JP5940752B1 - Semiconductor memory device - Google Patents

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Abstract

【課題】基板の形状や大きさの制限に合わせて不揮発性半導体素子などを配置しつつ、その性能特性の劣化を抑えることができる半導体メモリ装置を提供すること。【解決手段】多層配線基板8の第1の主面に、第1の不揮発性半導体素子10と、第2の不揮発性半導体素子10と、コントローラ4と、を備え、第2の主面に第3の不揮発性半導体素子10と、第4の不揮発性半導体素子10と、コネクタとを備え、第1の信号線と、第2の信号線と、第3の信号線と、第4の信号線と、が形成された半導体メモリ装置が提供される。多層配線基板8は、平面視において、第1の信号線が設けられた第1の領域と、第3または第4の信号線が設けられた領域とが重複しないように構成される。【選択図】図9To provide a semiconductor memory device in which a nonvolatile semiconductor element or the like is arranged in accordance with restrictions on the shape and size of a substrate and deterioration of performance characteristics thereof can be suppressed. A first main surface of a multilayer wiring board includes a first non-volatile semiconductor element, a second non-volatile semiconductor element, and a controller, and the second main surface includes a first non-volatile semiconductor element. 3 non-volatile semiconductor element 10, fourth non-volatile semiconductor element 10, and connector, and includes a first signal line, a second signal line, a third signal line, and a fourth signal line. A semiconductor memory device is provided. The multilayer wiring board 8 is configured so that the first region provided with the first signal line and the region provided with the third or fourth signal line do not overlap in plan view. [Selection] Figure 9

Description

本発明の実施形態は、半導体メモリ装置に関する。   Embodiments described herein relate generally to a semiconductor memory device.

従来、コネクタが形成された基板上に、NANDフラッシュメモリなどの不揮発性半導体記憶素子が搭載された半導体装置が用いられている。また、半導体装置には、不揮発性半導体記憶素子の他に、揮発性半導体記憶素子や、不揮発性半導体素子および揮発性半導体素子を制御するコントローラが搭載される。   Conventionally, a semiconductor device is used in which a nonvolatile semiconductor memory element such as a NAND flash memory is mounted on a substrate on which a connector is formed. In addition to the nonvolatile semiconductor memory element, the semiconductor device includes a volatile semiconductor memory element, and a controller that controls the nonvolatile semiconductor element and the volatile semiconductor element.

このような半導体装置は、その使用環境や規格などに合わせて、基板の形状や大きさが制約される場合がある。そして、基板の形状や大きさに合わせて不揮発性半導体記憶素子などを配置しつつ、その性能特性の劣化を抑えることが求められている。   In such a semiconductor device, the shape and size of the substrate may be restricted in accordance with the usage environment, standards, and the like. In addition, it is required to suppress deterioration of performance characteristics while arranging a nonvolatile semiconductor memory element or the like in accordance with the shape and size of the substrate.

特開2010−79445号公報JP 2010-79445 A

本発明の一つの実施形態は、基板の形状や大きさの制限に合わせて不揮発性半導体素子などを配置しつつ、その性能特性の劣化を抑えることができる半導体メモリ装置を提供することを目的とする。   An object of one embodiment of the present invention is to provide a semiconductor memory device in which a nonvolatile semiconductor element or the like is arranged in accordance with restrictions on the shape and size of a substrate, and deterioration of performance characteristics can be suppressed. To do.

本発明の一つの実施形態によれば、多層配線基板と、揮発性半導体素子と、第1の不揮発性半導体素子と、第2の不揮発性半導体素子と、第3の不揮発性半導体素子と、第4の不揮発性半導体素子と、コントローラと、コネクタと、第1の信号線と、第2の信号線と、第3の信号線と、第4の信号線と、を備える半導体メモリ装置が提供される。揮発性半導体素子と、第1の不揮発性半導体素子と、第2の不揮発性半導体素子とは、多層配線基板の第1の主面に設けられる。第3の不揮発性半導体素子と、第4の不揮発性半導体素子とは、多層配線基板の第1の主面とは反対方向を向いた第2の主面に設けられる。コントローラは、多層配線基板の第1の主面に設けられ、第1から第4の不揮発性半導体素子及び揮発性半導体素子を制御する。コネクタは、多層配線基板に設けられる。第1の信号線は、コネクタとコントローラとを接続する。第2の信号線は、コントローラと揮発性半導体素子とを接続する。第3の信号線は、コントローラと第1及び第3の不揮発性半導体素子とを接続する。第4の信号線は、コントローラと第2及び第4の不揮発性半導体素子とを接続する。第1の不揮発性半導体素子と、第3の不揮発性半導体素子とは、多層配線基板に対し対称の位置に設けられている。第2の不揮発性半導体素子と、第4の不揮発性半導体素子とは、多層配線基板に対し対称の位置に設けられている。第3の信号線は、第1の共通信号線と、第1の共通信号線から分岐して、第1の不揮発性半導体素子と接続される信号線と、第3の不揮発性半導体素子と接続される信号線とを備える。第4の信号線は、第2の共通信号線と、第2の共通信号線から分岐して、第2の不揮発性半導体素子と接続される信号線と、第4の不揮発性半導体素子と接続される信号線とを備える。多層配線基板は、平面視において、第1の信号線が設けられた第1の領域と、第3または第4の信号線が設けられた領域とが重複しないように構成される。   According to one embodiment of the present invention, a multilayer wiring board, a volatile semiconductor element, a first nonvolatile semiconductor element, a second nonvolatile semiconductor element, a third nonvolatile semiconductor element, There is provided a semiconductor memory device including four nonvolatile semiconductor elements, a controller, a connector, a first signal line, a second signal line, a third signal line, and a fourth signal line. The The volatile semiconductor element, the first nonvolatile semiconductor element, and the second nonvolatile semiconductor element are provided on the first main surface of the multilayer wiring board. The third non-volatile semiconductor element and the fourth non-volatile semiconductor element are provided on the second main surface facing in the direction opposite to the first main surface of the multilayer wiring board. The controller is provided on the first main surface of the multilayer wiring board and controls the first to fourth nonvolatile semiconductor elements and volatile semiconductor elements. The connector is provided on the multilayer wiring board. The first signal line connects the connector and the controller. The second signal line connects the controller and the volatile semiconductor element. The third signal line connects the controller and the first and third nonvolatile semiconductor elements. The fourth signal line connects the controller and the second and fourth nonvolatile semiconductor elements. The first nonvolatile semiconductor element and the third nonvolatile semiconductor element are provided at symmetrical positions with respect to the multilayer wiring board. The second nonvolatile semiconductor element and the fourth nonvolatile semiconductor element are provided at symmetrical positions with respect to the multilayer wiring board. The third signal line is connected to the first common signal line, the signal line branched from the first common signal line and connected to the first nonvolatile semiconductor element, and the third nonvolatile semiconductor element. A signal line. The fourth signal line includes a second common signal line, a signal line branched from the second common signal line and connected to the second nonvolatile semiconductor element, and connected to the fourth nonvolatile semiconductor element. A signal line. The multi-layer wiring board is configured such that the first region provided with the first signal line and the region provided with the third or fourth signal line do not overlap in plan view.

図1は、第1の実施の形態にかかる半導体装置の構成例を示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram illustrating a configuration example of the semiconductor device according to the first embodiment. 図2は、半導体装置の概略構成を示す平面図である。FIG. 2 is a plan view showing a schematic configuration of the semiconductor device. 図3は、半導体装置の詳細な構成を示す平面図である。FIG. 3 is a plan view showing a detailed configuration of the semiconductor device. 図4は、抵抗素子の概略構成を示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing a schematic configuration of the resistance element. 図5は、基板の表面層(第1層)における回路構成を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a circuit configuration in the surface layer (first layer) of the substrate. 図6は、基板の裏面層(第8層)における回路構成を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing a circuit configuration of the back layer (eighth layer) of the substrate. 図7は、ドライブ制御回路とNANDメモリとを接続する配線の構成を示す図であって、基板の層構成の概念図である。FIG. 7 is a diagram showing the configuration of the wiring that connects the drive control circuit and the NAND memory, and is a conceptual diagram of the layer configuration of the substrate. 図8は、第1の実施の形態の変形例1にかかる半導体装置の概略構成を示す底面図である。FIG. 8 is a bottom view illustrating a schematic configuration of the semiconductor device according to the first modification of the first embodiment. 図9は、ドライブ制御回路とNANDメモリとを接続する配線の構成を示す図であって、基板の層構成の概念図である。FIG. 9 is a diagram showing the configuration of the wiring that connects the drive control circuit and the NAND memory, and is a conceptual diagram of the layer configuration of the substrate. 図10は、第2の実施の形態にかかる半導体装置の詳細な構成を示す平面図である。FIG. 10 is a plan view showing a detailed configuration of the semiconductor device according to the second embodiment. 図11は、図10に示すA−A線に沿った矢視断面図である。FIG. 11 is a cross-sectional view taken along line AA shown in FIG. 図12は、第2の実施の形態の変形例1にかかる半導体装置の概略構成を示す底面図である。FIG. 12 is a bottom view illustrating a schematic configuration of the semiconductor device according to the first modification of the second embodiment. 図13は、図12に示すB−B線に沿った矢視断面図である。13 is a cross-sectional view taken along line BB shown in FIG. 図14は、第3の実施の形態にかかる半導体装置の概略構成を示す平面図である。FIG. 14 is a plan view showing a schematic configuration of the semiconductor device according to the third embodiment. 図15は、NANDメモリの底面を示す図である。FIG. 15 is a diagram illustrating the bottom surface of the NAND memory. 図16は、第3の実施の形態の変形例1にかかる半導体装置の概略構成を示す底面図である。FIG. 16 is a bottom view illustrating a schematic configuration of the semiconductor device according to the first modification of the third embodiment. 図17は、第4の実施の形態にかかる半導体装置の概略構成を示す平面図である。FIG. 17 is a plan view showing a schematic configuration of the semiconductor device according to the fourth embodiment. 図18は、第4の実施の形態の変形例1にかかる半導体装置の概略構成を示す底面図である。FIG. 18 is a bottom view illustrating a schematic configuration of the semiconductor device according to the first modification of the fourth embodiment.

