上記規定が満たされる限り、少なくともその一部が露出していればよい。 An adhesive may be disposed on one surface (second main surface 4b) of the resin film 9 so that the opening of the straight hole 12 on the surface is exposed. The kind of adhesive is not specifically limited. As long as the said regulation regarding the air permeability of the resin film 9 is satisfy | filled, the opening of the straight hole 12 should just at least partially be exposed.
本実施形態では、白色粒子１０は樹脂フィルム９の内部において分散している。白色粒子１０が分散した樹脂フィルム９の具体例として、テレフタル酸とエチレングリコールからなるＰＥＴポリマー溶液に酸化チタン粒子を分散させることにより作製された白色ＰＥＴが挙げられる。 In the present embodiment, the white particles 10 are dispersed inside the resin film 9. Specific examples of the resin film 9 in which the white particles 10 are dispersed include white PET prepared by dispersing titanium oxide particles in a PET polymer solution composed of terephthalic acid and ethylene glycol.
白色粒子１０の粒子径は特に限定されないが、大き過ぎると吸着用シート４の色が白くなり難い（つまり、白色度が高くなり難い）。他方、小さ過ぎると、吸着用シート４の強度が過剰に低下するおそれがある。これらを考慮すると、白色粒子１０の粒子径の範囲は例えば３００ｎｍ〜５μｍであり、５００ｎｍ〜５μｍが好ましく、５００ｎｍ〜２μｍがより好ましい。白色粒子１０の粒子径がストレート孔１２の開口径よりも小さいと、白色粒子１０が開口を塞ぐことがなく、通気性が確保され易い。 The particle diameter of the white particles 10 is not particularly limited. However, if the particle size is too large, the color of the adsorption sheet 4 is difficult to be white (that is, the whiteness is not easily increased). On the other hand, when too small, there exists a possibility that the intensity | strength of the sheet | seat 4 for adsorption | suction may fall excessively. Considering these, the range of the particle diameter of the white particles 10 is, for example, 300 nm to 5 μm, preferably 500 nm to 5 μm, and more preferably 500 nm to 2 μm. When the particle diameter of the white particles 10 is smaller than the opening diameter of the straight holes 12, the white particles 10 do not block the openings and air permeability is easily ensured.
また、白色粒子１０の含有量も特に限定されないが、高過ぎると吸着用シート４の第２の主面４ｂにおける表面粗さが大きくなり過ぎることがある。他方、低過ぎると吸着用シート４の色が白くなり難い。これらを考慮すると、吸着用シート４全体の重量を基準としたときの白色粒子１０の含有量は例えば１〜１０重量％であり、３〜８重量％が好ましく、３〜５重量％がより好ましい。 Further, the content of the white particles 10 is not particularly limited, but if it is too high, the surface roughness of the second main surface 4b of the adsorption sheet 4 may become too large. On the other hand, if it is too low, the color of the adsorption sheet 4 is unlikely to be white. In consideration of these, the content of the white particles 10 based on the weight of the entire adsorption sheet 4 is, for example, 1 to 10% by weight, preferably 3 to 8% by weight, and more preferably 3 to 5% by weight. .
白色粒子１０を構成する粒子としては、無機粒子（無機物からなる粒子）が挙げられ、具体的には酸化チタン粒子、酸化ジルコニウム粒子、酸化ケイ素粒子、アルミナ粒子等が挙げられる。特に、酸化チタン粒子を用いると、吸着用シート４の耐候性が向上し、吸着用シート４の白色度が長期にわたって維持される。 Examples of the particles constituting the white particles 10 include inorganic particles (particles made of an inorganic substance). Specific examples include titanium oxide particles, zirconium oxide particles, silicon oxide particles, and alumina particles. In particular, when titanium oxide particles are used, the weather resistance of the adsorption sheet 4 is improved, and the whiteness of the adsorption sheet 4 is maintained over a long period of time.
従来は、吸着用シートとして多孔質ＵＨＭＷＰＥシートが使用されていた。しかし、多孔質シートでは、通気経路となる孔の形状が不規則であり、通気経路に沿って常に変化しているとともに、孔同士が複雑に接続している。このため、樹脂フィルム９のストレート孔１２の径と同じ孔径を有する多孔質シートでは、当該樹脂フィルム９に比べて著しく通気抵抗が高く、通気性が悪くなる。これに加えて、多孔質シートは、当該シートの厚さ方向だけではなく平面方向への通気性も有するため、吸着用シートとして使用した際に、いわゆる吸着力の横漏れが発生する。通気性が低く、横漏れが発生する吸着用シートを使用すると、セラミックグリーンシート等の作業対象物を吸着するために大きな吸引圧力が必要になるとともに、吸着用シートの場所によって吸着力が変化する（吸着用シートの端部で特に吸着力が低下する）ため、吸着時に作業対象物の変形が発生し易い。 Conventionally, a porous UHMWPE sheet has been used as a sheet for adsorption. However, in the porous sheet, the shape of the hole serving as the ventilation path is irregular, constantly changing along the ventilation path, and the holes are complicatedly connected. For this reason, in the porous sheet which has the same hole diameter as the diameter of the straight hole 12 of the resin film 9, ventilation resistance is remarkably high compared with the said resin film 9, and air permeability worsens. In addition, since the porous sheet has air permeability not only in the thickness direction of the sheet but also in the plane direction, when used as an adsorption sheet, a so-called side leakage of adsorption force occurs. When using a suction sheet with low air permeability and side leakage, a large suction pressure is required to suck a work object such as a ceramic green sheet, and the suction force varies depending on the location of the suction sheet. (Since the suction force is particularly reduced at the end of the suction sheet), the work object is likely to be deformed during suction.
