JP5920796B2 - X線反射装置の製造方法 - Google Patents
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Description
X線(波長約1nm)に対する物質の屈折率は、1よりもわずかに小さいために、可視光(波長約300nm)のようにレンズで集光することができない。かわりにX線を「反射鏡」上で全反射させる斜入射光学系が主に利用されている。特に反射鏡を回転放物面と回転双曲面上に固定し、2回全反射させて集光・結像させるウォルターI型と呼ばれる設計が主流である。またできるだけ多くの宇宙X線を集光させるために同心円上に数枚から数百枚も反射鏡を並べている。
キーワードは「重量」と「角度分解能」である。
ウォルター1型光学系に合致するように鏡面形状を直接研磨する。鏡面を正確な理想2次曲面に加工することができるので、角分解能は、非常に小さくなる。しかしながら、鏡面基板が厚くなり、さらには有効面積(有効面積=あるエネルギーのX線の光軸方向からみた反射面積×反射率)を増大するために口径を大きくしなければならず、結果として重量が大きくなるところが米国的である。
非球面に研磨形成された雄型の母型からレプリカ鏡をつくり、基板を薄くして製作する。角度分解能も重量も比較的優れている。中間的だが存在感があるところが欧州的である(非特許文献1参照)。
非常に薄い基板上にレプリカ法を利用して反射材を写しとって製作する。反射面を回転2次曲面の代わりに円錐面に近似して、かつ基板形状誤差等により角度分解能がこれまでのものに比べて悪くなっているが、軽量なのが日本製の特徴である。
そこで、本発明の課題は、簡易に製造でき、軽量かつ結像性能の良いX線集光結像系であって、反射率及びエネルギー帯域が飛躍的に向上したX線光学装置を提供することである。
ALDとは、薄膜を原子層単位で形成する技術である。図4にALDの成膜メカニズムを示す。2種類の反応物を原料として膜を作製する場合には、
(1)ステップ1:形成しようとする薄膜の構成元素を含有する第1反応物を基板へ供給し、化学吸着させ、
(2)ステップ2:過剰な第1反応物及び副生成物を排気し、
(3)ステップ3:第2反応物を供給し、基板に吸着した第1反応物と反応させた後、
(4)ステップ4:過剰な第2反応物及び副生成物を排気する。
以上の一連の動作を1サイクルとし、サイクル数を制御することで所望の膜厚を得る。反応過程において、表面反応の自己停止機構が作用するため、膜厚均一性、膜厚制御性、段差被覆性に優れた膜を作製することが可能である。
また、上記には、主に重金属から成る薄膜の例としては、酸化ハフニウムを示したが、その他の例としては、酸化物では、酸化タンタル、酸化チタニウム、酸化ランタン、酸化亜鉛等、窒化物では、窒化チタン、窒化タンタル、窒化ハフニウム等、金属では、ルビジウム、銅、タングステン、モリブデン等が挙げられる。
また、主に軽金属から成る薄膜としては、酸化アルミニウムを示したが、酸化珪素でもよい。
Claims (7)
- X線反射装置の製造方法であって、ドライエッチングにより、シリコン基板に、幅が5〜20μmであり、アスペクト比が15〜200である複数の曲線状のスリットを異方性エッチングで形成される面粗さより悪い面粗さの側壁で形成する工程、磁性流体を用いて上記複数の曲線状のスリットの面粗さをnmレベルの面粗さに研磨する工程及び該研磨された上記複数の曲線状のスリットの側壁にX線を反射する薄膜を原子層堆積法により堆積し、X線反射面を形成する工程を包含することを特徴とするX線反射装置の製造方法。
- 上記シリコン基板は、厚さが300〜1000μmであることを特徴とする請求項1に記載のX線反射装置の製造方法。
- 上記薄膜は、酸化ハフニウムであることを特徴とする請求項1に記載のX線反射装置の製造方法。
- 上記薄膜は、主に重金属から成る薄膜と主に軽金属から成る薄膜から構成される多層膜であり、最外層は、主に重金属から成る薄膜であることを特徴とする請求項1に記載のX線反射装置の製造方法。
- 上記主に重金属から成る薄膜は、酸化ハフニウムであり、主に軽金属から成る薄膜は、酸化アルミニウムであることを特徴とする請求項4に記載のX線反射装置の製造方法。
- 上記主に重金属から成る薄膜と主に軽金属から成る薄膜から構成される多層膜を深さ方向に変化させて膜厚変化多層膜を形成することを特徴とする請求項4に記載のX線反射装置の製造方法。
- 上記X線反射面の形成後に、上記基板全体を塑性変形して曲面を含む形状に成形する工程を含む請求項1に記載のX線反射装置の製造方法。
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