JP5915884B2

JP5915884B2 - オゾン生成及びオゾン溶解装置

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Publication number: JP5915884B2
Application number: JP2011277951A
Authority: JP
Inventors: 中島　秀之; 秀之中島
Original assignee: Asahi Organic Chemicals Industry Co Ltd
Current assignee: Asahi Yukizai Corp
Priority date: 2011-12-20
Filing date: 2011-12-20
Publication date: 2016-05-11
Anticipated expiration: 2031-12-20
Also published as: KR20140110866A; TW201335061A; WO2013094309A1; JP2013129544A

Description

本発明は、ガスに電圧を印加することによって誘電体管内に放電を生起させオゾンを生成させ、オゾンを流体に溶解させる装置に関するものである。

近年、上下水処理施設、化学工場、薬品工場、食品工場等において、細菌類、カビ類および酵母などの殺菌、アルデヒド、イオウ化合物、窒素化合物等の臭気物質の脱臭、し尿や染料廃液の脱色、有機溶剤などの有害物質を無害化するためにオゾン発生装置が用いられている。

この技術は一般に放電式オゾナイザでオゾンを生成して、バブラー、エジェクター、スタティックミキサーなどの気液混合部で処理が必要な水と混合して気液接触させるものである。

しかしながら、従来の方法ではオゾン発生部と処理すべき水との気液接触部の距離が離れており、オゾン発生部から気液接触部へオゾンガスを移送する際に、オゾンの強力な酸化作用によってチューブの破損等によるオゾン漏洩の危険性があり、また、オゾンは非常に不安定な気体で容易に酸素に分解するので、できるだけユースポイントに近い場所でオゾンを生成させることが望まれる。

この問題に対して、円筒形の絶縁基体に放電電極と誘導電極とを設けたオゾン発生体を用いたオゾン発生器と、内部に流水通路を有して該流水通路を有して該流水通路を流れる水にオゾン発生器から得られるオゾンを注入するオゾン注入器とを備えた水のオゾン処理装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

しかしながら、前記水のオゾン処理装置では冷却水となる水が前記絶縁基体の内側を流れ、前記絶縁基体の外周面に設けられた前記放電電極が前記絶縁基体を流れる水によって冷却されるが、水が高温の場合は冷却されずオゾン生成量が少なくなるという問題点があった。

また別な方法として、円筒形誘電体の外周面にコロナ放電極を設け、該コロナ放電極の外側に外筒を同心的に設けて密閉空間を形成し、またその円筒形誘電体の内周面に誘導電極を設け、該円筒形誘電体の内部に冷却用液体を流通せしめて該誘電体を冷却するオゾナイザ及びこれを用いたオゾン水製造装置が提案されている（例えば、特許文献２参照）。

しかし、前記オゾナイザ及びこれを用いたオゾン水製造装置の場合、円筒形誘電体の外周面及び内周面に電極を設ける必要があり、特に狭い円筒計状誘電体の内周に電極を設けることは容易に製作できるとは言い難く、また、コロナ放電で得られるオゾンは濃度が低く、オゾン収率も良くないことが知られている。

特開平２−１５７０９１号公報特開平２−１８４５０５号公報

上記の問題点に鑑み本発明者は鋭意研究の結果、二重管の外管外壁に高電圧電極を設け、ベンチュリ構造を形成した内管に接地電極を配設し、内管内に流体を通過させながら外管内壁と内管外壁の間隙に原料ガス（酸素を含むガス）を導入し、電極間に電圧を印加しバリア放電を生起させることによってオゾンを生成し、生成したオゾンは内管（ベンチュリ管）の狭窄部に導入され、直ちに流体へ溶解される。また、放電部と狭窄部を繋ぐ管路に調節弁を設け、放電部の圧力を任意に制御することによって高濃度なオゾンを生成することができるオゾン生成及びオゾン溶解装置を提供するに至った。

供給される原料ガスに電圧を印加することによって誘電体管の内部に放電を生起させオゾンを生成させ、該オゾンを流体に溶解させる装置において、ベンチュリ管の外周に該誘電体管を配置し密閉空間を形成し、該誘電体管の一方に該原料ガスを供給するための原料ガス導入口を設け、他方に生成された該オゾンを前記ベンチュリ管の内部に導入するためのオゾン排出口が設けられ、該誘電体管の密閉空間内と該ベンチュリ管の枝管がオゾン移送管で連通され、該枝管に流体の逆流を防止する逆止弁が具備され、該誘電体管の外側に高電圧電極を配置し、該ベンチュリ管の内部の流体又は該ベンチュリ管から吐出される流体に接地電極が配設され、供給される原料ガスと流体の量が、気液比０．３以下であることを第１の特徴とする。

