JP5941691B2 - 加速度センサ - Google Patents

Description

この発明は、印加された加速度を検出し電気信号として出力する加速度センサに関するものである。

従来、加速度センサは携帯機器の落下検出などに用いられている。このような携帯機器では消費電力をできる限り抑制する必要があるため、加速度センサの低消費電力化が求められている。

そこで、待機時に電力を消費しないノーマリーオフタイプの加速度センサが提案されている（例えば、特許文献１）。このような加速度センサについて、図５及び図６を参照して説明する。

図５は加速度センサ３１の平面図であり、図６は図５のＣ−Ｃ線における加速度センサ３１の断面図である。この加速度センサ３１は、所定の間隔を開けて対向するように保持された平板状の絶縁性材料からなる第一の支持基板３８および第二の支持基板３９と、第一の支持基板３８と第二の支持基板３９とに挟まれて固定された少なくとも表面が導電性材料からなる枠部３２と、枠部３２に周囲を囲まれ第一の支持基板３８とに挟まれて固定された少なくとも表面が導電性材料からなる固定電極３７と、を備える。また、加速度センサ３１は、固定電極３７の周囲を囲み枠部３２に周囲を囲まれるとともに第一の支持基板３８および第二の支持基板３９とに挟まれて揺動自在に保持された少なくとも表面が導電性材料からなる可動電極３３と、可動電極３３を略一周するように形成された少なくとも表面が導電性材料からなるバネ部３４と、を備える。さらに、加速度センサ３１は、枠部３２とバネ部３４の一端とを接続する少なくとも表面が導電性材料からなる枠接続部３５と、可動電極３３とバネ部３４の他端とを接続する少なくとも表面が導電性材料からなる可動電極接続部３６と、第一の支持基板３８を貫通して設けられ、一端が枠部３２に電気的に接続された導電性材料からなる枠部貫通電極４０と、第一の支持基板３８を貫通して設けられ、一端が固定電極３７に電気的に接続された導電性材料からなる固定電極貫通電極４１と、第一の支持基板３８の表面に設けられ、枠部貫通電極４０に電気的に接続された導電性材料からなる枠部外部電極４２と、第一の支持基板３８の表面に設けられ、固定電極貫通電極４１に電気的に接続された導電性材料からなる固定電極外部電極４３と、を備えている。

この加速度センサ３１は、平面方向に加速度が印加されると、可動電極３３に慣性力が作用する。可動電極３３はバネ部３４によって揺動自在に保持されているので、慣性力の作用に従って変位する。そして、印加された加速度が所定の大きさを超えると、可動電極３３は固定電極３７に接触する。枠部３２、可動電極３３、バネ部３４、枠接続部３５、可動電極接続部３６及び固定電極３７はいずれも少なくとも表面が導電性材料からなるので、可動電極３３と固定電極３７が接触すると、枠部外部電極４２から固定電極外部電極４３まで導通する。従って、例えば枠部外部電極４２と固定電極外部電極４３との間に所定の電圧を印加しておくと、加速度センサ３１に印加された加速度が小さいときには可動電極３３と固定電極３７とは接触せず、枠部外部電極４２と固定電極外部電極４３との間に電流が流れないため、電力は消費されない。一方、加速度センサ３１に所定の大きさを超える加速度が印加され可動電極３３と固定電極３７とが接触すると、枠部外部電極４２と固定電極外部電極４３との間に電流が流れ、加速度の印加を検出することができる。また、バネ部３４は可動電極３３を略一周するように形成されているので、加速度センサ３３の平面方向であればいずれの方向に加速度が印加されても指向性なく検出できる。このように構成された加速度センサ３１は、待機時に電力を消費しないノーマリーオフタイプの無指向性加速度センサとなっている。

特開２０１０−４８６５０号公報

しかしながら、図５及び図６に示す加速度センサ３１においては、下記のような問題がある。

すなわち、加速度センサ３１においては、平面視でいずれの方向に加速度が印加されても指向性なく検出できるためには、可動電極３３及びバネ部３４を可動電極３３の重心を中心として、略回転対称に形成しなければならない。そのため、図９に示すように、枠接続部３５と可動電極接続部３６とをできる限り接近させて配置する必要がある。このように構成された加速度センサ３１に過大な加速度が印加されると、可動電極３３が大きく変位し、枠接続部３５と可動電極接続部３６とが互いに接触し、破損したり互いに乗り上げたりして動作不良を引き起こす可能性がある。