以下に添付図面を参照して、実施形態にかかる半導体メモリ装置を詳細に説明する。なお、これらの実施形態により本発明が限定されるものではない。   Exemplary embodiments of a semiconductor memory device will be explained below in detail with reference to the accompanying drawings. Note that the present invention is not limited to these embodiments.

(第1の実施の形態)
図1は、第1の実施の形態にかかる半導体装置の構成例を示すブロック図である。半導体装置100は、SATAインタフェース(ATA I/F)2などのメモリ接続インタフェースを介してパーソナルコンピュータあるいはCPUコアなどのホスト装置(以下、ホストと略す)1と接続され、ホスト1の外部メモリとして機能する。ホスト1としては、パーソナルコンピュータのCPU、スチルカメラ、ビデオカメラなどの撮像装置のCPUなどがあげられる。また、半導体装置100は、RS232Cインタフェース(RS232C I/F)などの通信インタフェース3を介して、デバッグ用機器200との間でデータを送受信することができる。
(First embodiment)
FIG. 1 is a block diagram illustrating a configuration example of the semiconductor device according to the first embodiment. The semiconductor device 100 is connected to a host device (hereinafter abbreviated as a host) 1 such as a personal computer or a CPU core via a memory connection interface such as a SATA interface (ATA I / F) 2 and functions as an external memory of the host 1. To do. Examples of the host 1 include a CPU of a personal computer, a CPU of an imaging apparatus such as a still camera and a video camera. Further, the semiconductor device 100 can transmit and receive data to and from the debugging device 200 via the communication interface 3 such as an RS232C interface (RS232C I / F).

半導体装置100は、不揮発性半導体記憶素子としてのNAND型フラッシュメモリ(以下、NANDメモリと略す)10と、コントローラとしてのドライブ制御回路4と、NANDメモリ10よりも高速記憶動作が可能な揮発性半導体記憶素子であるDRAM20と、電源回路5と、状態表示用のLED6と、ドライブ内部の温度を検出する温度センサ7とを備えている。温度センサ7は、例えばNANDメモリ10の温度を直接または間接的に測定する。ドライブ制御回路4は、温度センサ7による測定結果が一定温度以上となった場合に、NANDメモリ10への情報の書き込みなどを制限して、それ以上の温度上昇を抑制する。   A semiconductor device 100 includes a NAND flash memory (hereinafter abbreviated as “NAND memory”) 10 as a nonvolatile semiconductor memory element, a drive control circuit 4 as a controller, and a volatile semiconductor capable of a higher-speed storage operation than the NAND memory 10. It includes a DRAM 20, which is a storage element, a power supply circuit 5, a status display LED 6, and a temperature sensor 7 for detecting the temperature inside the drive. The temperature sensor 7 measures the temperature of the NAND memory 10 directly or indirectly, for example. The drive control circuit 4 limits the writing of information to the NAND memory 10 when the measurement result by the temperature sensor 7 is equal to or higher than a certain temperature, and suppresses further temperature rise.

電源回路5は、ホスト1側の電源回路から供給される外部直流電源から複数の異なる内部直流電源電圧を生成し、これら内部直流電源電圧を半導体装置100内の各回路に供給する。また、電源回路5は、外部電源の立ち上がりを検知し、パワーオンリセット信号を生成して、ドライブ制御回路4に供給する。   The power supply circuit 5 generates a plurality of different internal DC power supply voltages from an external DC power supply supplied from a power supply circuit on the host 1 side, and supplies these internal DC power supply voltages to each circuit in the semiconductor device 100. Further, the power supply circuit 5 detects the rise of the external power supply, generates a power-on reset signal, and supplies it to the drive control circuit 4.

図2は、半導体装置100の概略構成を示す平面図である。図3は、半導体装置100の詳細な構成を示す平面図である。電源回路5、DRAM20、ドライブ制御回路4、NANDメモリ10は、配線パターンが形成された基板8上に搭載される。基板8は、平面視において略長方形形状を呈する。略長方形形状を呈する基板8の一方の短辺側には、ホスト1に接続されて、上述したSATAインタフェース2、通信インタフェース3として機能するコネクタ9が設けられている。コネクタ9は、ホスト1から入力された電源を電源回路5に供給する電源入力部として機能する。コネクタ9は、例えばLIFコネクタである。なお、コネクタ9には、基板8の短手方向に沿った中心位置からずれた位置にスリット9aが形成されており、ホスト1側に設けられた突起(図示せず)などと嵌まり合うようになっている。これにより、半導体装置100が表裏逆に取り付けられることを防ぐことができる。   FIG. 2 is a plan view showing a schematic configuration of the semiconductor device 100. FIG. 3 is a plan view showing a detailed configuration of the semiconductor device 100. The power supply circuit 5, DRAM 20, drive control circuit 4, and NAND memory 10 are mounted on a substrate 8 on which a wiring pattern is formed. The substrate 8 has a substantially rectangular shape in plan view. A connector 9 that is connected to the host 1 and functions as the above-described SATA interface 2 and communication interface 3 is provided on one short side of the substrate 8 having a substantially rectangular shape. The connector 9 functions as a power input unit that supplies power supplied from the host 1 to the power circuit 5. The connector 9 is, for example, an LIF connector. The connector 9 is formed with a slit 9a at a position shifted from the center position along the short direction of the substrate 8 so as to be fitted with a protrusion (not shown) provided on the host 1 side. It has become. This can prevent the semiconductor device 100 from being attached upside down.

基板8は、合成樹脂を重ねて形成された多層構造になっており、例えば8層構造となっている。なお、基板8の層数は8層に限られない。基板8には、合成樹脂で構成された各層の表面あるいは内層に様々な形状で配線パターンが形成されている。基板8に形成された配線パターンを介して、基板8上に搭載された電源回路5、DRAM20、ドライブ制御回路4、NANDメモリ10同士が電気的に接続される。   The substrate 8 has a multilayer structure formed by overlapping synthetic resins, and has, for example, an eight-layer structure. Note that the number of layers of the substrate 8 is not limited to eight. On the substrate 8, wiring patterns are formed in various shapes on the surface or inner layer of each layer made of synthetic resin. The power supply circuit 5, DRAM 20, drive control circuit 4, and NAND memory 10 mounted on the substrate 8 are electrically connected to each other through a wiring pattern formed on the substrate 8.

次に、基板8に対する電源回路5、DRAM20、ドライブ制御回路4、NANDメモリ10の配置について説明する。図2や図3に示すように、電源回路5およびDRAM20がコネクタ9の近傍に配置される。そして、電源回路5およびDRAM20の隣にドライブ制御回路4が配置される。そして、ドライブ制御回路4の隣にNANDメモリ10が配置される。すなわち、基板8の長手方向に沿ってコネクタ9側から、DRAM20、ドライブ制御回路4、NANDメモリ10の順に並べて配置される。   Next, the arrangement of the power supply circuit 5, DRAM 20, drive control circuit 4, and NAND memory 10 with respect to the substrate 8 will be described. As shown in FIGS. 2 and 3, the power supply circuit 5 and the DRAM 20 are arranged in the vicinity of the connector 9. A drive control circuit 4 is arranged next to the power supply circuit 5 and the DRAM 20. A NAND memory 10 is arranged next to the drive control circuit 4. That is, the DRAM 20, the drive control circuit 4, and the NAND memory 10 are arranged in this order from the connector 9 side along the longitudinal direction of the substrate 8.

なお、複数のNANDメモリ10が基板8上に搭載され、これら複数のNANDメモリ10が基板8の長手方向に沿って並べて配置される。なお、第1の実施の形態では、4つのNANDメモリ10を配置しているが、複数のNANDメモリ10が配置されるのであれば、搭載されるNANDメモリ10の数はこれに限られない。   A plurality of NAND memories 10 are mounted on the substrate 8, and the plurality of NAND memories 10 are arranged side by side along the longitudinal direction of the substrate 8. In the first embodiment, four NAND memories 10 are arranged. However, if a plurality of NAND memories 10 are arranged, the number of mounted NAND memories 10 is not limited to this.

