JP5913349B2 - Electrolyte solution and electrochemical surface modification method - Google Patents

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Description

関連出願へのクロスリファレンス
本出願は、同一出願人による出願であって、本出願と共に出願された「電解質溶液及び電解研磨方法」という発明の名称の出願と関連する。
Cross-reference to related application This application is related to an application by the same applicant and entitled “Electrolyte Solution and Electropolishing Method” filed with the present application.

本発明の溶液及び方法は、非鉄金属部品及び表面を電解研磨する一般的な分野に関する。より具体的には、非鉄金属及び反応性金属、特にチタン及びチタン合金のための電解研磨による表面処理に関し、該処理は、クラック調整及び酸化物除去を含む。   The solutions and methods of the present invention relate to the general field of electropolishing non-ferrous metal parts and surfaces. More specifically, with respect to surface treatment by electropolishing for non-ferrous and reactive metals, particularly titanium and titanium alloys, the treatment includes crack conditioning and oxide removal.

金属のインゴットから仕上済の延伸材へと反応性の金属を加工する際や完成部材の熱間加工を行った後では、金属酸化物の特定の表面層物質(チタン及びチタン合金の場合には、通常αケースと呼ばれる)を除去することが必要である。これらの酸素に富む相は、反応性金属が空気中又は酸素を含む雰囲気下で加熱されると発生する。酸化物層は、金属の材料強度、疲労強度、及び腐食耐性に影響を与える可能性がある。チタン及びチタン合金は反応性金属に属する。反応性金属とは、特定の合金及び酸化性の雰囲気に依存するが、空気又は酸化性の雰囲気下で約480℃(900°F)超で加熱されると、常に酸素と反応して、硬くて脆い酸化物層(TiについてはTiO2、ZrについてはZrO2など)を形成することを意味する。酸化物層は、典型的なミル鍛造又はミル圧延(mill forging or mill rolling)に、鍛接の結果として必要な温度、又は完成部分の鍛造又は高温部分の成形のための加熱の温度まで金属を加熱することによって生じる。反応性金属酸化物及びαケースは脆く、成形時に一連の表面微小クラックを伴うのが通常である。そして、微小クラックは、バルク金属の内部に浸透し、潜在的に未成熟な張力や疲れ破壊の損失を引き起こし、表面を化学的攻撃を更に受けやすくする。従って、酸化物層又はαケース層は、その後行われる任意の熱間加工若しくは冷間加工又は最終部品使用となる前に除去する必要がある。 After processing a reactive metal from a metal ingot to a finished drawn material or after hot working the finished part, certain surface layer materials of metal oxides (in the case of titanium and titanium alloys) It is necessary to remove (usually called α case). These oxygen-rich phases occur when the reactive metal is heated in air or in an atmosphere containing oxygen. The oxide layer can affect the material strength, fatigue strength, and corrosion resistance of the metal. Titanium and titanium alloys belong to reactive metals. Reactive metals depend on the particular alloy and oxidizing atmosphere, but when heated above about 480 ° C. (900 ° F.) in air or oxidizing atmosphere, it always reacts with oxygen and becomes hard. A brittle oxide layer (TiO 2 for Ti, ZrO 2 for Zr, etc.). The oxide layer heats the metal to the temperature required as a result of forge welding, or forging of the finished part or heating for forming the hot part, in a typical mill forging or mill rolling. It is caused by doing. Reactive metal oxides and α cases are brittle and usually have a series of surface microcracks during molding. And microcracks penetrate into the bulk metal, causing potentially immature tension and fatigue failure loss, making the surface more susceptible to chemical attack. Therefore, the oxide layer or α-case layer must be removed before any subsequent hot or cold processing or final part use.

また、チタン及びチタン合金等の反応性金属を加工することによりインゴットを完成部品に成形する場合、熱処理又は機械的処理によって形成されたクラックを除去することも重要である。上述したように、これらのクラックはαケースよりも深部に浸透し、バルク金属へ浸透する可能性がある。典型的には、反応性金属を、加熱、熱間加工(例えば、鍛造、圧延、引抜き、押出しなど)、冷却、及び更なる熱間加工のための再加熱などを4〜8回行い、インゴッドを仕上げ延伸材へと変える。延伸材は、仕上部品加工の為に再度加熱することもよく行われ、以下を含む技術を用いられるがこれらに限定されない:熱間スピニング成形、リングローリング、超塑性成形、及び密閉型鍛造。熱間加工後に金属を冷却するたびに、表面にクラックが形成され、加工物内部へと拡大していく。従来の加工では、これらのクラックは、研削によって除去していた。これは、機械的な除去と、及び、強酸(典型的にはHF−HNO3)中で化学的なミリング(chemical milling)とを伴う。そして、均一な厚さの層を、又は最深クラックの底部が露出して除去されるまでの量の材料を加工物から除去又はミリングする。こうした深度まで研削又は化学的ミリングすることにより、全てのクラックが除去されたことを保証する。しかし、相当量の時間と労力を費やし、また、コスト的に見ても著しい材料のロスを生じる。これは、クラックは、時として、加工物又は完成部品の厚さ又は直径に対して5%以上の深度で、加工物内部へ拡大するためである。しかしながら、クラックの除去は必須であり、その理由としては、後で行われる熱間加工工程前や完成部品をサービスで使用する前にクラックを除去しないと、クラックは拡大し、加工物又は完成部品を破壊するからである。 In addition, when forming an ingot into a finished part by processing reactive metals such as titanium and titanium alloys, it is also important to remove cracks formed by heat treatment or mechanical treatment. As described above, these cracks may penetrate deeper than the α case and may penetrate into the bulk metal. Typically, the reactive metal is heated, hot worked (eg, forging, rolling, drawing, extruding, etc.), cooled, reheated for further hot working, etc. 4-8 times, and ingot Into a finished drawn material. The stretched material is often reheated for finished part processing, and techniques such as, but not limited to, hot spinning, ring rolling, superplastic forming, and closed die forging are used. Each time the metal is cooled after hot working, cracks are formed on the surface and expand into the work piece. In conventional processing, these cracks have been removed by grinding. This involves mechanical removal and chemical milling in a strong acid (typically HF-HNO 3 ). Then, a layer of uniform thickness, or an amount of material until the bottom of the deepest crack is exposed and removed is removed or milled from the workpiece. Grinding or chemical milling to such depths ensures that all cracks have been removed. However, a considerable amount of time and labor is consumed, and significant material loss occurs in terms of cost. This is because cracks sometimes extend into the workpiece at a depth of 5% or more relative to the thickness or diameter of the workpiece or finished part. However, the removal of cracks is essential because if cracks are not removed before the subsequent hot working process or before the finished part is used in service, the crack will expand and the workpiece or finished part Because it destroys.