本発明は上記のような事情に考慮してなされたもので、その目的は、低消費電力であり、且つ動作精度に優れた加速度センサを提供することである。

本発明は上記課題を解決するために、以下の手段を提供する。
本発明の加速度センサは、平板状の絶縁性材料からなる一対の支持基板と、中空状の枠体であって、前記一対の支持基板に上下面が固定され、少なくとも表面の一部が導電性材料からなる枠部と、前記一対の支持基板に上下面が固定され、少なくとも表面の一部が導電性材料からなる固定電極と、前記一対の支持基板それぞれが互いに対向する面と前記枠部の内周面とで構成される空隙部の内部であって、静止状態で前記固定電極と離間した位置に配置され、少なくとも表面の一部が導電性材料からなる可動電極と、少なくとも表面の一部が導電性材料からなり、前記可動電極の周面を取り囲むように配置されて前記可動電極を揺動自在に保持する弾性部と、前記弾性部の一端と前記枠部の内周面とを接続する、少なくとも表面の一部が導電性材料からなる枠接続部と、前記弾性部の他端と前記可動電極の外周面とを接続する、少なくとも表面の一部が導電性材料からなる可動電極接続部と、前記枠部の内周面及び／又は前記可動電極の外周面に接続されて、前記枠接続部と前記可動電極接続部とに所定の間隔を隔てて配置され、前記枠接続部および前記可動電極接続部よりも厚くなるように形成された変位制限部と、を備えることを特徴とする。

本発明にかかる加速度センサにおいて、静止状態で固定電極と離間した位置にある可動電極は、弾性部によって揺動自在に保持されているので、印加される加速度に応じた慣性力によって固定電極と当接する。つまり、本発明にかかる加速度センサは、加速度が印加された場合にはじめて、互いに導電性材料からなる可動電極と固定電極とが当接して電力を消費するノーマリーオフタイプの加速度センサであるので、待機時の消費電力が嵩まない。また、本発明にかかる加速度センサにおいて、変位制限部が枠接続部と可動電極接続部とに所定の間隔を開けて挟まれるように配置されているので、加速度センサに過大な加速度が印加されると枠接続部または可動電極接続部が変位制限部に接触する。変位制限部は枠接続部及び可動電極接続部より厚くなるように形成されているので、枠接続部または可動電極接続部が変位制限部に乗り上げたりすることがなく、引っかかって動作不良となることはない。また、枠接続部と可動電極接続部とが互いに接触することもなく、破損や引っかかりによる動作不良を防ぐことができる。

また本発明の加速度センサにおいて、前記変位制限部は、一端が前記枠部の内周面に接続され、他端が自由端からなることを特徴とする。
本発明にかかる加速度センサは、可動電極に不要な構造を付け加えることがないので、可動電極を略回転対称に形成することができ、加速度の印加方向による検出感度のばらつきを最小限に抑えることができる。したがって、枠接続部と可動電極接続部とが互いに接触することもなく、破損や引っかかりによる動作不良を防ぐことができるとともに無指向性を高めた加速度センサを得ることができる。

また本発明の加速度センサにおいて、前記変位制限部は、前記枠部と同じ厚さからなることを特徴とする。
本発明にかかる加速度センサは、変位制限部と枠部とが同じ厚さであるので、枠部を形成するのと同一の工程で変位制限部を形成することができる。したがって、枠接続部と可動電極接続部とが互いに接触することもなく、破損や引っかかりによる動作不良を防ぐことができるとともに製造時の工数を削減することができる。

また本発明の加速度センサにおいて、前記変位制限部は、一端が前記可動電極の外周面に接続され、他端が自由端からなることを特徴とする。
本発明にかかる加速度センサは、可動電極がさらに過大に変位しようとすると、弾性部全体が変形するため、曲げモーメントや応力が弾性部の一部に集中して破損することを防ぐことができる。