また、4つのNANDメモリ10のうち、2つのNANDメモリ10が基板8の一方の長辺側に寄せて配置され、残りの2つのNANDメモリ10が基板8の他方の長辺側に寄せて配置される。   Of the four NAND memories 10, two NAND memories 10 are arranged close to one long side of the substrate 8, and the remaining two NAND memories 10 are arranged close to the other long side of the substrate 8. Is done.

また、基板8には、抵抗素子12が搭載される。抵抗素子12は、ドライブ制御回路4とNANDメモリ10とを接続する配線パターン(配線)の途中に設けられ、NANDメモリ10へ入出力される信号に対する抵抗として機能する。図4は、抵抗素子12の概略構成を示す斜視図である。抵抗素子12は、図4に示すように、電極12cの間に設けられた複数の抵抗皮膜12aが、保護膜12bによってまとめて被覆されて構成されている。1つのNANDメモリ10に対して1つの抵抗素子12が設けられる。そして、それぞれの抵抗素子12が、その抵抗素子12に接続されたNANDメモリ10の近傍に配置される。   A resistance element 12 is mounted on the substrate 8. The resistance element 12 is provided in the middle of a wiring pattern (wiring) connecting the drive control circuit 4 and the NAND memory 10, and functions as a resistance to a signal input / output to / from the NAND memory 10. FIG. 4 is a perspective view showing a schematic configuration of the resistance element 12. As shown in FIG. 4, the resistance element 12 is configured by covering a plurality of resistance films 12a provided between the electrodes 12c together with a protective film 12b. One resistance element 12 is provided for one NAND memory 10. Each resistive element 12 is arranged in the vicinity of the NAND memory 10 connected to the resistive element 12.

次に、基板8に形成される配線パターンについて説明する。図3に示すように、電源回路5とドライブ制御回路4との間には、電子部品などがほとんど搭載されていない領域Sがある。基板8の領域Sには、コネクタ9とドライブ制御回路4とを接続する信号線(SATA信号線)が配線パターンの一部として形成されている。このように、基板8上には、ドライブ制御回路4を挟んでコネクタ9側にはSATA信号線14が形成され、その反対側には、NANDメモリ10が基板8の長手方向に沿って一列に並べて配置される。   Next, the wiring pattern formed on the substrate 8 will be described. As shown in FIG. 3, there is a region S between the power supply circuit 5 and the drive control circuit 4 where almost no electronic components are mounted. A signal line (SATA signal line) for connecting the connector 9 and the drive control circuit 4 is formed in a region S of the substrate 8 as a part of the wiring pattern. In this way, the SATA signal line 14 is formed on the connector 8 side across the drive control circuit 4 on the substrate 8, and the NAND memories 10 are arranged in a row along the longitudinal direction of the substrate 8 on the opposite side. Arranged side by side.

図5は、基板8の表面層(第1層)L1における回路構成を示す図である。図6は、基板8の裏面層(第8層)L8における回路構成を示す図である。基板8の表面層L1の領域Sでは、ドライブ制御回路4が配置される位置からコネクタ9の近傍までSATA信号線14が形成されている。そして、コネクタ9の近傍でビアホール15によってSATA信号線14は基板8の裏面層L8まで貫通し、裏面層L8に形成されたSATA信号線14によってコネクタ9に到達する。コネクタ9部分で基板8の裏面層L8側に電極を形成する必要がある場合には、このようにSATA信号線14を基板8の裏面層L8まで貫通させる必要がある。   FIG. 5 is a diagram showing a circuit configuration in the surface layer (first layer) L1 of the substrate 8. As shown in FIG. FIG. 6 is a diagram showing a circuit configuration in the back surface layer (eighth layer) L8 of the substrate 8. As shown in FIG. In the region S of the surface layer L 1 of the substrate 8, the SATA signal line 14 is formed from the position where the drive control circuit 4 is disposed to the vicinity of the connector 9. The SATA signal line 14 penetrates to the back surface layer L8 of the substrate 8 near the connector 9 and reaches the connector 9 by the SATA signal line 14 formed on the back surface layer L8. When it is necessary to form an electrode on the back surface layer L8 side of the substrate 8 at the connector 9 portion, it is necessary to penetrate the SATA signal line 14 to the back surface layer L8 of the substrate 8 in this way.

基板8の裏面層L8は、SATA信号線14を除くほとんどの領域がグランド18となっている。また、図示は省略するが、基板8の表面層L1と裏面層L8との間の内層においては、SATA信号線14と重なる部分にはSATA信号線14以外の配線パターンがほとんど形成されていない。すなわち、基板8において領域Sと重なる部分には、SATA信号線14以外の配線パターンがほとんど形成されていない。   In the back surface layer L8 of the substrate 8, most of the region except the SATA signal line 14 is a ground 18. Although illustration is omitted, in the inner layer between the front surface layer L1 and the back surface layer L8 of the substrate 8, almost no wiring pattern other than the SATA signal line 14 is formed in a portion overlapping the SATA signal line 14. That is, almost no wiring pattern other than the SATA signal line 14 is formed in the portion of the substrate 8 that overlaps the region S.

また、表面層L1において、SATA信号線14の一部が途切れているが、基板8上の該当部分に搭載された中継素子16(図3も参照)によって、SATA信号線14を通る信号は中継されるため特に問題とならない。また、基板8の表面は、図示しない絶縁性の保護膜で覆われており、表面層L1に形成された配線パターンの絶縁性は確保されている。   Further, in the surface layer L1, a part of the SATA signal line 14 is interrupted, but the signal passing through the SATA signal line 14 is relayed by the relay element 16 (see also FIG. 3) mounted on the corresponding part on the substrate 8. Is not a problem. The surface of the substrate 8 is covered with an insulating protective film (not shown), and the insulation of the wiring pattern formed on the surface layer L1 is ensured.

図7は、ドライブ制御回路4とNANDメモリ10とを接続する配線の構成を示す図であって、基板8の層構成の概念図である。なお、図7では、図面の簡略化のために基板8の層構造の一部を省略して示している。   FIG. 7 is a diagram showing the configuration of the wiring that connects the drive control circuit 4 and the NAND memory 10, and is a conceptual diagram of the layer configuration of the substrate 8. In FIG. 7, a part of the layer structure of the substrate 8 is omitted for simplification of the drawing.

図7に示すように、ドライブ制御回路4と抵抗素子12とを接続する配線は、基板8の表面層L1でドライブ制御回路4に接続されて、ビアホール21によって基板8の内層に引き込まれる。そして、その配線は基板8の内層を引き回されて再度ビアホール22によって基板8の表面層L1に引き出され、抵抗素子12に接続される。   As shown in FIG. 7, the wiring that connects the drive control circuit 4 and the resistance element 12 is connected to the drive control circuit 4 by the surface layer L <b> 1 of the substrate 8, and is drawn into the inner layer of the substrate 8 by the via hole 21. Then, the wiring is routed through the inner layer of the substrate 8, is again drawn out to the surface layer L 1 of the substrate 8 by the via hole 22, and is connected to the resistance element 12.

また、抵抗素子12とNANDメモリ10とを接続する配線は、基板8の表面層L1で抵抗素子12に接続されて、ビアホール23によって基板8の内層に引き込まれる。そして、その配線は基板8の内層を引き回されて再度ビアホール24によって基板8の表面層L1に引き出され、NANDメモリ10に接続される。   Further, the wiring connecting the resistance element 12 and the NAND memory 10 is connected to the resistance element 12 by the surface layer L 1 of the substrate 8 and is drawn into the inner layer of the substrate 8 by the via hole 23. Then, the wiring is routed through the inner layer of the substrate 8 and is again drawn out to the surface layer L 1 of the substrate 8 by the via hole 24 and connected to the NAND memory 10.

上述したように、NANDメモリ10の近傍に抵抗素子12が配置されるため、ドライブ制御回路4と抵抗素子12とを接続する配線よりも、抵抗素子12とNANDメモリ10とを接続する配線のほうが短くなる。   As described above, since the resistance element 12 is disposed in the vicinity of the NAND memory 10, the wiring that connects the resistance element 12 and the NAND memory 10 is more than the wiring that connects the drive control circuit 4 and the resistance element 12. Shorter.

ここで、半導体装置100にはNANDメモリ10が複数設けられているので、抵抗素子12とNANDメモリ10とを接続する配線も基板8に複数形成される。NANDメモリ10の近傍に抵抗素子12が配置されるため、抵抗素子12とNANDメモリ10とを接続する複数の配線同士の長さのばらつきが抑えられる。   Here, since a plurality of NAND memories 10 are provided in the semiconductor device 100, a plurality of wirings for connecting the resistance element 12 and the NAND memory 10 are also formed on the substrate 8. Since the resistance element 12 is disposed in the vicinity of the NAND memory 10, variations in length among a plurality of wirings connecting the resistance element 12 and the NAND memory 10 can be suppressed.

以上説明したように、電源回路5、ドライブ制御回路4、DRAM20、NANDメモリ10、SATA信号線14を配置することで、平面視において略長方形形状を呈する基板8上に、これらの各要素を適切に配置することができる。   As described above, by disposing the power supply circuit 5, the drive control circuit 4, the DRAM 20, the NAND memory 10, and the SATA signal line 14, each of these elements is appropriately arranged on the substrate 8 that has a substantially rectangular shape in plan view. Can be arranged.