化学や製造業において、電気分解は、直流電流(DC)を用いる方法であり、これがなければ自発的に起こるこのない化学反応を誘発する。電解研磨は、電気分解の良く知られた応用であり、金属部品をデバリングしたり、及び光沢平滑表面仕上げした物を生成したりするためのものである。電気研磨される加工物については、電解質溶液槽中に浸漬され、直流電流を受ける。槽中で前記加工物を囲む1種以上の金属導体との陰極接続が行われるなかで、前記加工物は陽極としての状態を維持する。電解研磨は、工程を制御し、且つ相対する2つの反応に依存する。第一の反応は溶解反応であり、該反応中、加工物の表面から金属がイオンの形態で溶液中に移動する。従って、金属はイオンごとに、加工物の表面から除去される。他の反応は酸化反応であり、該反応中、酸化層が加工物の表面上に形成される。酸化薄膜が形成されると、イオン除去反応の進行が制限される。前記薄膜は微小窪み(micro depressions)に対しては最も厚く、微小突起(micro projections)に対しては最も薄い。そして、電気抵抗は酸化薄膜の厚さに比例するという理由から、金属溶解の速度は前記微小突起で最も速くなり、前記微小窪みで最も遅くなる。従って、電解研磨では、対応する微小窪み又は「谷」を攻撃する速度よりも速い速度で、微視的な高点又は「頂」を選択的に除去する。   In chemistry and manufacturing, electrolysis is a method that uses direct current (DC), and without it, it induces a chemical reaction that occurs spontaneously. Electropolishing is a well-known application of electrolysis for deburring metal parts and producing glossy smooth surface finishes. The workpiece to be electropolished is immersed in an electrolyte solution bath and receives a direct current. While the cathode connection is made with one or more metal conductors surrounding the workpiece in the bath, the workpiece maintains its state as an anode. Electropolishing controls the process and relies on two opposing reactions. The first reaction is a dissolution reaction, during which the metal moves from the surface of the workpiece into the solution in the form of ions. Thus, the metal is removed from the workpiece surface for each ion. Another reaction is an oxidation reaction, during which an oxide layer is formed on the surface of the workpiece. When the oxide thin film is formed, the progress of the ion removal reaction is limited. The thin film is thickest with respect to micro depressions and thinnest with respect to micro projections. Then, because the electric resistance is proportional to the thickness of the oxide thin film, the metal dissolution rate is the fastest at the minute protrusions and the slowest at the minute depressions. Thus, electropolishing selectively removes microscopic high points or “tops” at a faster rate than attacking the corresponding micro-dents or “valleys”.

電解加工(ECM)工程においては、電気分解の別の応用が存在する。ECMにおては、高電流(しばしば40,000A超、しばしば電流密度150万A/m2超で電流を与える)を電極と金属加工物との間に流して、材料除去を起こす。電気は、負に帯電した電極「ツール」(陰極)から導体加工物(陽極)へ導電流体(電解質)を介して流れる。前記陰極ツールは、所望の機械操作に従った形態をしており、陽極加工物へつながっている。加圧された電解質は、ある設定温度で、機械部位に注入される。前記ツールの加工物への供給速度によって決定される速度で、加工物の材料は除去され、本質的には液体化される。前記ツールと前記加工物とのギャップ距離は、80〜800ミクロン(0.003〜0.030インチ)の範囲で変化する。電子がギャップを通過するとき、加工物上の材料は溶解し、前記ツールは、所望の形態を加工物に対して形成する。電解質流体は、電解質と加工物との間の反応からの工程で形成される金属水酸化物を除去する。フラッシングは必須であり、その理由として、電解加工工程は電解質溶液中に蓄積する金属錯体に対する寛容性が低いからである。一方で、本明細書で開示する電解質溶液を用いた方法では、例え高濃度のチタンが電解質溶液に存在しても、安定性と効果を維持する。 There is another application of electrolysis in the electrochemical machining (ECM) process. In ECM, a high current (often over 40,000 A, often giving current at a current density of over 1.5 million A / m 2 ) is passed between the electrode and the metal workpiece to cause material removal. Electricity flows from the negatively charged electrode “tool” (cathode) to the conductor workpiece (anode) via a conductive fluid (electrolyte). The cathode tool is configured according to the desired machine operation and leads to the anode workpiece. The pressurized electrolyte is injected into the machine site at a set temperature. The workpiece material is removed and essentially liquefied at a rate determined by the feed rate of the tool to the workpiece. The gap distance between the tool and the workpiece varies from 80 to 800 microns (0.003 to 0.030 inches). As the electrons pass through the gap, the material on the workpiece melts and the tool forms the desired morphology for the workpiece. The electrolyte fluid removes the metal hydroxide formed in the process from the reaction between the electrolyte and the workpiece. Flushing is essential because the electrochemical machining process is less tolerant to metal complexes that accumulate in the electrolyte solution. On the other hand, in the method using the electrolyte solution disclosed in the present specification, even if a high concentration of titanium is present in the electrolyte solution, the stability and the effect are maintained.

金属電解研磨用の電解質溶液は、通常混合物であり、鉱酸などの濃縮した強酸(水中に完全に溶解)を含有する。本明細書で記述する強酸は、一般的に、水性溶液中でオキソニウムイオン(H3+)よりも強酸であるものとしてカテゴリー化される。電解研磨で良く用いられる強酸の例としては、硫酸、塩酸、過塩素酸、及び硝酸が挙げられ、一方で、弱酸の例としては、カルボン酸グループのものが挙げられる(例えば、ギ酸、酢酸、酪酸、及びクエン酸)。また、加工物表面の過剰なエッチングを避けるべく、溶解エッチング反応を調節する目的で、有機的化合物(例えば、アルコール、アミン、又はカルボン酸)が、時として混合物中で強酸と共に用いられる。例えば、反応調節剤として酢酸を使用することについて記載している米国特許番号6,610,194を参照されたい。 The electrolyte solution for metal electropolishing is usually a mixture and contains concentrated strong acid such as mineral acid (completely dissolved in water). The strong acids described herein are generally categorized as being stronger acids than oxonium ions (H 3 O + ) in aqueous solution. Examples of strong acids often used in electropolishing include sulfuric acid, hydrochloric acid, perchloric acid, and nitric acid, while examples of weak acids include those of the carboxylic acid group (eg, formic acid, acetic acid, Butyric acid and citric acid). Also, organic compounds (eg, alcohols, amines, or carboxylic acids) are sometimes used with strong acids in the mixture for the purpose of adjusting the solution etching reaction to avoid excessive etching of the workpiece surface. See, for example, US Pat. No. 6,610,194, which describes the use of acetic acid as a reaction modifier.