また本発明の加速度センサは、前記変位制限部は、前記可動電極と同じ厚さからなることを特徴とする。
本発明にかかる加速度センサは、変位制限部と可動電極とが略同じ厚さであるので、可動電極を形成するのと同一の工程で変位制限部を形成することができる。したがって、枠接続部と可動電極接続部とが互いに接触することもなく、破損や引っかかりによる動作不良を防ぐことができるとともに製造時の工数を削減することができる。

また本発明の加速度センサは、前記一対の支持基板は所定の間隔を隔てて上下に配置された第一の支持基板及び第二の支持基板からなり、前記枠部は前記第一の支持基板及び前記第二の支持基板に挟まれて配置され、前記第一の支持基板を貫通して設けられ一端が前記枠部に電気的に接続された導電性材料からなる枠部貫通電極と、前記第一の支持基板を貫通して設けられ一端が前記固定電極に電気的に接続された導電性材料からなる固定電極貫通電極と、前記第一の支持基板の表面に設けられ、前記枠部貫通電極に電気的に接続された導電性材料からなる枠部外部電極と、前記第一の支持基板の表面に設けられ、前記固定電極貫通電極に電気的に接続された導電性材料からなる固定電極外部電極と、を備えたことを特徴とする。
本発明にかかる加速度センサは、可動電極、弾性部、枠接続部、可動電極接続部、固定電極及び変位制限部が枠部、第一の支持基板及び第二の支持基板に囲まれて外部の環境から保護されているので、外部の温度や湿度、ゴミなどによる加速度センサの破損を防ぐことができ、信頼性の高い加速度センサを得ることができる。

また本発明の加速度センサは、前記可動電極は、前記固定電極の周面を取り囲むように配置されることを特徴とする。
本発明にかかる加速度センサは、固定電極が可動電極に囲まれて配置されているので、どの方向から加速度が印加されても可動電極が固定電極に接触し、加速度の方向によらない無指向性を高めた加速度センサを得ることができる。

また本発明の加速度センサは、前記固定電極は、前記凹部の底面および側壁に設けられた導電性の薄膜からなることを特徴とする。
本発明にかかる加速度センサは、固定電極が支持基板の表面に形成されているため、可動電極を小型化し、加工ばらつきによる可動電極の重心のずれを最小限に抑えることができ、加速度の印加される方向が異なっても検出感度のばらつきが小さくなり、無指向性を高めた加速度センサを得ることができる。

本発明に係る加速度センサによれば、枠接続部と可動電極接続部の接触を防ぎ、動作不良を防止することができるので、低消費電力であり、且つ動作精度に優れた加速度センサを提供することができる。

本発明にかかる加速度センサの第１実施形態を示す平面図である。 本発明にかかる加速度センサの第１実施形態を示す断面図である。 本発明にかかる加速度センサの第２実施形態を示す平面図である。 本発明にかかる加速度センサの第２実施形態を示す断面図である。 従来の加速度センサを示す平面図である。 従来の加速度センサを示す断面図である。

（第１実施形態）
以下、本発明にかかる第１実施形態を、図１及び図２を参照して説明する。図１は本実施形態にかかる加速度センサ１の平面図を、図２は図１のＡ−Ａ線における断面図を示している。なお、図１では簡単化のため、後述する第一の支持基板、第二の支持基板、枠部貫通電極、固定電極貫通電極、枠部外部電極、固定電極外部電極を省略して示している。

この加速度センサ１は、所定の間隔を隔てて対向するように保持された平板状の絶縁性材料からなる第一の支持基板８及び第二の支持基板９と、第一の支持基板８と第二の支持基板９とで上下に挟まれて固定された少なくとも表面の一部が導電性材料からなる枠部２と、第一の支持基板８と第二の支持基板９とに挟まれて固定され、平面視で枠部２の内周部に配置された固定電極７と、枠部２に機械的及び電気的に接続された枠接続部５と、可動電極３に機械的及び電気的に接続された可動電極接続部６と、一端が枠接続部５に接続され、他端が可動電極接続部６に接続され、可動電極３の周面を取り囲むように形成されたバネ部４（弾性部）と、第一の支持基板８を上下に貫通して設けられ、一端が枠部２に電気的に接続された枠部貫通電極１０と、第一の支持基板８を上下に貫通して設けられ、一端が固定電極７に電気的に接続された固定電極貫通電極１１と、第一の支持基板８の表面に設けられ、枠部貫通電極１０に電気的に接続された枠部外部電極１２と、第一の支持基板８の表面に設けられ、固定電極貫通電極１１に電気的に接続された固定電極外部電極１３と、一端が枠部２に接続され、枠接続部５と可動電極接続部６とに所定の間隔を隔てて挟まれるように配置された変位制限部１５と、を備えている。