また、電源回路5がコネクタ9の近傍、かつSATA信号線14を避けた位置に配置されることで、電源回路5から発生するノイズを他の要素やSATA信号線14が拾いにくくなり、半導体装置100の動作の安定性の向上を図ることができる。   Further, since the power supply circuit 5 is disposed in the vicinity of the connector 9 and away from the SATA signal line 14, it becomes difficult for other elements and the SATA signal line 14 to pick up noise generated from the power supply circuit 5, and the semiconductor device The stability of the operation of 100 can be improved.

また、DRAM20がSATA信号線14を避けた位置に配置されることで、DRAM20から発生するノイズをSATA信号線14が拾いにくくなり、半導体装置100の動作の安定性の向上を図ることができる。   Further, since the DRAM 20 is arranged at a position avoiding the SATA signal line 14, it becomes difficult for the SATA signal line 14 to pick up noise generated from the DRAM 20, and the operation stability of the semiconductor device 100 can be improved.

また、一般的にDRAM20はドライブ制御回路4の近傍に配置するのが好ましい。第1の実施の形態では、DRAM20をドライブ制御回路4の近傍に配置しているので、半導体装置100の性能特性の劣化を抑えることができる。   In general, the DRAM 20 is preferably arranged in the vicinity of the drive control circuit 4. In the first embodiment, since the DRAM 20 is arranged in the vicinity of the drive control circuit 4, it is possible to suppress deterioration in performance characteristics of the semiconductor device 100.

また、4つのNANDメモリ10のうち、2つのNANDメモリ10が基板8の一方の長辺側に寄せて配置され、残りの2つのNANDメモリ10が基板8の他方の長辺側に寄せて配置される。このように構成することで、配線パターンが基板8の一方に偏るのを抑えることができ、バランスよく配線パターンを形成することができる。   Of the four NAND memories 10, two NAND memories 10 are arranged close to one long side of the substrate 8, and the remaining two NAND memories 10 are arranged close to the other long side of the substrate 8. Is done. With this configuration, the wiring pattern can be prevented from being biased to one side of the substrate 8, and the wiring pattern can be formed in a well-balanced manner.

また、NANDメモリ10の近傍に抵抗素子12が配置されるため、抵抗素子12とNANDメモリ10とを接続する配線同士の長さのばらつきが抑えられるため、半導体装置100の性能特性の劣化を抑えることができる。   In addition, since the resistive element 12 is disposed in the vicinity of the NAND memory 10, variations in the lengths of the wirings connecting the resistive element 12 and the NAND memory 10 can be suppressed, so that deterioration in performance characteristics of the semiconductor device 100 can be suppressed. be able to.

また、基板8の裏面層L8において、SATA信号線14を除くほとんどの領域がグランド18となっているので、例えば、半導体装置100をホスト1に取り付けた状態でホスト1側の機器が半導体装置100の裏面層側に存在する場合、その装置からのノイズの影響が、半導体装置100の配線パターンや、NANDメモリ10などの各要素に及ぶのを抑えることができる。同様に、半導体装置100の配線パターンや各要素からのノイズの影響を、ホスト1側の装置が拾いにくくなる。   In addition, in the back surface layer L8 of the substrate 8, most of the region except the SATA signal line 14 is the ground 18. Therefore, for example, when the semiconductor device 100 is attached to the host 1, the device on the host 1 side is the semiconductor device 100. In this case, it is possible to suppress the influence of noise from the device from affecting the wiring pattern of the semiconductor device 100 and each element such as the NAND memory 10. Similarly, it becomes difficult for the device on the host 1 side to pick up the influence of noise from the wiring pattern and each element of the semiconductor device 100.

また、本実施の形態のように、コネクタ9部分で基板8の裏面層側に電極を形成する必要がある場合に、コネクタ9の近傍でSATA信号線14を基板8の裏面層L8まで貫通させることで、裏面層L8に形成されるSATA信号線14をより短くすることができる。これにより、ホスト1側の機器が半導体装置100の裏面層側に存在する場合、その装置からのノイズをSATA信号線14が拾いにくくなる。   Further, when it is necessary to form an electrode on the back layer side of the substrate 8 at the connector 9 portion as in the present embodiment, the SATA signal line 14 is penetrated to the back layer L8 of the substrate 8 in the vicinity of the connector 9. Thus, the SATA signal line 14 formed on the back surface layer L8 can be made shorter. Thereby, when the device on the host 1 side exists on the back layer side of the semiconductor device 100, it becomes difficult for the SATA signal line 14 to pick up noise from the device.

また、基板8において領域Sと重なる部分には、SATA信号線14以外の配線パターンがほとんど形成されていないため、SATA信号線14に対するインピーダンスの管理を容易にすることができる。   Further, since almost no wiring pattern other than the SATA signal line 14 is formed in the portion of the substrate 8 that overlaps the region S, the impedance management for the SATA signal line 14 can be facilitated.

なお、本実施の形態では、8層構造の基板8を例示したが、これに限られず、異なる層数の基板8であっても構わない。   In the present embodiment, the substrate 8 having the eight-layer structure is illustrated, but the present invention is not limited to this, and the substrate 8 having a different number of layers may be used.

図8は、第1の実施の形態の変形例1にかかる半導体装置100の概略構成を示す底面図である。図9は、ドライブ制御回路4とNANDメモリ10とを接続する配線の構成を示す図であって、基板8の層構成の概念図である。なお、図9では、図面の簡略化のために基板8の層構造の一部を省略して示している。   FIG. 8 is a bottom view showing a schematic configuration of the semiconductor device 100 according to Modification 1 of the first embodiment. FIG. 9 is a diagram showing the configuration of the wiring that connects the drive control circuit 4 and the NAND memory 10, and is a conceptual diagram of the layer configuration of the substrate 8. In FIG. 9, a part of the layer structure of the substrate 8 is omitted to simplify the drawing.

本変形例1では、基板8の裏面層側に対してもNANDメモリ10が搭載され、半導体装置100は8つのNANDメモリ10を備える。基板8の裏面層側に搭載されるNANDメモリ10は、基板8の表面層側に搭載されたNANDメモリ10と対称となる位置に配置される。   In the first modification, the NAND memory 10 is also mounted on the back layer side of the substrate 8, and the semiconductor device 100 includes eight NAND memories 10. The NAND memory 10 mounted on the back layer side of the substrate 8 is disposed at a position symmetrical to the NAND memory 10 mounted on the surface layer side of the substrate 8.

なお、抵抗素子12は、基板8の裏面層側には搭載されず、表面層側にのみ搭載される。そのため、抵抗素子12とNANDメモリ10とを接続する配線は、基板8の内層を引き回されてビアホール24によって分岐され、基板8の表面層L1だけでなく裏面層L8にも引き出される。そして、表面層L1に引き出された配線には表面層側に設けられたNANDメモリ10が接続され、裏面層L8に引き出された配線には裏面層側に設けられたNANDメモリ10が接続される。すなわち、1つの抵抗素子12に対して2つのNANDメモリ10が接続されることとなる。   The resistance element 12 is not mounted on the back surface layer side of the substrate 8 but only on the front surface layer side. Therefore, the wiring connecting the resistance element 12 and the NAND memory 10 is routed through the inner layer of the substrate 8 and branched by the via hole 24, and is drawn out not only to the surface layer L 1 of the substrate 8 but also to the back surface layer L 8. Then, the NAND memory 10 provided on the surface layer side is connected to the wiring drawn out to the surface layer L1, and the NAND memory 10 provided on the back surface layer side is connected to the wiring drawn out to the back surface layer L8. . That is, two NAND memories 10 are connected to one resistance element 12.

このように、基板8の両面にNANDメモリ10を搭載することで、半導体装置100の記憶容量をより大きくすることが可能となる。また、抵抗素子12に対して、途中で配線を分岐することで複数(本変形例では2つ)のNANDメモリ10を接続することができ、ドライブ制御回路4の有するチャンネル数以上のNANDメモリ10を半導体装置100に備えることが可能となる。本変形例では、ドライブ制御回路4が4つのチャンネルを有しているが、それに対して8つのNANDメモリ10を設けることが可能となっている。なお、1つの配線に対して接続された2つのNANDメモリ10のうち、いずれのNANDメモリ10が動作するかは、NANDメモリ10のCE(チップイネーブル)がアクティブになっているか否かによってNANDメモリ10自身が判断する。   As described above, by mounting the NAND memory 10 on both surfaces of the substrate 8, the storage capacity of the semiconductor device 100 can be further increased. Further, a plurality of (in this modification, two) NAND memories 10 can be connected to the resistance element 12 by branching the wiring on the way, and the NAND memories 10 having more channels than the drive control circuit 4 have. Can be provided in the semiconductor device 100. In this modification, the drive control circuit 4 has four channels, but eight NAND memories 10 can be provided for the four channels. Of the two NAND memories 10 connected to one wiring, which NAND memory 10 operates depends on whether CE (chip enable) of the NAND memory 10 is active or not. 10 Judgment itself.