これに対して、樹脂フィルム９では、通気経路となるストレート孔１２の貫通方向は樹脂フィルム９の厚さ方向であり、ストレート孔１２の形状も通気経路上でほぼ変化しない。吸着用シート４は、このような樹脂フィルム９を有するため、厚さ方向の通気抵抗が非常に低く、良好な通気性を有するとともに、横漏れのないシートとなる。 On the other hand, in the resin film 9, the penetration direction of the straight hole 12 serving as a ventilation path is the thickness direction of the resin film 9, and the shape of the straight hole 12 does not substantially change on the ventilation path. Since the suction sheet 4 has such a resin film 9, the airflow resistance in the thickness direction is very low, the airflow is good, and there is no side leakage.
さらに、吸着用シート４の白色度は７０以上であるので、付着した異物（特に、黒色、緑色等の黒色系の異物）を視認し易い。すなわち、本実施形態に係る吸着用シート４によれば、良好な通気性を確保できるとともに、付着した異物を容易に視認できる。 Furthermore, since the whiteness of the suction sheet 4 is 70 or more, it is easy to visually recognize attached foreign matter (particularly black foreign matter such as black or green). That is, according to the suction sheet 4 according to the present embodiment, good air permeability can be ensured and attached foreign matter can be easily visually recognized.
次に、吸着用シート４を用いたセラミックコンデンサの製造方法の一例を説明する。この製造方法は、離型フィルム上に形成されたセラミックグリーンシートを、吸着ユニットの吸着面に、上記の吸着用シートを介して吸着させて離型フィルムから剥離する剥離工程と、剥離したセラミックグリーンシートを、吸着面に吸着させたまま搬送し、搬送先で他のセラミックグリーンシートと積層する積層工程と、剥離工程および積層工程を複数回繰り返して得られたセラミックグリーンシートの積層体を焼成する焼成工程と、を含む。ここで、剥離工程および積層工程において、吸着用シートが、上記の第１の主面が吸着面に対向し、上記の第２の主面がセラミックグリーンシートに対向するように配置されている限り、各工程の詳細は特に限定されず、公知の方法に従えばよい。 Next, an example of a method for manufacturing a ceramic capacitor using the adsorption sheet 4 will be described. In this manufacturing method, a ceramic green sheet formed on a release film is adsorbed to the adsorption surface of the adsorption unit via the adsorption sheet and separated from the release film, and the peeled ceramic green sheet The sheet is conveyed while adsorbed on the adsorption surface, and the laminated body of the ceramic green sheet obtained by repeating the laminating process of laminating with other ceramic green sheets at the conveying destination, the peeling process and the laminating process multiple times is fired. And a firing step. Here, in the peeling step and the laminating step, as long as the adsorption sheet is arranged so that the first main surface faces the adsorption surface and the second main surface faces the ceramic green sheet. The details of each step are not particularly limited, and any known method may be followed.
図５Ａ〜図５Ｃを参照しながら、セラミックコンデンサの製造方法の一例を説明する。 An example of a method for manufacturing a ceramic capacitor will be described with reference to FIGS. 5A to 5C.
図５Ａに示す剥離工程では、離型フィルム２１上に形成されたセラミックグリーンシート２２（図５Ａの（１）参照）を、吸着ユニット１４の吸着面１３に吸着させて、離型フィルム２１から剥離する（図５Ａの（２），（３）参照）。吸着面１３の表面には、上述した吸着用シート４が配置されており、セラミックグリーンシート２２は、吸着用シート４を介して吸着面１３に吸着される。 5A, the ceramic green sheet 22 (see (1) in FIG. 5A) formed on the release film 21 is adsorbed on the adsorption surface 13 of the adsorption unit 14 and is released from the release film 21. (Refer to (2) and (3) in FIG. 5A). The adsorption sheet 4 described above is disposed on the surface of the adsorption surface 13, and the ceramic green sheet 22 is adsorbed to the adsorption surface 13 via the adsorption sheet 4.
図５Ｂに示す積層工程では、剥離工程において剥離したセラミックグリーンシート２２を、吸着面１３に吸着させたまま搬送し、搬送先で他のセラミックグリーンシート２２と積層する（図５Ｂの（１）〜（３）参照）。 In the lamination process shown in FIG. 5B, the ceramic green sheet 22 peeled off in the peeling process is conveyed while adsorbed on the adsorption surface 13, and laminated with other ceramic green sheets 22 at the conveyance destination ((1) to FIG. 5B). (See (3)).