第一の支持基板８及び第二の支持基板９は、平板状の絶縁性材料からなる。当該絶縁性材料としては、例えば、溶融石英やホウ珪酸ガラス、ソーダライムガラスなどのガラスや、セラミック等を用いることが出来る。そして、第一の支持基板８及び第二の支持基板９は、それぞれ、図２に示すように、第二の支持基板９および第一の支持基板８と対抗する面に凹部が形成される。

枠部２は、少なくとも表面の一部が金や白金、銅、アルミニウム等の導電性材料からなる。枠部２は、上下方向において、第一の支持基板８と第二の支持基板９とに挟まれるように設けられ、第一の支持基板８と第二の支持基板９とを上下に連接する中空状のフレーム（枠体）である。そして、枠部２は、上面視でロ字状に形成される。当該枠部２の内周面と、第一の支持基板８及び第二の支持基板９の互いに対向する面と、によって加速度センサ１の内部に空隙部が構成される。

固定電極７は、少なくとも表面の一部が金や白金、銅、アルミニウム等の導電性材料からなる。当該固定電極７は、平面視で加速度センサ１の略中心位置に配置され、上下の端部が第一の支持基板８及び第二の支持基板９の対向面に固定される。

可動電極３は、空隙部内に配置され、第一の支持基板８と第二の支持基板９とで上下に挟まれた状態で、バネ部４によって揺動自在に支持された電極である。少なくとも表面の一部が導電性材料からなる。

枠接続部５は、枠部２の内周面とバネ部４の一端とを連接し、少なくとも表面の一部が導電性材料からなる部材である。可動電極接続部６は、可動電極３の外周面とバネ部４の他端とを連接し、少なくとも表面の一部が導電性材料からなる部材である。

バネ部４は、一端と他端間が可動電極３の周面を取り囲むような形状からなる部材である。つまり、バネ部４は、加速度センサ１に加わる加速度の向き／大きさに応じて可動電極３を揺動可能に支持するとともに、加速度センサ１に加速度が加わっていない状態で可動電極３を水平に支持する。また、バネ部４は、シリコン等の弾性部材であり、少なくとも表面が、金や白金、銅、アルミニウム等の導電性材料からなる。

ここで、図１に示すように、可動電極３、バネ部４及び固定電極７の外枠形状は、平面視で略正方形状からなる。
枠部貫通電極１０は、導電性材料からなり、一端（下端）が枠部２と電気的に接続されるように、枠部２の設けられた水平位置において第一の基板８の上下方向を貫通して設けられた電極である。固定電極貫通電極１１は、導電性材料からなり、一端（下端）が固定電極７と電気的に接続されるように、固定電極７の設けられた水平位置において第一の基板８の上下方向を貫通して設けられた電極である。

枠部外部電極１２は、枠部貫通電極１０の上部に設けられ、当該枠部貫通電極１０と電気的に接続された導電性材料である。固定電極外部電極１３、固定電極貫通電極１１の上部に設けられ、当該固定電極貫通電極１１と電気的に接続された導電性材料である。

変位制限部１５は、一端が枠部２に接続され、上面視で枠接続部５及び可動電極接続部６の双方と離間した位置に配置された部材である。当該変位制限部１５は、枠接続部５及び可動電極接続部６より厚くなる（加速度センサ１の上下方向における長さが長くなる）ように形成される。
なお、変位制限部１５は、図１に示すような枠部２に接続されたものに限定されることはなく、枠部２または可動電極３の少なくともいずれか一方に接続されているものであればよい。

このように構成された加速度センサ１は、可動電極３、バネ部４、枠接続部５、可動電極接続部６及び固定電極７が、枠部２、第一の支持基板８及び第二の支持基板９に囲まれて外部の環境から保護されているので、外部の温度や湿度、ゴミなどによる加速度センサ１の破損を防ぐことができる。