(第2の実施の形態)
図10は、第2の実施の形態にかかる半導体装置の詳細な構成を示す平面図である。図11は、図10に示すA−A線に沿った矢視断面図である。なお、上記実施の形態と同様の構成については、同様の符号を付して詳細な説明を省略する。
(Second Embodiment)
FIG. 10 is a plan view showing a detailed configuration of the semiconductor device according to the second embodiment. FIG. 11 is a cross-sectional view taken along line AA shown in FIG. In addition, about the structure similar to the said embodiment, the same code | symbol is attached | subjected and detailed description is abbreviate | omitted.

第2の実施の形態では、半導体装置102が備える4つのNANDメモリ10のすべてが、基板8の一方の長辺、より具体的には電源回路5が設けられている側の長辺側に寄せて並列配置されている。そして、すべてのNANDメモリ10を一方の長辺側に寄せることで他方の長辺側に空いたスペースに、抵抗素子12がまとめて配置される。   In the second embodiment, all of the four NAND memories 10 included in the semiconductor device 102 are brought closer to one long side of the substrate 8, more specifically, to the long side on the side where the power supply circuit 5 is provided. Are arranged in parallel. Then, by bringing all the NAND memories 10 toward one long side, the resistance elements 12 are collectively arranged in a space vacated on the other long side.

一般的に、NANDメモリ10は、基板8上に搭載される他の要素よりも高く構成される場合が多い。そのため、基板8の他方の長辺に沿った領域Tのうち抵抗素子12がまとめて配置される部分では、図11に示すように、NANDメモリ10が配置される領域Uよりも半導体装置102の高さを低く抑えることができる。   In general, the NAND memory 10 is often configured higher than other elements mounted on the substrate 8. Therefore, in the region T where the resistive elements 12 are collectively arranged in the region T along the other long side of the substrate 8, as shown in FIG. 11, the semiconductor device 102 is located more than the region U where the NAND memory 10 is arranged. The height can be kept low.

したがって、半導体装置102の一部の領域を、規格などの要求によって他の領域よりも低くしなければならない場合には、その領域を避けるようにNANDメモリ10を配置することで、その要求を満足する半導体装置102を得ることができる場合がある。本実施の形態では、基板8の他方の長辺に沿った領域を他の領域よりも低くしなければならない場合を例に挙げている。なお、DRAM20や温度センサ7も領域Tに設けられている。しかしながら、DRAM20や温度センサ7もNANDメモリ10より低く構成される場合が多いため、領域T全体で、領域Uよりも半導体装置102の高さを低く抑えることができる。   Therefore, when a part of the region of the semiconductor device 102 must be made lower than the other region due to a requirement such as a standard, the NAND memory 10 is disposed so as to avoid the region, thereby satisfying the requirement. In some cases, the semiconductor device 102 can be obtained. In the present embodiment, the case where the region along the other long side of the substrate 8 must be lower than the other regions is taken as an example. The DRAM 20 and the temperature sensor 7 are also provided in the region T. However, since the DRAM 20 and the temperature sensor 7 are often configured lower than the NAND memory 10, the height of the semiconductor device 102 can be suppressed lower than the region U in the entire region T.

図12は、第2の実施の形態の変形例1にかかる半導体装置102の概略構成を示す底面図である。図13は、図12に示すB−B線に沿った矢視断面図である。本変形例1では、第1の実施の形態の変形例1と同様に、基板8の裏面層側であって、表面層側に配置されたNANDメモリ10と対称な位置にもNANDメモリ10を設けている。これにより、半導体装置102の記憶容量をより大きくすることが可能となる。   FIG. 12 is a bottom view illustrating a schematic configuration of the semiconductor device 102 according to the first modification of the second embodiment. 13 is a cross-sectional view taken along line BB shown in FIG. In the first modification, as in the first modification of the first embodiment, the NAND memory 10 is disposed on the back layer side of the substrate 8 and at a position symmetrical to the NAND memory 10 disposed on the front surface layer side. Provided. As a result, the storage capacity of the semiconductor device 102 can be further increased.

また、基板8の表面層側に配置されたNANDメモリ10と対称な位置にNANDメモリ10を設けることで、基板8の裏面層側でも一方の長辺側にNANDメモリ10が寄せて配置されるので、領域Tにおいて半導体装置102の高さを低く抑えることができる。   Further, by providing the NAND memory 10 at a position symmetrical to the NAND memory 10 arranged on the surface layer side of the substrate 8, the NAND memory 10 is arranged close to one long side also on the back surface layer side of the substrate 8. Therefore, the height of the semiconductor device 102 in the region T can be suppressed low.

また、抵抗素子12を基板8の表面層側のみに設けることや、1つの抵抗素子12に2つのNANDメモリ10を接続する構成や効果は、第1の実施の形態の変形例1で説明したものと同様である。   Further, the configuration and effect of providing the resistance element 12 only on the surface layer side of the substrate 8 and connecting the two NAND memories 10 to one resistance element 12 have been described in the first modification of the first embodiment. It is the same as that.

(第3の実施の形態)
図14は、第3の実施の形態にかかる半導体装置の概略構成を示す平面図である。なお、上記実施の形態と同様の構成については、同様の符号を付して詳細な説明を省略する。本実施の形態では、ドライブ制御回路4に対してコネクタ9側に2つのNANDメモリ10が配置され、その反対側にさらに2つのNANDメモリ10が配置される。すなわち、基板8の長手方向に沿って、ドライブ制御回路4を挟むように複数のNANDメモリ10が配置されている。
(Third embodiment)
FIG. 14 is a plan view showing a schematic configuration of the semiconductor device according to the third embodiment. In addition, about the structure similar to the said embodiment, the same code | symbol is attached | subjected and detailed description is abbreviate | omitted. In the present embodiment, two NAND memories 10 are arranged on the connector 9 side with respect to the drive control circuit 4, and two more NAND memories 10 are arranged on the opposite side. That is, a plurality of NAND memories 10 are arranged along the longitudinal direction of the substrate 8 so as to sandwich the drive control circuit 4.

このようにNANDメモリ10を分けて配置することで、4つのNANDメモリ10をドライブ制御回路4の一方側に並列配置するよりも、NANDメモリ10とドライブ制御回路4とを接続する配線の配線長のばらつきを抑えることができる。例えば、本実施の形態では、NANDメモリ10とドライブ制御回路4とを接続する配線のうち、一番短い配線と一番長い配線との比率は2倍程度に抑えることができる。一方、同じく4つのNANDメモリ10をドライブ制御回路4の一方側に並列配置した場合には、一番短い配線と一番長い配線との比率は4倍程度となってしまう。   By arranging the NAND memories 10 in this way, the wiring length of the wiring connecting the NAND memory 10 and the drive control circuit 4 is larger than arranging the four NAND memories 10 on one side of the drive control circuit 4 in parallel. The variation of can be suppressed. For example, in the present embodiment, the ratio of the shortest wiring to the longest wiring among the wirings connecting the NAND memory 10 and the drive control circuit 4 can be suppressed to about twice. On the other hand, when four NAND memories 10 are arranged in parallel on one side of the drive control circuit 4, the ratio of the shortest wiring to the longest wiring is about four times.

このように、本実施の形態では配線長のばらつきを抑えることで、NANDメモリ10に対する最適なドライバー設定の差を小さくすることができる。そのため、データのエラー発生を抑えて、半導体装置103の動作の安定化を図ることができる。   As described above, in the present embodiment, the difference in the optimal driver setting for the NAND memory 10 can be reduced by suppressing the variation in the wiring length. Therefore, the occurrence of data errors can be suppressed and the operation of the semiconductor device 103 can be stabilized.

ドライブ制御回路4に対してコネクタ9側に設けられるNANDメモリ10は、SATA信号線14の上方に設けられることとなる。本実施の形態では、NANDメモリ10に、BGA(Ball Grid Array)タイプのものが用いられているため、表面層L1にSATA信号線14を形成する場合には、NANDメモリ10に形成されたボール状電極(バンプ)を避ける必要がある。   The NAND memory 10 provided on the connector 9 side with respect to the drive control circuit 4 is provided above the SATA signal line 14. In this embodiment, since the NAND memory 10 is of the BGA (Ball Grid Array) type, when the SATA signal line 14 is formed in the surface layer L1, the ball formed in the NAND memory 10 is used. It is necessary to avoid the electrode (bump).

しかしながら、図15に示すように、NANDメモリ10の底面には多くのボール状電極25が設けられているため、ボール状電極25を避けてSATA信号線14を形成することは難しい。そこで、本実施の形態では、コネクタ9とドライブ制御回路4とを接続するSATA信号線14は、基板8の内層に形成されている。   However, as shown in FIG. 15, since many ball-shaped electrodes 25 are provided on the bottom surface of the NAND memory 10, it is difficult to avoid the ball-shaped electrodes 25 and form the SATA signal line 14. Therefore, in the present embodiment, the SATA signal line 14 that connects the connector 9 and the drive control circuit 4 is formed in the inner layer of the substrate 8.