図５Ｃに示す焼成工程では、図５Ａに示す剥離工程および図５Ｂに示す積層工程を複数回繰り返して得られたセラミックグリーンシート２２の積層体２３を焼成して（図５Ｃ中のＳは焼成することを示している）、焼成体２４を得る。その後、焼成体２４に電極を配置する工程等を経て、セラミックコンデンサが得られる。図５Ｃでは、図を分かり易くするために、積層体２３を構成する層の数を８層としているが、実際には、剥離工程および積層工程を繰り返すことによって、より多くのセラミックグリーンシート２２が積層されてもよい。 In the firing step shown in FIG. 5C, the laminate 23 of the ceramic green sheets 22 obtained by repeating the peeling step shown in FIG. 5A and the lamination step shown in FIG. 5B a plurality of times is fired (S in FIG. 5C is fired). This shows that the fired body 24 is obtained. Thereafter, a ceramic capacitor is obtained through a process of arranging electrodes on the fired body 24. In FIG. 5C, in order to make the drawing easy to understand, the number of layers constituting the laminated body 23 is eight, but in reality, by repeating the peeling process and the laminating process, more ceramic green sheets 22 can be obtained. It may be laminated.
剥離工程および積層工程では、吸着用シート４は、吸着用シート４における第１の主面４ａが吸着面１３に対向し（接し）、吸着用シート４の第２の主面４ｂがセラミックグリーンシート２２に対向する（接する）ように配置される。第２の主面４ｂの白色度は高いので、第２の主面４ｂに異物が付着したとしても、付着した異物は容易に視認される。 In the peeling step and the laminating step, the suction sheet 4 has the first main surface 4a of the suction sheet 4 facing (contacts) the suction surface 13, and the second main surface 4b of the suction sheet 4 is a ceramic green sheet. It arrange | positions so that 22 may be opposed. Since the whiteness of the second main surface 4b is high, even if foreign matter adheres to the second main surface 4b, the attached foreign matter is easily visually recognized.
本実施形態のセラミックコンデンサの製造方法における剥離工程、積層工程および焼成工程の詳細は、公知のセラミックコンデンサの製造方法に従えばよい。また、本実施形態のセラミックコンデンサの製造方法は、必要に応じ、剥離工程、積層工程および焼成工程以外の任意の工程を含んでいてもよい。 The details of the peeling step, the laminating step, and the firing step in the method for manufacturing a ceramic capacitor according to the present embodiment may follow a known method for manufacturing a ceramic capacitor. Moreover, the manufacturing method of the ceramic capacitor of this embodiment may contain arbitrary processes other than a peeling process, a lamination process, and a baking process as needed.
（第二実施形態）
図６に、本発明の第二実施形態に係る通気性シートである吸着用シート１０４を示す。図６に示す吸着用シート１０４は、樹脂フィルム１０９と、白色層１３１とを備えている。吸着用シート１０４を、厚さ方向に沿って観察したときの平面図を図７に示す。また、吸着用シート１０４を、厚さ方向に平行な断面で切断した断面図を図８に示す。
(Second embodiment)
FIG. 6 shows a suction sheet 104 which is a breathable sheet according to the second embodiment of the present invention. The adsorption sheet 104 shown in FIG. 6 includes a resin film 109 and a white layer 131. FIG. 7 shows a plan view when the suction sheet 104 is observed along the thickness direction. FIG. 8 is a cross-sectional view of the suction sheet 104 cut along a cross section parallel to the thickness direction.
樹脂フィルム１０９は、内部において白色粒子が分散していないこと以外は樹脂フィルム９と同様のフィルムである。樹脂フィルム１０９には、ストレート孔１２と同様のストレート孔１１２が形成されている。 The resin film 109 is a film similar to the resin film 9 except that the white particles are not dispersed inside. A straight hole 112 similar to the straight hole 12 is formed in the resin film 109.
白色層１３１は白色粒子１０の材料と同様の材料からなる層であり、吸着用シート１０４の主面上の一方（図６における第２の主面１０４ｂ）に配置されている。白色層１３１は、例えば予め形成した白色粒子１１０（白色粒子１０の材料と同様の材料からなる白色粒子）をコーティングして形成することができる。白色層１３１は、スパッタリング法、蒸着法、ＣＶＤ法等の薄膜形成プロセスにより形成することもできる。薄膜形成プロセスによれば、白色層１３１（すなわち第２の主面１０４ｂ）を平滑にできる。この場合、第２の主面１０４ｂの表面粗さ算術平均粗さＲａを０．３〜０．５μｍに、最大高さＲｍａｘを０．４〜０．６μｍにできる。また、白色層１３１の厚さは、白色度が７０以上であれば特に制限されないが、例えば０．０２５〜１μｍであり、０．０５〜０．１μｍが好ましい。 The white layer 131 is a layer made of the same material as the material of the white particles 10, and is disposed on one side (second main surface 104 b in FIG. 6) on the main surface of the adsorption sheet 104. The white layer 131 can be formed by coating, for example, white particles 110 (white particles made of the same material as the material of the white particles 10) formed in advance. The white layer 131 can also be formed by a thin film forming process such as sputtering, vapor deposition, or CVD. According to the thin film formation process, the white layer 131 (that is, the second main surface 104b) can be smoothed. In this case, the surface roughness arithmetic average roughness Ra of the second main surface 104b can be set to 0.3 to 0.5 μm, and the maximum height Rmax can be set to 0.4 to 0.6 μm. The thickness of the white layer 131 is not particularly limited as long as the whiteness is 70 or more, but is, for example, 0.025 to 1 μm, and preferably 0.05 to 0.1 μm.
