JP5920659B2 - Ag合金膜及びその形成方法 - Google Patents
Ag合金膜及びその形成方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5920659B2 JP5920659B2 JP2012081961A JP2012081961A JP5920659B2 JP 5920659 B2 JP5920659 B2 JP 5920659B2 JP 2012081961 A JP2012081961 A JP 2012081961A JP 2012081961 A JP2012081961 A JP 2012081961A JP 5920659 B2 JP5920659 B2 JP 5920659B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- alloy film
- alloy
- resistance
- reflectance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 title claims description 36
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 12
- 229910001245 Sb alloy Inorganic materials 0.000 claims description 67
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 54
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 40
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims description 25
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 9
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 claims description 7
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 169
- 238000005486 sulfidation Methods 0.000 description 22
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 20
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 14
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 14
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 14
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- UOACKFBJUYNSLK-XRKIENNPSA-N Estradiol Cypionate Chemical compound O([C@H]1CC[C@H]2[C@H]3[C@@H](C4=CC=C(O)C=C4CC3)CC[C@@]21C)C(=O)CCC1CCCC1 UOACKFBJUYNSLK-XRKIENNPSA-N 0.000 description 12
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N palladium Substances [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 9
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 9
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 9
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 8
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 8
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 7
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 7
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 7
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 6
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 5
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 5
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 5
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 5
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000005211 surface analysis Methods 0.000 description 5
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 5
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 5
- FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M Sodium chloride Chemical compound [Na+].[Cl-] FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- 238000004833 X-ray photoelectron spectroscopy Methods 0.000 description 4
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 4
- 238000000089 atomic force micrograph Methods 0.000 description 4
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 4
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 4
- 229910017944 Ag—Cu Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910002668 Pd-Cu Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 3
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 3
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 3
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005054 agglomeration Methods 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011780 sodium chloride Substances 0.000 description 2
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- 229910002696 Ag-Au Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910015363 Au—Sn Inorganic materials 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910017821 Cu—Ge Inorganic materials 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Manganese Chemical compound [Mn] PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001252 Pd alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N Sulphide Chemical compound [S-2] UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052747 lanthanoid Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002602 lanthanoids Chemical class 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 229910052706 scandium Inorganic materials 0.000 description 1
- SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N scandium atom Chemical compound [Sc] SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 1
- 238000000682 scanning probe acoustic microscopy Methods 0.000 description 1
- VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N selanylidenegallium;selenium Chemical compound [Se].[Se]=[Ga].[Se]=[Ga] VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000005987 sulfurization reaction Methods 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- -1 vacuum Substances 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
また、耐凝集性及び耐硫化性を向上させたAg合金膜も提案されている(例えば、特許文献4を参照)。このAg合金には、Au、又は、Au、Bi、錫(Sn)の2種以上が含有されており、そのAg合金による薄膜は、130〜200℃の不活性ガス雰囲気で熱処理される。この加熱処理により、耐硫化性を向上させている。