供給される原料ガスに電圧を印加することによって誘電体管の内部に放電を生起させオゾンを生成させ、該オゾンを流体に溶解させる装置において、ベンチュリ管の外周に該誘電体管を配置し密閉空間を形成し、該誘電体管の一方に該原料ガスを供給するための原料ガス導入口を設け、他方に生成された該オゾンを該ベンチュリ管の内部に導入するためのオゾン排出口が設けられ、該誘電体管の密閉空間内と該ベンチュリ管の枝管がオゾン移送管で連通され、該枝管に流体の逆流を防止する逆止弁が具備され、該誘電体管の外側に高電圧電極を配置し、該ベンチュリ管に接地電極が配設され、供給される原料ガスと流体の量が、気液比０．３以下であることを第２の特徴とする。

前記オゾン移送管に前記オゾンの流量を調節する調節弁が具備されていることを第３の特徴とし、前記接地電極がガラス被覆されていることを第４の特徴とする。

前記誘電体管が少なくともセラミックスかガラスのいずれか一方であることを第５の特徴とし、前記ベンチュリ管がセラミックス、ガラス、樹脂、金属のいずれか１つからなることを第６の特徴とする。

前記誘電体管及び前記ベンチュリ管が石英ガラス製であることを第７の特徴とする。

オゾンが溶解した流体を再度前記ベンチュリ管に返送し、流体を循環させる構造を有していることを第８の特徴とする。

本発明に係るオゾン生成及びオゾン溶解装置によれば、以下の優れた効果が得られる。

（１）本発明のオゾン生成及びオゾン溶解装置は簡単に製作ができ、高濃度にオゾンを生成し高効率にオゾンを流体へ溶解することができる。
（２）放電部から流体の距離が近く、放電部で生成したオゾン等のガスは直ちに流体に作用するので、オゾンだけでなく放電によって生成するラジカルの利用が可能となる。
（３）生成したオゾンをベンチュリ管の内部に導入する際にオゾン気泡が圧壊することによってＯＨラジカル等の活性種を生成することができ、オゾンでは酸化分解できない化合物の分解が可能となる。
（４）ベンチュリ管の枝管に具備された調節弁を調整することによって、放電部の圧力を操作することができ、高濃度オゾンの生成が可能になると共に、オゾン濃度の調整ができる。
（５）誘電体管内に導入するガスと流体の気液比を制御することによって、簡単に目的とする濃度のオゾン水を製造できる。

本発明の第一及び第二の実施形態における実験装置のフロー図である。本発明の第一の実施形態のオゾン生成及びオゾン溶解装置を示した図である。本発明の第一の実施形態の別のオゾン生成及びオゾン溶解装置を示した図である。本発明の第二の実施形態のオゾン生成及びオゾン溶解装置を示した図である。本発明の実施例１及び実施例３から実施例７における電圧印加時間毎の生成オゾン濃度の推移を示したグラフである。本発明の実施例１及び実施例３から実施例７における電圧印加時間毎の溶存オゾン濃度の推移を示したグラフである。実施例２及び比較例１における処理時間毎の生成オゾンの積算生成量の推移を示したグラフである。実施例２及び比較例１における処理時間毎のメチレンブルー除去量の推移を示したグラフである。本発明の第三の実施形態における実験装置のフロー図である。本発明の実施例８から実施例９及び比較例２における気液比とオゾンの溶解効率の関係を示したグラフである。本発明の実施例１０及び比較例３における電極温度を示したグラフである。本発明の実施例１０及び比較例３における消費電力を示したグラフである。

（実施形態１）
以下、本発明における第一の実施形態について図２、図３を基に説明するが、本発明が本実施形態に限定されないことはいうまでもない。

図２において本発明のオゾン生成及びオゾン溶解装置は誘電体管１、ベンチュリ管２、高電圧電極３、接地電極４、電源５、原料ガス導入口６、オゾン吐出口７、枝管８、オゾン移送管９、逆止弁１０、調節弁１１からなる。