また、本実施形態では、樹脂フィルム１０９と白色層１３１との間に下地層１３２が介在している。下地層１３２は、樹脂フィルム１０９および白色層１３１に接触している。下地層１３２は、吸着用シート１０４の光透過性を低下させるための層である。下地層１３２層が存在する場合は、厚さ方向の可視光透過率を例えば１０％以下、好ましくは５％以下、より好ましくは３％以下にできる。ただし、吸着用シート１０４の白色度が７０以上である限り、下地層１３２を省略してもよい。 In the present embodiment, the base layer 132 is interposed between the resin film 109 and the white layer 131. The foundation layer 132 is in contact with the resin film 109 and the white layer 131. The underlayer 132 is a layer for reducing the light transmittance of the adsorption sheet 104. When the base layer 132 is present, the visible light transmittance in the thickness direction can be, for example, 10% or less, preferably 5% or less, and more preferably 3% or less. However, as long as the whiteness of the suction sheet 104 is 70 or more, the base layer 132 may be omitted.
下地層１３２を構成する材料は、例えば、金属、金属炭化物、金属窒化物、金属酸化物および金属フッ化物から選ばれる少なくとも１つから選択すればよい。好適な下地層１３２としては、アルミナ層が挙げられる。下地層１３２がアルミナ層である場合は、コストの観点、耐熱性および絶縁性の観点、製造（スパッタリング）の容易さの観点、ならびに取り扱いの容易さの観点で有利である。 The material constituting the underlayer 132 may be selected from, for example, at least one selected from metals, metal carbides, metal nitrides, metal oxides, and metal fluorides. A suitable underlayer 132 includes an alumina layer. When the underlayer 132 is an alumina layer, it is advantageous from the viewpoints of cost, heat resistance and insulation, ease of production (sputtering), and ease of handling.
白色層１３１および下地層１３２を形成する方法は特に限定されない。下地層１３２としてアルミナ層を形成する場合は、例えば樹脂フィルム１０９上にアルミナをスパッタリング、蒸着（真空蒸着）その他の薄膜形成プロセスにより堆積させればよい。また、下地層１３２を形成する場合は、下地層１３２上に白色層１３１を形成する。白色層１３１を形成する方法は特に限定されないが、蒸着により白色層１３１を形成すればよい。蒸着により堆積させる白色層１３１の例は、酸化チタンからなる層である。また、下地層１３２を形成しない場合に比べると、下地層１３２を形成する場合は、白色層１３２を堆積させ易くなる。すなわち、厚さ方向に直線状に貫通する複数のストレート孔であって径が２０μｍ以下であるストレート孔が形成された樹脂フィルムを準備する工程と、スパッタリングによりこの樹脂フィルム上に下地層を堆積させる工程と、下地層上に白色層を堆積させる工程と、を備える吸着用シートの製造方法によれば、好適に吸着用シートを作製できる。なお、樹脂フィルムを準備する工程に代えて、樹脂基材を準備する工程と、イオンビーム照射およびエッチングによって樹脂基材を厚さ方向に貫通するように延びる複数のストレート孔を形成する工程とを採用することもできる。 The method for forming the white layer 131 and the base layer 132 is not particularly limited. When an alumina layer is formed as the base layer 132, for example, alumina may be deposited on the resin film 109 by sputtering, vapor deposition (vacuum vapor deposition) or other thin film forming processes. In the case where the base layer 132 is formed, the white layer 131 is formed on the base layer 132. A method for forming the white layer 131 is not particularly limited, but the white layer 131 may be formed by vapor deposition. An example of the white layer 131 deposited by vapor deposition is a layer made of titanium oxide. Further, when the underlayer 132 is formed, the white layer 132 is easily deposited as compared with the case where the underlayer 132 is not formed. That is, a step of preparing a resin film having a plurality of straight holes penetrating linearly in the thickness direction and having a diameter of 20 μm or less, and depositing a base layer on the resin film by sputtering According to the method for manufacturing a suction sheet comprising a step and a step of depositing a white layer on the base layer, the suction sheet can be suitably produced. In place of the step of preparing the resin film, the step of preparing the resin base material and the step of forming a plurality of straight holes extending through the resin base material in the thickness direction by ion beam irradiation and etching It can also be adopted.
下地層を形成しない場合、厚さ方向に直線状に貫通する複数のストレート孔であって径が２０μｍ以下であるストレート孔が形成された樹脂フィルムを準備する工程と、樹脂フィルム上に白色層を堆積させる工程と、を備える吸着用シートの製造方法によって、吸着用シートを作製できる。この場合、白色層を蒸着（真空蒸着）、塗布等により樹脂フィルム上に形成すればよい。このようにすれば、白色層を備えるとともに、樹脂フィルムと白色層が直接接し、樹脂フィルムと白色層との２層からなる吸着用シートを好適に得ることができる。下地層を形成せず、樹脂フィルムと白色層との２層からなる吸着用シートを作製することによって、材料費の削減および製造工程の削減が可能となる。 When the base layer is not formed, a step of preparing a resin film having a plurality of straight holes penetrating linearly in the thickness direction and having a diameter of 20 μm or less, and a white layer on the resin film An adsorption sheet can be produced by a method for producing an adsorption sheet comprising the step of depositing. In this case, a white layer may be formed on the resin film by vapor deposition (vacuum vapor deposition), coating, or the like. If it does in this way, while providing a white layer, a resin film and a white layer contact | connect directly, and the sheet | seat for adsorption | suction which consists of two layers of a resin film and a white layer can be obtained suitably. By forming a sheet for adsorption composed of two layers of a resin film and a white layer without forming a base layer, it is possible to reduce material costs and manufacturing processes.