また、基板8の一方の長辺側にNANDメモリ10が寄せて配置されるので、他方の長辺に沿った領域において半導体装置103の高さを低く抑えることができる。また、抵抗素子12をNANDメモリ10の近傍に配置することで半導体装置103の性能特性の劣化を抑えることができる。なお、半導体装置103が備えるNANDメモリ10の数は4つに限られず、複数であればそれ以上であっても構わない。   Further, since the NAND memory 10 is arranged close to one long side of the substrate 8, the height of the semiconductor device 103 can be kept low in a region along the other long side. Further, by disposing the resistance element 12 in the vicinity of the NAND memory 10, it is possible to suppress the deterioration of the performance characteristics of the semiconductor device 103. Note that the number of NAND memories 10 included in the semiconductor device 103 is not limited to four, and may be more than that as long as it is plural.

図16は、第3の実施の形態の変形例1にかかる半導体装置の概略構成を示す底面図である。本変形例1では、第1の実施の形態の変形例1と同様に、基板8の裏面層側であって、表面層側に配置されたNANDメモリ10と対称な位置にもNANDメモリ10を設けている。これにより、半導体装置103の記憶容量をより大きくすることが可能となる。   FIG. 16 is a bottom view illustrating a schematic configuration of the semiconductor device according to the first modification of the third embodiment. In the first modification, as in the first modification of the first embodiment, the NAND memory 10 is disposed on the back layer side of the substrate 8 and at a position symmetrical to the NAND memory 10 disposed on the front surface layer side. Provided. Thereby, the storage capacity of the semiconductor device 103 can be further increased.

また、基板8の表面層側に配置されたNANDメモリ10と対称な位置にNANDメモリ10を設けることで、基板8の裏面層側でも一方の長辺側にNANDメモリ10が寄せて配置されるので、他方の長辺に沿った領域において半導体装置103の高さを低く抑えることができる。   Further, by providing the NAND memory 10 at a position symmetrical to the NAND memory 10 arranged on the surface layer side of the substrate 8, the NAND memory 10 is arranged close to one long side also on the back surface layer side of the substrate 8. Therefore, the height of the semiconductor device 103 can be kept low in the region along the other long side.

また、抵抗素子12を基板8の表面層側のみに設けることや、1つの抵抗素子12に2つのNANDメモリ10を接続する構成や効果は、第1の実施の形態の変形例1で説明したものと同様である。   Further, the configuration and effect of providing the resistance element 12 only on the surface layer side of the substrate 8 and connecting the two NAND memories 10 to one resistance element 12 have been described in the first modification of the first embodiment. It is the same as that.

(第4の実施の形態)
図17は、第4の実施の形態にかかる半導体装置の概略構成を示す平面図である。なお、上記実施の形態と同様の構成については、同様の符号を付して詳細な説明を省略する。本実施の形態では、ドライブ制御回路4に対してコネクタ9側に1つのNANDメモリ10が配置され、その反対側にさらに1つのNANDメモリ10が配置される。すなわち、半導体装置104は2つのNANDメモリ10を備える。
(Fourth embodiment)
FIG. 17 is a plan view showing a schematic configuration of the semiconductor device according to the fourth embodiment. In addition, about the structure similar to the said embodiment, the same code | symbol is attached | subjected and detailed description is abbreviate | omitted. In the present embodiment, one NAND memory 10 is arranged on the connector 9 side with respect to the drive control circuit 4, and one NAND memory 10 is further arranged on the opposite side. That is, the semiconductor device 104 includes two NAND memories 10.

本実施の形態のように、ドライブ制御回路4を挟むように2つのNANDメモリ10を配置した場合には、ドライブ制御回路4とNANDメモリ10とを接続する複数の配線の長さを略等しくすることができる。一方、同じく2つのNANDメモリ10をドライブ制御回路4の一方側に並列配置した場合には、一番短い配線と一番長い配線との比率は2倍程度となってしまう。   When the two NAND memories 10 are arranged so as to sandwich the drive control circuit 4 as in the present embodiment, the lengths of a plurality of wirings connecting the drive control circuit 4 and the NAND memory 10 are made substantially equal. be able to. On the other hand, when two NAND memories 10 are arranged in parallel on one side of the drive control circuit 4, the ratio between the shortest wiring and the longest wiring is about twice.

このように、本実施の形態では複数の配線の配線長を略等しくすることで、NANDメモリ10に対する最適なドライバー設定も略等しくすることができる。そのため、データのエラー発生を抑えて、半導体装置104の動作の安定化を図ることができる。   Thus, in this embodiment, the optimal driver setting for the NAND memory 10 can be made substantially equal by making the wiring lengths of the plurality of wirings substantially equal. Therefore, the occurrence of data errors can be suppressed and the operation of the semiconductor device 104 can be stabilized.

なお、SATA信号線14は、第3の実施の形態と同様に、基板8の内層に形成されている。また、基板8の一方の長辺側にNANDメモリ10が寄せて配置されるので、他方の長辺に沿った領域において半導体装置104の高さを低く抑えることができる。また、抵抗素子12をNANDメモリ10の近傍に配置することで半導体装置104の性能特性の劣化を抑えることができる。   The SATA signal line 14 is formed in the inner layer of the substrate 8 as in the third embodiment. Further, since the NAND memory 10 is arranged close to one long side of the substrate 8, the height of the semiconductor device 104 can be kept low in a region along the other long side. Further, by disposing the resistance element 12 in the vicinity of the NAND memory 10, it is possible to suppress the deterioration of the performance characteristics of the semiconductor device 104.

図18は、第4の実施の形態の変形例1にかかる半導体装置の概略構成を示す底面図である。本変形例1では、第1の実施の形態の変形例1と同様に、基板8の裏面層側であって、表面層側に配置されたNANDメモリ10と対称な位置にもNANDメモリ10を設けている。これにより、半導体装置104の記憶容量をより大きくすることが可能となる。   FIG. 18 is a bottom view illustrating a schematic configuration of the semiconductor device according to the first modification of the fourth embodiment. In the first modification, as in the first modification of the first embodiment, the NAND memory 10 is disposed on the back layer side of the substrate 8 and at a position symmetrical to the NAND memory 10 disposed on the front surface layer side. Provided. Thereby, the storage capacity of the semiconductor device 104 can be further increased.

また、基板8の表面層側に配置されたNANDメモリ10と対称な位置にNANDメモリ10を設けることで、基板8の裏面層側でも一方の長辺側にNANDメモリ10が寄せて配置されるので、他方の長辺に沿った領域において半導体装置104の高さを低く抑えることができる。   Further, by providing the NAND memory 10 at a position symmetrical to the NAND memory 10 arranged on the surface layer side of the substrate 8, the NAND memory 10 is arranged close to one long side also on the back surface layer side of the substrate 8. Therefore, the height of the semiconductor device 104 can be kept low in the region along the other long side.

また、抵抗素子12を基板8の表面層側のみに設けることや、1つの抵抗素子12に2つのNANDメモリ10を接続する構成や効果は、第1の実施の形態の変形例1で説明したものと同様である。   Further, the configuration and effect of providing the resistance element 12 only on the surface layer side of the substrate 8 and connecting the two NAND memories 10 to one resistance element 12 have been described in the first modification of the first embodiment. It is the same as that.

1 ホスト、2 SATAインタフェース(ATA /IF)、3 通信インタフェース、4 ドライブ制御回路(コントローラ)、5 電源回路、7 温度センサ、8 基板、9 コネクタ、9a スリット、10 NANDメモリ(NAND型フラッシュメモリ,不揮発性半導体記憶素子)、12 抵抗素子、12a 抵抗皮膜、12b 保護膜、12c 電極、14 SATA信号線(信号線)、15 ビアホール、18 グランド、20 DRAM(揮発性半導体記憶素子)、21,22,23,24 ビアホール、25 ボール状電極、100,102,103,104 半導体装置、200 デバッグ用機器、S,T,U 領域。   1 host, 2 SATA interface (ATA / IF), 3 communication interface, 4 drive control circuit (controller), 5 power supply circuit, 7 temperature sensor, 8 substrate, 9 connector, 9a slit, 10 NAND memory (NAND flash memory, Nonvolatile semiconductor memory element), 12 resistance element, 12a resistance film, 12b protective film, 12c electrode, 14 SATA signal line (signal line), 15 via hole, 18 ground, 20 DRAM (volatile semiconductor memory element), 21, 22 , 23, 24 Via hole, 25 Ball electrode, 100, 102, 103, 104 Semiconductor device, 200 Debugging equipment, S, T, U region.