米国特許第6,610,194号明細書US Pat. No. 6,610,194

健康上の危険性や使用溶液の廃棄コストを主な理由として、金属仕上げ槽内のこれら強酸の使用を抑えようとするインセンティブが存在している。クエン酸は、これまでステンレススチール片用の不動態化剤として、国防省やASTM規格の両方によって受け入れられてきた。しかし、以前の研究では、ステンレススチールを不動態化するための市販のクエン酸不動態化槽溶液の使用の回避を示し、定量化してきたが、有効な濃度のクエン酸によって強酸濃度を抑えることができる適切な電解質溶液見出すことができなかった。例えば、刊行物「Citric Acid & Pollution Prevention in Passivation & Electropolishing」(2002年)では、ある量のより弱い有機酸(特にクエン酸)で置き換えることによって強鉱酸量を減らすことについて幾つかの利点を記載しており、低コスト、可用性、及び比較的危険の少ない廃棄物であることによる。しかし、最終的には少量の有機酸(クエン酸ではない)を有する主にリン酸及び硫酸の混合物を含む別の電解質を評価している。   There are incentives to reduce the use of these strong acids in metal finishing tanks, mainly due to health hazards and disposal costs of used solutions. Citric acid has been accepted by both the Department of Defense and ASTM standards as a passivating agent for stainless steel pieces. However, previous studies have shown and quantified the use of commercially available citric acid passivator solutions to passivate stainless steel, but reducing the strong acid concentration with an effective concentration of citric acid. An appropriate electrolyte solution could not be found. For example, in the publication “Citric Acid & Pollution Prevention in Passion & Electropolishing” (2002), some benefits of reducing the amount of strong mineral acid by replacing it with a certain amount of weaker organic acid (especially citric acid). This is due to the low cost, availability and relatively low risk of waste. However, in the end, other electrolytes are being evaluated that contain mainly a mixture of phosphoric acid and sulfuric acid with a small amount of organic acid (not citric acid).

概要
通常、αケース除去及びクラック調節は、電解研磨方法で改善されなかった。先行技術の電解研磨において使用される典型的な電解質溶液中に見出される強酸成分は、結果として、水素を金属表面中に移動させ、クラックを更に深くさせうる攻撃的且つ制御の利かないエッチングを引き起こす。強酸成分が存在せず、弱酸及びABFの溶液を用いた、新たな電解研磨槽化学物質の開発において、本発明者は、電解研磨によって、αケース除去及びクラック調節の両者が効果的に改善できたことを発見した。そこで、電解研磨方法による酸化物除去及びクラック調節方法を本明細書において開示する。これらの方法では、これらの方法に適した新規の槽化学物質を用いる。
Overview Normally, alpha case removal and crack control were not improved by the electropolishing method. Strong acid components found in typical electrolyte solutions used in prior art electropolishing result in aggressive and uncontrolled etching that can move hydrogen into the metal surface and deepen cracks. . In the development of a new electropolishing bath chemical that uses a weak acid and ABF solution without the presence of a strong acid component, the present inventor can effectively improve both α case removal and crack control by electropolishing. I found out. Therefore, an oxide removal and crack adjustment method by an electropolishing method is disclosed in this specification. These methods use new tank chemicals suitable for these methods.

一実施形態において、開示する水系電解質溶液は、以下の通りである:
約0.1重量%〜約59重量%の濃度範囲のカルボン酸;及び
約0.1重量%〜約25重量%の濃度範囲のフッ化物塩
を含み、実質的に強酸を含まない水系電解質溶液。
In one embodiment, the disclosed aqueous electrolyte solution is as follows:
An aqueous electrolyte solution comprising a carboxylic acid in a concentration range of about 0.1 wt% to about 59 wt%; and a fluoride salt in a concentration range of about 0.1 wt% to about 25 wt% and substantially free of strong acid .

一実施形態において、開示する水系電解質溶液は、以下の通りである:
以下を含む水系電解質溶液であって、
約1.665g/L以上約982g/L以下のクエン酸;及び
約2g/L以上約360g/L以下のフッ化物塩としての二フッ化水素アンモニウム
実質的に強酸を含まない該電解質溶液。
In one embodiment, the disclosed aqueous electrolyte solution is as follows:
An aqueous electrolyte solution comprising:
About 1.665 g / L or more and about 982 g / L or less of citric acid; and about 2 g / L or more and about 360 g / L or less of ammonium hydrogen fluoride as a fluoride salt substantially free of strong acid.

一実施形態において、開示する方法は以下の通りである:
非鉄金属加工物の表面を処理する方法であって、以下のステップを含む方法;
前記表面を水系電解質溶液槽に曝すステップ
(ここで、前記水系電解質溶液は:
約300g/L以下の濃度範囲のクエン酸;及び
約10g/L以上の濃度範囲の二フッ化水素アンモニウムを含み;並びに
強酸が約3.35g/L以下である);
約54℃以上になるように前記槽の温度を制御するステップ;
DC電源の陽極に前記加工物を接続し、且つ前記DC電源の陰極を前記槽内に浸漬するステップ;並びに
前記槽に電流を与えるステップ。
In one embodiment, the disclosed method is as follows:
A method for treating a surface of a non-ferrous metal workpiece, comprising the following steps;
Exposing the surface to an aqueous electrolyte solution bath (wherein the aqueous electrolyte solution is:
Citric acid in a concentration range of about 300 g / L or less; and ammonium difluoride in a concentration range of about 10 g / L or more; and a strong acid is about 3.35 g / L or less);
Controlling the temperature of the bath to be about 54 ° C. or higher;
Connecting the workpiece to an anode of a DC power source and immersing the cathode of the DC power source in the vessel; and applying a current to the vessel.