本実施形態では、吸着用シート１０４の主面のうち、白色層１３１が形成されている側とは反対側の主面である第１の主面１０４ａが、吸着面１３に対向すべき主面であり、白色層１３１が形成されている側の主面である第２の主面１０４ｂが、作業対象物１５（セラミックグリーンシート２２）に対向すべき主面である。第２の主面１０４ｂは白色層１３１により構成されている。 In the present embodiment, of the main surface of the suction sheet 104, the first main surface 104 a that is the main surface opposite to the side on which the white layer 131 is formed is the main surface that should face the suction surface 13. The second main surface 104b that is the main surface on which the white layer 131 is formed is a main surface that should face the work object 15 (ceramic green sheet 22). The second main surface 104b is configured by the white layer 131.
なお、第一実施形態および第二実施形態では、通気性シートを吸着用シートとして用いた例を説明したが、上述の通気性シートは、被濾過液体を濾過するための濾過膜、エアフィルタ用の濾材、ベントフィルタ−用の通気膜等、他の用途にも適用できる。 In the first embodiment and the second embodiment, an example in which a breathable sheet is used as an adsorption sheet has been described. However, the breathable sheet described above is used for a filtration membrane for filtering a liquid to be filtered, and for an air filter. The present invention can be applied to other uses such as a filter medium, an air-permeable membrane for a vent filter.
（実施例１）
実施例１では、図２〜図４に示す第一実施形態の吸着用シート４と同様のサンプルを作製した。
Example 1
In Example 1, a sample similar to the suction sheet 4 of the first embodiment shown in FIGS.
まず、白色粒子が内部に分散したシート（三菱樹脂株式会社製、Ｗ−１００）を準備した。このシートは、厚さが２５μｍのＰＥＴフィルムに、粒径が１．０μｍの酸化チタン（白色粒子）を、シート全体の重量を基準として３．０重量％含有させた無孔のシートである。 First, a sheet (W-100, manufactured by Mitsubishi Plastics, Inc.) in which white particles were dispersed was prepared. This sheet is a non-porous sheet in which a PET film having a thickness of 25 μm contains titanium oxide (white particles) having a particle diameter of 1.0 μm in an amount of 3.0% by weight based on the weight of the entire sheet.
次に、イオンビーム照射およびエッチングにより、このシートにストレート孔を形成した。得られたストレート孔の径は１．０μｍ（φ１．０μ）であり、ストレート孔の形成後のシートの気孔率は４．７％であった。イオンビーム照射において用いたイオンビームのイオン種はＸｅ、加速電圧は５６０ＭｅＶ、照射密度は６．０×１０6ｉｏｎ／ｃｍ2、真空度は１０-3Ｐａオーダである。エッチングにおいて用いたエッチング液は、０．５Ｍで約６０℃のＮａＯＨ溶液である。このようにしてサンプルＡを作製した。 Next, straight holes were formed in the sheet by ion beam irradiation and etching. The diameter of the obtained straight hole was 1.0 μm (φ1.0 μm), and the porosity of the sheet after the formation of the straight hole was 4.7%. The ion type of the ion beam used in the ion beam irradiation is Xe, the acceleration voltage is 560 MeV, the irradiation density is 6.0 × 10 6 ion / cm 2 , and the degree of vacuum is on the order of 10 −3 Pa. The etching solution used in the etching is a NaOH solution of about 60 ° C. at 0.5M. In this way, Sample A was produced.
（実施例２）
エッチングの条件を変更したこと以外は実施例１と同様にしてサンプルＢを作製した。サンプルＢの作製におけるエッチングにおいて用いたエッチング液は、０．１〜１．０Ｍで５０〜８０℃のＮａＯＨ溶液であり、処理時間を３０〜１８０分とした。サンプルＢでは、ストレート孔はφ３．０μであり、ストレート孔を形成後のシートの気孔率は４２％であった。
(Example 2)
Sample B was produced in the same manner as in Example 1 except that the etching conditions were changed. The etching solution used in the etching for producing Sample B was a 0.1 to 1.0 M NaOH solution at 50 to 80 ° C., and the treatment time was 30 to 180 minutes. In Sample B, the straight hole had a diameter of φ3.0 μ, and the porosity of the sheet after forming the straight hole was 42%.
（実施例３）
実施例３では、図６〜図８に示す第二実施形態の吸着用シート１０４と同様のサンプルを作製した。
(Example 3)
In Example 3, a sample similar to the suction sheet 104 of the second embodiment shown in FIGS. 6 to 8 was produced.
