JP5914038B2 - 超微粒子製造方法 - Google Patents
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O2ガス:0.5Torr ≒0.67×10+2(Pa)
キャリヤガス速度:25m/s
<ターゲット材料>
第1ターゲット材料21:CuO
第2ターゲット材料22:BaO
第3ターゲット材料23:Y2O3
第1ターゲット材料21、第2ターゲット材料22および第3ターゲット材料23間の間隔:5mm
<レーザ>
パルスファイバーレーザ(Ybファイバーレーザ)
波長:1064nm
出力:100W
繰り返し周波数:20kHz
<光学系>
第1ミラー41:50%反射第1ミラー、照射出力50W
第2ミラー42:30%反射第2ミラー、照射出力15W
第3ミラー43:全反射第3ミラー、照射出力35W
レーザ周期Tc=1/繰り返し周波数=1/20kHz=0.05ms
粒子搬送時間Tp=ターゲット間隔/キャリヤガス速度=5mm/25m/s=0.2ms
レーザ照射回数N=Tp/Tc=0.2ms/0.005ms=4回
レーザ源31から、第1〜第3ターゲット材料21〜23にレーザを照射すると、各ターゲット材料21〜23のアブレーションによって、各ターゲット材料21〜23から雰囲気ガス中にアブレーション粒子が放出される。放出されたアブレーション粒子の運動エネルギーは約1μsの時間オーダーで散逸され、この間に、アブレーション粒子は雰囲気ガス中の所定の空間に閉じ込められる。雰囲気ガス中の所定の空間に閉じ込められたアブレーション粒子は電子系のエネルギーを散逸しながら下流へ搬送される。この電子系のエネルギーの散逸完了時間は約1msの時間オーダーである。この閉じ込められた空間に次々と20kHz(0.05ms)でアブレーション粒子が供給・閉じ込められながら下流へ搬送される。
12 キャリヤガス
21〜23 ターゲット材料
31 パルスレーザ
Claims (4)
- 一定圧に保持されたガス雰囲気中にキャリヤガスによる一方向の流れを生成し、キャリヤガスの流れ方向に複数のターゲット材料を、複数段に配置し、各ターゲット材料にパルスレーザを照射して各ターゲット材料からアブレーション粒子を発生させ、各ターゲット材料から発生させたアブレーション粒子を、キャリヤガスによって、下流側に搬送し、第1段のターゲット材料から発生させたアブレーション粒子を、最終段のターゲット材料上まで搬送する時間を、第1段のターゲット材料から発生させられたアブレーション粒子の電子系のエネルギーの散逸完了時間未満に設定する超微粒子製造方法。
- ガス雰囲気中の圧力が、1×10+1〜10×10+3(Pa)である請求項1の超微粒子製造方法。
- パルスレーザの繰り返し周波数は、1kHz〜1000kHzである請求項1または2の超微粒子製造方法。
- 全ターゲット材料が、異なる複数の材質の組み合わせよりなる請求項1〜3のいずれか1つの超微粒子製造方法。
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