誘電体管１は、ガラス製の略円筒状のものである。誘電体管１の断面は四角形、ひし形、多角形でも構わないが、高電圧電極３の配設し易さやベンチュリ管２との間隙の調整及び製作のし易さでは円形が望ましい。

ベンチュリ管２は、誘電体管１の同一円心上にあり、通常のベンチュリ管同様、一部分が狭窄部となっている。ベンチュリ管２の断面は四角形、ひし形、多角形でも構わないが、ベンチュリ管２は誘電体の働きをするので、誘電体管１との間隙が均一となるように、誘電体管１と同じ形状が望ましい。

ベンチュリ管２は誘電体管１によっては密閉構造を形成しており、誘電体管１には、一方に原料ガスを導入するための原料ガス導入口６、他方に生成したオゾンを吐出するオゾン吐出口７が設けられている。

ベンチュリ管２に導入される流体は高低差やポンプ等により加圧供給されれば良く、流体は液体や例えば蒸気のように液体を含むガスである。

誘電体管１とベンチュリ管２で形成される間隙はオゾン移送管９を介してベンチュリ管２の狭窄部から突出した枝管８に連通されており、流体がベンチュリ管２を通過すると、ベンチュリ管２の狭窄部に強い負圧が発生し、誘電体管１とベンチュリ管２の間隙で生成されるオゾンを吸い込むようになっている。

高電圧電極３は、誘電体管１の外側に配設され、電源５と接続される。電極の材質や形状は特に限定されないが、好ましくは電極が劣化しないように誘電体管１をジャケット構造とし内部に電解水を封入し、ステンレス製の針金を内部に挿入して電源５が接続される。

接地電極４はベンチュリ管２の中央部に電極棒を配置すればよく、ベンチュリ管２の内部を流体が流れることによってベンチュリ管２の内部が接地の役割となる。また、図３に示すように、接地電極４はベンチュリ管２から吐出される水に配設しても良い。

オゾン移送管９にはベンチュリ管２の内部を通過する流体が逆流しないように逆止弁１０が設けてあり、更にオゾンの流量や放電部の圧力を調節できるように調節弁１１が設けてある。流体の速度は任意に決定することができ、用いる電源の周波数から算出される放電頻度より処理すべき流体の目的に応じた流速にすると良い。放電により生成したオゾン等のガスを流体に溶解させるには、流体とガスの量の比が気液比０．３以下であることが好ましい。

誘電体管１の材質は耐プラズマ性、耐熱性、耐オゾン性があるセラミックスかガラスが良く、好ましくは誘電率が低い石英ガラスが良い。

ベンチュリ管２の材質は任意に選定することができるが、耐オゾン性、耐久性に優れているセラミックス、ガラス、樹脂、金属が良く、好ましくは石英ガラスが良い。

接地電極４の材質は流体の性質に応じて、銅やステンレス等の金属を選定すれば良いが、電子部品洗浄等のように金属成分が溶出しては困る場合には、接地電極４に絶縁化合物を被覆すれば良く、好ましくは誘電率が低く、流体への溶出が少ない石英ガラスが良い。

導入される原料ガスはブロアやボンベ等により加圧供給されるか、流体がベンチュリ管２を通過する際に生じる負圧を利用して自給することもでき、いずれの場合も原料ガス導入口６を通じて誘電体管１の内部へと導入される。原料ガス１２は処理すべき流体の目的に応じて任意に決めることができるが、オゾンやＯＨラジカル等の活性種を生成させるには少なくとも酸素を含むガスであれば良い。

本願装置を水処理に用いる際、一度処理した水に除去すべき化合物が残存している際には、再度、ポンプ等を用いて本装置のベンチュリ管２の内部へ再送し、繰り返し処理を行えば良い。

原料ガス導入口６から原料ガス（酸素を含むガス）１２を導入すると共にベンチュリ管２の内部に流体を流しながら電圧を印加すると、高電圧電極３が配設された部分の誘電体管１の内壁とベンチュリ管２の外壁の間に円周状に放電が生起され、放電部を通過した原料ガス１２中の酸素が励起し、オゾンが生成され、生成されたオゾンはオゾン吐出口７及びオゾン移送管９を通じて、ベンチュリ管２の狭窄部へ導入され直ちに流体へ溶解される。またこの時、原料ガス１２と流体の流速の比（気液比）を小さくすると、強力な負圧が生じるので、気液混合時にオゾンが圧壊し、ＯＨラジカルを生成することができる。

（実施形態２）
次に、本発明における第二の実施形態について図４を基に説明するが、本発明が本実施形態に限定されないことはいうまでもない。

装置の構成は、接地電極の位置以外は第一の実施の形態と同じであるため説明を省略する。

接地電極４はベンチュリ管２の外側あるいは内側でも良く、図４に示すように、ベンチュリ管２をジャケット構造とし内部に電解水を封入し、ステンレス製の針金を内部に挿入して電源を接続しても良く、この場合には誘電体管１の高電圧電極３とベンチュリ管２の接地電極４を入れ替えることもできる。

また、ベンチュリ管２が金属製の場合は、ベンチュリ管２自体が、接地電極４の役割を果たす。

（実施形態３）
次に、本発明における第三の実施形態について図９を基に説明するが、本発明が本実施形態に限定されないことはいうまでもない。

装置の構成は、第一の実施形態と同じであるため説明を省略する。

図９に示すように、本願装置を通過する流体を循環させずに通過させる。

本発明において前記の実施形態を用いて、放電時の写真撮影および排オゾン濃度及び溶存オゾン濃度の試験を行った。試験の測定方法を以下に示す。

（１）生成オゾン濃度の測定
気相オゾン濃度計：東亜ディーケーケー社製 OZ−3O
受水槽上部にオゾン濃度センサーを差込み、気相オゾン濃度計を用いて測定した。
（２）溶存オゾン濃度の測定
溶存オゾン濃度計：東亜ディーケーケー社製 OZ−2O
循環槽内に溶存オゾン濃度センサーを投入し測定した。

［実施例１］
図１に実験装置のフロー図を示す。実験装置はオゾン生成及びオゾン溶解装置とオゾン生成及びオゾン溶解装置から吐出される処理水を受水する受水槽（１５Ｌ）で構成されており、循環槽からオゾン生成及びオゾン溶解装置へ循環移送できるようにポンプを配置し配管し、受水槽には水面上部にオゾン濃度センサーと水面下部に溶存オゾン濃度センサーを設置した。また、オゾン生成及びオゾン溶解装置のガス導入口と酸素ボンベをチューブで接続した。
図２にオゾン生成及びオゾン溶解装置を示す。オゾン生成及びオゾン溶解装置本体の誘電体管及びベンチュリ管は石英ガラス製でベンチュリ管狭窄部より１次側が２重管となっている。ベンチュリ管（内径１２ｍｍ、外径１４ｍｍ、通水部口径５ｍｍ）内には水道水を通過させると共に、誘電体管（内径１６ｍｍ、外径１８ｍｍ）とベンチュリ管の間隙（１ｍｍ）には酸素ボンベより酸素を流した。ベンチュリ管と誘電体管の間隙を通過する酸素は、ベンチュリ管と誘電体管の間隙で放電が生起されオゾンとなるが、生成したオゾンはベンチュリ管内管の狭窄部へ導入されるようにチューブ接続している。尚、このチューブには放電部の圧力が調整できるように調節弁を具備すると共に、ベンチュリ管内を通過する水道水が狭窄部から逆流しないように逆止弁が具備されている。
また、誘電体管はジャケット構造（内部５ｍｍ、長さ１００ｍｍ）となっており、ジャケット内部には３５％塩化ナトリウム溶液が封入してあり、ステンレス製の針金を挿入して高電圧電極とし、電源と接続されている。一方、水道水が通過するベンチュリ管内に直径２ｍｍのステンレス製の接地電極を挿入して電源と接続してある。
実験はポンプを起動させ３０Ｌ／ｍｉｎの流速で水道水を循環させると共に、酸素ボンベから３Ｌ／ｍｉｎの風量で酸素を導入しながら電圧を印加（１２ｋＶ、７ｋＨｚ）し放電を行い、オゾン生成量及びオゾン水濃度の測定を行った。その結果、図５に示すように、放電開始から３０分後の生成オゾン濃度は１０５００ｐｐｍとなり、図６に示すように、溶存オゾン濃度は３．７５ｐｐｍとなった。

［実施例２］
メチレンブルー濃度が５ｍｇ／Ｌとなるように水道水に添加したこと以外は、実施例１と同様にして行い、積算生成オゾン量の経時変化を図７、メチレンブルー除去量の経時変化を図８に示した。

[比較例１]
ＯＨラジカル補足剤であるｔ−ＢｕＯＨが１ｍＭとなるように添加したこと以外は実施例２と同様にして行い、積算生成オゾン量の経時変化を図７、メチレンブルー除去量の経時変化を図８に示した。この結果から、生成オゾンが同等であるにも関わらずｔ−ＢｕＯＨの添加によって脱色率が低下しており、本オゾン生成及びオゾン溶解装置によるＯＨラジカルの生成が示唆された。

［実施例３］
ベンチュリ管から吐出された水に接地電極を配設したこと以外は実施例１と同様に行い、オゾン生成量及びオゾン水濃度の測定を行った（図３参照）。その結果、図５に示すように、放電開始から３０分後の生成オゾン濃度は５４００ｐｐｍとなり、図６に示すように、溶存オゾン濃度は１．５７ｐｐｍとなった。

［実施例４］
ベンチュリ管の外側に接地電極を配設したこと以外は実施例１と同様に行い、オゾン生成量及びオゾン水濃度の測定を行った（図４参照）。その結果、図５に示すように、放電開始から３０分後の生成オゾン濃度は１０８５０ｐｐｍとなり、図６に示すように、溶存オゾン濃度は３．８４ｐｐｍとなった。

［実施例５］
接地電極をステンレス製の針金にガラス被覆し、印加電圧を（１５ｋＶ、７ｋＨｚ）とした以外は実施例１と同様に行い、オゾン生成量及びオゾン水濃度の測定を行った。その結果、図５に示すように、放電開始から３０分後の生成オゾン濃度は９４００ｐｐｍとなり、図６に示すように、溶存オゾン濃度は３．２８ｐｐｍとなった。

[実施例６］
ベンチュリ管と誘電体管の間隙（放電部）の圧力が１０７ｋＰａとなるように、ベンチュリ管の枝管に接続している調節弁を調整した以外は実施例１と同様に行い、オゾン生成量及びオゾン水濃度の測定を行った。その結果、図５に示すように、放電開始から３０分後の生成オゾン濃度は１１７５０ｐｐｍとなり、図６に示すように、溶存オゾン濃度は４．１５ｐｐｍとなった。

[実施例７］
ベンチュリ管と誘電体管の間隙（放電部）の圧力が１１７ｋＰａとなるように、ベンチュリ管の狭窄部に接続している調節弁を調整した以外は実施例６と同様に行い、オゾン生成量及びオゾン水濃度の測定を行った。その結果、図５に示すように、放電開始から３０分後の生成オゾン濃度は１３１５０ｐｐｍとなり、図６に示すように、溶存オゾン濃度は４．６８ｐｐｍとなった。

[実施例８］
図９に示すように、水道水を循環させずに連続通水したこと以外は実施例１（気液比０．１）と同様に行い、オゾン水濃度を測定した。その結果、図１０に示すように、オゾン溶解効率は５７％となった。

[実施例９]
水道水の流速を１０Ｌ／ｍｉｎ（気液比０．３）とした以外は実施例８と同様に行い、オゾン水濃度を測定した。その結果、図１０に示すように、オゾン溶解効率は２３％となった。

[比較例２]
水道水の流速を７．５Ｌ／ｍｉｎ（気液比０．４）とした以外は実施例８と同様に行い、オゾン水濃度を測定した。その結果、図１０に示すように、オゾン溶解効率は１７％となった。

[実施例１０]
オゾン生成及びオゾン溶解装置本体の誘電体管１及びベンチュリ管２は石英ガラス製でベンチュリ管２狭窄部より１次側が２重管となっている。（図４参照）ベンチュリ管２（内径１２ｍｍ、外径１４ｍｍ、通水部口径５ｍｍ）内には水道水を通過させると共に、誘電体管１（内径１９ｍｍ、外径２１ｍｍ）とベンチュリ管２の間隙（１ｍｍ）には酸素ボンベより酸素を流した。ベンチュリ管２と誘電体管１の間隙を通過する酸素は、ベンチュリ管２と誘電体管１の間隙で放電が生起されオゾンとなるが、生成したオゾンはベンチュリ管２の内管の狭窄部へ導入されるようにチューブ接続している。尚、このチューブには放電部の圧力が調整できるように調節弁１１を具備すると共に、ベンチュリ管２の内部を通過する水道水が狭窄部から逆流しないように逆止弁１２が具備されている。

また、ベンチュリ管２及び誘電体管１はジャケット構造（内部５ｍｍ、長さ１００ｍｍ）となっており、ジャケット内部には３５％塩化ナトリウム溶液が封入してあり、ベンチュリ管２のジャケット内部にステンレス製の針金を挿入して接地電極４とし、誘電体管１のジャケット内部にステンレス製の針金を挿入して高電圧電極３とし、それぞれ電源と接続されている。

実験は水道水を１０Ｌ／ｍｉｎの流速で通過させると共に、酸素ボンベから３Ｌ／ｍｉｎの風量で酸素を導入しながら電圧を印加（１５ｋＶ、７ｋＨｚ）し放電を行い、非接触式温度計を用いて電極温度を測定すると共に、消費電力を測定した。その結果、図１１に示すように、放電開始後３０分の電極温度は高電圧電極が４２．３℃、接地電極が２８．１℃となった。また図１２に示すように、消費電力は３５Ｗとなった。

[比較例３]
水道水を通過させずに実施例１０と同様に行い、非接触式温度計を用いて電極温度を測定すると共に、消費電力を測定した。その結果、図１１に示すように、放電開始後３０分の電極温度は高電圧電極が６２．３℃、接地電極が６６．６℃となった。また図１２に示すように、消費電力は３８Ｗとなった。

１…誘電体管
２…ベンチュリ管
３…高電圧電極
４…接地電極
５…電源
６…原料ガス導入口
７…オゾン吐出口
８…枝管
９…オゾン移送管
１０…逆止弁
１１…調節弁
１２…原料ガス

Claims

供給される原料ガスに電圧を印加することによって誘電体管の内部に放電を生起させオゾンを生成させ、該オゾンを流体に溶解させる装置において、ベンチュリ管の外周に該誘電体管を配置し密閉空間を形成し、該誘電体管の一方に該原料ガスを供給するための原料ガス導入口を設け、他方に生成された該オゾンを該ベンチュリ管の内部に導入するためのオゾン排出口が設けられ、該誘電体管の密閉空間内と該ベンチュリ管の枝管がオゾン移送管で連通され、該枝管に流体の逆流を防止する逆止弁が具備され、該誘電体管の外側に高電圧電極を配置し、該ベンチュリ管の内部の流体又は該ベンチュリ管から吐出される流体に接地電極が配設され、供給される原料ガスと流体の量が、気液比０．３以下であることを特徴とするオゾン生成及びオゾン溶解装置。
供給される原料ガスに電圧を印加することによって誘電体管の内部に放電を生起させオゾンを生成させ、該オゾンを流体に溶解させる装置において、ベンチュリ管の外周に該誘電体管を配置し密閉空間を形成し、該誘電体管の一方に該原料ガスを供給するための原料ガス導入口を設け、他方に生成された該オゾンを該ベンチュリ管の内部に導入するためのオゾン排出口が設けられ、該誘電体管の密閉空間内と該ベンチュリ管の枝管がオゾン移送管で連通され、該枝管に流体の逆流を防止する逆止弁が具備され、該誘電体管の外側に高電圧電極を配置し、該ベンチュリ管に接地電極が配設され、供給される原料ガスと流体の量が、気液比０．３以下であることを特徴とするオゾン生成及びオゾン溶解装置。
前記オゾン移送管に前記オゾンの流量を調節する調節弁が具備されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のオゾン生成及びオゾン溶解装置。
前記接地電極がガラス被覆されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のオゾン生成及びオゾン溶解装置。
前記誘電体管が少なくともセラミックスかガラスのいずれか一方であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のオゾン生成及びオゾン溶解装置。
前記ベンチュリ管がセラミックス、ガラス、樹脂、金属のいずれか１つからなることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載のオゾン生成及びオゾン溶解装置。
前記誘電体管及び前記ベンチュリ管が石英ガラス製であることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載のオゾン生成及びオゾン溶解装置。
オゾンが溶解した流体を再度前記ベンチュリ管に返送し、流体を循環させる構造を有していることを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載のオゾン生成及びオゾン溶解装置。