Claims (24)

多層配線基板と、
この多層配線基板の第1の主面に設けられる揮発性半導体素子と、
この多層配線基板の前記第1の主面に設けられる第1の不揮発性半導体素子と、
この多層配線基板の前記第1の主面に設けられる第2の不揮発性半導体素子と、
この多層配線基板の前記第1の主面とは反対方向を向いた第2の主面に設けられる第3の不揮発性半導体素子と、
この多層配線基板の前記第2の主面に設けられる第4の不揮発性半導体素子と、
この多層配線基板の前記第1の主面に設けられ、これら4つの前記不揮発性半導体素子及び前記揮発性半導体素子を制御するコントローラと、
前記多層配線基板に設けられたコネクタと、
このコネクタと前記コントローラとを接続する第1の信号線と、
このコントローラと前記揮発性半導体素子とを接続する第2の信号線と、
このコントローラと前記第1及び第3の不揮発性半導体素子とを接続する第3の信号線と、
このコントローラと前記第2及び第4の不揮発性半導体素子とを接続する第4の信号線と、
を備える半導体メモリ装置であって、
前記第1の不揮発性半導体素子と、前記第3の不揮発性半導体素子とは、前記多層配線基板に対し対称の位置に設けられており、
前記第2の不揮発性半導体素子と、前記第4の不揮発性半導体素子とは、前記多層配線基板に対し対称の位置に設けられており、
前記第3の信号線は、第1の共通信号線と、前記第1の共通信号線から分岐して、前記第1の不揮発性半導体素子と接続される信号線と、前記第3の不揮発性半導体素子と接続される信号線とを備え、
前記第4の信号線は、第2の共通信号線と、前記第2の共通信号線から分岐して、前記第2の不揮発性半導体素子と接続される信号線と、前記第4の不揮発性半導体素子と接続される信号線とを備え、
前記多層配線基板は、平面視において、前記第1の信号線が設けられた第1の領域と、前記第3または第4の信号線が設けられた領域とが重複しないように構成される半導体メモリ装置。
A multilayer wiring board;
A volatile semiconductor element provided on the first main surface of the multilayer wiring board;
A first nonvolatile semiconductor element provided on the first main surface of the multilayer wiring board;
A second nonvolatile semiconductor element provided on the first main surface of the multilayer wiring board;
A third non-volatile semiconductor element provided on a second main surface of the multilayer wiring board facing away from the first main surface;
A fourth nonvolatile semiconductor element provided on the second main surface of the multilayer wiring board;
A controller for controlling the four nonvolatile semiconductor elements and the volatile semiconductor elements provided on the first main surface of the multilayer wiring board;
A connector provided on the multilayer wiring board;
A first signal line connecting the connector and the controller;
A second signal line connecting the controller and the volatile semiconductor element;
A third signal line connecting the controller and the first and third nonvolatile semiconductor elements;
A fourth signal line connecting the controller and the second and fourth nonvolatile semiconductor elements;
A semiconductor memory device comprising:
The first nonvolatile semiconductor element and the third nonvolatile semiconductor element are provided at symmetrical positions with respect to the multilayer wiring board,
The second nonvolatile semiconductor element and the fourth nonvolatile semiconductor element are provided at symmetrical positions with respect to the multilayer wiring board,
The third signal line includes a first common signal line, a signal line branched from the first common signal line and connected to the first nonvolatile semiconductor element, and the third nonvolatile line. A signal line connected to the semiconductor element,
The fourth signal line includes a second common signal line, a signal line branched from the second common signal line and connected to the second nonvolatile semiconductor element, and the fourth nonvolatile line. A signal line connected to the semiconductor element,
The multilayer wiring board is a semiconductor configured such that the first region provided with the first signal line and the region provided with the third or fourth signal line do not overlap in a plan view. Memory device.
前記多層配線基板は、平面視において、前記第1の領域と、前記第2の信号線が設けられた領域とが重複しないように構成される請求項1に記載の半導体メモリ装置。   2. The semiconductor memory device according to claim 1, wherein the multilayer wiring board is configured such that the first region and the region provided with the second signal line do not overlap in a plan view. 前記第3の信号線に接続された前記第1及び第3の不揮発性半導体素子は、チップイネーブルがアクティブか否かに基づいて、いずれの不揮発性半導体素子が動作するか選択されるように構成されている請求項1または請求項2に記載の半導体メモリ装置。   The first and third nonvolatile semiconductor elements connected to the third signal line are configured to select which nonvolatile semiconductor element operates based on whether or not chip enable is active. 3. The semiconductor memory device according to claim 1, wherein the semiconductor memory device is provided. 前記第1の共通信号線の途中に設けられ、前記コントローラと、前記第1または第3の不揮発性半導体素子との間の信号に対する抵抗として機能する第1抵抗と、前記第2の共通信号線の途中に設けられ、前記コントローラと、前記第2または第4の不揮発性半導体素子との間の信号に対する抵抗として機能する第2抵抗と、を備える請求項1から請求項3の何れか1項に記載の半導体メモリ装置。   A first resistor provided in the middle of the first common signal line and functioning as a resistance to a signal between the controller and the first or third nonvolatile semiconductor element; and the second common signal line. And a second resistor that functions as a resistor for a signal between the controller and the second or fourth nonvolatile semiconductor element. 5. The semiconductor memory device described in 1. 前記第1の共通信号線と前記第1抵抗は前記多層配線基板の前記第1の主面に形成される層で接続され、前記第2の共通信号線と前記第2抵抗は前記多層配線基板の前記第1の主面に形成される層で接続される請求項4に記載の半導体メモリ装置。   The first common signal line and the first resistor are connected by a layer formed on the first main surface of the multilayer wiring board, and the second common signal line and the second resistor are connected to the multilayer wiring board. The semiconductor memory device according to claim 4, wherein the semiconductor memory devices are connected by a layer formed on the first main surface. 前記第1の主面に設けられる電源回路を更に備え、
この電源回路は、外部から前記コネクタを介して供給される電源に基づいて内部電圧を生成し、前記生成された内部電圧を前記第1乃至第4の不揮発性半導体素子へ供給するように構成される請求項1から請求項5の何れか1項に記載の半導体メモリ装置。
A power circuit provided on the first main surface;
The power supply circuit is configured to generate an internal voltage based on power supplied from the outside via the connector and supply the generated internal voltage to the first to fourth nonvolatile semiconductor elements. The semiconductor memory device according to claim 1.
前記コネクタは、ホストと接続可能であり、前記ホストから入力された電源を前記電源回路に供給する請求項6に記載の半導体メモリ装置。   The semiconductor memory device according to claim 6, wherein the connector is connectable to a host, and supplies power supplied from the host to the power supply circuit. 前記コネクタは前記多層配線基板の一端部に設けられ、
前記第1から第2の不揮発性半導体素子は、平面視において、前記コントローラの位置から見て前記コネクタとは反対側に設けられる請求項1から請求項7の何れか1項に記載の半導体メモリ装置。
The connector is provided at one end of the multilayer wiring board,
8. The semiconductor memory according to claim 1, wherein the first to second nonvolatile semiconductor elements are provided on a side opposite to the connector when viewed from the position of the controller in a plan view. apparatus.
前記揮発性半導体素子は、平面視において、前記コントローラの位置から見て前記コネクタと同じ側に設けられる請求項8に記載の半導体メモリ装置。   The semiconductor memory device according to claim 8, wherein the volatile semiconductor element is provided on the same side as the connector when viewed from a position of the controller in a plan view. 前記第1の主面に設けられる第5の不揮発性半導体素子及び第6の不揮発性半導体素子をさらに備え、
前記多層配線基板の第1の長辺に沿って、前記コントローラ、前記第1の不揮発性半導体素子、前記第2の不揮発性半導体素子、前記第5の不揮発性半導体素子、前記第6の不揮発性半導体素子の順に配置される請求項1から請求項9の何れか1項に記載の半導体メモリ装置。
A fifth nonvolatile semiconductor element and a sixth nonvolatile semiconductor element provided on the first main surface;
Along the first long side of the multilayer wiring board, the controller, the first nonvolatile semiconductor element, the second nonvolatile semiconductor element, the fifth nonvolatile semiconductor element, and the sixth nonvolatile semiconductor element The semiconductor memory device according to claim 1, which is arranged in the order of semiconductor elements.
前記コネクタは、前記第2の主面側に設けられる電極をさらに備える請求項1から請求項10の何れか1項に記載の半導体メモリ装置。   The semiconductor memory device according to claim 1, wherein the connector further includes an electrode provided on the second main surface side. 前記多層配線基板は、前記第1の主面に形成される第1層と、前記第2の主面に形成される第2層と、前記第1層と前記第2層との間に設けられた複数の第3層と、を含み、
前記第1の信号線は、前記コントローラに接続され前記第1層を通る信号線と、前記複数の第3層を貫通して前記第2層へ到達する信号線と、前記第2層を通って前記電極に接続される信号線と、を含む請求項11に記載の半導体メモリ装置。
The multilayer wiring board is provided between a first layer formed on the first main surface, a second layer formed on the second main surface, and the first layer and the second layer. A plurality of third layers formed, and
The first signal line is connected to the controller and passes through the first layer, the signal line that passes through the plurality of third layers and reaches the second layer, and the second layer. The semiconductor memory device according to claim 11, further comprising: a signal line connected to the electrode.