まず、φ５．０μのストレート孔が形成された、気孔率が７．９％の非多孔質のＰＩフィルムを準備した。次に、このＰＩフィルムの表面に、スパッタリングによりアルミナ層を形成した。スパッタリングは、酸素を含むガス雰囲気中で実施した。スパッタリングでは、スパッタ蒸着装置（ＵＬＶＣ（株式会社アルバック）社製、ＳＭＨ−２３０６ＲＥ）を用い、真空度を１Ｐａ、電圧を５００Ｖとし、スパッタリングの時間を２分間に設定した。 First, a non-porous PI film having a porosity of 7.9% and having a straight hole of φ5.0μ was prepared. Next, an alumina layer was formed on the surface of the PI film by sputtering. Sputtering was performed in a gas atmosphere containing oxygen. In sputtering, a sputter deposition apparatus (SMVC-2306RE manufactured by ULVC (ULVAC)) was used, the degree of vacuum was 1 Pa, the voltage was 500 V, and the sputtering time was set to 2 minutes.
次に、アルミナ層の表面に、真空蒸着により白色の酸化チタン層を形成した。真空蒸着にはスパッタ蒸着装置（ＵＬＶＣ社製、ＳＭＨ−２３０６ＲＥ）を用い、真空度を１．０×１０-3Ｐａ以下に設定した。このようにして、サンプルＣを作製した。 Next, a white titanium oxide layer was formed on the surface of the alumina layer by vacuum deposition. For vacuum deposition, a sputter deposition apparatus (SMH-2306RE manufactured by ULVC) was used, and the degree of vacuum was set to 1.0 × 10 −3 Pa or less. In this way, Sample C was produced.
（比較例１）
酸化チタンが内部に分散していないこと以外は実施例１で用いたＰＥＴフィルムと同様の無孔のＰＥＴフィルムをサンプルＤとした。
(Comparative Example 1)
Sample D was a non-porous PET film similar to the PET film used in Example 1 except that titanium oxide was not dispersed inside.
（比較例２）
ストレート孔が形成されていないこと以外は実施例３で準備したＰＩフィルムと同様の無孔のＰＩフィルムをサンプルＥとした。
(Comparative Example 2)
Sample E was a non-porous PI film similar to the PI film prepared in Example 3 except that no straight hole was formed.
（比較例３）
実施例３で準備した、ストレート孔が形成された非多孔質のＰＩフィルムをサンプルＦとした。
(Comparative Example 3)
The non-porous PI film with straight holes formed in Example 3 was used as Sample F.
（比較例４）
実施例３で作製したＰＩフィルムの表面に実施例３と同様のアルミナ層を形成して得た非多孔質のフィルムをサンプルＧとした。なお、このアルミナ層の厚さは非常に薄く、第二実施形態で述べた白色層を構成するものではない。
(Comparative Example 4)
Sample G was a non-porous film obtained by forming the same alumina layer as in Example 3 on the surface of the PI film produced in Example 3. The alumina layer is very thin and does not constitute the white layer described in the second embodiment.
（比較例５）
厚さが２００μｍ、平均孔径が２０μｍのＵＨＭＷＰＥ多孔質シート（日東電工社製、サンマップＬＣＴ５３２０Ｓ）をサンプルＨとした。
(Comparative Example 5)
Sample H was a UHMWPE porous sheet (manufactured by Nitto Denko Corporation, Sunmap LCT5320S) having a thickness of 200 μm and an average pore diameter of 20 μm.
（比較例６）
一般的なコピー用紙はサンプルＩとした。
(Comparative Example 6)
A general copy paper was Sample I.
サンプルＡ〜Ｉにつき、白色度、可視光透過率（厚さ方向の可視光透過率）、孔径、ガーレー通気度（厚さ方向のガーレー通気度）、および表面（第２の主面、以下同じ）の表面粗さを下記のように測定した。 About samples A to I, whiteness, visible light transmittance (visible light transmittance in the thickness direction), hole diameter, Gurley air permeability (Gurley air permeability in the thickness direction), and surface (second main surface, the same applies hereinafter) ) Was measured as follows.
［白色度］
白色度は、色差計（日本電色工業株式会社製、ＮＤ−１００１ＤＰ）を用いて、ＪＩＳＰ ８１２３に準拠した測定によりハンター白度を求めた。
[Whiteness]
As for whiteness, Hunter whiteness was determined by measurement based on JISP 8123 using a color difference meter (ND-1001DP, manufactured by Nippon Denshoku Industries Co., Ltd.).
[可視光透過率]
可視光透過率は、分光光度計（株式会社日立ハイテクノロジーズ社製、Ｕ−４１００）を用い、３００〜２７００ｎｍの波長域について測定した。
[Visible light transmittance]
The visible light transmittance was measured for a wavelength range of 300 to 2700 nm using a spectrophotometer (manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation, U-4100).
[孔径]
各サンプルの表面をＳＥＭ（ＪＥＯＬ社（日本電子株式会社）製、ＪＳＭ−６５１０ＬＶ）により撮像し、得られたＳＥＭ像に基づいて各サンプルの表面における孔径を測定した。
[Pore diameter]
The surface of each sample was imaged with SEM (manufactured by JEOL (JEOL Ltd., JSM-6510LV)), and the pore diameter on the surface of each sample was measured based on the obtained SEM image.