（加速度センサの動作）
上述のように構成された加速度センサ１に加速度を印加すると、可動電極３に慣性力が作用する。すると、可動電極３は、枠接続部５及び可動電極接続部６を介してバネ部４によって揺動自在に保持されているので、慣性力の作用に従って変位する。ここで、印加される加速度が所定の大きさを超えると、可動電極３は固定電極７に接触する。その際、枠部２、可動電極３、バネ部４、枠接続部５、可動電極接続部６、固定電極７は、いずれも少なくとも表面が導電性材料からなるので、可動電極３と固定電極７が接触すると、枠部外部電極１２から固定電極外部電極１３まで導通する。したがって、例えば枠部外部電極１２と固定電極外部電極１３との間に所定の電圧を印加しておくと、加速度センサ１に印加された加速度が小さい時には可動電極３と固定電極７とは接触せず、枠部外部電極１２と固定電極外部電極１３との間に電流が流れないため、電力は消費されない。一方、加速度センサ１に所定の大きさを超える加速度が印加され可動電極３と固定電極７とが接触すると、枠部外部電極１２と固定電極外部電極１３との間に電流が流れるので、当該電流値を検出信号として、加速度センサ１に加速度が印加されたことを検出することができる。またバネ部４は可動電極３を略一周するように形成されているので、加速度センサ１の平面方向であればいずれの方向に加速度が印加されても検出できる。また、変位制限部１５は、枠接続部５と可動電極接続部６とに所定の間隔を隔てて挟まれるように配置されているので、加速度センサ１に過大な加速度が印加された場合、枠接続部５及び可動電極接続部６は、直接互いの電極に接触するのではなく、変位制限部１５に接触する。しかも、変位制限部１５は、枠接続部５及び可動電極接続部６より厚くなるように形成されているので、枠接続部５または可動電極接続部６が変位制限部１５に乗り上げたりすることがなく、引っかかって動作不良を引き起こすことを防止できる。また、枠接続部５と可動電極接続部６とが互いに接触することがないので、破損や引っかかりによる動作不良を防ぐことができる。

なお、変位制限部１５は枠部２または可動電極３の少なくともいずれか一方に接続されると説明したが、図１に示したように、枠部２（または可動電極３のいずれか一方）のみに接続される方がより好ましい。つまり、例えば、変位制限部１５を枠部２のみに接続した場合には、可動電極３に不要な構造を付け加えることがないので、可動電極３を略回転対称に形成することができ、加速度の印加方向による検出感度のばらつきを最小限に抑えることができるためである。したがって、無指向性を高めた加速度センサ１を得ることができる。一方、可動電極接続部６と変位制限部１５とが接触し、可動電極３がさらに変位しようとすると、可動電極接続部６は変位制限部１５によって変位を制限されるので、可動電極３だけが変位しようとし、可動電極接続部６に曲げモーメントが集中して破損するおそれがある。そこで、例えば、変位制限部１５を可動電極３のみに接続するように構成してもよい。この場合には、可動電極３が過大に変位したときに、変位制限部１５と枠接続部５とが互いに接触する。そして、その状態より可動電極３がさらに変位しようとすると、バネ部４の全体が変形するため、曲げモーメントや応力がバネ部４の一部にのみ集中して作用することがないので、バネ部４が破損しにくい加速度センサ１とすることができる。したがって、変位制限部１５を可動電極３のみに接続するように構成した場合には、変位制限部１５と枠接続部５とが接触したときに枠接続部５が破損するのを一層好適に防ぐことができる。

また、変位制限部１５は枠接続部５及び可動電極接続部６より厚くなるように形成すると説明したが、変位制限部１５が枠部２のみに接続されている場合には変位制限部１５と枠部２の厚さが等しくなるように形成され、変位制限部１５が可動電極３のみに接続されている場合には変位制限部１５と可動電極３の厚さが等しくなるように形成されることが好適である。このように構成された加速度センサ１においては、変位制限部１５を枠部２または可動電極３と同一の工程で形成することができ、製造時の工数を削減することができる。