一実施形態において、開示する方法は以下の通りである:
非鉄金属加工物の表面中のクラックを調節する方法であって、以下のステップを含む方法;
前記表面を水系電解質溶液槽に曝すステップ
(ここで、前記水系電解質溶液は:
約300g/L以下の濃度のクエン酸;及び
約60g/L以上の濃度の二フッ化水素アンモニウムを含み;並びに
強酸が約3.35g/L以下である);
槽の温度を約54℃以上になるように制御するステップ;
DC電源の陽極に前記加工物を接続し、且つ前記DC電源の陰極を前記槽内に浸漬するステップ;並びに
前記槽に約53.8A/m2未満の電流を与えるステップ。
In one embodiment, the disclosed method is as follows:
A method of adjusting cracks in the surface of a non-ferrous metal workpiece, the method comprising the following steps;
Exposing the surface to an aqueous electrolyte solution bath (wherein the aqueous electrolyte solution is:
Citric acid at a concentration of about 300 g / L or less; and ammonium difluoride at a concentration of about 60 g / L or more; and a strong acid is about 3.35 g / L or less);
Controlling the bath temperature to be about 54 ° C. or higher;
Connecting the workpiece to an anode of a DC power source and immersing the cathode of the DC power source in the vessel; and applying a current of less than about 53.8 A / m 2 to the vessel.

一実施形態において、開示する方法は以下の通りである:
非鉄金属加工物の表面から金属酸化物を除去する方法であって、以下のステップを含む方法;
前記表面を水系電解質溶液槽に曝すステップ
(ここで、前記水系電解質溶液は:
約60g/L以下の濃度のクエン酸;及び
約60g/L以上の濃度の二フッ化水素アンモニウムを含み;並びに
強酸が約3.35g/L以下である);
槽の温度を約54℃以上になるように制御するステップ;
DC電源の陽極に前記加工物を接続し、且つ前記DC電源の陰極を前記槽内に浸漬するステップ;並びに
前記槽に約53.8A/m2未満の電流を与えるステップ。
In one embodiment, the disclosed method is as follows:
A method of removing metal oxide from the surface of a non-ferrous metal workpiece, the method comprising the following steps;
Exposing the surface to an aqueous electrolyte solution bath (wherein the aqueous electrolyte solution is:
Citric acid at a concentration of about 60 g / L or less; and ammonium difluoride at a concentration of about 60 g / L or more; and a strong acid is about 3.35 g / L or less);
Controlling the bath temperature to be about 54 ° C. or higher;
Connecting the workpiece to an anode of a DC power source and immersing the cathode of the DC power source in the vessel; and applying a current of less than about 53.8 A / m 2 to the vessel.

一実施形態において、開示する方法は以下の通りである:
チタンまたはチタン合金加工物の表面からアルファケースを除去する方法であって、以下のステップを含む該方法:
前記表面を水系電解質溶液槽に曝すステップ
(ここで、前記水系電解質溶液は:
約60g/L以下の濃度のクエン酸;及び
約60g/L以上の濃度の二フッ化水素アンモニウムを含み;並びに
強酸が約3.35g/L以下である);
前記槽の温度を約54℃以上になるように制御するステップ;
DC電源の陽極に前記加工物を接続し、且つ前記DC電源の陰極を前記槽内に浸漬するステップ;並びに
前記槽に約53.8A/m2未満の電流を与えるステップ。
In one embodiment, the disclosed method is as follows:
A method of removing alpha case from the surface of a titanium or titanium alloy workpiece, the method comprising the following steps:
Exposing the surface to an aqueous electrolyte solution bath (wherein the aqueous electrolyte solution is:
Citric acid at a concentration of about 60 g / L or less; and ammonium difluoride at a concentration of about 60 g / L or more; and a strong acid is about 3.35 g / L or less);
Controlling the temperature of the vessel to be about 54 ° C. or higher;
Connecting the workpiece to an anode of a DC power source and immersing the cathode of the DC power source in the vessel; and applying a current of less than about 53.8 A / m 2 to the vessel.

