JP5936938B2 - 極低温蓄冷器の製造方法 - Google Patents
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Description
両端が開放されたヘリウムガス封入配管にヘリウムガスを供給する工程と、
前記ヘリウムガス封入配管の終端部を閉塞する工程と、
前記ヘリウムガス封入配管を冷却した状態でヘリウムガス供給手段から前記ヘリウムガス封入配管内に前記ヘリウムガスを充填する工程と、
前記ヘリウムガス封入配管内に前記ヘリウムガスが充填された後、前記ヘリウムガス封入配管の始端部を閉塞する工程と、
を有することを特徴とする極低温蓄冷器の製造方法により解決することができる。
ヘリウムガスを蓄冷材とする極低温蓄冷器であって、
芯材と、
両端部が閉塞されることにより内部に前記ヘリウムガスが封入されたヘリウムガス封入配管とを有し、
前記ヘリウムガス封入配管を前記芯材にコイル状に巻回したことを特徴とする極低温蓄冷器により解決することができる。
先ず、バルブ5が閉、バルブ6が閉の状態で、第1段ディスプレーサ22及び第2段ディスプレーサ52が、それぞれ、第1段シリンダ20及び第2段シリンダ51内の下死点にあるとする。
3 ガス圧縮機
10 コールドヘッド
15 第1段冷却部
20 第1段シリンダ
22 第1段ディスプレーサ
30 第1段蓄冷器
31 第1段膨張室
35 第1段冷却ステージ
40 第2段冷却部
51 第2段シリンダ
52 第2段ディスプレーサ
55 第2段膨張室
56 第2段冷却ステージ
60A 蓄冷器(第2段蓄冷器)
60B 蓄冷器
62 芯材
64 ヘリウムガス封入配管
64A 始端部
64B 終端部
66A カバー部材
67 ケース
68 ヘリウムガス封入配管巻回体
69 閉塞部
70 ヘリウムガス充填装置
72 液体窒素容器
73 液体窒素
75,76 ガス供給装置
77 磁性蓄冷材
80A〜80D 蓄冷器ユニット
82A 高温側領域
82B 低温側領域
Claims (6)
- 両端が開放されたヘリウムガス封入配管を芯材にコイル状に巻回してヘリウムガス封入配管巻回体を製造する工程と、
前記ヘリウムガス封入配管巻回体内にヘリウムガスを供給する工程と、
前記ヘリウムガス封入配管巻回体の終端部を閉塞する工程と、
前記ヘリウムガス封入配管巻回体を冷却した状態でヘリウムガス供給手段から前記ヘリウムガス封入配管巻回体内に前記ヘリウムガスを充填する工程と、
前記ヘリウムガス封入配管巻回体内に前記ヘリウムガスが充填された後、前記ヘリウムガス封入配管巻回体の始端部を閉塞する工程と、
を有し、
前記終端部を閉塞する工程は前記終端部を潰す工程を含み、前記始端部を閉塞する工程は前記始端部を潰す工程を含む、
極低温蓄冷器の製造方法。 - 前記終端部を閉塞する工程は、前記ヘリウムガス封入配管巻回体を冷却する前に行われる、
請求項1に記載の極低温蓄冷器の製造方法。 - 前記終端部を閉塞する工程は、前記終端部を潰した後、熱溶着することにより閉塞する工程を含み、前記始端部を閉塞する工程は、前記始端部を潰した後、熱溶着することにより閉塞する工程を含む、
請求項1又は2に記載の極低温蓄冷器の製造方法。 - 前記ヘリウムガス封入配管は、外径が0.1mm以上0.5mm以下であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の極低温蓄冷器の製造方法。
- 前記ヘリウムガス封入配管内における前記ヘリウムガスの圧力は、温度が3K以上15K以下において、0.4MPa以上2.2MPa以下である、
請求項1乃至4のいずれか一項に記載の極低温蓄冷器の製造方法。 - 前記ヘリウムガス封入配管は、銅又はステンレスにより形成されている、
請求項1乃至5のいずれか一項に記載の極低温蓄冷器の製造方法。
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