また、本実施形態においては、可動電極３、バネ部４及び固定電極７の外枠形状を平面視で略正方形とした加速度センサ１を例にあげて説明したが、可動電極３、バネ部４及び固定電極７の外枠形状を五角以上からなる略正多角形状や略円形状とすることもできる。可動電極３、バネ部４及び固定電極７の外枠形状を円形状に近づけるほど、加速度の印加される方向に依存して検出感度にばらつきが生じることが抑えられるので、一層無指向性を高めた加速度センサを得ることができる。

（第２実施形態）
次に、本発明にかかる加速度センサの第２実施形態を、図３及び図４を参照して説明する。なお、以下の第２実施形態にかかる加速度センサの説明においては、第１実施形態にかかる加速度センサと同一構成については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。

図３は第２実施形態にかかる加速度センサ２１の平面図を、図４は図３のＢ−Ｂ線における断面図を示している。なお、図３では簡単化のため、第１実施形態と同様に第一の支持基板、第二の支持基板、枠部貫通電極、固定電極貫通電極、枠部外部電極、固定電極外部電極を省略して示している。

第２実施形態に係る加速度センサ２１は、可動電極３の上面に対向するように、第一の支持基板８の下面に設けられた凹部１４の表面に、導電性の薄膜からなる固定電極２２が設けられている。このように構成された加速度センサ２１に加速度が印加されると、当該加速度の大きさ／方向に応じて可動電極３に慣性力が作用する。すると、可動電極３は、枠接続部５及び可動電極接続部６を介してバネ部４によって揺動自在に保持されているので、慣性力の作用に従って変位する。ここで、印加された加速度が所定の大きさを超えると、可動電極３は固定電極２２に接触する。枠部２、可動電極３、バネ部４、枠接続部５、可動電極接続部６、固定電極７はいずれも少なくとも表面が導電性材料からなるので、可動電極３と固定電極２２が接触すると、枠部外部電極１２から固定電極外部電極１３まで導通する。したがって、例えば枠部外部電極１２と固定電極外部電極１３との間に所定の電圧を印加しておくと、加速度センサ１に印加された加速度が小さい時には可動電極３と固定電極２２とは接触せず、枠部外部電極１２と固定電極外部電極１３との間に電流が流れないため、電力は消費されない。一方、加速度センサ１に所定の大きさを超える加速度が印加され可動電極３と固定電極７とが接触すると、枠部外部電極１２と固定電極外部電極１３との間に電流が流れるので、当該電流値を検出信号として、加速度センサ２１に加速度が印加されたことを検出することができる。

またバネ部４は可動電極３を略一周するように形成されているので、加速度センサ１の平面方向であればいずれの方向に加速度が印加されても検出できる。また、変位制限部１５は枠接続部５と可動電極接続部６とに所定の間隔を隔てて挟まれるように配置されているので、加速度センサ１に過大な加速度が印加されると可動電極接続部６は変位制限部１５に接触する。変位制限部１５は枠接続部５及び可動電極接続部６より厚くなるように形成されているので、可動電極接続部６は変位制限部１５に乗り上げたりすることがなく、引っかかって動作不良となることはない。また、枠接続部５と可動電極接続部６とが互いに接触することもなく、破損や引っかかりによる動作不良を防ぐことができる。

また、固定電極２２は凹部１４の表面に設けられているので、可動電極３を小型化できる。そのため、加工ばらつきによる可動電極３の重心のずれを最小限に抑えることができ、加速度の印加される方向に依存して検出感度にばらつきが生じることを抑えられるので、、無指向性を高めた加速度センサを得ることができる。

１ 加速度センサ
２ 枠部
３ 可動電極
４ バネ部
５ 枠接続部
６ 可動電極接続部
７ 固定電極
８ 第一の支持基板
９ 第二の支持基板
１０ 枠部貫通電極
１１ 固定電極貫通電極
１２ 枠部外部電極
１３ 固定電極外部電極
１４ 凹部
１５ 変位制限部
２１ 加速度センサ
２２ 固定電極
３１ 加速度センサ
３２ 枠部
３３ 可動電極
３４ バネ部
３５ 枠接続部
３６ 可動電極接続部
３７ 固定電極
３８ 第一の支持基板
３９ 第二の支持基板
４０ 枠部貫通電極
４１ 固定電極貫通電極
４２ 枠部外部電極
４３ 固定電極外部電極

Claims (8)