水系電解質溶液中のクエン酸濃度の関数としての表面仕上げにおける材料除去の速度を表すデータのグラフであり、該溶液は、適度な低濃度である20g/Lの二フッ化水素アンモニウムを有し、ある温度範囲での高電流密度(1076A/m2)を有する。FIG. 4 is a graph of data representing the rate of material removal at surface finish as a function of citric acid concentration in an aqueous electrolyte solution, the solution having a moderately low concentration of 20 g / L ammonium bifluoride; It has a high current density (1076 A / m 2 ) in a certain temperature range. 水系電解質溶液中のクエン酸濃度の関数としての表面仕上げにおける変化を表すデータのグラフであり、該溶液は、適度な低濃度である20g/Lの二フッ化水素アンモニウムを有し、ある温度範囲での高電流密度(1076A/m2)を有する。FIG. 5 is a graph of data representing changes in surface finish as a function of citric acid concentration in an aqueous electrolyte solution, the solution having a moderately low concentration of 20 g / L ammonium bifluoride and in a temperature range. And a high current density (1076 A / m 2 ). 水系電解質溶液中の二フッ化水素アンモニウム濃度の関数としての材料除去の速度を表すデータのグラフであり、該溶液は120g/Lクエン酸を含み、該速度は、代表的な低温における特定の電流密度範囲での速度である。FIG. 4 is a graph of data representing the rate of material removal as a function of ammonium bifluoride concentration in an aqueous electrolyte solution, the solution containing 120 g / L citric acid, which is a specific current at a typical low temperature. It is the speed in the density range. 水系電解質溶液中の二フッ化水素アンモニウム濃度の関数としての材料除去の速度を表すデータのグラフであり、該溶液は120g/Lクエン酸を含み、該速度は、代表的な高温における特定の電流密度範囲での速度である。FIG. 3 is a graph of data representing the rate of material removal as a function of ammonium bifluoride concentration in an aqueous electrolyte solution, the solution containing 120 g / L citric acid, which is a specific current at a typical elevated temperature. It is the speed in the density range. 図2Aに対応する条件の下での二フッ化水素アンモニウムの関数としての表面仕上げにおける変化を表すデータのグラフである。2B is a graph of data representing the change in surface finish as a function of ammonium hydrogen difluoride under conditions corresponding to FIG. 2A. 図2Bに対応する条件の下での二フッ化水素アンモニウムの関数としての表面仕上げにおける変化を表すデータのグラフである。3 is a graph of data representing the change in surface finish as a function of ammonium hydrogen difluoride under conditions corresponding to FIG. 2B. 実質的にクエン酸を有さず、温度が85℃での水系電解質溶液における電流密度密度の関数としての表面仕上げにおける材料除去速度を表すデータのグラフである。6 is a graph of data representing the material removal rate at surface finish as a function of current density density in an aqueous electrolyte solution with substantially no citric acid and a temperature of 85 ° C. 実質的にクエン酸を有さず、温度が85℃での水系電解質溶液における電流密度密度の関数としての表面仕上げにおける変化を表すデータのグラフである。6 is a graph of data representing changes in surface finish as a function of current density density in an aqueous electrolyte solution with substantially no citric acid and a temperature of 85 ° C. 水系電解質溶液中のクエン酸濃度の関数としての材料除去の速度を表すデータのグラフであり、幾つかの濃度の二フッ化水素アンモニウムに関するものであり、電流密度が53.8A/m2であり、温度が21℃であるときの速度を表す。FIG. 7 is a graph of data representing the rate of material removal as a function of citric acid concentration in an aqueous electrolyte solution, for several concentrations of ammonium hydrogen difluoride, with a current density of 53.8 A / m 2 . Represents the speed when the temperature is 21 ° C. 水系電解質溶液中のクエン酸濃度の関数としての材料除去の速度を表すデータのグラフであり、幾つかの濃度の二フッ化水素アンモニウムに関するものであり、電流密度が53.8A/m2であり、温度が54℃であるときの速度を表す。FIG. 7 is a graph of data representing the rate of material removal as a function of citric acid concentration in an aqueous electrolyte solution, for several concentrations of ammonium hydrogen difluoride, with a current density of 53.8 A / m 2 . Represents the speed when the temperature is 54 ° C. 水系電解質溶液中のクエン酸濃度の関数としての材料除去の速度を表すデータのグラフであり、幾つかの濃度の二フッ化水素アンモニウムに関するものであり、電流密度が53.8A/m2であり、温度が71℃であるときの速度を表す。FIG. 7 is a graph of data representing the rate of material removal as a function of citric acid concentration in an aqueous electrolyte solution, for several concentrations of ammonium hydrogen difluoride, with a current density of 53.8 A / m 2 . Represents the speed when the temperature is 71 ° C. 水系電解質溶液中のクエン酸濃度の関数としての材料除去の速度を表すデータのグラフであり、幾つかの濃度の二フッ化水素アンモニウムに関するものであり、電流密度が53.8A/m2であり、温度が85℃であるときの速度を表す。FIG. 7 is a graph of data representing the rate of material removal as a function of citric acid concentration in an aqueous electrolyte solution, for several concentrations of ammonium hydrogen difluoride, with a current density of 53.8 A / m 2 . Represents the speed when the temperature is 85 ° C. 水系電解質溶液中のクエン酸濃度の関数としての材料除去の速度を表すデータのグラフであり、幾つかの濃度の二フッ化水素アンモニウムに関するものであり、電流密度が10.8A/m2であり、温度が54℃であるときの速度を表す。FIG. 4 is a graph of data representing the rate of material removal as a function of citric acid concentration in an aqueous electrolyte solution, for several concentrations of ammonium hydrogen difluoride, with a current density of 10.8 A / m 2 . Represents the speed when the temperature is 54 ° C. 水系電解質溶液中のクエン酸濃度の関数としての材料除去の速度を表すデータのグラフであり、幾つかの濃度の二フッ化水素アンモニウムに関するものであり、電流密度が215A/m2であり、温度が54℃であるときの速度を表す。FIG. 5 is a graph of data representing the rate of material removal as a function of citric acid concentration in an aqueous electrolyte solution, for several concentrations of ammonium hydrogen difluoride, with a current density of 215 A / m 2 , temperature Represents the rate when is 54 ° C. 水系電解質溶液中のクエン酸濃度の関数としての材料除去の速度を表すデータのグラフであり、幾つかの濃度の二フッ化水素アンモニウムに関するものであり、電流密度が538A/m2であり、温度が54℃であるときの速度を表す。FIG. 5 is a graph of data representing the rate of material removal as a function of citric acid concentration in an aqueous electrolyte solution, for several concentrations of ammonium hydrogen difluoride, with a current density of 538 A / m 2 , temperature Represents the rate when is 54 ° C. 水系電解質溶液中のクエン酸濃度の関数としての材料除去の速度を表すデータのグラフであり、幾つかの濃度の二フッ化水素アンモニウムに関するものであり、電流密度が1076A/m2であり、温度が54℃であるときの速度を表す。FIG. 5 is a graph of data representing the rate of material removal as a function of citric acid concentration in an aqueous electrolyte solution, for several concentrations of ammonium hydrogen difluoride, with a current density of 1076 A / m 2 , temperature Represents the rate when is 54 ° C. 電流密度の関数としての材料除去の速度を表すデータのグラフであり、水性溶液中温度が85℃であり、クエン酸が120g/Lであり、幾つかの濃度での二フッ化水素アンモニウムに関する速度を表す。