前記第1から第2の不揮発性半導体素子の各々は前記第1の主面と向かい合う第1の面を有し、前記第1から第2の不揮発性半導体素子の各々は前記第1の面にボール状電極を備える請求項1から請求項12の何れか1項に記載の半導体メモリ装置。   Each of the first to second nonvolatile semiconductor elements has a first surface facing the first main surface, and each of the first to second nonvolatile semiconductor elements is formed on the first surface. The semiconductor memory device according to claim 1, further comprising a ball-shaped electrode. 前記不揮発性半導体素子は、NAND型フラッシュメモリである請求項1から請求項13の何れか1項に記載の半導体メモリ装置。   The semiconductor memory device according to claim 1, wherein the nonvolatile semiconductor element is a NAND flash memory. 第1の辺と、これに垂直な第2の辺とを備え、第1の主面に配線パターンが形成された第1の信号層と、第2の主面に第2の配線パターンが形成された第2の信号層と、配線パターンが形成された内部信号層とを更に備え、かつ、前記第1の辺に外部機器と接続するためのコネクタが設けられた多層配線基板と、
前記第1の信号層に搭載される第1の不揮発性半導体メモリと、
前記第2の信号層に搭載される第2の不揮発性半導体メモリと、
前記第1の信号層に搭載される第1の抵抗素子と、
前記多層配線基板に搭載される揮発性メモリと、
前記多層配線基板に搭載され、前記揮発性メモリならびに前記第1及び第2の不揮発性半導体メモリを制御するためのコントローラと、
前記コントローラと前記第1の抵抗素子とを接続する第1の信号線と、
前記第1の抵抗素子と前記第1の不揮発性半導体メモリとを接続する第2の信号線と、
この第2の信号線から分岐し、前記第2の不揮発性半導体メモリと接続する第3の信号線とを備える半導体記憶装置であって、
前記第1の不揮発性半導体メモリと、前記第2の不揮発性半導体メモリとは、前記多層配線基板に対して対称に配置されており、
前記第2の信号線は、第1の信号層に形成される第1の部分と、前記内部信号層に形成される第2の部分と、この第1の部分と第2の部分とを接続するために前記第1の主面とほぼ垂直方向に伸びる第3の部分と、前記第2の部分と前記第1の不揮発性半導体メモリとを接続するために前記第1の主面とほぼ垂直方向に伸びる第4の部分とを備え、
前記第3の信号線は、前記第2の部分から分岐して、前記第2の不揮発性半導体メモリと接続するために前記第1の主面とほぼ垂直方向に伸びる第5の部分とを備えることを特徴とする半導体メモリ装置。
A first signal layer having a first side and a second side perpendicular to the first side and having a wiring pattern formed on the first main surface, and a second wiring pattern formed on the second main surface A multilayer wiring board further comprising a second signal layer formed and an internal signal layer on which a wiring pattern is formed, and a connector for connecting to an external device on the first side;
A first nonvolatile semiconductor memory mounted on the first signal layer;
A second non-volatile semiconductor memory mounted on the second signal layer;
A first resistance element mounted on the first signal layer;
A volatile memory mounted on the multilayer wiring board;
A controller mounted on the multilayer wiring board for controlling the volatile memory and the first and second nonvolatile semiconductor memories;
A first signal line connecting the controller and the first resistance element;
A second signal line connecting the first resistance element and the first nonvolatile semiconductor memory;
A semiconductor memory device comprising a third signal line branched from the second signal line and connected to the second nonvolatile semiconductor memory,
The first nonvolatile semiconductor memory and the second nonvolatile semiconductor memory are arranged symmetrically with respect to the multilayer wiring board,
The second signal line connects the first part formed in the first signal layer, the second part formed in the internal signal layer, and the first part and the second part. A third portion extending in a direction substantially perpendicular to the first main surface, and a second portion substantially perpendicular to the first main surface for connecting the second portion and the first nonvolatile semiconductor memory. A fourth portion extending in the direction,
The third signal line includes a fifth portion branched from the second portion and extending in a direction substantially perpendicular to the first main surface to connect to the second nonvolatile semiconductor memory. A semiconductor memory device.
前記コネクタは、前記多層配線基板の第1の短辺に設けられる請求項15に記載の半導体メモリ装置。   The semiconductor memory device according to claim 15, wherein the connector is provided on a first short side of the multilayer wiring board. 前記第1及び第2の不揮発性半導体メモリは、平面視において、前記コントローラが設けられる領域の位置から見て前記コネクタとは反対側に設けられる請求項15または請求項16に記載の半導体メモリ装置。   17. The semiconductor memory device according to claim 15, wherein the first and second nonvolatile semiconductor memories are provided on a side opposite to the connector as viewed from a position of an area where the controller is provided in a plan view. . 前記コントローラは、前記コネクタを介して第1のインタフェース規格に従って第1の外部装置と通信可能であり、かつ、前記コネクタを介して第2のインタフェース規格に従って第2の外部装置と通信可能な請求項15から請求項17の何れか1項に記載の半導体メモリ装置。   The controller can communicate with a first external device according to a first interface standard via the connector and can communicate with a second external device according to a second interface standard via the connector. The semiconductor memory device according to claim 15. 前記第1のインタフェース規格は、SATAインタフェース規格である請求項18に記載の半導体メモリ装置。   The semiconductor memory device according to claim 18, wherein the first interface standard is a SATA interface standard. 前記第1の抵抗素子は、前記第1の不揮発性半導体メモリの近傍に搭載される請求項15から請求項19の何れか1項に記載の半導体メモリ装置。   The semiconductor memory device according to claim 15, wherein the first resistance element is mounted in the vicinity of the first nonvolatile semiconductor memory. 前記第1の信号層に搭載される第3の不揮発性半導体メモリと、
前記第2の信号層に搭載される第4の不揮発性半導体メモリと、
前記第1の信号層に搭載される第2の抵抗素子と、
前記コントローラと前記第2の抵抗素子とを接続する第4の信号線と、
前記第2の抵抗素子と前記第3の不揮発性半導体メモリとを接続する第5の信号線と、
前記第5の信号線から分岐し、前記第4の不揮発性半導体メモリと接続する第6の信号線と、をさらに備え、
前記第3の不揮発性半導体メモリと、前記第4の不揮発性半導体メモリとは、前記多層配線基板に対して対称に配置されており、
前記第5の信号線は、前記第1の信号層に形成される第6の部分と、前記内部信号層に形成される第7の部分と、前記第6の部分と前記第7の部分とを接続するために前記第1の主面とほぼ垂直方向に伸びる第8の部分と、前記第7の部分と前記第1の不揮発性半導体メモリとを接続するために前記第1の主面とほぼ垂直方向に伸びる第9の部分とを備え、
前記第6の信号線は、前記第7の部分から分岐して、前記第4の不揮発性半導体メモリと接続するために前記第1の主面とほぼ垂直方向に伸びる第10の部分とを備える請求項15から請求項20の何れか1項に記載の半導体メモリ装置。
A third nonvolatile semiconductor memory mounted on the first signal layer;
A fourth nonvolatile semiconductor memory mounted on the second signal layer;
A second resistance element mounted on the first signal layer;
A fourth signal line connecting the controller and the second resistance element;
A fifth signal line connecting the second resistance element and the third nonvolatile semiconductor memory;
A sixth signal line branched from the fifth signal line and connected to the fourth nonvolatile semiconductor memory,
The third nonvolatile semiconductor memory and the fourth nonvolatile semiconductor memory are arranged symmetrically with respect to the multilayer wiring board,
The fifth signal line includes a sixth portion formed in the first signal layer, a seventh portion formed in the internal signal layer, the sixth portion, and the seventh portion. An eighth portion extending in a direction substantially perpendicular to the first main surface to connect the first main surface, and the first main surface to connect the seventh portion and the first nonvolatile semiconductor memory. A ninth portion extending in a substantially vertical direction,
The sixth signal line includes a tenth portion branched from the seventh portion and extending in a direction substantially perpendicular to the first main surface to connect to the fourth nonvolatile semiconductor memory. The semiconductor memory device according to claim 15.
前記多層配線基板に搭載される電源回路を更に備え、
前記電源回路は、外部から前記コネクタを介して供給される電源に基づいて内部電圧を生成し、前記生成された内部電圧を前記第1及び第2の不揮発性半導体メモリへ供給するように構成される請求項15から請求項21の何れか1項に記載の半導体メモリ装置。
Further comprising a power circuit mounted on the multilayer wiring board,
The power supply circuit is configured to generate an internal voltage based on power supplied from the outside via the connector and supply the generated internal voltage to the first and second nonvolatile semiconductor memories. The semiconductor memory device according to any one of claims 15 to 21.
前記コントローラと前記揮発性半導体メモリは前記第1の信号層に設けられる請求項15から請求項22の何れか1項に記載の半導体メモリ装置。   The semiconductor memory device according to any one of claims 15 to 22, wherein the controller and the volatile semiconductor memory are provided in the first signal layer. 前記第1の信号線は、前記第1の信号層に形成される第11の部分と、前記内部信号層のうち前記第2の部分が形成される信号層とは異なる信号層に形成される第12の部分と、前記第11の部分と前記第12の部分とを接続する第13の部分と、前記第12の部分と前記コントローラとを接続する第14の部分とを備える請求項15から請求項23の何れか1項に記載の半導体メモリ装置。   The first signal line is formed in a signal layer different from an eleventh portion formed in the first signal layer and a signal layer in which the second portion of the internal signal layers is formed. 16. A twelfth portion, a thirteenth portion connecting the eleventh portion and the twelfth portion, and a fourteenth portion connecting the twelfth portion and the controller. 24. The semiconductor memory device according to claim 23.
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