JP5928025B2 - センサー基板およびその製造方法並びに検出装置 - Google Patents
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Description
図1は第1実施形態に係るセンサー基板11を概略的に示す。センサー基板11は円形の輪郭すなわちディスク形に形成される。センサー基板11の表面には複数の金属ナノ構造体が配置される。金属ナノ構造体はセンサー基板11の表面で配列12を形成する。配列12は同心円パターンで規定される。同心円パターンは同心の環状線13を有する。環状線13は例えば均一なピッチで配置される。すなわち、環状線13同士は等間隔で分離される。センサー基板11の中心には取り付け用の円形開口14が形成される。こうした同心円パターンに代えて螺旋円パターンが配列に用いられてもよい。
次にセンサー基板11の製造方法を説明する。まず、図5に示されるように、磁気記録ディスク31が用意される。磁気記録ディスク31は基体17を備える。基体17の表面には、下地層19、磁性体材料層18および保護層21が順番に積層される。
図14は第2実施形態に係るセンサー基板11aを概略的に示す。センサー基板11aは、前述のセンサー基板11と同様に、基体17、下地層19、磁性体材料層18、保護層21および金属ナノ構造体15を備える。ナノ粒子22の整列にあたって磁性体材料層18には磁化パターン26aが書き込まれる。ここでは、磁性体材料層18には垂直方向に沿って特定の磁化方向54に磁化が確立される。円周方向に特定の間隔で磁力のピーク値が現れる。こうしたピーク値上で金属ナノ構造体15が整列し金属ナノ構造体列16を形成する。その他、第1実施形態と均等な構成や構造には同一の参照符号が付され、重複する説明は割愛される。
図16は一実施形態に係る標的分子検出装置(検出装置)62を概略的に示す。標的分子検出装置62はセンサーユニット63を備える。センサーユニット63には導入通路64と排出通路65とが個別に接続される。導入通路64からセンサーユニット63に気体は導入される。センサーユニット63から排出通路65に気体は排出される。導入通路64の通路入口66にはフィルター67が設置される。フィルター67は例えば気体中の塵埃や水蒸気を除去することができる。排出通路65の通路出口68には吸引ユニット69が設置される。吸引ユニット69は送風ファンで構成される。送風ファンの作動に応じて気体は導入通路64、センサーユニット63および排出通路65を順番に流通する。こうした気体の流通経路内でセンサーユニット63の前後にはシャッター(図示されず)が設置される。シャッターの開閉に応じてセンサーユニット63内に気体は閉じ込められることができる。
図18は他の実施形態に係る標的分子検出装置(検出装置)111を概略的に示す。標的分子検出装置111は駆動ユニット112を備える。駆動ユニット112は例えばステップモーターで構成されることができる。ステップモーターにはセンサー基板11(11a)が装着される。ステップモーターは同心円パターンの中心回りでセンサー基板11(11a)を回転駆動する。センサー基板11(11a)の表面は回転軸に直交する。ステップモーターは一定の回転角で間欠的にセンサー基板11(11a)を回転させることができる。センサー基板11(11a)の表面には所定の中心角で均等にセクター領域113が区画されることができる。ステップモーターの回転角はセクター領域113の中心角に対応すればよい。
Claims (10)
- 基体と、
前記基体の表面に磁性体材料で形成された磁性体材料層と、
前記磁性体材料層の表面に固定され、かつ配列された磁性体材料のナノ粒子と、
前記ナノ粒子の表面に形成された、光に共鳴振動する自由電子を有する金属膜と
を備え、
前記基体は円形に形成され、前記配列は同心円パターンまたは螺旋円パターンであることを特徴とするセンサー基板。 - 請求項1に記載のセンサー基板において、前記磁性体材料層には、前記ナノ粒子に作用する磁界を形成する磁化パターンが書き込まれることを特徴とするセンサー基板。
- 請求項1または2に記載のセンサー基板において、前記金属膜は前記ナノ粒子同士の間に空隙を区画することを特徴とするセンサー基板。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載のセンサー基板において、前記センサー基板を母材として複数に分割され、個片化した形状であることを特徴とするセンサー基板。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載のセンサー基板において、前記金属膜が金、銀、またはこれらを含む合金であることを特徴とするセンサー基板。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載のセンサー基板と、
前記センサー基板に向かって前記光を出力する光源と、
前記光の照射に応じて前記金属膜から放射される光を検出する受光素子と
を備えることを特徴とする検出装置。 - 請求項1に記載のセンサー基板と、
前記同心円パターンの中心回りで前記センサー基板を回転駆動する駆動ユニットと、
前記センサー基板に向かって前記照射光を出力する光源と、
前記照射光の照射に応じて前記金属膜から放射される光を検出する受光素子と
を備えることを特徴とする検出装置。 - 磁性体材料で形成され基体の表面に広がる磁性体材料層に、予め決められた配列に応じて磁化パターンを書き込む工程と、
前記磁性体材料層の表面に、磁性体材料で形成されるナノ粒子を供給し、前記磁化パターンに倣って前記ナノ粒子の配列を形成する工程と、
前記磁化パターンの磁化で前記磁性体材料層の表面に保持される前記ナノ粒子に被さる金属膜を形成する工程と
を備え、
前記磁化パターンの書き込みにあたって、
前記磁性体材料層の表面に、前記磁化パターンに倣って所定の間隔で磁性体を重ねる工程と、
前記磁性体に磁束を作用させ、前記磁性体の漏れ磁界で前記磁性体材料層内に磁化を確立する工程と、を備えることを特徴とするセンサー基板の製造方法。 - 請求項9に記載のセンサー基板の製造方法において、前記ナノ粒子の供給にあたって磁気ブラシが用いられることを特徴とするセンサー基板の製造方法。
- 請求項9または10に記載のセンサー基板の製造方法において、前記金属膜の形成にあたって斜め蒸着または斜めスパッタリングが用いられることを特徴とするセンサー基板の製造方法。
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