FIG. 4 is a graph of data representing the rate of material removal as a function of current density, the temperature in aqueous solution is 85 ° C., citric acid is 120 g / L, and the rate for ammonium bifluoride at several concentrations. Represents. 電流密度の関数としての材料除去の速度を表すデータのグラフであり、水性溶液中温度が85℃であり、クエン酸が600g/Lであり、幾つかの濃度での二フッ化水素アンモニウムに関する速度を表す。FIG. 5 is a graph of data representing the rate of material removal as a function of current density, with an aqueous solution temperature of 85 ° C., citric acid at 600 g / L, and rates for ammonium bifluoride at several concentrations. Represents. 電流密度の関数としての材料除去の速度を表すデータのグラフであり、水性溶液中温度が85℃であり、クエン酸が780g/Lであり、幾つかの濃度での二フッ化水素アンモニウムに関する速度を表す。FIG. 4 is a graph of data representing the rate of material removal as a function of current density, with an aqueous solution temperature of 85 ° C., citric acid at 780 g / L, and rates for ammonium bifluoride at several concentrations. Represents. 電流密度関数としての表面仕上げにおける変化を表すデータのグラフであって、図4Eに対応する条件の下での変化を表す。FIG. 4 is a graph of data representing changes in surface finish as a function of current density, representing changes under conditions corresponding to FIG. 4E. 電流密度関数としての表面仕上げにおける変化を表すデータのグラフであって、図4Fに対応する条件の下での変化を表す。FIG. 5 is a graph of data representing changes in surface finish as a function of current density, representing changes under conditions corresponding to FIG. 4F. 電流密度関数としての表面仕上げにおける変化を表すデータのグラフであって、図4Gに対応する条件の下での変化を表す。4 is a graph of data representing changes in surface finish as a function of current density, representing changes under conditions corresponding to FIG. 4G. 表面仕上げにおける材料の除去された量を表すデータのグラフであって、クエン酸及び二フッ化水素アンモニウムに関する様々な濃度の組合せで、低温(21℃)であり、高電流密度(538A/m2)でのグラフである。FIG. 7 is a graph of data representing the amount of material removed in a surface finish, with various concentrations for citric acid and ammonium bifluoride, at low temperature (21 ° C.), and high current density (538 A / m 2 ). 表面仕上げにおける変化を表すデータのグラフであって、クエン酸及び二フッ化水素アンモニウムに関する様々な濃度の組合せで、低温(21℃)であり、高電流密度(538A/m2)でのグラフである。A graph of data representing changes in surface finish, at various concentrations for citric acid and ammonium bifluoride, at low temperature (21 ° C.), and at a high current density (538 A / m 2 ). is there. 表面仕上げにおける材料の除去された量を表すデータのグラフであって、クエン酸及び二フッ化水素アンモニウムに関する様々な濃度の組合せで、低温(21℃)であり、高電流密度(1076A/m2)でのグラフである。FIG. 6 is a graph of data representing the amount of material removed in a surface finish, with various concentrations for citric acid and ammonium bifluoride, at low temperature (21 ° C.), and high current density (1076 A / m 2). ). 表面仕上げにおける変化を表すデータのグラフであって、クエン酸及び二フッ化水素アンモニウムに関する様々な濃度の組合せで、低温(21℃)であり、高電流密度(1076A/m2)でのグラフである。A graph of data representing changes in surface finish, at various concentrations for citric acid and ammonium difluoride, at low temperature (21 ° C.), and at a high current density (1076 A / m 2 ). is there. 表面仕上げにおける材料の除去された量を表すデータのグラフであって、クエン酸及び二フッ化水素アンモニウムに関する様々な濃度の組合せで、高温(85℃)であり、高電流密度(1076A/m2)でのグラフである。FIG. 5 is a graph of data representing the amount of material removed in a surface finish, with various concentrations for citric acid and ammonium bifluoride at high temperature (85 ° C.) and high current density (1076 A / m 2). ). 表面仕上げにおける変化を表すデータのグラフであって、クエン酸及び二フッ化水素アンモニウムに関する様々な濃度の組合せで、高温(85℃)であり、高電流密度(1076A/m2)でのグラフである。Graph of data representing changes in surface finish, at various concentrations for citric acid and ammonium bifluoride, at high temperature (85 ° C.), and at high current density (1076 A / m 2 ). is there. 表面仕上げにおける材料の除去された量を表すデータのグラフであって、クエン酸及び二フッ化水素アンモニウムに関する様々な濃度の組合せで、代表的な高温(85℃)であり、低電流密度(10.8A/m2)でのグラフである。FIG. 6 is a graph of data representing the amount of material removed in a surface finish, with a representative high temperature (85 ° C.), low current density (10 ° C., with various concentration combinations for citric acid and ammonium bifluoride. .8 A / m 2 ). 表面仕上げにおける変化を表すデータのグラフであって、クエン酸及び二フッ化水素アンモニウムに関する様々な濃度の組合せで、代表的な高温(85℃)であり、低電流密度(10.8A/m2)でのグラフである。FIG. 5 is a graph of data representing changes in surface finish, with representative high temperatures (85 ° C.) and low current densities (10.8 A / m 2 ) for various concentration combinations for citric acid and ammonium bifluoride. ). 表面仕上げにおける材料の除去された量を表すデータのグラフであって、クエン酸及び二フッ化水素アンモニウムに関する様々な濃度の組合せで、代表的な高温(85℃)であり、高電流密度(538A/m2)でのグラフである。FIG. 5 is a graph of data representing the amount of material removed in a surface finish, with a combination of various concentrations for citric acid and ammonium bifluoride, typical high temperature (85 ° C.), and high current density (538 A / M 2 ). 表面仕上げにおける変化を表すデータのグラフであって、クエン酸及び二フッ化水素アンモニウムに関する様々な濃度の組合せで、代表的な高温(85℃)であり、高電流密度(538A/m2)でのグラフである。FIG. 5 is a graph of data representing changes in surface finish, with various concentrations combinations for citric acid and ammonium bifluoride at a typical high temperature (85 ° C.) and at a high current density (538 A / m 2 ). It is a graph of. 表面仕上げにおける材料の除去された量を表すデータのグラフであって、クエン酸及び二フッ化水素アンモニウムに関する様々な濃度の組合せで、代表的な準高温(71℃)であり、中電流密度(215A/m2)でのグラフである。FIG. 6 is a graph of data representing the amount of material removed in a surface finish, with various sub-concentration combinations for citric acid and ammonium bifluoride, typical sub-high temperatures (71 ° C.), medium current density ( 215 A / m 2 ). 表面仕上げにおける変化を表すデータのグラフであって、クエン酸及び二フッ化水素アンモニウムに関する様々な濃度の組合せで、代表的な準高温(71℃)であり、中電流密度(215A/m2)でのグラフである。Graph of data representing changes in surface finish, representative sub-high temperature (71 ° C.), medium current density (215 A / m 2 ) at various concentration combinations for citric acid and ammonium bifluoride. It is a graph in. 加工物の内部へ拡大するクラックを材料の表面から除去するための先行技術の方法において発生する順序を概念的に表す。1 conceptually represents the order that occurs in a prior art method for removing cracks extending from the surface of a material into a workpiece. 加工物の内部へ拡大するクラックを材料の表面において調節するための本明細書中に記載の電解質を用いた方法において発生する順序を概念的に表す。FIG. 2 conceptually represents the order that occurs in the method using the electrolyte described herein for adjusting cracks that extend into the interior of the workpiece at the surface of the material.