[通気度]
通気度としてガーレー数を評価した。ガーレー数は、ＪＩＳ Ｐ８１１７に準拠して、ガーレー式デンソメーター（安田精機製作所製）または王研式透気度試験装置（旭精工製、ＥＧ０２−Ｓ）を用いて求めた。
[Air permeability]
The Gurley number was evaluated as the air permeability. The Gurley number was determined in accordance with JIS P8117 using a Gurley type densometer (manufactured by Yasuda Seiki Seisakusho) or Oken type air permeability tester (Asahi Seiko Co., Ltd., EG02-S).
[表面粗さ]
表面粗さは、触針式表面粗さ計（株式会社東京精密製品、サーフコム５５０Ａ）を用いて測定した。測定条件は、先端径Ｒ２５０μｍ、速度０．３ｍｍ／ｓｅｃ、測定長４ｍｍとした。表面粗さとしては、算術平均粗さＲａおよび最大高さＲｍａｘを測定した。
[Surface roughness]
The surface roughness was measured using a stylus type surface roughness meter (Tokyo Seimitsu Co., Ltd., Surfcom 550A). The measurement conditions were a tip diameter R of 250 μm, a speed of 0.3 mm / sec, and a measurement length of 4 mm. As the surface roughness, arithmetic average roughness Ra and maximum height Rmax were measured.
上記のように測定した、サンプルＡ〜Ｉの白色度、可視光透過率、孔径、ガーレー通気度、および表面粗さを表１にまとめて記載する。また、サンプルＡ、サンプルＣ、サンプルＨの表面のＳＥＭ像を図９〜１１に示す。なお、図９および図１０のＳＥＭ像は倍率を５０００倍に設定して撮像したものであり、図１１のＳＥＭ像は倍率を１００倍に設定して撮像したものである。 The whiteness, visible light transmittance, pore diameter, Gurley air permeability, and surface roughness of Samples A to I measured as described above are collectively shown in Table 1. In addition, SEM images of the surfaces of Sample A, Sample C, and Sample H are shown in FIGS. Note that the SEM images in FIGS. 9 and 10 are taken with the magnification set to 5000 times, and the SEM images in FIG. 11 are taken with the magnification set to 100 times.
表１に示すように、サンプルＡの表面の白色度は７７．１、サンプルＢの表面の白色度は７３．８、サンプルＣの表面の白色度は７５．１であった。すなわち、サンプルＡ〜Ｃでは、表面の白色度が７０以上であるため、吸着用シートとして用いた場合に当該吸着用シートの表面に付着した黒色系の異物を視認し易い。 As shown in Table 1, the whiteness of the surface of Sample A was 77.1, the whiteness of the surface of Sample B was 73.8, and the whiteness of the surface of Sample C was 75.1. That is, in Samples A to C, since the whiteness of the surface is 70 or more, when used as a suction sheet, it is easy to visually recognize black foreign substances attached to the surface of the suction sheet.
サンプルＡにおけるストレート孔の径は１．０μｍ、サンプルＢにおけるストレート孔の径は３．０μｍ、サンプルＣにおけるストレート孔の径は５．０μｍであった。また、サンプルＡのガーレー通気度は８．７９ｓｅｃ／１００ｍＬ、サンプルＢのガーレー通気度は２．４７ｓｅｃ／１００ｍＬ、サンプルＣのガーレー通気度は３．５９ｓｅｃ／１００ｍＬであった。すなわち、サンプルＡ〜Ｃでは、孔径が２０μｍ以下でありかつガーレー通気度が１０ｓｅｃ／１００ｍＬ以下であるため、吸着用シートとして用いた場合に作業対象物の吸い込みを抑制しつつ、当該作業対象物を効率よく吸着できる。 The diameter of the straight hole in sample A was 1.0 μm, the diameter of the straight hole in sample B was 3.0 μm, and the diameter of the straight hole in sample C was 5.0 μm. Moreover, the Gurley air permeability of the sample A was 8.79 sec / 100 mL, the Gurley air permeability of the sample B was 2.47 sec / 100 mL, and the Gurley air permeability of the sample C was 3.59 sec / 100 mL. That is, in Samples A to C, since the pore diameter is 20 μm or less and the Gurley air permeability is 10 sec / 100 mL or less, the suction of the work object is suppressed when used as a suction sheet, and the work object is Can be adsorbed efficiently.
他方、サンプルＤ〜Ｇでは、表面の白色度が７０未満であるため、サンプルＤ〜Ｇを吸着用シートとして用いた場合に当該吸着用シートに付着した黒色系の異物を視認することは困難である。また、サンプルＤ〜ＥおよびサンプルＨ〜Ｉでは、ガーレー通気度が１０ｓｅｃ／１００ｍＬよりも大きいため、作業対象物を効率よく吸着することは困難である。 On the other hand, in samples D to G, since the whiteness of the surface is less than 70, it is difficult to visually recognize the black foreign matter attached to the suction sheet when the samples D to G are used as the suction sheet. is there. Moreover, in samples D to E and samples H to I, since the Gurley air permeability is larger than 10 sec / 100 mL, it is difficult to efficiently adsorb the work object.
４，１０４ 吸着用シート
４ａ，１０４ａ 第１の主面
４ｂ，１０４ｂ 第２の主面
９，１０９ 樹脂フィルム
１０，１１０ 白色粒子
１２，１１２ ストレート孔
１３ 吸着面
１４ 吸着ユニット
１５ 作業対象物
１６ 孔
２１ 離型フィルム
２２ セラミックグリーンシート
２３ 積層体
２４ 焼成体
１３１ 白色層
１３２ 下地層
4,104 Adsorption sheet 4a, 104a First main surface 4b, 104b Second main surface 9,109 Resin film 10,110 White particles 12,112 Straight hole 13 Adsorption surface 14 Adsorption unit 15 Work object 16 Hole 21 Release film 22 Ceramic green sheet 23 Laminated body 24 Fired body 131 White layer 132 Underlayer
Claims (15)
前記厚さ方向に直線状に貫通する複数のストレート孔が形成された樹脂フィルムと、
前記樹脂フィルムの内部に分散された白色粒子および／または前記樹脂フィルムの主面上に配置された白色層と、を備え、
前記複数のストレート孔の径は２０μｍ以下であり、
当該通気性シートにおける少なくとも一方の主面のＪＩＳ Ｐ８１２３に準拠して測定した白色度は、７０以上である、
通気性シート。 A breathable sheet having breathability in the thickness direction,
A resin film formed with a plurality of straight holes penetrating linearly in the thickness direction;
White particles dispersed inside the resin film and / or a white layer disposed on the main surface of the resin film,
The diameter of the plurality of straight holes is 20 μm or less,
The whiteness measured according to JIS P8123 of at least one main surface of the breathable sheet is 70 or more.
Breathable sheet.
前記吸着用シートは、当該吸着用シートにおける第１の主面が前記吸着面に対向し、当該吸着用シートの第２の主面が前記作業対象物に対向するように配置され、
前記吸着用シートは、前記厚さ方向に直線状に貫通する複数のストレート孔が形成された樹脂フィルムと、前記樹脂フィルムの内部に分散された白色粒子および／または前記第２の主面に配置された白色層と、を備え、
前記複数のストレート孔の径は２０μｍ以下であり、
前記吸着用シートの厚さ方向の通気度は、ＪＩＳ Ｐ８１１７に準拠して測定したガーレー数にして１０秒／１００ｍＬ以下であり、前記吸着用シートにおける前記第２の主面のＪＩＳ Ｐ８１２３に準拠して測定した白色度は７０以上である、
吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法。 A suction step of preventing a direct contact with the suction surface of the suction unit and sucking a work object through a suction sheet having air permeability in the thickness direction;
The suction sheet is arranged such that a first main surface of the suction sheet faces the suction surface, and a second main surface of the suction sheet faces the work object,
The adsorption sheet is disposed on a resin film having a plurality of straight holes penetrating linearly in the thickness direction, white particles dispersed in the resin film, and / or the second main surface. A white layer, and
The diameter of the plurality of straight holes is 20 μm or less,
The air permeability in the thickness direction of the adsorption sheet is 10 seconds / 100 mL or less in terms of Gurley number measured according to JIS P8117, and conforms to JIS P8123 of the second main surface of the adsorption sheet. The measured whiteness is 70 or more.
A method for adsorbing work objects to the adsorption unit.
剥離した前記セラミックグリーンシートを、前記吸着面に吸着させたまま搬送し、搬送先で他のセラミックグリーンシートと積層する積層工程と、
前記剥離工程および前記積層工程を複数回繰り返して得られた前記セラミックグリーンシートの積層体を焼成する焼成工程と、を含み、
前記剥離工程および前記積層工程において、前記吸着用シートは、当該吸着用シートにおける第１の主面が前記吸着面に対向し、当該吸着用シートの第２の主面が前記セラミックグリーンシートに対向するように配置され、
前記吸着用シートは、前記厚さ方向に直線状に貫通する複数のストレート孔が形成された樹脂フィルムと、前記樹脂フィルムの内部に分散された白色粒子および／または前記第２の主面に配置された白色層と、を備え、
前記複数のストレート孔の径は２０μｍ以下であり、
前記吸着用シートの厚さ方向の通気度は、ＪＩＳ Ｐ８１１７に準拠して測定したガーレー数にして１０秒／１００ｍＬ以下であり、前記吸着用シートにおける前記第２の主面のＪＩＳ Ｐ８１２３に準拠して測定した白色度は７０以上である、セラミックコンデンサの製造方法。 The ceramic green sheet formed on the release film is placed on the suction surface of the suction unit through the suction sheet that prevents direct contact between the ceramic green sheet and the suction surface and has air permeability in the thickness direction. A peeling step of adsorbing and peeling from the release film;
The laminated ceramic green sheet is conveyed while adsorbed on the adsorption surface, and laminated with another ceramic green sheet at the conveyance destination;
A firing step of firing the laminate of the ceramic green sheets obtained by repeating the peeling step and the laminating step a plurality of times,
In the peeling step and the laminating step, the suction sheet has a first main surface of the suction sheet facing the suction surface, and a second main surface of the suction sheet facing the ceramic green sheet. Arranged to
The adsorption sheet is disposed on a resin film having a plurality of straight holes penetrating linearly in the thickness direction, white particles dispersed in the resin film, and / or the second main surface. A white layer, and
The diameter of the plurality of straight holes is 20 μm or less,
The air permeability in the thickness direction of the adsorption sheet is 10 seconds / 100 mL or less in terms of Gurley number measured according to JIS P8117, and conforms to JIS P8123 of the second main surface of the adsorption sheet. The whiteness measured in this way is 70 or more.
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