1. 平板状の絶縁性材料からなる一対の支持基板と、
   中空状の枠体であって、前記一対の支持基板に上下面が固定され、少なくとも表面の一部が導電性材料からなる枠部と、
   前記一対の支持基板に上下面が固定され、少なくとも表面の一部が導電性材料からなる固定電極と、
   前記一対の支持基板それぞれが互いに対向する面と前記枠部の内周面とで構成される空隙部の内部であって、静止状態で前記固定電極と離間した位置に配置され、少なくとも表面の一部が導電性材料からなる可動電極と、
   少なくとも表面の一部が導電性材料からなり、前記可動電極の周面を取り囲むように配置されて前記可動電極を揺動自在に保持する弾性部と、
   前記弾性部の一端と前記枠部の内周面とを接続する、少なくとも表面の一部が導電性材料からなる枠接続部と、
   前記弾性部の他端と前記可動電極の外周面とを接続する、少なくとも表面の一部が導電性材料からなる可動電極接続部と、
   前記枠部の内周面及び／又は前記可動電極の外周面に接続されて、前記枠接続部と前記可動電極接続部とに所定の間隔を隔てて配置され、前記枠接続部および前記可動電極接続部よりも厚くなるように形成され、前記可動電極接続部と前記枠接続部とが直接接触することを制限する変位制限部と、
   を備えることを特徴とする加速度センサ。
2. 前記変位制限部は、一端が前記枠部の内周面に接続され、他端が自由端からなることを特徴とする請求項１に記載の加速度センサ。
3. 前記変位制限部は、前記枠部と同じ厚さからなることを特徴とする請求項２に記載の加速度センサ。
4. 前記変位制限部は、一端が前記可動電極の外周面に接続され、他端が自由端からなることを特徴とする請求項１に記載の加速度センサ。
5. 前記変位制限部は、前記可動電極と同じ厚さからなることを特徴とする請求項４に記載の加速度センサ。
6. 前記一対の支持基板は所定の間隔を隔てて上下に配置された第一の支持基板及び第二の支持基板からなり、
   前記枠部は前記第一の支持基板及び前記第二の支持基板に挟まれて配置され、
   前記第一の支持基板を貫通して設けられ一端が前記枠部に電気的に接続された導電性材料からなる枠部貫通電極と、
   前記第一の支持基板を貫通して設けられ一端が前記固定電極に電気的に接続された導電性材料からなる固定電極貫通電極と、
   前記第一の支持基板の表面に設けられ、前記枠部貫通電極に電気的に接続された導電性材料からなる枠部外部電極と、
   前記第一の支持基板の表面に設けられ、前記固定電極貫通電極に電気的に接続された導電性材料からなる固定電極外部電極と、
   を備えたことを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の加速度センサ。
7. 前記可動電極は、前記固定電極の周面を取り囲むように配置されることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の加速度センサ。
8. 平板状の絶縁性材料からなる一対の支持基板と、
   中空状の枠体であって、前記一対の支持基板に上下面が固定され、少なくとも表面の一部が導電性材料からなる枠部と、
   前記一対の支持基板のうち少なくとも何れか一方の支持基板の表面に形成された凹部を有し、前記凹部の底面および側壁に設けられた導電性の薄膜からなる固定電極と、
   前記一対の支持基板それぞれが互いに対向する面と前記枠部の内周面とで構成される空隙部の内部であって、静止状態で前記固定電極と離間した位置に配置され、少なくとも表面の一部が導電性材料からなる可動電極と、
   少なくとも表面の一部が導電性材料からなり、前記可動電極の周面を取り囲むように配置されて前記可動電極を揺動自在に保持する弾性部と、
   前記弾性部の一端と前記枠部の内周面とを接続する、少なくとも表面の一部が導電性材料からなる枠接続部と、
   前記弾性部の他端と前記可動電極の外周面とを接続する、少なくとも表面の一部が導電性材料からなる可動電極接続部と、
   前記枠部の内周面及び／又は前記可動電極の外周面に接続されて、前記枠接続部と前記可動電極接続部とに所定の間隔を隔てて配置され、前記枠接続部および前記可動電極接続部よりも厚くなるように形成され、前記可動電極接続部と前記枠接続部とが直接接触することを制限する変位制限部と、
   を備えることを特徴とする加速度センサ。

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