詳細な説明
本明細書では、反応性金属(チタン及びチタン合金を含むがこれらに限定されない)の表面処理に特に有用である水系電解質溶液について開示する。比較的少量のフッ化物塩及びカルボン酸が水中に溶解しており、溶液が実質的に強酸を有さないように、実質的に強酸(例えば鉱酸)が欠乏している。本発明の電解質溶液は、反応性金属(チタン及びチタン合金を含むがこれらに限定されない)の表面処理用の電解質槽においてのこれまでの試み(典型的には強酸を用い、電解質溶液の水量は絶対最小量に維持する必要があった)からすれば、特筆すべき発展である。
Detailed Description Disclosed herein is an aqueous electrolyte solution that is particularly useful for surface treatment of reactive metals, including but not limited to titanium and titanium alloys. A relatively small amount of fluoride salt and carboxylic acid is dissolved in water and is substantially devoid of strong acid (eg, mineral acid) so that the solution is substantially free of strong acid. The electrolyte solution of the present invention has been used in an electrolyte bath for surface treatment of reactive metals (including but not limited to titanium and titanium alloys) (typically using a strong acid, and the amount of water in the electrolyte solution is If it was necessary to maintain the absolute minimum amount), it is a remarkable development.

フッ化物塩は、溶液に対してフッ化物イオン源を提供する。そして、フッ化物塩は、二フッ化水素アンモニウム、NH4HF2(時として本明細書中では「ABF」として略される)であってもよいがこれらに限定されない。理論によって拘束されるものではないが、処理すべき反応性金属表面に対するフッ化物イオンの攻撃をカルボン酸が和らげると考えられる。前記カルボン酸はクエン酸でもよいがこれに限定されない。微量の強酸が存在しても良いが、溶液に強酸や鉱酸を意図的に加えることは無い。本明細書で使用される用語「実質的に欠乏している」及び「実質的に有さない」は、強酸の濃度が約3.35g/L以下、好ましくは約1g/L以下、及び更に好ましくは約0.35g/L未満であることを意味するために使用される。 The fluoride salt provides a fluoride ion source for the solution. The fluoride salt may be, but is not limited to, ammonium hydrogen difluoride, NH 4 HF 2 (sometimes abbreviated as “ABF” herein). Without being bound by theory, it is believed that the carboxylic acid mitigates the attack of fluoride ions on the reactive metal surface to be treated. The carboxylic acid may be citric acid, but is not limited thereto. Although a trace amount of strong acid may be present, no strong acid or mineral acid is intentionally added to the solution. As used herein, the terms “substantially deficient” and “substantially absent” mean that the concentration of strong acid is about 3.35 g / L or less, preferably about 1 g / L or less, and further Preferably used to mean less than about 0.35 g / L.

60g/Lのクエン酸及び10g/LのABFを含む54℃の水性溶液槽に工業用純(CP)チタンの試験材(test coupon)を浸漬して、583A/m2で電流を与えた。該溶液に15分曝したミル表面チタンストリップからのクーポンカット(0.52μm表面粗さ)は、均一に平滑であり(0.45μm表面粗さ)、見た目上は反射性であった。そして、少量の42℃BeHNO3(硝酸)を増加的に添加し、表面の変化が検出されない限り調製した試験材は繰り返し加工された。硝酸濃度が3.35g/Lに達するまでは各硝酸添加後の加工によって前記試験材は影響を受けなかった。該濃度のポイントでは、ピッティングやスポーリングを含めた見た目上不均一な外観を試験パネルが示し、範囲が0.65〜2.9μm及びそれ以上の表面粗さを有する試験材の周辺に不規則な攻撃を有していた。硝酸は、ヒドロニウムイオンの解離定数を大きく超えることのない解離定数を有するボーダーラインの強酸であると考えられている。従って、硝酸とくらべて解離定数が同じかそれよりも大きい他の強酸に関しては、強酸濃度が約3.35g/L未満での制御された材料除去及びマイクロ研磨において、同様の電解質溶液であれば同様の効果を有することが予想される。しかし、本明細書に開示する他の電解質溶液は、異なる濃度のクエン酸及びABF並びに異なる比率のクエン酸及びABFの濃度を有しているが、強酸の存在に関する寛容性が低くなる可能性があり、温度及び電流密度等の操作パラメーターのみならず特定の強酸にも依存することが予想される。従って、広い範囲のクエン酸濃度及びABF濃度にわたって、並びに広い範囲の温度及び電流密度内にわたって、材料除去及び表面仕上げ洗練(refinement)用に、水系電解質溶液を効果的に用いるためには、強酸の存在量は、約1g/L以下、好ましくは約0.35g/L以下であるべきである。 An industrial pure (CP) titanium test material was immersed in a 54 ° C. aqueous solution bath containing 60 g / L citric acid and 10 g / L ABF, and a current was applied at 583 A / m 2 . The coupon cut (0.52 μm surface roughness) from the mill surface titanium strip exposed to the solution for 15 minutes was uniformly smooth (0.45 μm surface roughness) and visually reflective. Then, a small amount of 42 ° C. BeHNO 3 (nitric acid) was added incrementally, and the prepared test material was repeatedly processed unless a change in the surface was detected. Until the nitric acid concentration reached 3.35 g / L, the test material was not affected by the processing after each nitric acid addition. At this concentration point, the test panel shows a visually non-uniform appearance including pitting and spalling, and is not around the test material having a surface roughness in the range of 0.65 to 2.9 μm or more. Had a regular attack. Nitric acid is believed to be a borderline strong acid with a dissociation constant that does not significantly exceed the dissociation constant of hydronium ions. Therefore, for other strong acids with the same or higher dissociation constant than nitric acid, a similar electrolyte solution can be used for controlled material removal and micropolishing at strong acid concentrations below about 3.35 g / L. It is expected to have a similar effect. However, other electrolyte solutions disclosed herein have different concentrations of citric acid and ABF and different ratios of citric acid and ABF concentrations, but may be less tolerant with respect to the presence of strong acids. Yes, it is expected to depend not only on operating parameters such as temperature and current density but also on specific strong acids. Therefore, in order to effectively use aqueous electrolyte solutions for material removal and surface refinement over a wide range of citric acid and ABF concentrations, and within a wide range of temperatures and current densities, The abundance should be about 1 g / L or less, preferably about 0.35 g / L or less.