そこで、本発明は、耐硫化性、耐熱性、耐塩水性などの耐性を落とさずに、高い反射率を持ち、しかも、配線電極膜としても適用可能とする低抵抗率を実現したAg合金膜及びその形成方法を提供することを目的とする。
(1)本発明のAg−Sb合金膜は、Sb:1.0〜2.5at%及びAg:残部からなり、前記Sbが、Ag−Sb合金膜の表面及び結晶粒界に濃集し、該結晶粒界のSb濃度が該表面のSb濃度より4.5〜9.0at%高く、酸化物を形成していることを特徴としている。
(2)(1)に記載のAg合金膜において、抵抗率が2.30〜2.84μΩ・cmであることを特徴としている。
(3)本発明のAg−Sb合金膜の形成方法は、請求項1又は2に記載のAg−Sb合金膜を形成する方法であって、Sb:1.0〜2.5at%及びAg:残部からなるAg−Sb合金ターゲットを用いて基板上にスパッタリングしてAg合金膜を成膜し、成膜されたAg−Sb合金膜を真空雰囲気中又は不活性ガス雰囲気中で熱処理することを特徴としている。
(4)(3)に記載のAg−Sb合金膜の形成方法においては、前記熱処理の温度は、前記熱処理の温度は、200〜500℃であることを特徴としている。
実施例6〜14は、真空雰囲気中で熱処理を施す場合である。Ag−Sb合金ターゲットを用いて、スパッタ法で、室温でガラス基板上に形成したAg−Sb合金膜を、真空雰囲気中で、1時間の熱処理を施し、実施例6〜14のAg−Sb合金膜を作製した。なお、同様の作製方法で、参考例1〜5のAg−Sb合金膜を作製した。
さらに、標準的なAg系の膜として、純Agターゲット、及びPdまたはCuが1.0at%含まれたAg−Pd、Ag−Cu合金ターゲットを用いて上記実施例と同様の作製方法で純Ag膜又はAg合金膜を作製し、比較例6〜11の膜とした。
(スパッタリング成膜条件)
スパッタリング装置:DCマグネトロンスパッタ装置(アルバック社製 CS−200)
磁界強度:1000Gauss(ターゲット直上、垂直成分)
到達真空度:<5×10−5Pa
スパッタリングガス:Ar
スパッタリングガス圧:0.5Pa
スパッタリングパワー:DC200W
基板:50×50×1mmt 無アルカリガラス
膜厚:100nm
ここで、表面形状は、AFM(セイコーインスッル社製の原子間力顕微鏡、SPI4000)を用いて測定した。SEM観察、表面の元素分布及び元素濃度の分析は、SEM観察機能が備わったAES(アルバック・ファイ社製のオージェ電子分光装置、PHI 700)を用いて測定した。
実施例20〜28は、N2雰囲気中で熱処理を施す場合である。これらの実施例では、真空雰囲気をN2雰囲気に代えた以外、実施例6〜14と同様の手順に従って、Ag−Sb合金膜を作製し、評価した。作製条件と評価の結果を、表5および表6に示す。なお、同様の作製方法で、参考例15〜19のAg−Sb合金膜を作製した。
参考例29〜42は、大気雰囲気中で熱処理を施す場合である。これらの参考例では、真空雰囲気を大気雰囲気に代えた以外、参考例1〜5及び実施例6〜14と同様の手順に従って、Ag−Sb合金膜を作製し、評価した。作製条件と評価の結果を、表7および表8に示す。
Claims (4)
- Sb:1.0〜2.5at%及びAg:残部からなるAg−Sb合金膜であって、
前記Sbが、Ag−Sb合金膜の表面及び結晶粒界に濃集し、該結晶粒界のSb濃度が該表面のSb濃度より4.5〜9.0at%高く、酸化物を形成していることを特徴とするAg−Sb合金膜。 - 抵抗率が2.30〜2.84μΩ・cmであることを特徴とする請求項1に記載のAg−Sb合金膜。
- 請求項1又は2に記載のAg−Sb合金膜を形成する方法であって、
Sb:1.0〜2.5at%及びAg:残部からなるAg−Sb合金ターゲットを用いて基板上にスパッタリングしてAg合金膜を成膜し、成膜されたAg−Sb合金膜を真空雰囲気中又は窒素雰囲気中で熱処理することを特徴とするAg合金膜の形成方法。 - 前記熱処理の温度は、200〜500℃であることを特徴とする請求項3に記載のAg−Sb合金膜の形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012081961A JP5920659B2 (ja) | 2012-03-30 | 2012-03-30 | Ag合金膜及びその形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012081961A JP5920659B2 (ja) | 2012-03-30 | 2012-03-30 | Ag合金膜及びその形成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013209724A JP2013209724A (ja) | 2013-10-10 |
JP5920659B2 true JP5920659B2 (ja) | 2016-05-18 |
Family
ID=49527815
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012081961A Expired - Fee Related JP5920659B2 (ja) | 2012-03-30 | 2012-03-30 | Ag合金膜及びその形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5920659B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6260321B2 (ja) * | 2014-02-10 | 2018-01-17 | 三菱マテリアル株式会社 | Ag合金膜形成用スパッタリングターゲット |
JP6375658B2 (ja) * | 2014-03-19 | 2018-08-22 | 三菱マテリアル株式会社 | 積層膜 |
KR20220107191A (ko) | 2019-12-02 | 2022-08-02 | 미쓰비시 마테리알 가부시키가이샤 | Ag 합금막, Ag 합금 스퍼터링 타깃 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3997177B2 (ja) * | 2002-08-09 | 2007-10-24 | 株式会社神戸製鋼所 | 電磁波シールド用Ag合金膜、電磁波シールド用Ag合金膜形成体および電磁波シールド用Ag合金膜の形成用のAg合金スパッタリングターゲット |
JP4455204B2 (ja) * | 2004-07-27 | 2010-04-21 | 株式会社フルヤ金属 | 銀合金、そのスパッタリングターゲット材及びその薄膜 |
JP2006284880A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Kobe Steel Ltd | 光反射膜および光反射板 |
JPWO2006132414A1 (ja) * | 2005-06-10 | 2009-01-08 | 田中貴金属工業株式会社 | 反射率・透過率維持特性に優れた銀合金 |
-
2012
- 2012-03-30 JP JP2012081961A patent/JP5920659B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013209724A (ja) | 2013-10-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI527919B (zh) | Ag alloy film for reflective electrode and reflective electrode | |
JP4888119B2 (ja) | 透明導電膜及びその製造方法、並びに透明導電性基材、発光デバイス | |
TWI513834B (zh) | 透明導電膜 | |
JP5661509B2 (ja) | 積層体およびその製造方法、並びにそれを用いた機能素子 | |
TWI485269B (zh) | A silver alloy film used for a reflective film and / or a film, or an electrical wiring and / or an electrode, and a silver alloy sputtering target and a silver alloy filler | |
US20170330643A1 (en) | Ag alloy film for reflecting electrode or wiring electrode, reflecting electrode or wiring electrode, and ag alloy sputtering target | |
TW200918479A (en) | Conductor layer manufacturing method | |
JP5920659B2 (ja) | Ag合金膜及びその形成方法 | |
Liu et al. | Improving the optoelectronic properties of gallium ZnO transparent conductive thin films through titanium doping | |
JP2004277780A (ja) | 銀系合金の積層構造並びにそれを用いた電極、配線、反射膜及び反射電極 | |
JP5928218B2 (ja) | Ag合金膜及びその製造方法 | |
TWI485270B (zh) | Ag合金膜形成用濺鍍靶及Ag合金膜、Ag合金反射膜、Ag合金導電膜、Ag合金半透膜 | |
JP6375658B2 (ja) | 積層膜 | |
TWI530573B (zh) | Silver alloy material | |
KR20150022704A (ko) | 은 합금 재료 | |
TW201435100A (zh) | Ag合金膜、Ag合金導電膜、Ag合金反射膜、Ag合金半透膜及Ag合金膜形成用濺鍍靶 | |
TWI650230B (zh) | 反射電極及鋁合金濺鍍靶 | |
JP2004204254A (ja) | Ag合金膜、平面表示装置およびAg合金膜形成用スパッタリングターゲット材 | |
TW201538754A (zh) | Ag合金膜、Ag合金反射膜、Ag合金導電膜及Ag合金半穿透膜 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140926 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150709 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150812 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151008 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160318 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160331 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5920659 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |