JP5914188B2 - 露点温度計測システム - Google Patents

Description

この発明は、一方の面が低温側、他方の面が高温側とされる熱電冷却素子を用いて冷却される鏡面の上に生じる結露や結霜から露点温度を計測する鏡面冷却式露点計を用いた露点温度計測システムに関するものである。

従来より、湿度測定法として、被測定気体の温度を低下させ、その被測定気体に含まれる水蒸気の一部を結露させたときの温度を測定することにより露点を検出する露点検出法が知られている。例えば、寒剤、冷凍機、電子冷却器などを用いて鏡を冷却し、この冷却した鏡の鏡面上の反射光の強度の変化を検出し、反射光の強度が平衡状態になった時の鏡面の温度を測定することによって、被測定気体中の水分の露点を検出する鏡面冷却式露点計が用いられている。

この鏡面冷却式露点計には、利用する反射光の種類によって、２つのタイプがある。１つは、正反射光を利用する正反射光検出方式（例えば、特許文献１参照）、もう１つは、散乱光を利用する散乱光検出方式（例えば、特許文献２参照）である。

〔正反射光検出方式〕
図２２に正反射光検出方式を採用した従来の鏡面冷却式露点計におけるセンサ部の構成を示す。このセンサ部１０１は、被測定気体が流入されるチャンバ１と、このチャンバ１の底部に設けられた熱電冷却素子（ペルチェ素子）２を備えている。熱電冷却素子２の冷却面２−１には鏡３が取り付けられており、熱電冷却素子２の加熱面２−２にはヒートパイプ４を介して放熱部材５が取り付けられている。すなわち、ヒートパイプ４の一端４−１が熱電冷却素子２の加熱面２−２に取り付けられており、熱電冷却素子２から離されたヒートパイプ４の他端４−２に放熱部材５が取り付けられている。

また、熱電冷却素子２とヒートパイプ４の一端４−１にはその周囲を覆うように断熱部材６が設けられており、鏡３の上面（鏡面）３−１には温度検出素子７が取り付けられている。また、チャンバ１の上部に、鏡３の鏡面３−１に対して斜めに光を照射する発光素子８と、この発光素子８から鏡面３−１に対して照射された光の正反射光を受光する受光素子９とが設けられている。また、熱電冷却素子２へのリード線１０が断熱部材６を貫通して設けられている。

このセンサ部１０１において、チャンバ１内には、不図示の主配管から分岐された分岐管路を介して、被測定気体が流入される。これにより、チャンバ１内の鏡面３−１が、被測定気体に晒される。鏡面３−１に結露が生じていなければ、発光素子８から照射された光はそのほゞ全量が正反射し、受光素子９で受光される。したがって、鏡面３−１に結露が生じていない場合、受光素子９で受光される反射光の強度は大きい。

熱電冷却素子２への電流を増大し、熱電冷却素子２の冷却面２−１の温度を下げて行くと、被測定気体に含まれる水蒸気が鏡面３−１に結露し、その水の分子に発光素子８から照射した光の一部が吸収されたり、乱反射したりする。これにより、受光素子９で受光される反射光（正反射光）の強度が減少する。この鏡面３−１における正反射光の変化を検出することにより、鏡面３−１上の状態の変化、すなわち鏡面３−１上に水分（水滴）が付着したことを知ることができる。さらに、この時の鏡面３−１の温度を温度検出素子７で測定することにより、被測定気体中の水分の露点を知ることができる。

〔散乱光検出方式〕
図２３に散乱光検出方式を採用した従来の鏡面冷却式露点計におけるセンサ部の構成を示す。このセンサ部１０２は、正反射光検出方式を採用したセンサ部１０１とほゞ同構成であるが、受光素子９の取り付け位置が異なっている。このセンサ部１０２において、受光素子９は、発光素子８から鏡面３−１に対して照射された光の正反射光を受光する位置ではなく、散乱光を受光する位置に設けられている。

このセンサ部１０２において、チャンバ１内には、不図示の主配管から分岐された分岐管路を介して、被測定気体が流入される。これにより、チャンバ１内の鏡面３−１が、被測定気体に晒される。鏡面３−１に結露が生じていなければ、発光素子８から照射された光はそのほゞ全量が正反射し、受光素子９での受光量は極微量である。したがって、鏡面３−１に結露が生じていない場合、受光素子９で受光される反射光の強度は小さい。

熱電冷却素子２への電流を増大し、熱電冷却素子２の冷却面２−１の温度を下げて行くと、被測定気体に含まれる水蒸気が鏡面３−１に結露し、その水の分子に発光素子８から照射した光の一部が吸収されたり、乱反射したりする。これにより、受光素子９で受光される乱反射された光（散乱光）の強度が増大する。この鏡面３−１における散乱光の変化を検出することにより、鏡面３−１上の状態の変化、すなわち鏡面３−１上に水分（水滴）が付着したことを知ることができる。さらに、この時の鏡面３−１の温度を温度検出素子７で測定することにより、被測定気体中の水分の露点を知ることができる。

なお、上述した露点計においては、鏡面３−１に生じる結露（露点）を検出する例で説明したが、同様の構成によって鏡面３−１に生じる結霜（霜点）を検出することも可能である。本明細書では、霜点も含めた温度を露点温度として定義する。

このような鏡面冷却式露点計では、被測定気体に低温で凝縮する物質（例えば、有機溶剤）が混入している場合がある。すなわち、通常は気体で被測定気体に含まれ、露点温度よりも高い低温で固体になる物質が含まれている場合がある。このような物質が露点温度計測のための冷却に伴って凝縮して鏡面に付着すると、この鏡面上に付着した凝縮物質により反射光や散乱光に対して悪影響を及ぼし、正確な露点温度の計測が行えなくなる。例えば、連続露点計測中に凝縮物質が付着して鏡面が汚れると、計測が不安定になったり、汚れにより結露の検出が異常になり、結露し過ぎていると判断し、露点温度が上昇することがある。

そこで、従来は、鏡面の汚れを防ぐために、定期的に露点温度計測を中断して、人手により綿棒などで鏡面を清掃するようにしたり、特許文献３に示されているように、被測定気体に含まれる凝縮物質を鏡面に導かれる前に除去装置によって除去するようにしたり、特許文献４に示されるように、ＣＯ２ガスを吹きかけて凝縮物質を鏡面上から吹き飛ばすようにしている。

特開昭６１−７５２３５号公報 特公平０７−１０４３０４号公報 特開２００２−１８９００７号公報 特開平０５−９９８４６号公報

しかしながら、人手により鏡面を清掃する方法では、露点温度計測を定期的に中断しなければならず、鏡面の汚れを確認する際に鏡面汚れアラームが多発することがある。また、清掃作業が面倒であり、清掃作業のために比較的長時間、露点温度計測を中断しなければならず、露点温度の連続計測ができない。

また、被測定気体が鏡面に導かれる前に凝縮物質を除去する方法では、事前に凝縮物質が特定されていて、それを化学反応などによって除去するための除去装置が必要となる。また、全ての凝縮物質に対して適応していない。

ＣＯ２ガスを吹きかけて凝縮物質を鏡面上から吹き飛ばす方法では、ＣＯ２ガスを吹きかける装置が必要であり、ＣＯ２ガスを吹きかけている間は露点温度の計測を中断しなければならない。

本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、鏡面の自動クリーニング制御中だけではなく、露点温度計測制御中も中断させることなく、露点温度計測を連続して行わせることが可能で、かつ人手による鏡面の清掃を不要とし、凝縮物質を除去する装置を別途設ける必要のない露点温度計測システムを提供することにある。

このような目的を達成するために本発明は、被測定気体に晒される鏡面と、この鏡面を冷却する熱電冷却素子と、鏡面の温度を検出する温度センサと、鏡面に対して光を照射する投光手段と、投光手段から鏡面に対して照射された光の反射光を受光する受光手段と、受光手段が受光する反射光の光量に基づいて熱電冷却素子へ供給する電流を制御する制御手段とを備え、制御手段は、受光手段が受光する反射光の光量に基づいて熱電冷却素子へ供給する電流を鏡面に生じる結露もしくは結霜の増減がなくなる平衡状態になるように制御し、その平衡状態において温度センサが検出する鏡面の温度を露点温度として計測する露点温度計測制御を実行する手段と、露点温度計測制御を定期的に中断して受光手段が受光する反射光の光量に基づいて鏡面の状態の正常／異常の判断を実行する鏡面状態判断手段と、鏡面に付着しているであろう、通常は気体で被測定気体に含まれ、露点温度よりも高い低温で固体となり、鏡面を汚す凝縮物質を蒸発又は昇華させて除去させる自動クリーニング制御を実行する手段とを備えた第１および第２の鏡面冷却式露点計を有する露点温度計測システムであって、第１の鏡面冷却式露点計は運用当初の計測用の露点計として設定され、第２の鏡面冷却式露点計は運用当初の補助用の露点計として設定され、第２の鏡面冷却式露点計は、露点温度計測制御を常時実行し、この露点温度計測制御を定期的に中断して、鏡面の状態の正常／異常の判断を行い、鏡面の状態が異常と判断された場合、露点温度計測制御を中止して、自動クリーニング制御に移行し、その後、露点温度計測制御に復帰し、第１の鏡面冷却式露点計は、露点温度計測制御を常時実行し、第２の鏡面冷却式露点計が露点温度計測制御に復帰にした後、露点温度計測制御を中止して、自動クリーニング制御に移行し、第１の鏡面冷却式露点計は、自動クリーニング制御に移行するまでの露点温度計測制御中、その露点温度の計測値が有効な計測値とされると共に、鏡面の状態の正常／異常の判断の実行が禁止され、第２の鏡面冷却式露点計は、自動クリーニング制御に移行するまでの露点温度計測制御中、その露点温度の計測値が無効な計測値とされると共に、鏡面の状態の正常／異常の判断の実行が許可され、さらに、第１の鏡面冷却式露点計が自動クリーニング制御中である時に、その露点温度の計測値が有効な計測値とされると共に、鏡面の状態の正常／異常の判断の実行が禁止されることを特徴とする。

この発明において、第１の鏡面冷却式露点計は運用当初の計測用の露点計として設定され、第２の鏡面冷却式露点計は運用当初の補助用の露点計として設定される。運用当初の補助用の露点計として設定された第２の鏡面冷却式露点計は、露点温度計測制御を常時実行し、この露点温度計測制御を定期的に中断して、鏡面の状態の正常／異常の判断を行い、鏡面の状態が異常と判断された場合、露点温度計測制御を中止して、自動クリーニング制御に移行し、その後、露点温度計測制御に復帰する。運用当初の計測用の露点計として設定された第１の鏡面冷却式露点計は、露点温度計測制御を常時実行し、第２の鏡面冷却式露点計が露点温度計測制御に復帰にした後、露点温度計測制御を中止して、自動クリーニング制御に移行する。

ここで、第１の鏡面冷却式露点計は、自動クリーニング制御に移行するまでの露点温度計測制御中、その露点温度の計測値が有効な計測値とされると共に、鏡面の状態の正常／異常の判断の実行が禁止される。一方、第２の鏡面冷却式露点計は、自動クリーニング制御に移行するまでの露点温度計測制御中、その露点温度の計測値が無効な計測値とされると共に、鏡面の状態の正常／異常の判断の実行が許可される。また、第２の鏡面冷却式露点計は、第１の鏡面冷却式露点計が自動クリーニング制御中である時にその露点温度の計測値が有効な計測値とされると共に、鏡面の状態の正常／異常の判断の実行が禁止される。

このようにして、本発明では、第１の鏡面冷却式露点計の露点温度計測制御中は、この第１の鏡面冷却式露点計の露点温度の計測値が有効な計測値とし、第１の鏡面冷却式露点計が自動クリーニング制御中である時には、第２の鏡面冷却式露点計の露点温度の計測値が有効な計測値とし、第１の鏡面冷却式露点計（運用当初の計測用の露点計）での自動クリーニング制御中に、鏡面が正常な状態に戻された第２の鏡面冷却式露点計（運用当初の補助用の露点計）で露点温度の計測値を有効な計測値とする露点温度計測制御が行われるようにして、露点温度の計測を連続して行わせることが可能となる。また、第１の鏡面冷却式露点計（運用当初の計測用の露点計）でも、第２の鏡面冷却式露点計（運用当初の補助用の露点計）でも、露点温度の計測値を有効な計測値とする露点温度計測制御中は、鏡面の状態の正常／異常の判断が実行されないようにして、鏡面の自動クリーニング制御中だけではなく、露点温度計測制御中も中断させることなく、露点温度の計測を連続して行わせることが可能となる。

例えば、本発明では、第１の方式として、第１の鏡面冷却式露点計は、自動クリーニング制御に移行した後、露点温度計測制御に復帰し、この露点温度計測制御に復帰した後、その露点温度の計測値が無効な計測値とされると共に、鏡面の状態の正常／異常の判断の実行が許可され、第２の鏡面冷却式露点計は、第１の鏡面冷却式露点計が露点温度計測制御に復帰した後も、その露点温度の計測値が有効な計測値とされると共に、鏡面の状態の正常／異常の判断の実行が禁止される、という方式を採用する。

この第１の方式を採用した場合、第１の鏡面冷却式露点計（運用当初の計測用の露点計）は、自動クリーニング制御に移行した後、露点温度計測制御に復帰すると、その露点温度の計測値が無効な計測値とされると共に、鏡面の状態の正常／異常の判断の実行が許可されるようになる。この場合、第１の鏡面冷却式露点計は、それまでの計測用の露点計から、補助用の露点計に切り換わる。また、第２の鏡面冷却式露点計（運用当初の補助用の露点計）は、第１の鏡面冷却式露点計が露点温度計測制御に復帰した後も、その露点温度の計測値が有効な計測値とされると共に、鏡面の状態の正常／異常の判断の実行が禁止される。この場合、第２の鏡面冷却式露点計は、それまでの補助用の露点計から、計測用の露点計に切り換わる。すなわち、この第１の方式を採用した場合、第１の鏡面冷却式露点計と第２の鏡面冷却式露点計とは、その露点温度の計測値の有効／無効が交互に切り換えられるものとなる。

例えば、本発明では、第２の方式として、第１の鏡面冷却式露点計は、自動クリーニング制御に移行した後、露点温度計測制御に復帰し、この露点温度計測制御が安定した状態となるまで待った後に、その露点温度の計測値が有効な計測値とされると共に、鏡面の状態の正常／異常の判断の実行が禁止され、第２の鏡面冷却式露点計は、第１の鏡面冷却式露点計が露点温度計測制御に復帰した後、この第１の鏡面冷却式露点計の露点温度計測制御が安定した状態となるまで待った後に、その露点温度の計測値が無効な計測値とされると共に、鏡面の状態の正常／異常の判断の実行が許可される、という方式を採用する。

この第２の方式を採用した場合、第１の鏡面冷却式露点計（運用当初の計測用の露点計）は、自動クリーニング制御に移行した後、露点温度計測制御に復帰すると、この露点温度計測制御が安定した状態となるまで待った後に、その露点温度の計測値が有効な計測値とされると共に、鏡面の状態の正常／異常の判断の実行が禁止されるようになる。この場合、第１の鏡面冷却式露点計、計測用の露点計に戻る。また、第２の鏡面冷却式露点計（運用当初の補助用の露点計）は、第１の鏡面冷却式露点計が露点温度計測制御に復帰すると、この第１の鏡面冷却式露点計の露点温度計測制御が安定した状態となるまで待った後に、その露点温度の計測値が無効な計測値とされると共に、鏡面の状態の正常／異常の判断の実行が許可されるようになる。この場合、第２の鏡面冷却式露点計は、補助用の露点計に戻る。すなわち、この第２の方式を採用した場合、第１の鏡面冷却式露点計と第２の鏡面冷却式露点計とは、その露点温度の計測値の有効／無効が一時的に切り換えられるものとなる。

本発明では、鏡面に付着しているであろう凝縮物質を蒸発又は昇華させて除去させる自動クリーニング制御を実行するが、この自動クリーニング制御として、鏡面に付着しているであろう凝縮物質を蒸発又は昇華させて除去させるべく、鏡面の温度を上昇させるように熱電冷却素子へ供給する電流を制御する方式、鏡面に付着しているであろう凝縮物質を蒸発又は昇華させて除去させるべく、鏡面、熱電冷却素子、温度センサ、投光手段および受光手段を収容するチャンバ内の圧力を減圧制御する方式を採用することが考えられる。

本発明によれば、第１の鏡面冷却式露点計を運用当初の計測用の露点計として設定し、第２の鏡面冷却式露点計を運用当初の補助用の露点計として設定し、第２の鏡面冷却式露点計は、露点温度計測制御を常時実行し、この露点温度計測制御を定期的に中断して、鏡面の状態の正常／異常の判断を行い、鏡面の状態が異常と判断された場合、露点温度計測制御を中止して、自動クリーニング制御に移行し、その後、露点温度計測制御に復帰し、第１の鏡面冷却式露点計は、露点温度計測制御を常時実行し、第２の鏡面冷却式露点計が露点温度計測制御に復帰にした後、露点温度計測制御を中止して、自動クリーニング制御に移行するものとしたので、第１の鏡面冷却式露点計（運用当初の計測用の露点計）での自動クリーニング制御中に、鏡面が正常な状態に戻された第２の鏡面冷却式露点計（運用当初の補助用の露点計）で露点温度の計測値を有効な計測値とする露点温度計測制御を行わせるようにして、露点温度の計測を連続して行わせることが可能となる。

また、本発明によれば、第１の鏡面冷却式露点計は、自動クリーニング制御に移行するまでの露点温度計測制御中、その露点温度の計測値が有効な計測値とされると共に、鏡面の状態の正常／異常の判断の実行が禁止され、第２の鏡面冷却式露点計は、自動クリーニング制御に移行するまでの露点温度計測制御中、その露点温度の計測値が無効な計測値とされると共に、鏡面の状態の正常／異常の判断の実行が許可され、さらに、第１の鏡面冷却式露点計が自動クリーニング制御中である時に、その露点温度の計測値が有効な計測値とされると共に、鏡面の状態の正常／異常の判断の実行が禁止されるものとしたので、第１の鏡面冷却式露点計（運用当初の計測用の露点計）でも、第２の鏡面冷却式露点計（運用当初の補助用の露点計）でも、露点温度の計測値を有効な計測値とする露点温度計測制御中は、鏡面の状態の正常／異常の判断が実行されないようにして、鏡面の自動クリーニング制御中だけではなく、露点温度計測制御中も中断させることなく、露点温度の計測を連続して行わせることが可能となる。

また、本発明によれば、運用当初の計測用の露点計として設定される第１の鏡面冷却式露点計や運用当初の補助用の露点計として設定される第２の鏡面冷却式露点計において、鏡面に付着しているであろう凝縮物質を蒸発又は昇華させて除去させる自動クリーニング制御を実行させることにより、人手による鏡面の清掃が不要となり、凝縮物質を除去する装置を別途設ける必要もなくなる。

本発明に係る露点温度計測システムに用いる鏡面冷却式露点計の概略構成図である。 この鏡面冷却式露点計のサンプリングチャンバ内に被測定気体を導くための仕切り弁および吸引ポンプの設置状況を示す図である。 この鏡面冷却式露点計におけるサブコントローラ側での動作を示すフローチャートである。 この鏡面冷却式露点計における鏡面に対して照射されるパルス光および鏡面から受光される反射パルス光を示す図である。 この鏡面冷却式露点計におけるサブクーラおよび第１の熱電冷却素子の冷却曲線（特性Ｉ，II）を示す図である。 この鏡面冷却式露点計において定期的に行われる鏡面状態の正常／異常の判断および自動クリーニングへの移行動作を示すフローチャートである。 この鏡面冷却式露点計において鏡面状態の正常／異常の判断を鏡面温度の変化が生じなくなったことを確認して行うようにした場合の動作を示すフローチャートである。 この鏡面冷却式露点計において鏡面状態の正常／異常の判断を反射光量の変化が生じなくなったことを確認して行うようにした場合の動作を示すフローチャートである。 この鏡面冷却式露点計において定期的に行われる鏡面状態の正常／異常の判断および自動クリーニングへの移行動作の別の例を示すフローチャートである。 この鏡面冷却式露点計において鏡面状態の正常／異常の判断を鏡面温度の変化が生じなくなったことを確認して行うようにした場合の別の例の動作を示すフローチャートである。 この鏡面冷却式露点計において鏡面状態の正常／異常の判断を反射光量の変化が生じなくなったことを確認して行うようにした場合の別の例の動作を示すフローチャートである。 この鏡面冷却式露点計の要部の機能ブロック図である。 この鏡面冷却式露点計における制御モードの変化を示すタイムチャートである。 本発明に係る露点温度計測システムの一実施の形態の要部の機能ブロック図である。 この露点温度計測システムを運用方式１（実施の形態１）で運用した場合の第１の鏡面冷却式露点計および第２の鏡面冷却式露点計における制御モードの変化を制御モード変化の各ケースの期間と合わせて示すタイムチャートである。 この露点温度計測システムを運用方式１で運用した場合の第１の鏡面冷却式露点計および第２の鏡面冷却式露点計の制御フローチャートである。 この露点温度計測システムを運用方式１で運用した場合の統括コントローラの制御フローチャートである。 図１７に続く統括コントローラのケース２の場合の制御フローチャートである。 図１７に続く統括コントローラのケース３の場合の制御フローチャートである。 この露点温度計測システムを運用方式２（実施の形態２）で運用した場合の第１の鏡面冷却式露点計および第２の鏡面冷却式露点計における制御モードの変化を制御モード変化の各ケースの期間と合わせて示すタイムチャートである。 第１の鏡面冷却式露点計と第２の鏡面冷却式露点計とを直列に設置した場合の構成例を示す図である。 正反射光検出方式を採用した従来の鏡面冷却式露点計におけるセンサ部の構成を示す図である。 散乱光検出方式を採用した従来の鏡面冷却式露点計におけるセンサ部の構成を示す図である。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
先ず、本発明に係る露点温度計測システムの実施の形態の説明に入る前に、この露点温度計測システムに用いる鏡面冷却式露点計について説明する。

〔鏡面冷却式露点計〕
図１はこの鏡面冷却式露点計の単体の概略構成図である。この鏡面冷却式露点計２０１はセンサ部２０１Ａとコントロール部２０１Ｂとを有している。

〔センサ部〕
センサ部２０１Ａにおいて、１１は鏡であり、その表面１１−１が鏡面とされている。鏡１１は、例えばシリコンチップとされており、鏡１１の裏面１１−２側に第１の熱電冷却素子（ペルチェ素子）２の冷却面２−１が取り付けられている。また、鏡１１と第１の熱電冷却素子２の冷却面２−１との間には、例えば白金による第１の温度センサ１２が設けられている。第１の温度センサ１２は鏡１１の裏面１１−２の温度を鏡面温度ｔＰｐｖとして検出する。

また、第１の熱電冷却素子２は、その加熱面２−２を底面として、センサボディ１３の先端部１３ａの傾斜面１３ｂに取り付けられている。傾斜面１３ｂはセンサボディ１３の中心軸に対して３０゜〜４５゜の傾斜角とされている。したがって、第１の熱電冷却素子２の冷却面２−１に第１の温度センサ１２を挟んで取り付けられた鏡１１の鏡面１１−１もセンサボディ１３の中心軸に対して３０゜〜４５゜の角度で傾けられている。

センサボディ１３の先端部１３ａにつながる後端部１３ｃは円柱状とされている。この後端部１３ｃには、その先端面を鏡面１１−１に対向させて、投受光一体型の光ファイバ１４が保持されている。投受光一体型の光ファイバ１４の投光軸および受光軸はセンサボディ１３の中心軸と平行とされている。なお、この例では、後端部１３ｃから鏡面１１−１に向かって突き出ている投受光一体型の光ファイバ１４の光ファイバ１４−１，１４−２のうち、１４−１を投光側の光ファイバ、１４−２を受光側の光ファイバとしている。

センサボディ１３の後端部１３ｃの後部には冷却ブロック１５が接合されている。また、冷却ブロック１５の後部には、冷却板１６が接合されている。センサボディ１３、冷却ブロック１５、冷却板１６はいずれも熱伝導性の部材とされており、このセンサボディ１３と冷却ブロック１５と冷却板１６とによって熱伝導体１７が構成されている。

冷却板１５の後部には第２の熱電冷却素子（ペルチェ素子）１８が設けられている。第２の熱電冷却素子１８は、その冷却面１８−１を冷却板１６側として、熱伝導体１７に取り付けられている。すなわち、熱伝導体１７の一端に第１の熱電冷却素子２の加熱面２−２が取り付けられ、熱伝導体１７の他端に第２の熱電冷却素子１８の冷却面１８−１が取り付けられている。この鏡面冷却式露点計２０１において、第２の熱電冷却素子１８の冷却能力は、そのサイズを比較しても分かるように、第１の熱電冷却素子２の冷却能力よりも遙かに大きいものとされている。

第２の熱電冷却素子１８の加熱面１８−２にはヒートシンク１９が放熱体として接合されている。ヒートシンク１９には多数の放熱フィン１９ａが形成されている。このヒートシンク１９も熱伝導体１７と同様、熱伝導性の部材とされている。また、ヒートシンク１９の後方には冷却ファン２０が設けられており、冷却板１６には第２の温度センサ２１が設けられている。第２の温度センサ２１は、第２の熱電冷却素子１８の冷却面１８−１の温度をサブクーラ温度ｔＳｐｖとして検出する。

この鏡面冷却式露点計２０１では、冷却板１６と第２の熱電冷却素子１８とヒートシンク１９と冷却ファン２０とを合わせた構成を補助冷却器（サブクーラ）と呼ぶが、補助冷却器（サブクーラ）の主要構成は第２の熱電冷却素子１８であり、第２の熱電冷却素子１８単体を補助冷却器（サブクーラ）と呼んでもよい。ここでは、冷却板１６と第２の熱電冷却素子１８とヒートシンク１９と冷却ファン２０とを合わせた構成をサブクーラＳＣとする。

また、この鏡面冷却式露点計２０１において、第１の熱電冷却素子２や鏡１１，第１の温度センサ１２，投光側の光ファイバ１４−１，受光側の光ファイバ１４−２などを含む検出部ＤＴは、被測定気体が引き込まれるサンプリングチャンバ３１内に断熱材３２を通して設けられている。また、サンプリングチャンバ３１に対しては、図２に示すように、このサンプリングチャンバ３１に被測定気体を導くための仕切り弁４０と吸引ポンプ４１が設置されている。

また、センサ部２０１Ａには、光電変換器２２が設けられている。光電変換器２２は、コントロール部２０１Ｂからの電気信号を光信号に変換して投光側の光ファイバ１４−１へ与えたり、受光側の光ファイバ１４−２からの光信号を電気信号に変換してコントロール部２０１Ｂへ与えたりする。光電変換器２２とコントロール部２０１Ｂとの接続関係については後述する。また、センサ部２０１Ａに対しては、冷却ファン２０が吸い込む外気の温度をｔｏｕｔとして検出する外気温度センサ２３が設けられている。外気温度センサ２３が検出する外気温度ｔｏｕｔはコントロール部２０１Ｂへ送られる。

〔コントロール部〕
コントロール部２０１Ｂには、メインコントローラ２４と、サブコントローラ２５と、電源２６と、電源スイッチ２７と、露点計測ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２８と、サブクーラ制御ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２９と、サブクーラ低温／高温／連動切替セレクタスイッチ３０とが設けられている。

メインコントローラ２４は、ＣＰＵ２４−１と、第１のＡ／Ｄ変換器２４−２と、第２のＡ／Ｄ変換器２４−３と、露点温度出力部２４−４と、ＲＡＭ２４−５と、ＲＯＭ２４−６とを備えている。ＣＰＵ２４−１は、外部からの各種入力情報を得て、ＲＡＭ２４−５にアクセスしながら、ＲＯＭ２４−６に格納されたプログラムに従って動作する。ＲＯＭ２４−６には露点計測プログラムが格納されている。

なお、メインコントローラ２４において、第１のＡ／Ｄ変換器２４−２は、光電変換器２２からの電気信号に変換された受光側の光ファイバ１４−２からの光信号（信号Ｓ４）をデジタル信号に変換してＣＰＵ２４−１へ与える。また、第２のＡ／Ｄ変換器２４−３は、第１の温度センサ１２からの鏡面温度ｔＰｐｖ（信号Ｓ２）をデジタル信号に変換して露点温度出力部２４−４およびＣＰＵ２４−１へ与える。露点温度出力部２４−４は第１の温度センサ１２からのデジタル信号に変換された鏡面温度ｔＰｐｖを露点温度として上位装置へ送る。

サブコントローラ２５は、ＣＰＵ２５−１と、第１のＡ／Ｄ変換器２５−２と、第２のＡ／Ｄ変換器２５−３と、ＲＡＭ２５−４と、ＲＯＭ２５−５とを備えている。ＣＰＵ２５−１は、外部からの各種入力情報を得て、ＲＡＭ２５−４にアクセスしながら、ＲＯＭ２５−５に格納されたプログラムに従って動作する。ＲＯＭ２５−５にはサブクーラ制御プログラムが格納されている。

なお、サブコントローラ２５において、第１のＡ／Ｄ変換器２５−２は、第２の温度センサ２１からのサブクーラ温度ｔＳｐｖ（信号Ｓ６）をデジタル信号に変換してＣＰＵ２５−１へ与える。また、第２のＡ／Ｄ変換器２５−３は、外気温度センサ２３からの外気温度ｔｏｕｔ（信号Ｓ８）をデジタル信号に変換してＣＰＵ２５−１へ与える。また、ＣＰＵ２５−１には、メインコントローラ２４における第２のＡ／Ｄ変換器２４−３を介して、第１の温度センサ１２からの鏡面温度ｔＰｐｖが与えられる。また、サブコントローラ２５のＣＰＵ２５−１は、図２に示されるように、メインコントローラ２４のＣＰＵ２４−１からの指令を受けて、仕切り弁４０の開閉および吸引ポンプ４１の運転／停止も制御する。

〔サブクーラ低温／高温／連動の切替設定〕
この鏡面冷却式露点計２０１では、サブクーラＳＣに対して、「低温（例えば、−５℃固定）」で動作させるのか、「高温（例えば、２５℃固定）」で動作させるのか、「連動（鏡面温度＋α）」で動作させるのかについて、サブクーラ低温／高温／連動切替セレクタスイッチ３０を用いてその動作モードを選択的に設定することが可能である。

〔動作モードを「低温」としての露点計測〕
今、サブクーラ低温／高温／連動切替セレクタスイッチ３０を「低温」に設定して、露点計測を開始するものとする。なお、この場合、電源スイッチ２７は既にＯＮとされており、メインコントローラ２４およびサブコントローラ２５には電源が供給された状態にあるものとする。

露点計測を開始させる場合、露点計測ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２８とサブクーラ制御ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２９とを共にＯＮとする。なお、先に、サブクーラ制御ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２９をＯＮとし、ある程度時間が経った後に露点計測ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２８をＯＮとするようにしてもよいが、ここでは露点計測ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２８とサブクーラ制御ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２９とを同時にＯＮとするものとする。

メインコントローラ２４のＣＰＵ２４−１は、サブクーラ制御ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２９がＯＮとされると、サブクーラ低温／高温／連動切替セレクタスイッチ３０の現在の設定状態と合わせて、サブクーラ制御ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２９がＯＮとされた旨をサブコントローラ２５のＣＰＵ２５−１に知らせる。

〔サブコントローラ側での動作〕
サブコントローラ２５のＣＰＵ２５−１は、メインコントローラ２４からサブクーラ制御ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２９がＯＮとされた旨の知らせを受けると（図３：ステップＳ１０１のＹＥＳ）、仕切り弁４０を開とし（ステップＳ１０２）、吸引ポンプ４１の運転を開始して（ステップＳ１０３）、サンプリングチャンバ３１への被測定気体の流入を開始すると共に、冷却ファン２０の運転を開始する（ステップＳ１０４、信号Ｓ５）。なお、電源スイッチ２７がＯＮとされたときにサンプリングチャンバ３１への被測定気体の導入（仕切り弁４０の開、吸引ポンプ４１の運転）および冷却ファン２０の運転を開始するように構成してもよい。

また、サブコントローラ２５のＣＰＵ２５−１は、メインコントローラ２４から知らされるサブクーラ低温／高温／連動切替セレクタスイッチ３０の現在の設定状態をチェックする（ステップＳ１０５）。この場合、サブクーラ低温／高温／連動切替セレクタスイッチ３０の設定状態は「低温」とされているので、ステップＳ１０８を経てステップＳ１０９へ進み、サブクーラの設定目標温度Ｔｓｐを低温（例えば、−５℃）とする。

そして、第２の温度センサ２１からのサブクーラ温度ｔＳｐｖを取り込み（ステップＳ１１４、信号Ｓ６）、サブクーラ温度ｔＳｐｖと設定目標温度Ｔｓｐとが一致するように、第２の熱電冷却素子１８へ供給する電流をＯＮ／ＯＦＦ制御する（ステップＳ１１５、信号Ｓ７）。

〔メインコントローラ側での動作〕
一方、メインコントローラ２４のＣＰＵ２４−１は、露点計測ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２８がＯＮとされると、光電変換器２２へ信号Ｓ３を送り、投光側の光ファイバ１４−１の先端面より、鏡面１１−１に対して所定の周期で光を照射させる（図４（ａ）参照）。なお、電源スイッチ２７がＯＮされると投光側の光ファイバ１４−１の先端面より光を照射させるように光電変換器２２を構成してもよい。

鏡面１１−１は被測定気体に晒されており、鏡面１１−１に結露が生じていなければ、投光側の光ファイバ１４−１の先端から照射された光はそのほゞ全量が正反射し、受光側の光ファイバ１４−２を介して受光される鏡面１１−１からの反射光（散乱光）の量は極微量である。したがって、鏡面１１−１に結露が生じていない場合、受光側の光ファイバ１４−２を介して受光される反射光の強度は小さい。受光側の光ファイバ１４−２を介して受光される反射光は、光電変換器２２によって電気信号に変換され、メインコントローラ２４の第１のＡ／Ｄ変換器２４−２へ送られ、デジタル信号に変換されてＣＰＵ２４−１に取り込まれる。

ＣＰＵ２４−１は、受光側の光ファイバ１４−２を介して受光される反射光の上限値と下限値との差を反射光の強度として求める。この場合、反射光の強度はほゞ零であり、予め定められている閾値（結露判定用の設定値）に達していないので、ＣＰＵ２４−１は、第１の熱電冷却素子２への電流を増大させる（信号Ｓ１）。これにより、第１の熱電冷却素子２の冷却面２−１の温度が下げられて行く。

第１の熱電冷却素子２の冷却面２−１の温度、すなわち鏡面１１−１の温度を下げて行くと、被測定気体に含まれる水蒸気が鏡面１１−１に結露し、その水の分子に投光側の光ファイバ１４−１の先端から照射された光の一部が吸収されたり、乱反射したりする。これにより、受光側の光ファイバ１４−２を介して受光される鏡面１１−１からの反射光（散乱光）の強度が増大する。

ここで、受光側の光ファイバ１４−２を介して受光される反射光の強度が閾値を超えると、ＣＰＵ２４−１は、第１の熱電冷却素子２への電流を減少させる。これにより、第１の熱電冷却素子２の冷却面２−１の温度の低下が抑えられ、結露の発生が抑制される。この結露の抑制により、受光側の光ファイバ１４−２を介して受光される反射光の強度が小さくなり、閾値を下回ると、ＣＰＵ２４−１は、第１の熱電冷却素子２への電流を増大させる。

この動作の繰り返しによって、受光側の光ファイバ１４−２を介して受光される反射光の強度が閾値とほゞ等しくなるように、第１の熱電冷却素子２の冷却面２−１の温度が調整される。この調整された温度、すなわち鏡面１１−１に生じた結露が平衡状態に達した温度（露点温度）が、露点温度出力部２４−４に送られる。

この露点の検出動作において、第１の熱電冷却素子２の加熱面２−２は熱伝導体１７を介して、第２の熱電冷却素子１８を含むサブクーラＳＣによって冷却される。図５に特性ＩとしてサブクーラＳＣの冷却曲線を示し、特性IIとして第１の熱電冷却素子２の冷却曲線を示す。また、参考として、サブクーラＳＣを用いず、鏡面冷却用の熱電冷却素子を大型の多段ペルチェとした場合の冷却曲線を特性IIIとして示す。

特性IIと特性IIIとを比較して分かるように、鏡面冷却用の熱電冷却素子を大型の多段ペルチェとした場合には、鏡面周りの熱容量が大きくなるので、応答性が悪化する。これに対して、サブクーラＳＣを用いた場合には、鏡面周りの熱容量を小さなままとすることができるので、応答性が悪化することがない。

このようにして、この鏡面冷却式露点計２０１では、サブクーラＳＣを用いることによって、第１の熱電冷却素子２として冷却能力が比較的小さい小型の素子（冷却スピードの速いペルチェ）を用いることができている。このため、応答性が犠牲になることがなく、鏡面周りのサイズの大型化も避けられる。また、サブクーラＳＣにペルチェ式の冷却器を採用していることから、冷媒式の冷却器や配管が不要であり、装置が複雑化せず、小型となる。また、冷媒漏れの心配もない。

〔動作モードを「連動」としての露点計測〕
次に、サブクーラ低温／高温／連動切替セレクタスイッチ３０を「連動」に設定して、露点計測を開始する場合について説明する。この場合も、露点計測ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２８とサブクーラ制御ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２９とを同時にＯＮとするものとする。

メインコントローラ２４のＣＰＵ２４−１は、サブクーラ制御ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２９がＯＮとされると、サブクーラ低温／高温／連動切替セレクタスイッチ３０の現在の設定状態と合わせて、サブクーラ制御ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２９がＯＮとされた旨をサブコントローラ２５のＣＰＵ２５−１に知らせる。

〔サブコントローラ側での動作〕
サブコントローラ２５のＣＰＵ２５−１は、メインコントローラ２４からサブクーラ制御ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２９がＯＮとされた旨の知らせを受けると（図３：ステップＳ１０１のＹＥＳ）、仕切り弁４０を開とし（ステップＳ１０２）、吸引ポンプ４１の運転を開始して（ステップＳ１０３）、サンプリングチャンバ３１への被測定気体の流入を開始すると共に、冷却ファン２０の運転を開始する（ステップＳ１０４、信号Ｓ５）。

また、サブコントローラ２５のＣＰＵ２５−１は、メインコントローラ２４から知らされるサブクーラ低温／高温／連動切替セレクタスイッチ３０の現在の設定状態をチェックする（ステップＳ１０５）。この場合、サブクーラ低温／高温／連動切替セレクタスイッチ３０の設定状態は「連動」とされているので、第１の温度センサ１２からの鏡面温度ｔＰｐｖを取得し（ステップＳ１０６）、サブクーラの設定目標温度Ｔｓｐを鏡面温度ｔＰｐｖ＋αとする（ステップＳ１０７）。

そして、外気温度センサ２３からの外気温度ｔｏｕｔを取り込み（ステップＳ１１１）、ステップＳ１０７で定めた設定目標温度Ｔｓｐと外気温度ｔｏｕｔとを比較する（ステップＳ１１２）。ここで、設定目標温度Ｔｓｐが外気温度ｔｏｕｔ以下であれば（ステップＳ１１２のＹＥＳ）、第２の温度センサ２１からのサブクーラ温度ｔＳｐｖを取り込み（ステップＳ１１４）、サブクーラ温度ｔＳｐｖと設定目標温度Ｔｓｐとが一致するように、第２の熱電冷却素子１８へ供給する電流をＯＮ／ＯＦＦ制御する（ステップＳ１１５）。

これに対し、設定目標温度Ｔｓｐが外気温度ｔｏｕｔよりも高い場合には（ステップＳ１１２のＮＯ）、設定目標温度Ｔｓｐを外気温度ｔｏｕｔとし（ステップＳ１１３）、すなわち設定目標温度Ｔｓｐの上限値を外気温度ｔｏｕｔで規制し、サブクーラ温度ｔＳｐｖと設定目標温度Ｔｓｐとが一致するように、第２の熱電冷却素子１８へ供給する電流をＯＮ／ＯＦＦ制御する（ステップＳ１１４、Ｓ１１５）。

〔メインコントローラ側での動作〕
メインコントローラ２４側での動作は、サブクーラ低温／高温／連動切替セレクタスイッチ３０を「低温」に設定した場合と同じであるので、ここでの説明は省略する。

サブクーラ低温／高温／連動切替セレクタスイッチ３０を「低温」に設定した場合、すなわちサブクーラの設定目標温度Ｔｓｐを低温（例えば、−５℃）に固定するものとした場合、その固定された設定目標温度Ｔｓｐよりも高い露点は測定することができない。また、測定範囲の上限付近の露点を測定する際でも、設定目標温度Ｔｓｐが固定であるので、多くのエネルギーを消費してしまう。

これに対して、サブクーラ低温／高温／連動切替セレクタスイッチ３０を「連動」に設定すると、すなわちサブクーラの設定目標温度Ｔｓｐを鏡面温度ｔＰｐｖ＋αとすると、鏡面温度ｔＰｐｖが上昇すると設定目標温度Ｔｓｐも上昇することになるので、周囲温度と同じ温度まで露点計測を行うことが可能となる。また、設定目標温度Ｔｓｐは、常に鏡面温度ｔＰｐｖ＋αで変動しているため、消費されるエネルギーも必要最小限となる。

〔鏡面のメンテナンス(１)〕
例えば、動作モードを「低温」としての露点計測中、鏡面１１−１のメンテナンスを行いたいものとする。この場合、露点計測ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２８をＯＦＦとし、サブクーラ低温／高温／連動切替セレクタスイッチ３０を「高温」に設定する。

すると、メインコントローラ２４のＣＰＵ２４−１は、第１の熱電冷却素子２による鏡面１１−１の冷却動作を中断すると共に、サブクーラ低温／高温／連動切替セレクタスイッチ３０が「高温」に設定された旨をサブコントローラ２５のＣＰＵ２５−１に知らせる。

サブコントローラ２５のＣＰＵ２５−１は、メインコントローラ２４からサブクーラ低温／高温／連動切替セレクタスイッチ３０が「高温」に設定された旨の知らせを受けると、サブクーラの設定目標温度Ｔｓｐを高温（例えば、２５℃）とする（図３：ステップＳ１０８，Ｓ１１０）。

そして、第２の温度センサ２１からのサブクーラ温度ｔＳｐｖを取り込み（ステップＳ１１４）、サブクーラ温度ｔＳｐｖと設定目標温度Ｔｓｐとが一致するように、第２の熱電冷却素子１８へ供給する電流をＯＮ／ＯＦＦ制御する（ステップＳ１１５）。この場合、設定目標温度Ｔｓｐがサブクーラ温度ｔＳｐｖよりも高いので、第２の熱電冷却素子１８へは逆電流がかけられる。これにより、サブクーラＳＣが加熱器として利用され、鏡面周りが短時間で常温に戻される。

〔鏡面のメンテナンス(２)〕
例えば、動作モードを「連動」としての露点計測中、鏡面１１−１のメンテナンスを行いたいものとする。この場合、動作モードを「低温」としての露点計測中と同様にして、露点計測ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２８をＯＦＦとし、サブクーラ低温／高温／連動切替セレクタスイッチ３０を「高温」に設定するようにしてもよいが、露点計測ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２８をＯＦＦとするだけとしてもよい。

露点計測ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２８がＯＦＦにされると、メインコントローラ２４のＣＰＵ２４−１は、第１の熱電冷却素子２による鏡面１１−１の冷却動作を中断する。この場合、サブコントローラ２５のＣＰＵ２５−１は、サブクーラの設定目標温度Ｔｓｐを鏡面温度ｔＰｐｖ＋αとする制御を続ける。これにより、鏡面１１−１の冷却動作の中断による温度の上昇に伴って、サブクーラの設定目標温度Ｔｓｐも上昇して行く。

このようにして、動作モードを「連動」としての露点計測中でれば、露点計測ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２８をＯＦＦとするのみで、サブクーラの設定目標温度Ｔｓｐを高温に切り替えることなく、自動的に鏡面周りを常温に戻すようにすることができる。

〔メインコントローラおよびサブコントローラの性能〕
この鏡面冷却式露点計２０１において、鏡面１１−１上での結露の生成スピードは非常に速く、また鏡面温度ｔＰｐｖや鏡面からの反射光の光量は高精度に測定する必要がある。その一方で、サブクーラＳＣの制御は、熱容量が大きいため制御スピードが遅く、また、サブクーラ温度ｔＳｐｖの検出はあまり精度を必要としない。

そこで、この鏡面冷却式露点計２０１では、メインコントローラ２４は、高速制御と高精度測定が必要であるので、高性能・高価格コントローラを用い、サブコントローラ２５は、制御性能・計測精度はあまり必要としないので、低性能・低価格のコントローラを用いるようにして、メインコントローラ２４とサブコントローラ２５のコストと性能をバランスさせ、製品コストを安くしている。

この点について、さらに具体的に述べる。メインコントローラ２４は、受光側の光ファイバ１４−２が受光する反射光の光量をＡ／Ｄ変換し、そのＡ／Ｄ変換値に基づいて第１の熱電冷却素子２へ供給する電流を所定の制御周期で制御する。また、第１の温度センサ１２が検出する鏡面温度ｔＰｐｖをＡ／Ｄ変換し、その刻々の鏡面温度ｔＰｐｖを表示する。そして、鏡面１１−１に生じた結露が平衡状態に達した時の温度を露点温度として表示する。一方、サブコントローラ２５は、第２の温度センサ２１が検出するサブクーラ温度ｔＳｐｖをＡ／Ｄ変換し、そのＡ／Ｄ変換値に基づいて第２の熱電冷却素子１８へ供給する電流を所定の制御周期で制御する。

メインコントローラ２４において、受光側の光ファイバ１４−２が受光する反射光の光量のＡ／Ｄ変換は第１のＡ／Ｄ変換器２４−２で行われ、そのＡ／Ｄ変換値に基づく第１の熱電冷却素子２への供給電流の所定の制御周期での制御はＣＰＵ２４−１で行われる。また、第１の温度センサ１２が検出する鏡面温度ｔＰｐｖのＡ／Ｄ変換は第２のＡ／Ｄ変換器２４−３で行われる。一方、サブコントローラ２５において、第２の温度センサ２１が検出するサブクーラ温度ｔＳｐｖのＡ／Ｄ変換は第１のＡ／Ｄ変換器２５−２で行われ、そのＡ／Ｄ変換値に基づく第２の熱電冷却素子１８への供給電流の所定の制御周期での制御はＣＰＵ２５−１で行われる。

ここで、メインコントローラ２４とサブコントローラ２５のコストと性能をバランスさせるために、メインコントローラ２４における第１のＡ／Ｄ変換器２４−２や第２のＡ／Ｄ変換器２４−３のＡ／Ｄ変換の精度は、サブコントローラ２５における第１のＡ／Ｄ変換器２５−２のＡ／Ｄ変換の精度よりも高くされている。また、メインコントローラ２４における第１の熱電冷却素子２への供給電流の制御周期は、サブコントローラ２５における第２の熱電冷却素子１８への供給電流の制御周期よりも短周期とされている。

なお、サブコントローラ２５において、第２のＡ／Ｄ変換器２４−３のＡ／Ｄ変換の精度は、第１のＡ／Ｄ変換器２５−２と同程度とされている。この例では、説明上、第１のＡ／Ｄ変換器２５−２と第２のＡ／Ｄ変換器２５−３とを別々に設けるものとしたが、第１のＡ／Ｄ変換器２５−２と第２のＡ／Ｄ変換器２５−３とを１つとし、その１つのＡ／Ｄ変換器を時分割で用いるようにしてもよい。

また、この鏡面冷却式露点計２０１において、メインコントローラ２４からの第１の熱電冷却素子２への供給電流の制御周期はサブコントローラ２５からの第２の熱電冷却素子１８への供給電流の制御周期よりも短周期とされているが、メインコントローラ２４からの第１の熱電冷却素子２への供給電流の制御を比例制御、サブコントローラ２５からの第２の熱電冷却素子１８への供給電流の制御をＯＮ／ＯＦＦ制御とするようにしてもよい。

すなわち、結露を平衡状態に制御するメインコントローラ２４は、高速で緻密な制御を必要とするので比例制御を採用し、サブクーラの温度を制御するサブコントローラ２５は、比較的アバウトな制御でよいので、制御性能が高くなく低価格で実現可能なＯＮ／ＯＦＦ制御を採用するというように、その制御方式を異ならせるようにしてもよい。勿論、メインコントローラ２４／サブコントローラ２５ともに、その供給電流の制御を比例制御で行うようにしてもよい。

〔受光量基準範囲を用いての鏡面の状態の正常／異常判断〕
メインコントローラ２４のＣＰＵ２４−１は、定期的な割り込み処理動作として、鏡面１１−１に生じる結露の増減がなくなる平衡状態になるような第１の熱電冷却素子２への供給電流の制御（露点温度計測制御）を中断する（図６：ステップＳ２０１）。

そして、所定時間の経過を待って（ステップＳ２０２のＹＥＳ）、受光側の光ファイバ１４−２を介して受光される鏡面１１−１からの反射光の光量（受光量）Ｒｐｖを求める（ステップＳ２０３）。そして、この求めた受光量Ｒｐｖが予め定められている受光量基準範囲に入っているか否かをチェックする（ステップＳ２０４）。

すなわち、ＣＰＵ２４−１は、露点温度計測制御の中断後（ステップＳ２０１）、所定時間の経過を待つことによって（ステップＳ２０２）、鏡面１１−１に結露が生じていない状態を作り出し、この時の鏡面１１−１からの反射光の受光量Ｒｐｖを求め（ステップＳ２０３）、この求めた受光量Ｒｐｖが予め定められている受光量基準範囲に入っているか否かをチェックする（ステップＳ２０４）。

ここで、受光量Ｒｐｖが受光量基準範囲に入っていれば（ステップＳ２０４のＹＥＳ）、ＣＰＵ２４−１は、鏡面１１−１の状態が正常であると判断し、露点温度計測制御を再開する（ステップＳ２０５）。

〔自動クリーニング制御への移行〕
これに対して、受光量Ｒｐｖが受光量基準範囲から外れていれば（ステップＳ２０４のＮＯ）、ＣＰＵ２４−１は、鏡面１１−１の状態が異常であると判断し、鏡面１１−１に付着しているであろう凝縮物質を除去させるべく、鏡面１１−１の温度を上昇させるように第１の熱電冷却素子２へ供給する電流を制御する（ステップＳ２０６）。すなわち、露点温度計測制御を中止して、鏡面１１−１の温度を上昇させるような第１の熱電冷却素子２への供給電流の制御（自動クリーニング制御）に移行する。この例では、第１の熱電冷却素子２へ供給する電流を予め定められた所定の電流値まで増大し、鏡面１１−１の温度を上昇させる。

そして、所定時間の経過を待って（ステップＳ２０７のＹＥＳ）、Ｎ（初期値０）をＮ＝Ｎ＋１とし（ステップＳ２０８）、Ｎ＞Ｎｍａｘではないことを確認のうえ（ステップＳ２０９のＮＯ）、ステップＳ２０３の処理へ戻る。すなわち、所定時間の経過を待つことにより、鏡面１１−１の温度をステップＳ２０６でアップした電流値に対応する値まで上昇させるものとし、その上昇させた温度で再度、鏡面１１−１からの反射光の受光量Ｒｐｖを求める。

この場合、鏡面１１−１に付着していた汚れが凝縮物質であって、その凝縮物質が鏡面１１−１の温度上昇によって蒸発又は昇華して除去されれば、鏡面１１−１からの反射光の受光量Ｒｐｖは受光量基準範囲に入るものとなり（ステップＳ２０４のＹＥＳ）、ＣＰＵ２４−１は、鏡面１１−１の状態が正常に戻ったと判断し、露点温度計測制御を再開する（ステップＳ２０５）。

これに対して、鏡面１１−１からの反射光の受光量Ｒｐｖが受光量基準範囲から外れていれば（ステップＳ２０４のＮＯ）、ＣＰＵ２４−１は、鏡面１１−１の状態が正常に戻らなかったと判断し、第１の熱電冷却素子２へ供給する電流を所定量アップし（ステップＳ２０６）、鏡面１１−１の温度をさらに上昇させる。

そして、所定時間の経過を待って（ステップＳ２０７のＹＥＳ）、Ｎ＝Ｎ＋１とし（ステップＳ２０８）、Ｎ＞Ｎｍａｘではないことを確認のうえ（ステップＳ２０９のＮＯ）、ステップＳ２０３の処理へ戻り、その上昇させた温度で再度、鏡面１１−１からの反射光の受光量Ｒｐｖを求める。

以下同様にして、鏡面１１−１からの反射光の受光量Ｒｐｖが受光量基準範囲に入っているか否かをチェックし（ステップＳ２０４）、受光量基準範囲に入っていれば鏡面１１−１の状態が正常に戻ったと判断して（ステップＳ２０４のＹＥＳ）、露点温度計測制御を再開し（ステップＳ２０５）、受光量基準範囲から外れていれば鏡面１１−１の状態が正常に戻らなかったと判断して（ステップＳ２０４のＮＯ）、第１の熱電冷却素子２へ供給する電流を所定量アップし（ステップＳ２０６）、鏡面１１−１の温度をさらに上昇させる、という処理動作を繰り返す。

このようにして、この鏡面冷却式露点計２０１では、鏡面１１−１に凝縮物質が付着していた場合、その凝縮物質が鏡面１１−１の温度上昇によって速いスピードで蒸発又は昇華するものとなり、人手による鏡面の清掃が不要となり、凝縮物質を除去する装置を別途設ける必要もなくなる。また、この鏡面冷却式露点計２０１では、鏡面１１−１に付着していた汚れが凝縮物質であった場合、その凝縮物質の種類が分からなくても、鏡面１１−１の温度の上昇過程の途中でその凝縮物質が蒸発又は昇華するものとなる。したがって、事前に凝縮物質を特定しなくても、鏡面１１−１の状態を正常な状態に戻すことが可能となる。

なお、ステップＳ２０６〜Ｓ２０９の繰り返し処理中、Ｎ＞Ｎｍａｘとなると（ステップＳ２０９のＹＥＳ）、ＣＰＵ２４−１は、鏡面１１−１の汚れが温度上昇では回復することができない異常であると判断し、警報を発する（ステップＳ２１０）。例えば、鏡面１１−１にゴミが付着していたり、検出系の劣化などが生じていた場合、鏡面１１−１の温度上昇では回復することができないので、警報が発せられる。この警報は露点温度出力部２４−４を介して上位装置へ送られる。

なお、図６に示したフローチャートでは、露点温度計測制御を中断した後、所定時間経過後の鏡面１１−１からの反射光の受光量Ｒｐｖを求めるようにしたが、第１の熱電冷却素子２への供給電流の制御を中断した後、第１の温度センサ１２からの鏡面温度ｔＰｐｖの変化をチェックし、鏡面温度ｔＰｐｖの変化が生じなくなった時の鏡面１１−１からの反射光の受光量Ｒｐｖを求めるようにしてもよい。

図７にこの場合のフローチャートを例示する。このフローチャートは図６に対応するフローチャートであり、ステップＳ２０２−１において鏡面温度ｔＰｐｖの変化をチェックし、ステップＳ２０２−２において鏡面温度ｔＰｐｖの変化が生じなくなった時点を判断する。なお、鏡面温度ｔＰｐｖの変化が生じなくなった時点は、鏡面温度ｔＰｐｖの変化する割合が所定値を下回ったタイミングとして判断する。

また、図８に示すように、ステップＳ２０２−１において鏡面温度ｔＰｐｖの変化をチェックする代わりに、鏡面１１−１からの反射光の受光量Ｒｐｖをチェックし、ステップＳ２０２−２においてその受光量Ｒｐｖの変化が生じなくなった時点を判断するようにしてもよい。なお、受光量ｐｖの変化が生じなくなった時点は、受光量Ｒｐｖの変化する割合が所定値を下回ったタイミングとして判断する。

なお、この鏡面冷却式露点計２０１では、鏡面１１−１に生じる結露（露点）を検出するようにしているが、同様の構成によって鏡面１１−１に生じる結霜（霜点）を検出することもできる。すなわち、鏡面１１−１に生じる結霜の増減がなくなる平衡状態になるように第１の熱電冷却素子２への供給電流を制御することによって、鏡面１１−１に生じる結霜（霜点）を検出することも可能である。

また、この鏡面冷却式露点計２０１では、露点計測ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２８とサブクーラ制御ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２９とを別個に設けるようにしているが、露点計測ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２８とサブクーラ制御ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２９とを１つのスイッチで構成するようにしてもよい。この場合、露点計測のＯＮとサブクーラの制御のＯＮが同時に行われ、露点計測のＯＦＦとサブクーラの制御のＯＦＦが同時に行われるものとなる。

また、この鏡面冷却式露点計２０１では、第１の熱電冷却素子２を１段のペルチェとしているが、２段のペルチェとするなどしてもよい。すなわち、鏡面回りのサイズや応答性に余裕があれば、多段のペルチェとサブクーラとを組み合わせた構成としても構わない。また、この鏡面冷却式露点計２０１では、第２の熱電冷却素子１８を設けるようにしているが、第２の熱電冷却素子１８は必ずしも設けなくてもよく、第１の熱電冷却素子２のみを設けた構成であっても構わない。

また、この鏡面冷却式露点計２０１では、例えば図６におけるステップＳ２０６〜Ｓ２０９の処理で示されるように、鏡面１１−１の温度を徐々に上昇させるようにしているが、適切な温度（例えば、１００℃）を定めて、その温度に一気に上昇させるようにしてもよい。この場合、例えば、所定時間が経過しても鏡面１１−１正常な状態に戻らなければ、警報を発するようにする。

また、この鏡面冷却式露点計２０１では、自動クリーニング制御として、 鏡面１１−１に付着しているであろう凝縮物質を除去させるべく、鏡面１１−１の温度を上昇させるように熱電冷却素子２へ供給する電流を制御するようにしたが、鏡面１１−１に付着しているであろう凝縮物質を除去させるべく、サンプリングチャンバ３１内の圧力を減圧制御するようにしてもよい。

鏡面１１−１を加熱して鏡面１１−１に付着しているであろう凝縮物質を除去させるようにした場合、ヒートショックによって、ダメージを受ける。これに対し、サンプリングチャンバ３１内の圧力の減圧によって鏡面１１−１に付着しているであろう凝縮物質を除去させると、加熱する場合のようなヒートショックがなく、ダメージを与えないようにすることが可能となる。

図９に、鏡面１１−１に付着しているであろう凝縮物質を除去させるべく、サンプリングチャンバ３１内の圧力を減圧制御する場合の図６に対応するフローチャートを示す。このフローチャートにおいて、ステップＳ３０１〜Ｓ３０４までの処理は図６のステップＳ２０１〜２０４までの処理と同じであるので、その説明を省略する。

ＣＰＵ２４−１は、受光量Ｒｐｖが受光量基準範囲から外れていれば（ステップＳ３０４のＮＯ）、鏡面１１−１の状態が異常であると判断し、鏡面１１−１に付着しているであろう凝縮物質を除去させるべく、仕切り弁４０を閉とし、吸引ポンプ４１の運転を継続させることにより、サンプリングチャンバ３１内の圧力を減圧させる（ステップＳ３０６）。すなわち、吸引ポンプ４１の運転を継続させた状態で、仕切り弁４０を閉とすることにより、サンプリングチャンバ３１内の圧力を低下させて行くような減圧制御（自動クリーニング制御）に移行する。なお、仕切り弁４０の閉は、サブコントローラ２５のＣＰＵ２５−１を経由して行われる。

そして、所定時間の経過を待って（ステップＳ３０７のＹＥＳ）、Ｎ（初期値０）をＮ＝Ｎ＋１とし（ステップＳ３０９）、Ｎ＞Ｎｍａｘではないことを確認のうえ（ステップＳ３０９のＮＯ）、ステップＳ３０３の処理へ戻る。すなわち、所定時間の経過を待つことにより、サンプリングチャンバ３１内の圧力を所定の値まで低下させるものとし、この圧力を低下させた状態で再度、鏡面１１−１からの反射光の受光量Ｒｐｖを求める。

この場合、鏡面１１−１に付着していた汚れが凝縮物質であって、その凝縮物質がサンプリングチャンバ３１内の圧力の低下によって蒸発又は昇華して除去されれば、鏡面１１−１からの反射光の受光量Ｒｐｖは受光量基準範囲に入るものとなり（ステップＳ３０４のＹＥＳ）、ＣＰＵ２４−１は、鏡面１１−１の状態が正常に戻ったと判断し、吸引ポンプ４１の運転を継続させた状態で、仕切り弁４０を開とし、露点温度計測制御を再開する（ステップＳ３０５）。

これに対して、鏡面１１−１からの反射光の受光量Ｒｐｖが受光量基準範囲から外れていれば（ステップＳ３０４のＮＯ）、ＣＰＵ２４−１は、鏡面１１−１の状態が正常に戻らなかったと判断し、仕切り弁４０を閉としたままの状態で所定時間の経過を待ち（ステップＳ３０７のＹＥＳ）、サンプリングチャンバ３１内の圧力をさらに低下させる。なお、この場合のステップＳ３０７での経過時間は、１回目の経過時間よりも短いものとし、サンプリングチャンバ３１内の圧力の低下量は少ないものとする。これにより、サンプリングチャンバ３１内の圧力は、１回目は所定値ＰＬまで低下し、２回目はＰＬ−αまで低下するものとなる。

そして、ＣＰＵ２４−１は、Ｎ＝Ｎ＋１とし（ステップＳ３０８）、Ｎ＞Ｎｍａｘではないことを確認のうえ（ステップＳ３０９のＮＯ）、ステップＳ３０３の処理へ戻り、その上昇させた温度で再度、鏡面１１−１からの反射光の受光量Ｒｐｖを求める。

以下同様にして、鏡面１１−１からの反射光の受光量Ｒｐｖが受光量基準範囲に入っているか否かをチェックし（ステップＳ３０４）、受光量基準範囲に入っていれば鏡面１１−１の状態が正常に戻ったと判断して（ステップＳ３０４のＹＥＳ）、露点温度計測制御を再開し（ステップＳ３０５）、受光量基準範囲から外れていれば鏡面１１−１の状態が正常に戻らなかったと判断して（ステップＳ３０４のＮＯ）、サンプリングチャンバ３１内の圧力を所定量α低下させる（ステップＳ３０６，３０７）、という処理動作を繰り返す。

ステップＳ３０６〜Ｓ３０９の繰り返し処理中、Ｎ＞Ｎｍａｘとなると（ステップＳ３０９のＹＥＳ）、ＣＰＵ２４−１は、鏡面１１−１の汚れが減圧では回復することができない異常であると判断し、警報を発する（ステップＳ３１０）。

図９に示したフローチャートでは、第１の熱電冷却素子２への供給電流の制御を中断した後、所定時間経過後の鏡面１１−１からの反射光の受光量Ｒｐｖを求めるようにしたが、図７のフローチャートに対応する図１０のフローチャートが示すように、第１の熱電冷却素子２への供給電流の制御を中断した後、第１の温度センサ１２からの鏡面温度ｔＰｐｖの変化をチェックし、鏡面温度ｔＰｐｖの変化が生じなくなった時の鏡面１１−１からの反射光の受光量Ｒｐｖを求めるようにしてもよい。

また、図１１に示すように、ステップＳ３０２−１において鏡面温度ｔＰｐｖの変化をチェックする代わりに、鏡面１１−１からの反射光の受光量Ｒｐｖをチェックし、ステップＳ３０２−２においてその受光量Ｒｐｖの変化が生じなくなった時点を判断するようにしてもよい。なお、受光量ｐｖの変化が生じなくなった時点は、受光量Ｒｐｖの変化する割合が所定値を下回ったタイミングとして判断する。

〔鏡面冷却式露点計の要部の機能ブロック図〕
図１２に上述した鏡面冷却式露点計２０１の要部の機能ブロック図を示す。同図において、図１，図２と同一符号は図１，図２を参照して説明した構成要素と同一或いは同等構成要素を示し、その説明は省略する。この鏡面冷却式露点計２０１において、コントロール部２０１Ｂは露点温度計測制御部３４と、鏡面異常状態判断部３５と、自動クリーニング制御部３６と、制御モード選択部３７とを備えている。なお、露点計測を開始するにあたって、吸引ポンプ４１が運転され、仕切り弁４０が開とされるが、この仕切り弁４０および吸引ポンプ４１に対する制御部は示していない。

コントロール部２０１Ｂにおいて、露点温度計測制御部３４は、受光側の光ファイバ１４−２を介して受光される鏡面１１−１からの反射光の光量に基づいて熱電冷却素子２へ供給する電流を鏡面１１−１に生じる結露もしくは結霜の増減がなくなる平衡状態になるように制御し、その平衡状態において温度センサ１２が検出する鏡面１１−１の温度ｔｘ１を取り込み、露点温度の計測値ｔｘ１として制御モード選択部３７へ送る。

コントロール部２０１Ｂにおいて、鏡面異常状態判断部３５は、受光側の光ファイバ１４−２を介して受光される鏡面１１−１からの反射光の光量に基づいて鏡面１１−１の状態の正常／異常を判断し、その判断結果を制御モード選択部３７へ送る。

コントロール部２０１Ｂにおいて、自動クリーニング制御部３６は、鏡面１１−１に付着しているであろう凝縮物質を除去させるべく、鏡面１１−１の温度を上昇させるように熱電冷却素子２へ供給する電流を制御する。なお、この例では、温度センサ１２が検出する鏡面１１−１の温度ｔｘ１を自動クリーニング制御部３６に与えているが、この例では熱電冷却素子２へ供給する電流値をアップさせる方法をとっているので、温度センサ１２が検出する鏡面１１−１の温度ｔｘ１は必ずしも必要とはしない。

コントロール部２０１Ｂにおいて、制御モード選択部３７は、露点温度計測制御部３４に対して露点温度計測制御を常時実行するように指示すると共に、この露点温度計測制御を定期的に中断させて、鏡面異常状態判断部３５による鏡面１１−１の状態の正常／異常の判断を実行させ、鏡面１１−１の状態が異常であった場合、自動クリーニング制御部３６による鏡面１１−１の自動クリーニングを実行させる。この自動クリーニングによって鏡面１１−１の状態が正常に戻った場合、制御モード選択部３７は、露点温度計測制御部３４による露点温度計測制御を再開させる。また、制御モード選択部３７は、露点温度計測制御部３４による露点温度計測制御中、露点温度計測制御部３４からの露点温度の計測値ｔｘ１を上位装置に出力する。

図１３はこの鏡面冷却式露点計２０１における制御モードの変化を示すタイムチャートである。制御モード選択部３７は、露点温度計測制御部３４による露点温度計測制御を常時実行させる。露点温度計測制御中（期間ＴＡ）、制御モード選択部３７は、この露点温度計測制御を定期的に中断させて、鏡面異常状態判断部３５による鏡面１１−１の状態の正常／異常の判断を実行させる（ｔ１，ｔ２，ｔ３点）。ここで、例えば、ｔ３点において、鏡面１１−１の状態が異常であると判断されると、制御モード選択部３７は、露点温度計測制御部３４による露点温度計測制御を中止させて、自動クリーニング制御部３６による自動クリーニング制御に移行させる。そして、この自動クリーニング制御への移行後、鏡面異常状態判断部３５によって鏡面１１−１の状態が正常に戻ったことが確認されると（ｔ４点）、制御モード選択部３７は、露点温度計測制御部３４による露点温度計測制御を再開させる。

この鏡面冷却式露点計２０１単体では、鏡面１１−１に付着しているであろう凝縮物質を除去させるべく、露点温度計測制御を一度中止（停止）させて鏡面１１−１を加熱している。このため、図１３に期間ＴＢとして示されるように、露点温度を計測することができない期間が生じる。

〔露点温度計測システム〕
そこで、本実施の形態の露点温度計測システムでは、鏡面冷却式露点計２０１を２台用い、１台は運用当初の計測用の露点計とし、もう１台は運用当初の補助用の露点計とすることで、一方の露点計が自動クリーニング制御中であっても露点温度を連続して計測することができるようにする。すなわち、露点温度を計測することができない期間ＴＢが生じないようにする。また、露点温度を有効な計測値としている露点計では、鏡面の状態の正常／異常の定期的な判断が実行されないようにして、自動クリーニング制御中だけではなく、露点温度計測制御中も中断させることなく、露点温度の計測を連続して行わせることができるようにする。

〔実施の形態１：露点温度の計測値の有効／無効を一時的に切り換える方式（運用方式１）〕
図１４に本発明に係る露点温度計測システムの一実施の形態の要部の機能ブロック図を示す。この露点温度計測システムでは、鏡面冷却式露点計２０１を２台用い、一方の鏡面冷却式露点計２０１を第１の鏡面冷却式露点計（露点計１）２０１Ｌとし、他方の鏡面冷却式露点計２０１を第２の鏡面冷却式露点計（露点計２）２０１Ｒとする。

第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌにおいて、コントロール部２０１ＢＬは露点温度計測制御部３４Ｌと、鏡面異常状態判断部３５Ｌと、自動クリーニング制御部３６Ｌと、制御モード選択部３７Ｌと、露点温度計測制御安定確認部３８Ｌとを備えている。

第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒにおいて、コントロール部２０１ＢＲは露点温度計測制御部３４Ｒと、鏡面異常状態判断部３５Ｒと、自動クリーニング制御部３６Ｒと、制御モード選択部３７Ｒと、露点温度計測制御安定確認部３８Ｒとを備えている。

なお、第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌに対しては仕切り弁４０Ｌと吸引ポンプ４１Ｌとが設けられ、第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒに対しては仕切り弁４０Ｒと吸引ポンプ４１Ｒとが設けられている。これら仕切り弁４０Ｌ，４０Ｒおよび吸引ポンプ４１Ｌ，４１Ｒに対する制御部は示していないが、露点計測を開始するにあたって、吸引ポンプ４１Ｌ，４１Ｒが運転され、仕切り弁４０Ｌ，４０Ｒが開とされることにより、サンプリングチャンバ３１Ｌ，３１Ｒへ被測定気体が分岐して供給される。すなわち、本実施の形態では、第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌと第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒとを並列に設置し、供給源を同一とする被測定気体をサンプリングチャンバ３１Ｌ，３１Ｒに同時に流入させるようにしている。

また、この露点温度計測システムにおいて、第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌおよび第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒに対しては、この鏡面冷却式露点計２０１Ｌおよび２０１Ｒの動作を制御する統括コントローラ３００が設けられている。統括コントローラ３００は、露点計制御モード指定部３０１と、露点温度計測値選択部３０２と、露点計現在制御モード認識部３０３と、鏡面状態判断結果認識部３０４とを備えている。

第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌにおいて、制御モード選択部３７Ｌは、統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１からの制御モードの指定（信号Ｄ１）を受け、第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌにおける現在の制御モードを露点温度計測制御モードとするか、自動クリーニング制御モードとするかを選択する。また、制御モード選択部３７Ｌは、現在選択している制御モード（信号Ｂ１）を統括コントローラ３００の露点計現在制御モード認識部３０３に送る。また、制御モード選択部３７Ｌは、第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌにおける現在の制御モードを露点温度計測制御モードとして選択している場合、露点温度計測制御安定確認部３８Ｌにその動作をオンとする指令を送る。

また、制御モード選択部３７Ｌは、統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１からの自己を有効な露点計（露点温度の計測値を有効な計測値として用いる露点計）とするか否かの通知（信号Ｅ）を受け、有効な露点計とする旨の通知を受けている場合には鏡面状態判断部３５Ｌの露点温度計測制御中の鏡面１１−１Ｌの状態の定期的な正常／異常の判断動作を禁止し、有効な露点計とする旨の通知を受けていない場合（無効な露点計とする旨の通知を受けている場合）には鏡面状態判断部３５Ｌの露点温度計測制御中の鏡面１１−１Ｌの状態の定期的な正常／異常の判断動作を許可する。また、制御モード選択部３７Ｌは、第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌにおける現在の制御モードを自動クリーニング制御モードとして選択している場合には、鏡面状態判断部３５Ｌの自動クリーニング制御中の鏡面１１−１Ｌの状態の正常／異常の判断動作を許可する。

また、制御モード選択部３７Ｌは、露点温度計測制御安定確認部３８Ｌが露点温度計測制御の安定を確認していることを条件として、露点温度計測制御部３４Ｌからの露点温度の計測値ｔｘ１（信号Ａ１）を統括コントローラ３００の露点温度計測値選択部３０２および露点計測制御モード指定部３０１に送る。すなわち、制御モード選択部３７Ｌは、露点温度計測制御部３４Ｌから露点温度の計測値ｔｘ１を受けても、その露点温度計測制御が安定するまでの間は、その露点温度の計測値ｔｘ１（信号Ａ１）の統括コントローラ３００への通知を禁止する。

また、第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌにおいて、鏡面状態判断部３５Ｌは、鏡面１１−１Ｌの状態の正常／異常の判断結果（信号Ｃ１）を自己の制御モード選択部３７Ｌではなく、統括コントローラ３００の鏡面状態判断結果認識部３０４へ送る。また、露点温度計測制御安定確認部３８Ｌは、露点温度計測制御部３４Ｌからの制御目標値を入力とし、鏡面１１−１Ｌからの反射光の光量がその制御目標値を中心として定められる制御目標範囲に入っているか否かを確認し、制御目標範囲に入っていれば露点温度計測制御が安定していると判断し、制御目標範囲に入っていなければ露点温度計測制御が安定していないと判断し、その判断結果を制御モード選択部３７Ｌに通知する。

第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒにおいて、制御モード選択部３７Ｒは、統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１からの制御モードの指定（信号Ｄ２）を受け、鏡面冷却式露点計２０１Ｒにおける現在の制御モードを露点温度計測制御モードとするか、自動クリーニング制御モードとするかを選択する。また、制御モード選択部３７Ｒは、現在選択している制御モード（信号Ｂ２）を統括コントローラ３００の露点計現在制御モード認識部３０３に送る。また、制御モード選択部３７Ｒは、第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒにおける現在の制御モードを露点温度計測制御モードとして選択している場合、露点温度計測制御安定確認部３８Ｒにその動作をオンとする指令を送る。

また、制御モード選択部３７Ｒは、統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１からの自己を有効な露点計（露点温度の計測値を有効な計測値として用いる露点計）とするか否かの通知（信号Ｅ）を受け、有効な露点計とする旨の通知を受けている場合には鏡面状態判断部３５Ｒの露点温度計測制御中の鏡面１１−１Ｒの状態の定期的な正常／異常の判断動作を禁止し、有効な露点計とする旨の通知を受けていない場合（無効な露点計とする旨の通知を受けている場合）には鏡面状態判断部３５Ｒの露点温度計測制御中の鏡面１１−１Ｒの状態の定期的な正常／異常の判断動作を許可する。また、制御モード選択部３７Ｒは、第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒにおける現在の制御モードを自動クリーニング制御モードとして選択している場合には、鏡面状態判断部３５Ｒの自動クリーニング制御中の鏡面１１−１Ｒの状態の正常／異常の判断動作を許可する。

また、制御モード選択部３７Ｒは、露点温度計測制御安定確認部３８Ｒが露点温度計測制御の安定を確認していることを条件として、露点温度計測制御部３４Ｒからの露点温度の計測値ｔｘ２（信号Ａ２）を統括コントローラ３００の露点温度計測値選択部３０２および露点計測制御モード指定部３０１に送る。すなわち、制御モード選択部３７Ｒは、露点温度計測制御部３４Ｒから露点温度の計測値ｔｘ２を受けても、その露点温度計測制御が安定するまでの間は、その露点温度の計測値ｔｘ２（信号Ａ２）の統括コントローラ３００への通知を禁止する。

また、第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒにおいて、鏡面状態判断部３５Ｒは、鏡面１１−１Ｒの状態の正常／異常の判断結果（信号Ｃ２）を自己の制御モード選択部３７Ｒではなく、統括コントローラ３００の鏡面状態判断結果認識部３０４へ送る。また、露点温度計測制御安定確認部３８Ｒは、露点温度計測制御部３４Ｒからの制御目標値を入力とし、鏡面１１−１Ｒからの反射光の光量が制御目標値を中心として定められる制御目標範囲に入っているか否かを確認し、制御目標範囲に入っていれば露点温度計測制御が安定していると判断し、制御目標範囲に入っていなければ露点温度計測制御が安定していないと判断し、その判断結果を制御モード選択部３７Ｒに通知する。

統括コントローラ３００の露点計現在制御モード認識部３０３は、第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌおよび第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒから送られてくる現在選択している制御モード（信号Ｂ１，Ｂ２）を認識し、その認識結果を露点計制御モード指定部３０１へ送ると共に、上位装置へ通知する。

統括コントローラ３００の鏡面状態判断結果認識部３０４は、第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌおよび第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒから送られてくる鏡面状態の判断結果（信号Ｃ１，Ｃ２）を認識し、その認識結果を露点計制御モード指定部３０１へ送ると共に、上位装置へ通知する。

統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１は、露点計現在制御モード認識部３０３からの第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌおよび第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒにおいて現在選択されている制御モードの認識結果（Ｂ１，Ｂ２）と、鏡面状態判断結果認識部３０４からの第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌおよび第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒにおける鏡面状態の正常／異常の認識結果（Ｃ１，Ｃ２）と、第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌおよび第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒからの露点温度の計測値ｔｘ１（信号Ａ１）およびｔｘ２（信号Ａ２）とから、第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌおよび第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒに対して指定する制御モード（Ｄ１，Ｄ２）を決定すると共に、現在の有効な露点計（露点温度の計測値を有効な計測値として用いる露点計）を露点温度計測値選択部３０２および第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌならびに第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒへ通知する（信号Ｅ）。

統括コントローラ３００の露点温度計測値選択部３０２は、第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌからの露点温度の計測値ｔｘ１（信号Ａ１）と、第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒからの露点温度の計測値ｔｘ２（信号Ａ２）とを入力とし、露点計制御モード指定部３０１から通知される有効な露点計の露点温度を選択し、その選択した露点温度の計測値を露点温度計測システムの計測露点温度（有効な計測値）として上位装置に通知する（信号Ｆ）。

なお、統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１は、この露点温度計測システムの運用開始時、初期設定として、第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌ（露点計１）をその露点温度の計測値を常に有効な計測値として用いる主要露点計として設定し、第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒ（露点計２）を主要露点計が自動クリーニング制御中である時にその露点温度の計測値を有効な計測値として用いる補助露点計として設定する。

また、露点計制御モード指定部３０１は、第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌおよび第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒに対して、制御モードとして共に露点温度計測制御モードを指定し、第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌに対して制御モードとして露点温度計測制御モードを指定している場合には、露点温度計測値選択部３０２に対して第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌを有効な露点計として通知し、第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌに対して制御モードとして自動クリーニング制御モードを指定している場合には、露点温度計測値選択部３０２に対して第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒを有効な露点計として通知する。

また、露点計制御モード指定部３０１は、特別ルールとして、第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌおよび第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒからの露点温度の計測値ｔｘ１（信号Ａ１）およびｔｘ２（信号Ａ２）のうち１つしか通知されてきていない場合には、通知されている側の露点計を有効な露点計として露点温度計測値選択部３０２に対して通知する。なお、露点計制御モード指定部３０１からの有効な露点計の通知は、第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌおよび第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒへも通知される。

また、統括コントローラ３００から主要露点計として設定された第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌおよび補助露点計として設定された第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒでは、第２の鏡面冷却式露点計（補助露点計）２０１Ｒの鏡面状態判断部３５Ｒの方が第１の鏡面冷却式露点計（主要露点計）２０１Ｌの鏡面状態判断部３５Ｌよりも異常と判断する閾値が低く設定される。すなわち、補助露点計として用いられる第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒは、主要露点計として用いられる第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌよりも鏡面の状態の異常検知（汚れ検知）に対して敏感とされ、露点温度計測制御モードの状態で汚れ検知センサとして機能する。

〔運用〕
図１５（ｂ）および（ｃ）はこの露点温度計測システムを運用方式１で運用した場合の第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌおよび第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒにおける制御モードの変化を示すタイムチャートであり、図１５（ａ）には、この制御モードの変化と合わせて、制御モード変化の各ケースの期間を示している。

統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１は、最初に、第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌを主要露点計（運用当初の計測用の露点計に相当）として設定し、第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒを補助露点計（運用当初の補助用の露点計に相当）として設定する。また、第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌおよび第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒに対して、制御モードとして共に露点温度計測制御モードを指定する。また、露点温度計測値選択部３０２に対して第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌを有効な露点計として通知する。また、この露点温度計測値選択部３０２への通知と合わせて、露点計制御モード指定部３０１は、第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌに対してその露点計を有効な露点計として通知し、第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒに対してその露点計を有効ではない露点計（無効な露点計）として通知する。以下、主要露点計として設定された第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌ（露点計１）をメイン露点計と呼び、補助露点計として設定された第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒ（露点計２）をサブ露点計と呼ぶ。

メイン露点計２０１Ｌの制御モード選択部３７Ｌは、露点温度計測制御部３４Ｌによる露点温度計測制御を常時実行させ、サブ露点計２０１Ｒの制御モード選択部３７Ｒは、露点温度計測制御部３４Ｒによる露点温度計測制御を常時実行させる。

図１６にこの露点温度計測システムを運用方式１で運用した場合のメイン露点計２０１Ｌおよびサブ露点計２０１Ｒの制御フローチャートを示し、図１７〜図１９に統括コントローラ３００の制御フローチャートを分割して示す。

メイン露点計２０１Ｌの制御モード選択部３７Ｌは、露点温度計測制御中、鏡面異常状態判断部３５Ｌによる鏡面１１−１Ｌの状態の定期的な正常／異常の判断動作を禁止し、露点温度計測制御安定確認部３８Ｌの動作をオンとする。すなわち、メイン露点計２０１Ｌは、現在の自己の制御モードを確認し（図１６：ステップＳ４０１）、現在の自己の制御モードが露点温度計測制御であるので（ステップＳ４０２のＹＥＳ）、自己の露点計が有効な露点計として通知されているか否か確認する（ステップＳ４０３）。この場合、有効な露点計として通知されているので（ステップＳ４０３のＹＥＳ）、メイン露点計２０１Ｌは、ステップＳ４０４以降の鏡面１１−１Ｌの状態の定期的な正常／異常の判断動作には進まず、ステップＳ４０９以降の露点温度計測制御の安定確認動作へ進む。

この露点温度計測制御の安定確認動作では、鏡面１１−１からの反射光の光量（受光量）Ｒｐｖを求め（ステップＳ４０９）、この求めた受光量Ｒｐｖが露点温度計測制御部３４Ｌからの制御目標値を中心として定められる制御目標範囲に入っているか否かを確認する（ステップＳ４１０）。ここで、受光量Ｒｐｖが制御目標範囲に入っていれば（ステップＳ４１１のＹＥＳ）、露点温度の計測値ｔｘ１（信号Ａ１）を統括コントローラ３００へ通知する。受光量Ｒｐｖが制御目標範囲に入っていなければ（ステップＳ４１１のＮＯ）、露点温度の計測値ｔｘ１（信号Ａ１）の統括コントローラ３００への通知は行わない。

サブ露点計２０１Ｒの制御モード選択部３７Ｒは、露点温度計測制御中、鏡面異常状態判断部３５Ｒによる鏡面１１−１Ｒの状態の定期的な正常／異常の判断動作を許可し、露点温度計測制御安定確認部３８Ｒの動作をオンとする。すなわち、サブ露点計２０１Ｒは、現在の自己の制御モードを確認し（図１６：ステップＳ４０１）、現在の自己の制御モードが露点温度計測制御であるので（ステップＳ４０２のＹＥＳ）、自己の露点計が有効な露点計として通知されているか否かを確認する（ステップＳ４０３）。この場合、無効な露点計として通知されているので（ステップＳ４０３のＮＯ）、サブ露点計２０１Ｒは、ステップＳ４０４以降の鏡面１１−１Ｒの状態の定期的な正常／異常の判断動作に進む。

この鏡面１１−１Ｒの状態の定期的な正常／異常の判断動作では、鏡面状態の確認タイミングか否かをチェックし（ステップＳ４０４）、鏡面状態の確認タイミングであれば（ステップＳ４０４のＹＥＳ）、露点温度計測制御を中断させて、鏡面１１−１Ｒの状態（正常／異常）を確認する（ステップＳ４０５）。

サブ露点計２０１Ｒは、鏡面１１−１Ｒの状態が正常であることを確認すると（ステップＳ４０６のＹＥＳ）、その旨を統括コントローラ３００に通知し（ステップＳ４０８）、 鏡面１１−１Ｒの状態が異常であることを確認すると（ステップＳ４０６のＮＯ）、その旨を統括コントローラ３００に通知する（ステップＳ４０７）。また、この露点温度計測制御中、鏡面状態の確認タイミングにない場合（ステップＳ４０３のＮＯ）、サブ露点計２０１Ｒは、ステップＳ４０９以降の露点温度計測制御の安定確認動作へ進み、鏡面１１−１Ｒからの受光量Ｒｐｖが制御目標範囲に入っていれば（ステップＳ４１１のＹＥＳ）、露点温度の計測値ｔｘ２（信号Ａ２）を統括コントローラ３００に通知する（ステップＳ４１２）。受光量Ｒｐｖが制御目標範囲に入っていなければ（ステップＳ４１１のＮＯ）、露点温度の計測値ｔｘ２（信号Ａ２）の統括コントローラ３００への通知は行わない。

〔ケース１：メイン露点計とサブ露点計が共に露点温度計測制御モード（通常状態）〕
統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１は、露点計現在制御モード認識部３０３からの認識結果から、メイン露点計２０１Ｌおよびサブ露点計２０１Ｒの現在の制御モードを確認する（図１７：ステップＳ５０１）。

運用開始時、メイン露点計２０１Ｌおよびサブ露点計２０１Ｒの制御モードは共に露点温度計測制御モードとされている。この場合、露点計制御モード指定部３０１は、ステップＳ５０２，５０３のＹＥＳに応じて、ステップＳ５０４へ進む。

そして、メイン露点計２０１Ｌおよびサブ露点計２０１Ｒから露点温度の計測値ｔｘ１（信号Ａ１）およびｔｘ２（信号Ａ２）が入力されていることを確認のうえ（ステップＳ５０４，Ｓ５０５のＹＥＳ）、鏡面状態判断結果認識部３０４からの認識結果から、サブ露点計２０１Ｒの鏡面１１−１Ｒの状態を確認し（ステップＳ５０６）、サブ露点計２０１Ｒの鏡面１１−１Ｒの状態が正常か否かを判断する（ステップＳ５０７）。

今、図１５（ｃ）に示すｔ１点，ｔ２点にあって、サブ露点計２０１Ｒから鏡面１１−１Ｒの状態が正常である旨の判断結果が送られてくれば（ステップＳ５０７のＹＥＳ）、露点計制御モード指定部３０１は、露点温度計測値選択部３０２に対してメイン露点計２０１Ｌを有効な露点計として通知する。これにより、露点温度計測値選択部３０２は、メイン露点計２０１Ｌからの露点温度の計測値ｔｘ１を露点温度計測システムの計測露点温度として上位装置に通知し続ける（ステップＳ５０９）。

〔ケース２：メイン露点計は露点温度計測制御モード、サブ露点計は自動クリーニング制御モード（サブ露点計でメイン露点計の異常の前段階検知）〕
今、図１５（ｃ）に示すｔ３点にあって、サブ露点計２０１Ｒから鏡面１１−１Ｒの状態が異常である旨の判断結果が送られてくれば（ステップＳ５０７のＮＯ）、露点計制御モード指定部３０１は、サブ露点計２０１Ｒに対して制御モードを自動クリーニング制御モードに移行するように切換指令を送る（ステップＳ５１０）。

この場合、サブ露点計２０１Ｒは、メイン露点計２０１Ｌよりも鏡面の汚れ検知に対して敏感とされており、もしメイン露点計２０１Ｌで鏡面１１−１Ｌの状態の正常／異常の判断が行われているものと仮定した場合、メイン露点計２０１Ｌの鏡面１１−１Ｌの状態が異常と判断されるよりも前に、サブ露点計２０１Ｒの鏡面１１−１Ｒの状態が異常と判断される。すなわち、この時、メイン露点計２０１Ｌの鏡面１１−１Ｌの状態はまだ正常であり、サブ露点計２０１Ｒが汚れ検知センサとして機能し、メイン露点計２０１Ｌの鏡面１１−１Ｌの状態が異常の前段階にあることを検知する。

サブ露点計２０１Ｒの制御モード選択部３７Ｒは、統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１からの自動クリーニング制御モードへの切換指令を受けて、制御モードをそれまでの露点温度計測制御モードから自動クリーニング制御モードに切り換える（図１５（ｃ）に示すｔ３点）。すなわち、それまでの露点温度計測制御を中止させて、自動クリーニング制御に移行させる。

露点計制御モード指定部３０１は、サブ露点計２０１Ｒの制御モードが自動クリーニング制御モードに切り換えられた後も、露点温度計測値選択部３０２に対してメイン露点計２０１Ｌを有効な露点計として通知し続ける。これにより、露点温度計測値選択部３０２は、メイン露点計２０１Ｌからの露点温度の計測値ｔｘ１を露点温度計測システムの計測露点温度として上位装置に通知し続ける（ステップＳ５０９）。

サブ露点計２０１Ｒの制御モード選択部３７Ｒは、自動クリーニング制御として、定期的に鏡面１１−１Ｒの自動クリーニングを実行させると共に、鏡面異常状態判断部３５Ｒによってそのクリーニング後の鏡面１１−１Ｒの状態の正常／異常の判断を行わせる。鏡面異常状態判断部３５Ｒは、その正常／異常の判断結果を統括コントローラ３００に通知する（ステップＳ４１４）。

統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１は、露点計現在制御モード認識部３０３からの認識結果から、メイン露点計２０１Ｌおよびサブ露点計２０１Ｒの現在の制御モードを確認する（ステップＳ５０１）。

このケース（ケース２）では、メイン露点計２０１Ｌの制御モードが露点温度計測制御モードとされ（ステップＳ５０２のＹＥＳ）、サブ露点計２０１Ｒの制御モードが自動クリーニング制御モードとされているので（ステップＳ５０３のＮＯ）、露点計制御モード指定部３０１は、鏡面状態判断結果認識部３０４からの認識結果から、サブ露点計２０１Ｒの鏡面１１−１Ｒの状態を確認する（図１８：ステップＳ５１０）。

このサブ露点計２０１Ｒの自動クリーニング制御中、露点計制御モード指定部３０１は、鏡面状態判断結果認識部３０４からの認識結果から、サブ露点計２０１Ｒの鏡面１１−１Ｒの状態を確認しながら（ステップＳ５１０，Ｓ５１１）、露点温度計測値選択部３０２に対してメイン露点計２０１Ｌを有効な露点計として通知し続ける。これにより、露点温度計測値選択部３０２は、メイン露点計２０１Ｌからの露点温度の計測値ｔｘ１を露点温度計測システムの計測露点温度として上位装置に通知し続ける（ステップＳ５１２）。

〔ケース５：メイン露点計とサブ露点計とが共に露点温度計測制御モード（サブ露点計の露点温度計測制御の安定確認待ち状態）〕
今、図１５（ｃ）に示すｔ４点にあって、サブ露点計２０１Ｒから鏡面１１−１Ｒの状態が正常となった旨の判断結果が送られてくれば（ステップＳ５１１のＹＥＳ）、露点計制御モード指定部３０１は、サブ露点計２０１Ｒに対して制御モードを露点温度計測制御モードに移行するように切換指令を送る（ステップＳ５１３）。

サブ露点計２０１Ｒの制御モード選択部３７Ｒは、統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１からの露点温度計測制御モードへの切換指令を受けて、制御モードをそれまでの自動クリーニング制御モードから露点温度計測制御モードに切り換える（図１５（ｃ）に示すｔ４点）。すなわち、それまでの自動クリーニング制御を中止させて、露点温度計測制御に復帰させる。

サブ露点計２０１Ｒが露点温度計測制御に復帰したことにより、サブ露点計２０１Ｒの制御モード選択部３７Ｒには露点温度計測制御部３４Ｒからの露点温度の計測値ｔｘ２が入力され始めるが、露点温度計測制御安定確認部３８Ｒで露点温度計測制御の安定が確認されるまでの間は、露点温度計測制御部３４Ｒからの露点温度の計測値ｔｘ２（信号Ａ２）は統括コントローラ３００へは通知されない。

このケース（ケース５）において、統括コントローラ３００の露点制御モード指定部３０１は、メイン露点計２０１Ｌおよびサブ露点計２０１Ｒの制御モードが共に露点温度計測制御モードとされており（ステップＳ５０２，５０３のＹＥＳ）、メイン露点計２０１Ｌからの露点温度の計測値ｔｘ１（信号Ａ１）は通知されているが（ステップＳ５０４のＹＥＳ）、サブ露点計２０１Ｒからの露点温度の計測値ｔｘ２（信号Ａ２）は通知されていないので（ステップＳ５０５のＮＯ）、露点温度計測値選択部３０２に対するメイン露点計２０１Ｌの有効な露点計としての通知を続ける（ステップＳ５１３）。

〔ケース３：メイン露点計は自動クリーニング制御モード、サブ露点計は露点温度計測制御モード（サブ露点計で露点温度計測）〕
サブ露点計２０１Ｒにおいて、自動クリーニング制御の終了後、露点温度計測制御に復帰し、この露点温度計測制御が安定したことが確認されると、サブ露点計２０１Ｒから露点温度の計測値ｔｘ２（信号Ａ２）が通知され始める。

統括コントローラ３００の露点制御モード指定部３０１は 、このサブ露点計２０１Ｒから露点温度の計測値ｔｘ２（信号Ａ２）が通知され始めたことを確認して（ステップＳ５１４のＹＥＳ）、露点温度計測値選択部３０２に対してサブ露点計２０１Ｒを有効な露点計として通知する。これにより、露点温度計測値選択部３０２は、サブ露点計２０１Ｒからの露点温度の計測値ｔｘ２を露点温度計測システムの計測露点温度として上位装置に通知し始める（ステップＳ５１５）。

また、露点制御モード指定部３０１からのサブ露点計２０１Ｒを有効な露点計とする通知は、サブ露点計２０１Ｒの制御モード選択部３７Ｒへも送られる。サブ露点計２０１Ｒの制御モード選択部３７Ｒは、自己を有効な露点計とする通知を受けて、鏡面状態判断部３５Ｒの露点温度計測制御中の鏡面１１−１Ｒの状態の定期的な正常／異常の判断動作を禁止する。

また、露点計制御モード指定部３０１は、メイン露点計２０１Ｌに対して制御モードを自動クリーニング制御モードに移行するように切換指令を送ると共に（ステップＳ５１６）、メイン露点計２０１Ｌの直近の自動クリーニング制御モード開始からの経過時間ＴＹを計時するソフトタイマをスタートさせる（ステップＳ５１７）。

メイン露点計２０１Ｌの制御モード選択部３７Ｌは、統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１からの自動クリーニング制御モードへの切換指令を受けて、制御モードをそれまでの露点温度計測制御モードから自動クリーニング制御モードに切り換える（図１５（ｃ）に示すｔ５点）。すなわち、サブ露点計２０１Ｒの露点温度計測制御が安定した状態となるまで待った後（図１５（ｃ）に示すτ１時間の経過後）、それまでの露点温度計測制御を中止させて、自動クリーニング制御に移行させる。

このケース（ケース３）において、露点計制御モード指定部３０１は、メイン露点計２０１Ｌの制御モードが自動クリーニング制御モードとされているので（ステップＳ５０２のＮＯ）、ステップＳ５１７（図１９）へ進み、メイン露点計２０１Ｌの直近の自動クリーニング制御モード開始からの経過時間ＴＹを求める。そして、この求めたメイン露点計２０１Ｌの直近の自動クリーニング制御モード開始からの経過時間ＴＹと、予め定められている設定時間Ｔとを比較する（ステップＳ５１８）。

これにより、メイン露点計２０１Ｌの直近の自動クリーニング制御モード開始からの経過時間ＴＹが設定時間Ｔに達するまでの間（テップＳ５１８のＮＯ）、メイン露点計２０１における自動クリーニング制御が続けられ、露点温度計測値選択部３０２に対するサブ露点計２０１Ｒの有効な露点計としての通知が続けられ、サブ露点計２０１Ｒからの露点温度の計測値ｔｘ２が露点温度計測システムの計測露点温度として上位装置へ通知され続ける。

この実施の形態１において、設定時間Ｔは、メイン露点計２０１Ｌの鏡面１１−１Ｌに付着しているであろう凝縮物質を除去させるに充分な所定時間の設定値として定められている。なお、この設定時間Ｔは、メイン露点計２０１Ｌが自己が異常で自動クリーニング制御モードに移行するのではなく、サブ露点計２０１Ｒが正常に戻ったことを受けて自動クリーニング制御モードに移行するので、すなわちメイン露点計２０１Ｌは正常な状態のままで自動クリーニング制御されるので、サブ露点計２０１のように正常な状態に戻ったか否かを判断することができないことがあるために、メイン露点計２０１Ｌの鏡面１１−１Ｌに付着しているであろう凝縮物質を除去させるに充分な時間として定められているものである。

〔ケース４：メイン露点計とサブ露点計とが共に露点温度計測制御モード（メイン露点計の露点温度計測制御の安定確認待ち状態）〕
露点計制御モード指定部３０１は、メイン露点計２０１Ｌの直近の自動クリーニング制御モード開始からの経過時間ＴＹが設定時間Ｔに達した場合（ステップＳ５１８のＹＥＳ、（図１５（ｂ）に示すｔ６点）、メイン露点計２０１Ｌに対して制御モードを露点温度計測制御モードに移行するように切換指令を送り（ステップＳ５１９）、経過時間ＴＹのソフトタイマをリセットして０に戻す（ステップＳ５２０）。

メイン露点計２０１Ｌの制御モード選択部３７Ｌは、統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１からの露点温度計測制御モードへの切換指令を受けて、制御モードをそれまでの自動クリーニング制御モードから露点温度計測制御モードに切り換える（図１５（ｂ）に示すｔ６点）。すなわち、それまでの自動クリーニング制御を中止させて、露点温度計測制御に復帰させる。

メイン露点計２０１Ｌが露点温度計測制御に復帰したことにより、メイン露点計２０１Ｌの制御モード選択部３７Ｌには露点温度計測制御部３４Ｌからの露点温度の計測値ｔｘ１が入力され始めるが、露点温度計測制御安定確認部３８Ｌで露点温度計測制御の安定が確認されるまでの間は、露点温度計測制御部３４Ｌからの露点温度の計測値ｔｘ１（信号Ａ１）は統括コントローラ３００へは通知されない。

このケース（ケース４）において、統括コントローラ３００の露点制御モード指定部３０１は、メイン露点計２０１Ｌおよびサブ露点計２０１Ｒの制御モードが共に露点温度計測制御モードとされており（ステップＳ５０２，５０３のＹＥＳ）、メイン露点計２０１Ｌからの露点温度の計測値ｔｘ１（信号Ａ１）が通知されていないので（ステップＳ５０４のＮＯ）、露点温度計測値選択部３０２に対するサブ露点計２０１Ｒの有効な露点計としての通知を続ける（図１９：ステップＳ５２２）。

〔ケース１：メイン露点計とサブ露点計が共に露点温度計測制御モード（通常状態への復帰）〕
メイン露点計２０１Ｌにおいて、自動クリーニング制御の終了後、露点温度計測制御に復帰し、この露点温度計測制御が安定したことが確認されると（図１５（ａ）に示すτ２時間の経過後）、メイン露点計２０１Ｌから露点温度の計測値ｔｘ１（信号Ａ１）が通知され始める。

統括コントローラ３００の露点制御モード指定部３０１は 、このメイン露点計２０１Ｌから露点温度の計測値ｔｘ１（信号Ａ１）が通知され始めたことを確認して（ステップＳ５２３のＹＥＳ）、露点温度計測値選択部３０２に対してメイン露点計２０１Ｌを有効な露点計として通知する。これにより、露点温度計測値選択部３０２は、メイン露点計２０１Ｌからの露点温度の計測値ｔｘ１を露点温度計測システムの計測露点温度として上位装置に通知し始める（ステップＳ５２４）。

また、露点制御モード指定部３０１からのメイン露点計２０１Ｌを有効な露点計とする通知は、メイン露点計２０１Ｌの制御モード選択部３７Ｌへも送られる。また、このメイン露点計２０１Ｌを有効な露点計とする通知は、サブ露点計２０１Ｒを無効な露点計とする通知として、サブ露点計２０１Ｒへも送られる。メイン露点計２０１Ｌの制御モード選択部３７Ｌは、自己を有効な露点計とする通知を受けて、鏡面状態判断部３５Ｌの露点温度計測制御中の鏡面１１−１Ｌの状態の定期的な正常／異常の判断動作を禁止する。サブ露点計２０１Ｒの制御モード選択部３７Ｒは、自己を無効な露点計とする通知を受けて、鏡面状態判断部３５Ｒの露点温度計測制御中の鏡面１１−１Ｒの状態の定期的な正常／異常の判断動作を許可する。

このようにして、この実施の形態１では、メイン露点計２０１Ｌが異常となる前に、サブ露点計２０１Ｒが自動クリーニング制御を実行して正常に戻った時点で露点温度計測制御に復帰し、この後、サブ露点計２０１Ｒの露点温度計測制御が安定した状態となるまで待って、メイン露点計２０１Ｌが露点温度計測制御を中止して、自動クリーニング制御を実行するものとなり、メイン露点計２０１Ｌの露点温度計測制御中はこのメイン露点計２０１Ｌの露点温度の計測値ｔｘ１が有効な計測値として用いられる一方、メイン露点計２０１Ｌの自動クリーニング制御の実行中、およびこのメイン露点計２０１Ｌの自動クリーニング制御から露点温度計測制御への移行時の露点温度計測制御が安定するまでの間は、サブ露点計２０１Ｒの露点温度の計測値ｔｘ２が有効な計測値として用いられるものとなり、メイン露点計２０１Ｌの自動クリーニング制御中に、サブ露点計２０１Ｒで鏡面１１−１Ｒが正常な状態で露点温度計測制御が行われるようにして、露点温度を連続して計測することができるようになる。また、メイン露点計２０１Ｌにおいても、サブ露点計２０１Ｒにおいても、その露点温度の計測値を有効な計測値として用いる露点温度計測制御中は、鏡面の状態の正常／異常の判断の実行が禁止されるものとなり、鏡面の自動クリーニング制御中だけではなく、露点温度計測制御中も中断させることなく、露点温度の計測を連続して行わせることができるようになる。

なお、この実施の形態１では、サブ露点計２０１Ｒの自動クリーニング制御中、鏡面１１−１Ｒが正常な状態に戻ったことを確認して露点温度計測制御に復帰させるものとしたが、メイン露点計２０１Ｌと同様にして、サブ露点計２０１Ｒの鏡面１１−１Ｒに付着しているであろう凝縮物質を除去させるに充分な所定時間Ｔを定め、この所定時間Ｔの経過後に露点温度計測制御に復帰させるようにしてもよい。

〔実施の形態２：露点温度の計測値の有効／無効を交互切り換える方式（運用方式２）〕
図２０（ｂ）および（ｃ）はこの露点温度計測システムを別の運用方式（運用方式２）で運用した場合の第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌおよび第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒにおける制御モードの変化を示すタイムチャートであり、図２０（ａ）には、この制御モードの変化と合わせて、制御モード変化の各ケースの期間を示している。

この運用方式２（実施の形態２）において、統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１は、最初に、第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌを運用当初の計測用の露点計として設定し、第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒを運用当初の補助用の露点計として設定する。統括コントローラ３００から補助用の露点計として設定された鏡面冷却式露点計２０１Ｒでは、計測用の露点計として設定された鏡面冷却式露点計２０１Ｒよりも鏡面の状態の異常検知（汚れ検知）に対して敏感とされ（鏡面の状態を異常と判断する閾値が低く設定され）、露点温度計測制御モードの状態で汚れ検知センサとして機能する。

また、統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１は、最初に、第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌおよび第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒに対して、制御モードとして共に露点温度計測制御モードを指定する。また、露点温度計測値選択部３０２に対して第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌを有効な露点計として通知する。また、第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌに対してその露点計を有効な露点計として通知し、第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒに対してその露点計を有効ではない露点計（無効な露点計）として通知する。以下、運用当初の計測用の露点計として設定された第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌ（露点計１）を計測用露点計と呼び、運用当初の補助用の露点計として設定された第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒ（露点計２）を補助用露点計と呼ぶ。

〔ケース１：計測用露点計と補助用露点計が共に露点温度計測制御モード（通常状態）〕
計測用露点計２０１Ｌの制御モード選択部３７Ｌは、統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１から自己を有効な露点計とする通知を受けると、鏡面状態判断部３５Ｌの露点温度計測制御中の鏡面１１−１Ｌの状態の定期的な正常／異常の判断動作を禁止する。また、統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１から露点温度計測制御モードの指定を受けると、露点温度計測制御部３４Ｌによる露点温度計測制御を開始させると共に、露点温度計測制御安定確認部３８Ｌの動作をオンとする。これにより、計測用露点計２０１Ｌは、鏡面１１−１Ｒの状態の定期的な正常／異常の判断動作を行うことなく、露点温度計測制御を実行し、その露点温度の計測値ｔｘ１（信号Ａ１）を統括コントローラ３００に通知する。

一方、補助用露点計２０１Ｒの制御モード選択部３７Ｒは、統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１から自己を無効な露点計とする通知を受けると、鏡面状態判断部３５Ｒの露点温度計測制御中の鏡面１１−１Ｒの状態の定期的な正常／異常の判断動作を許可する。また、統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１から露点温度計測制御モードの指定を受けると、露点温度計測制御部３４Ｒによる露点温度計測制御を開始させると共に、露点温度計測制御安定確認部３８Ｒの動作をオンとする。これにより、補助用露点計２０１Ｒは、鏡面１１−１Ｒの状態の定期的な正常／異常の判断動作を行いながら、露点温度計測制御を実行し、その露点温度の計測値ｔｘ２（信号Ａ２）を統括コントローラ３００に通知する。

計測用露点計２０１Ｌからの露点温度の計測値ｔｘ１（信号Ａ１）および補助用露点計２０１Ｒからの露点温度の計測値ｔｘ２（信号Ａ２）は統括コントローラ３００の露点温度計測値選択部３０２へ送られる。露点温度計測値選択部３０２は、露点計制御モード指定部３０１からの計測用露点計２０１Ｌを有効な露点計とする通知を受けて、計測用露点計２０１Ｌからの露点温度の計測値ｔｘ１を露点温度計測システムの計測露点温度として上位装置に通知する。

〔ケース２：計測用露点計は露点温度計測制御モード、補助用露点計は自動クリーニング制御モード（補助用露点計で計測用露点計の異常の前段階検知）〕
今、図２０（ｃ）に示すｔ３点にあって、補助用露点計２０１Ｒから鏡面１１−１Ｒの状態が異常である旨の判断結果が送られてくると、統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１は、補助用露点計２０１Ｒに対して制御モードを自動クリーニング制御モードに移行するように切換指令を送る。

この場合、補助用露点計２０１Ｒは、計測用露点計２０１Ｌよりも鏡面の汚れ検知に対して敏感とされており、もし計測用露点計２０１Ｌで鏡面１１−１Ｌの状態の正常／異常の判断が行われているものと仮定した場合、計測用露点計２０１Ｌの鏡面１１−１Ｌの状態が異常と判断されるよりも前に、補助用露点計２０１Ｒの鏡面１１−１Ｒの状態が異常と判断される。すなわち、この時、計測用露点計２０１Ｌの鏡面１１−１Ｌの状態はまだ正常であり、補助用露点計２０１Ｒが汚れ検知センサとして機能し、計測用露点計２０１Ｌの鏡面１１−１Ｌの状態が異常の前段階にあることを検知する。

補助用露点計２０１Ｒの制御モード選択部３７Ｒは、統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１からの自動クリーニング制御モードへの切換指令を受けて、制御モードをそれまでの露点温度計測制御モードから自動クリーニング制御モードに切り換える（図２０（ｃ）に示すｔ３点）。すなわち、それまでの露点温度計測制御を中止させて、自動クリーニング制御に移行させる。

統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１は、補助用露点計２０１Ｒの制御モードが自動クリーニング制御モードに切り換えられた後も、露点温度計測値選択部３０２に対して計測用露点計２０１Ｌを有効な露点計として通知し続ける。これにより、露点温度計測値選択部３０２は、計測用露点計２０１Ｌからの露点温度の計測値ｔｘ１を露点温度計測システムの計測露点温度として上位装置に通知し続ける。

統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１は、補助用露点計２０１Ｒの制御モードの自動クリーニング制御モードへの切り換え後、補助用露点計２０１Ｒから鏡面１１−１Ｒの状態が正常に戻った旨の判断結果が送られてきた時点で（図２０（ｃ）に示すｔ４点）、補助用露点計２０１Ｒに対して制御モードを露点温度計測制御モードに移行するように切換指令を送る。

露点計制御モード指定部３０１は、補助用露点計２０１Ｒから鏡面１１−１Ｒの状態が正常に戻った旨の判断結果が送られてくるまでの間、露点温度計測値選択部３０２に対して計測用露点計２０１Ｌを有効な露点計として通知し続ける。これにより、補助用露点計２０１Ｒが自動クリーニング制御を実行している間、露点温度計測値選択部３０２は、計測用露点計２０１Ｌからの露点温度の計測値ｔｘ１を露点温度計測システムの計測露点温度として上位装置に通知し続ける。

〔ケース３：計測用露点計と補助用露点計とが共に露点温度計測制御モード（補助用露点計の露点温度計測制御の安定確認待ち状態）〕
露点計制御モード指定部３０１は、補助用露点計２０１Ｒから鏡面１１−１Ｒの状態が正常に戻った旨の判断結果が送られてきても、補助用露点計２０１Ｒの露点温度計測制御が安定した状態が確認されるまでの間、計測用露点計２０１Ｌの露点温度計測制御を継続させ、露点温度計測値選択部３０２への計測用露点計２０１Ｌを有効な露点計とする通知を続ける。

これにより、露点温度計測値選択部３０２は、補助用露点計２０１Ｒが自動クリーニング制御を実行している間に加え、補助用露点計２０１Ｒの露点温度計測制御が安定した状態が確認されるまでの間（図２０（ｃ）に示すτ１時間の間）、計測用露点計２０１Ｌからの露点温度の計測値ｔｘ１を露点温度計測システムの計測露点温度として上位装置に通知し続ける。

〔ケース４：計測用露点計は自動クリーニング制御モード、補助用露点計は露点温度計測制御モード（補助用露点計で露点温度計測）〕
補助用露点計２０１Ｒの露点温度計測制御が安定した状態が確認されると、統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１は、計測用露点計２０１Ｌに対して制御モードを自動クリーニング制御モードに移行するように切換指令を送る（図２０（ｂ）に示すｔ５点）。

計測用露点計２０１Ｌの制御モード選択部３７Ｌは、統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１からの自動クリーニング制御モードへの切換指令を受けて、制御モードをそれまでの露点温度計測制御モードから自動クリーニング制御モードに切り換える（図２０（ｂ）に示すｔ５点）。

統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１は、露点計現在制御モード認識部３０３からの認識結果から、計測用露点計２０１Ｌおよび補助用露点計２０１Ｒの現在の制御モードを確認する。この場合、計測用露点計２０１Ｌの現在の制御モードが自動クリーニング制御モードであるので、露点計制御モード指定部３０１は、露点温度計測値選択部３０２に対して補助用露点計２０１Ｒを有効な露点計として通知する。この通知は補助用露点計２０１Ｒにも送られる。

補助用露点計２０１Ｒの制御モード選択部３７Ｒは、統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１からの自己を有効な露点計とする通知を受けると、鏡面状態判断部３５Ｒの露点温度計測制御中の鏡面１１−１Ｒの状態の定期的な正常／異常の判断動作を禁止する。これにより、補助用露点計２０１Ｒでは、鏡面１１−１Ｒの状態の定期的な正常／異常の判断動作が禁止された状態で露点温度計測制御が行われる。また、露点温度計測値選択部３０２は、補助用露点計２０１Ｒからの露点温度の計測値ｔｘ２を露点温度計測システムの計測露点温度として上位装置に通知し始める。

露点計制御モード指定部３０１は、計測用露点計２０１Ｌの制御モードの自動クリーニング制御モードへの切り換え後、所定時間Ｔが経過すると（図２０（ｂ）に示すｔ６点）、計測用露点計２０１Ｌに対して制御モードを露点温度計測制御モードに移行するように切換指令を送る。すなわち、それまでの自動クリーニング制御を中止させて、露点温度計測制御に復帰させる。

〔ケース５：計測用露点計と補助用露点計が共に露点温度計測制御モード（通常状態（有効無効切換後の通常状態））〕
統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１は、計測用露点計２０１Ｌの制御モードが露点温度計測制御モードに復帰した後も、露点温度計測値選択部３０２に対して補助用露点計２０１Ｒを有効な露点計として通知し続ける。計測用露点計２０１Ｌおよび補助用露点計２０１Ｒにも同様の通知が続けられる。

計測用露点計２０１Ｌの制御モード選択部３７Ｌは、統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１からの自己を無効な露点計とする通知を受けている状態では、鏡面状態判断部３５Ｌの露点温度計測制御中の鏡面１１−１Ｌの状態の定期的な正常／異常の判断動作を許可する。これにより、計測用露点計２０１Ｌは、鏡面１１−１Ｌの状態の定期的な正常／異常の判断動作を行いながら、露点温度計測制御を行う。

一方、補助用露点計２０１Ｒの制御モード選択部３７Ｒは、統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１から自己を有効な露点計とする通知を受けている状態では、鏡面状態判断部３５Ｒの露点温度計測制御中の鏡面１１−１Ｒの状態の定期的な正常／異常の判断動作を禁止する。これにより、補助用露点計２０１Ｒは、鏡面１１−１Ｒの状態の定期的な正常／異常の判断動作を行うことなく、露点温度計測制御を行う。

すなわち、このケース（ケース５）では、計測用露点計２０１Ｌと補助用露点計２０１Ｒの役割が入れ替わり、計測用露点計２０１Ｌが補助用露点計となり、補助用露点計２０１Ｒが計測用露点計となる。以下、計測用露点計２０１Ｌを補助用露点計と呼び変え、補助用露点計２０１Ｒを計測用露点計と呼び変える。この場合、統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１は、鏡面の状態の異常検知（汚れ検知）の感度についても入れ替え、計測用露点計２０１Ｒよりも補助用露点計２０１Ｌの鏡面の状態の異常検知の感度を敏感とし、補助用露点計２０１Ｌを露点温度計測制御モードの状態で汚れ検知センサとして機能させる。

以下、同様にして、ケース２に相当するケース６で、計測用露点計２０１Ｒが露点温度計測制御モード、補助用露点計２０１Ｌが自動クリーニング制御モード（補助用露点計２０１Ｌで計測用露点計２０１Ｒの異常の前段階検知）とされ、ケース３に相当すケース７で計測用露点計２０１Ｒと補助用露点計２０１Ｌとが共に露点温度計測制御モード（補助用露点計２０１Ｌの露点温度計測制御の安定確認待ち状態）とされ、ケース４に相当するケース８で計測用露点計２０１Ｒが自動クリーニング制御モード、補助用露点計２０１Ｌが露点温度計測制御モード（補助用露点計２０１Ｌで露点温度計測）とされ、ケース１の状態に復帰する。

このようにして、この実施の形態２では、計測用露点計２０１Ｌ（２０１Ｒ）が異常となる前に、補助用露点計２０１Ｒ（２０１Ｌ）が自動クリーニング制御を実行して正常に戻った時点で露点温度計測制御に復帰し、この後、補助用露点計２０１Ｒ（２０１Ｌ）の露点温度計測制御が安定した状態となるまで待って、計測用露点計２０１Ｌ（２０１Ｒ）が露点温度計測制御を中止して、自動クリーニング制御を実行するものとなり、計測用露点計２０１Ｌ（２０１Ｒ）の露点温度計測制御中はこの計測用露点計２０１Ｌ（２０１Ｒ）の露点温度の計測値ｔｘ１（ｔｘ２）が有効な計測値として用いられる一方、計測用露点計２０１Ｌ（２０１Ｒ）の自動クリーニング制御の実行中は、補助用露点計２０１Ｒ（２０１Ｌ）の露点温度の計測値ｔｘ２（ｔｘ１）が有効な計測値として用いられるものとなり、計測用露点計２０１Ｌ（２０１Ｒ）の自動クリーニング制御中に、補助用露点計２０１Ｒ（２０１Ｌ）で鏡面１１−１Ｒ（１１−１Ｌ）が正常な状態で露点温度計測制御が行われるようにして、露点温度を連続して計測することができるようになる。また、計測用露点計２０１Ｌ（２０１Ｒ）においても、補助用露点計２０１Ｒ（２０１Ｌ）においても、その露点温度の計測値を有効な計測値として用いる露点温度計測制御中は、鏡面の状態の正常／異常の判断の実行が禁止されるものとなり、鏡面の自動クリーニング制御中だけではなく、露点温度計測制御中も中断させることなく、露点温度の計測を連続して行わせることができるようになる。

なお、上述し実施の形態１，２では、第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌおよび第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒにおける自動クリーニング制御をともに鏡面を加熱する加熱制御方式としたが、ともにサンプリングチャンバ内の圧力を減圧させる減圧制御方式としてもよく、何れか一方を加熱制御方式、他方を減圧制御方式としてもよい。

また、上述した実施の形態１，２では、サンプリングチャンバ３１（３１Ｌ，３１Ｒ）の上流側に仕切り弁４０（４０Ｌ，４０Ｒ）を設け、下流側に吸引ポンプ４１（４１Ｌ，４１Ｒ）を設け、仕切り弁４０（４０Ｌ，４０Ｒ）を開とし、吸引ポンプ４１（４１Ｌ，４１Ｒ）を運転することによって、サンプリングチャンバ３１（３１Ｌ，３１Ｒ）内に被測定気体を流入させるような構成としたが、吸引ポンプを設けずに、上流側の圧力を高くして、サンプリングチャンバ３１（３１Ｌ，３１Ｒ）内に被測定気体を流入させるような構成としてもよい。このような構成では、例えば、サンプリングチャンバ３１（３１Ｌ，３１Ｒ）の上，下流に弁を設け、サンプリングチャンバ３１（３１Ｌ，３１Ｒ）の近くに減圧用ポンプをポンプを設け、上，下流の弁を閉じ、減圧用ポンプを運転することによって、サンプリングチャンバ３１（３１Ｌ，３１Ｒ）内の圧力を減圧させるようにすることが可能である。

また、上述した実施の形態１，２では、第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌと第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒとを並列に設置したが、直列に設置するようにしてもよい。図２１に第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌと第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒとを直列に設置した場合の構成例を示す。直列に設置するようにした場合、第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌおよび第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒにおける自動クリーニング制御は、ともに加熱制御方式とする。

また、上述した実施の形態１，２では、第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌと第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒに対して統括コントローラ３００を設けるようにしたが、統括コントローラ３００の機能を第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌや第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒに持たせるようにしてもよい。

また、上述した実施の形態１，２では、第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒが露点温度計測制御に復帰した後、この第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒの露点温度計測制御が安定した状態となるまで待って、第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌを自動クリーニング制御に移行させるようにしたが、露点温度計測制御が安定するまでの時間が問題とならない場合もあり、このような場合、第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒが露点温度計測制御に復帰した後、直ちに第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌを自動クリーニング制御に移行させるようにしてもよい。また、第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒの鏡面１１−１Ｒからの反射光の受光量から露点温度計測制御が安定したことを確認するのではなく、露点温度計測制御が安定するまでの所定時間を定め、この所定時間の経過後、第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌを自動クリーニング制御に移行させるようにしてもよい。

また、上述した実施の形態１では、第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌが露点温度計測制御に復帰した後も、この第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌの露点温度計測制御が安定した状態となるまでの間、第２の鏡面冷却式露点計２０１Ｒの露点温度の計測値ｔｘ２を有効な計測値として用いるようにしたが、第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌが露点温度計測制御に復帰した後、直ちに第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌの露点温度の計測値ｔｘ１を有効な計測値として用いるようにしてもよい。また、第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌの鏡面１１−１Ｌからの反射光の受光量から露点温度計測制御が安定したことを確認するのではなく、露点温度計測制御が安定するまでの所定時間を定め、この所定時間の経過後、第１の鏡面冷却式露点計２０１Ｌの露点温度の計測値ｔｘ１を有効な計測値として用いるようにしてもよい。

また、実施の形態１において、設定時間Ｔを設けるのではなく、メイン露点計２０１Ｌにおいて、自動クリーニング制御に移行した後、自動クリーニング制御中の鏡面１１−１Ｌからの反射光の光量をチェックし、この反射光の光量がある一定の範囲に入った場合、自動クリーニング制御を中止して、露点温度計測制御に復帰させるようにしてもよい。

また、上述した実施の形態２においても、設定時間Ｔを設けるのではなく、計測用露点計２０１Ｌ（２０１Ｒ）において、自動クリーニング制御に移行した後、自動クリーニング制御中の鏡面１１−１Ｌ（１１−１Ｒ）からの反射光の光量をチェックし、この反射光の光量がある一定の範囲に入った場合、自動クリーニング制御を中止して、露点温度計測制御に復帰させるようにしてもよい。

本発明の露点温度計測システムは、熱電冷却素子（ペルチェ素子）を用いた鏡面冷却式露点計を使用した露点温度計測システムとして、鏡の鏡面上に生じる結露や結霜から露点温度を連続して検出する露点計として利用することが可能である。

２０１（２０１Ｌ，２０１Ｒ）…鏡面冷却式露点計、２０１Ａ…センサ部、２０１Ｂ…コントロール部、２…第２の熱電冷却素子（ペルチェ素子）、２−１…冷却面、２−２…加熱面、１１…鏡、１１−１…表面（鏡面）、１１−２…裏面、１２…第２の温度センサ、１３…センサボディ、１３ａ…先端部、１３ｂ…傾斜面、１３ｃ…後端部、１４…投受光一体型の光ファイバ、１４−１…投光側の光ファイバ、１４−２…受光側の光ファイバ、１５…冷却ブロック、１６…冷却板、１７…熱伝導体、１８…第２の熱電冷却素子（ペルチェ素子）、１８−１…冷却面、１８−２…加熱面、１９…ヒートシンク、１９ａ…放熱フィン、２０…冷却ファン、２１…第２の温度センサ、２２…光電変換器、２３…外気温度センサ、ＤＴ…検出部、ＳＣ…サブクーラ、２４…メインコントローラ、２４−１…ＣＰＵ、２４−２…第２のＡ／Ｄ変換器、２４−３…第２のＡ／Ｄ変換器、２４−４…露点温度出力部、２４−５…ＲＡＭ、２４−６…ＲＯＭ、２５…サブコントローラ、２５−１…ＣＰＵ、２５−２…第２のＡ／Ｄ変換器、２５−３…第２のＡ／Ｄ変換器、２５−４…ＲＡＭ、２５−５…ＲＯＭ、２６…電源、２７…電源スイッチ、２８…露点計測ＯＮ／ＯＦＦスイッチ、２９…サブクーラ制御ＯＮ／ＯＦＦスイッチ、３０…サブクーラ低温／高温／連動切替セレクタスイッチ、３１（３１Ｌ，３１Ｒ）…サンプリングチャンバ、４０（４０Ｌ，４０Ｒ）…仕切り弁、４１（４１Ｌ，４１Ｒ）…吸引ポンプ、３４（３４Ｌ，３４Ｒ）…露点温度計測制御部、３５（３５Ｌ，３５Ｒ）…自動クリーニング制御部、３６（３６Ｌ，３６Ｒ）…鏡面状態判断部、３７（３７Ｌ，３７Ｒ）…制御モード選択部、３８（３８Ｌ，３８Ｒ）…露点温度計測制御安定確認部、３００…統括コントローラ、３０１…露点計制御モード指定部、３０２…露点温度計測値選択部、３０３…露点計現在制御モード認識部、３０４…鏡面状態判断結果認識部。

Claims (12)

1. 被測定気体に晒される鏡面と、
   この鏡面を冷却する熱電冷却素子と、
   前記鏡面の温度を検出する温度センサと、
   前記鏡面に対して光を照射する投光手段と、
   前記投光手段から前記鏡面に対して照射された光の反射光を受光する受光手段と、
   前記受光手段が受光する反射光の光量に基づいて前記熱電冷却素子へ供給する電流を制御する制御手段とを備え、
   前記制御手段は、
   前記受光手段が受光する反射光の光量に基づいて前記熱電冷却素子へ供給する電流を前記鏡面に生じる結露もしくは結霜の増減がなくなる平衡状態になるように制御し、その平衡状態において前記温度センサが検出する前記鏡面の温度を露点温度として計測する露点温度計測制御を実行する手段と、
   前記露点温度計測制御を定期的に中断して前記受光手段が受光する反射光の光量に基づいて前記鏡面の状態の正常／異常の判断を実行する鏡面状態判断手段と、
   前記鏡面に付着しているであろう、通常は気体で前記被測定気体に含まれ、前記露点温度よりも高い低温で固体となり、前記鏡面を汚す凝縮物質を蒸発又は昇華させて除去させる自動クリーニング制御を実行する手段と
   を備えた第１および第２の鏡面冷却式露点計を有する露点温度計測システムであって、
   前記第１の鏡面冷却式露点計は運用当初の計測用の露点計として設定され、
   前記第２の鏡面冷却式露点計は運用当初の補助用の露点計として設定され、
   前記第２の鏡面冷却式露点計は、
   前記露点温度計測制御を常時実行し、この露点温度計測制御を定期的に中断して、前記鏡面の状態の正常／異常の判断を行い、前記鏡面の状態が異常と判断された場合、前記露点温度計測制御を中止して、前記自動クリーニング制御に移行し、その後、前記露点温度計測制御に復帰し、
   前記第１の鏡面冷却式露点計は、
   前記露点温度計測制御を常時実行し、前記第２の鏡面冷却式露点計が前記露点温度計測制御に復帰にした後、前記露点温度計測制御を中止して、前記自動クリーニング制御に移行し、
   前記第１の鏡面冷却式露点計は、
   前記自動クリーニング制御に移行するまでの露点温度計測制御中、その露点温度の計測値が有効な計測値とされると共に、前記鏡面の状態の正常／異常の判断の実行が禁止され、
   前記第２の鏡面冷却式露点計は、
   前記自動クリーニング制御に移行するまでの露点温度計測制御中、その露点温度の計測値が無効な計測値とされると共に、前記鏡面の状態の正常／異常の判断の実行が許可され、
   さらに、前記第１の鏡面冷却式露点計が前記自動クリーニング制御中である時に、その露点温度の計測値が有効な計測値とされると共に、前記鏡面の状態の正常／異常の判断の実行が禁止される
   ことを特徴とする露点温度計測システム。
2. 請求項１に記載された露点温度計測システムにおいて、
   前記第１の鏡面冷却式露点計は、
   前記自動クリーニング制御に移行した後、前記露点温度計測制御に復帰し、この露点温度計測制御に復帰した後、その露点温度の計測値が無効な計測値とされると共に、前記鏡面の状態の正常／異常の判断の実行が許可され、
   前記第２の鏡面冷却式露点計は、
   前記第１の鏡面冷却式露点計が前記露点温度計測制御に復帰した後も、その露点温度の計測値が有効な計測値とされると共に、前記鏡面の状態の正常／異常の判断の実行が禁止される
   ことを特徴とする露点温度計測システム。
3. 請求項１に記載された露点温度計測システムにおいて、
   前記第１の鏡面冷却式露点計は、
   前記自動クリーニング制御に移行した後、前記露点温度計測制御に復帰し、この露点温度計測制御が安定した状態となるまで待った後に、その露点温度の計測値が有効な計測値とされると共に、前記鏡面の状態の正常／異常の判断の実行が禁止され、
   前記第２の鏡面冷却式露点計は、
   前記第１の鏡面冷却式露点計が前記露点温度計測制御に復帰した後、この第１の鏡面冷却式露点計の露点温度計測制御が前記安定した状態となるまで待った後に、その露点温度の計測値が無効な計測値とされると共に、前記鏡面の状態の正常／異常の判断の実行が許可される
   ことを特徴とする露点温度計測システム。
4. 請求項１に記載された露点温度計測システムにおいて、
   前記第１の鏡面冷却式露点計は、
   前記第２の鏡面冷却式露点計が前記露点温度計測制御に復帰にした後、この第２の鏡面冷却式露点計の露点温度計測制御が安定した状態となるまで待って、前記自動クリーニング制御に移行する
   ことを特徴とする露点温度計測システム。
5. 請求項１に記載された露点温度計測システムにおいて、
   前記鏡面の状態の正常／異常の判断の実行が許可された鏡面冷却式露点計での異常である旨の判断結果は、前記鏡面の状態の正常／異常の判断の実行が禁止された鏡面冷却式露点計の鏡面の状態が異常となる前段階にあることを示す
   ことを特徴とする露点温度計測システム。
6. 請求項１に記載された露点温度計測システムにおいて、
   前記第１の鏡面冷却式露点計は、
   前記自動クリーニング制御に移行した後、この自動クリーニング制御中の前記受光手段が受光する反射光の光量をチェックし、この反射光の光量がある一定の範囲に入った場合、前記自動クリーニング制御を中止して、前記露点温度計測制御に復帰する
   ことを特徴とする露点温度計測システム。
7. 請求項１に記載された露点温度計測システムにおいて、
   前記第１の鏡面冷却式露点計は、
   前記自動クリーニング制御に移行した後、所定時間の経過後、前記自動クリーニング制御を中止して、前記露点温度計測制御に復帰する
   ことを特徴とする露点温度計測システム。
8. 請求項１に記載された露点温度計測システムにおいて、
   前記第１および第２の鏡面冷却式露点計の鏡面状態判断手段は、
   前記露点温度計測制御を定期的に中断して前記鏡面の状態の正常／異常の判断を行う場合、
   前記露点温度計測制御による前記熱電冷却素子への供給電流の制御の中断後、その中断から所定時間経過した後の前記受光手段が受光する反射光の光量に基づき、この反射光の光量が予め定められている受光量基準範囲から外れている場合に、前記鏡面の状態が異常であると判断する
   ことを特徴とする露点温度計測システム。
9. 請求項１に記載された露点温度計測システムにおいて、
   前記第１および第２の鏡面冷却式露点計の鏡面状態判断手段は、
   前記露点温度計測制御を定期的に中断して前記鏡面の状態の正常／異常の判断を行う場合、
   前記露点温度計測制御による前記熱電冷却素子への供給電流の制御の中断後、前記鏡面の温度に変化が生じなくなったと判断したときの前記受光手段が受光する反射光の光量に基づき、この反射光の光量が予め定められている受光量基準範囲から外れている場合に、前記鏡面の状態が異常であると判断する
   ことを特徴とする露点温度計測システム。
10. 請求項１に記載された露点温度計測システムにおいて、
    前記第１および第２の鏡面冷却式露点計の鏡面状態判断手段は、
    前記露点温度計測制御を定期的に中断して前記鏡面の状態の正常／異常の判断を行う場合、
    前記露点温度計測制御による前記熱電冷却素子への供給電流の制御の中断後、前記受光手段が受光する反射光の光量に変化が生じなくなったと判断したときの前記受光手段が受光する反射光の光量に基づき、この反射光の光量が予め定められている受光量基準範囲から外れている場合に、前記鏡面の状態が異常であると判断する
    ことを特徴とする露点温度計測システム。
11. 請求項１〜３の何れか１項に記載された露点温度計測システムにおいて、
    前記第１および第２の鏡面冷却式露点計のうち少なくとも一方は、
    前記自動クリーニング制御として、
    前記鏡面に付着しているであろう凝縮物質を蒸発又は昇華させて除去させるべく、前記鏡面の温度を上昇させるように前記熱電冷却素子へ供給する電流を制御する
    ことを特徴とする露点温度計測システム。
12. 請求項１〜３の何れか１項に記載された露点温度計測システムにおいて、
    前記第１および第２の鏡面冷却式露点計のうち少なくとも一方は、
    前記鏡面、前記熱電冷却素子、前記温度センサ、前記投光手段および前記受光手段を収容するチャンバを少なくとも備え、
    前記自動クリーニング制御として、
    前記鏡面に付着しているであろう凝縮物質を蒸発又は昇華させて除去させるべく、前記チャンバ内の圧力を減圧制御する
    ことを特徴とする露点温度計測システム。

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