ある範囲の化学濃度、電流密度、温度を用いて広範な電解研磨試験をチタン及びチタン合金サンプルに対して行った。具体的には、試験は、「洗浄」ミル産物(米国材料試験協会(ASTM)、又は航空宇宙材料規格(AMS)を満たし、「出荷される」条件の金属としての典型的なミル産物の代表的な物)に対して以下の目的で行った:バルク金属を除去するための様々な溶液及び方法の能力を測定すること;低材料除去速度で、シート金属産物上の表面仕上げを向上させること又は洗練させること;及び/又は、非常に低い材料除去速度で表面仕上げを非常に細かくするべく金属表面をマイクロ洗浄すること。更に、殆どの試験はチタン及びチタン合金に焦点を当てているが、同一の溶液及び方法は、多くの非鉄金属の処理に対して、より普遍的に応用可能であることもテストによって示される。チタン及びチタン合金のほかに良好な結果が得られる金属として、例えば、金、銀、クロム、ジルコニウム、アルミニウム、バナジウム、ニオブ、銅、モリブデン、亜鉛、及びニッケルが含まれるがこれらに限定されない。また、更に言えば、以下の合金等も確実に加工される:チタン−モリブデン、チタン−アルミニウム−バナジウム、チタン−アルミニウム−ニオブ、チタン−ニッケル(Nitinol(登録商標))、チタン−クロム(Ti 17(登録商標))、Waspaloy、及びInconel(登録商標)(ニッケルベースの合金)。   Extensive electropolishing tests were performed on titanium and titanium alloy samples using a range of chemical concentrations, current densities, and temperatures. Specifically, the test is representative of a typical mill product as a “washed” mill product (American Society for Testing and Materials (ASTM), or Aerospace Materials Standard (AMS) and “shipped” condition metal). For the following purposes: measuring the ability of various solutions and methods to remove bulk metal; improving surface finish on sheet metal products at low material removal rates Or refine; and / or microclean the metal surface to make the surface finish very fine with a very low material removal rate. In addition, although most tests focus on titanium and titanium alloys, the tests also show that the same solution and method are more universally applicable to the processing of many non-ferrous metals. In addition to titanium and titanium alloys, metals that provide good results include, but are not limited to, gold, silver, chromium, zirconium, aluminum, vanadium, niobium, copper, molybdenum, zinc, and nickel. Moreover, the following alloys are also reliably processed: titanium-molybdenum, titanium-aluminum-vanadium, titanium-aluminum-niobium, titanium-nickel (Nitinol®), titanium-chromium (Ti 17 (Registered trademark), Waspaloy, and Inconel® (nickel-based alloy).

クエン酸及び二フッ化水素アンモニウムを含有する電解質溶液は、両成分が驚異的に薄い濃度でも非鉄金属及び金属合金をエッチングする際に効果があることが示された。該文脈上、エッチングは、実質的に均一な表面除去を含むものとして理解される。更に、表面仕上げにおける改良は、広い範囲のクエン酸の及び二フッ化水素アンモニウムの両濃度にわたって示される。任意の濃度のクエン酸から水での飽和点まで(59重量%、又は約982g/Lの水性溶液、標準温度及び圧力)使用可能である一方で、クエン酸濃度と二フッ化水素アンモニウム濃度との間には相関関係が見られる。該濃度では二フッ化水素アンモニウムの解離によって発生するフッ化物イオンのエッチング効果をクエン酸が充分に軽減し、材料表面のマイクロ研磨が強化される一方で材料除去の速度が著しく小さくなる。エッチング及びマイクロ研磨の両方に関して、幾つかの混合物は、クエン酸濃度が3.6重量%又は約60g/Lの量である溶液であるが、前記量を著しく上回る量のクエン酸の濃度(最大で約36重量%又は約600g/Lまで含む溶液)に匹敵するエッチング速度及び表面マイクロ研磨の結果をチタン上で示した。従って、これらの溶液においては、クエン酸濃度と比べて、ABFの濃度のほうががより直接的にエッチング速度に影響しているのは明らかである。約1重量%又は約15g/L未満という極端に低いクエン酸濃度の溶液で、効果的なエッチング及びマイクロ研磨が示された。しかしながら、最小量のフッ化物イオンしか存在しない場合であっても、ある金属除去を発生させるには充分であることが明らかとなった。   Electrolyte solutions containing citric acid and ammonium bifluoride have been shown to be effective in etching non-ferrous metals and metal alloys even at surprisingly low concentrations of both components. In that context, etching is understood as including substantially uniform surface removal. Furthermore, improvements in surface finish are shown over a wide range of both citric acid and ammonium bifluoride concentrations. While it can be used from any concentration of citric acid to the saturation point with water (59 wt%, or about 982 g / L aqueous solution, standard temperature and pressure), citric acid concentration and ammonium bifluoride concentration There is a correlation between. At this concentration, citric acid sufficiently reduces the etching effect of fluoride ions generated by the dissociation of ammonium hydrogen fluoride, and the micropolishing of the material surface is enhanced, while the material removal rate is significantly reduced. For both etching and micropolishing, some mixtures are solutions with a citric acid concentration of 3.6% by weight or an amount of about 60 g / L, but with a concentration of citric acid that is significantly above that amount (maximum Etch rate and surface micropolishing results comparable to about 36% by weight or solutions up to about 600 g / L) on titanium. Therefore, in these solutions, it is clear that the ABF concentration more directly affects the etching rate than the citric acid concentration. Effective etching and micropolishing have been demonstrated with solutions with extremely low citric acid concentrations of less than about 1 wt% or about 15 g / L. However, it has been found that even when a minimal amount of fluoride ions is present, it is sufficient to cause some metal removal.

約600g/Lを超える濃度のクエン酸では、エッチング速度は実質的に落ちる。しかし、エッチング速度は落ちるものの、該高濃度のクエン酸で、少なくとも中〜高電流密度の場合においては、表面仕上げの結果は向上する。従って、直流電流を与えると、より希釈したクエン酸の混合物では、表面材料除去の速度を大きくすることができる。その一方で、より濃縮したクエン酸の混合物(最大で、約42重量%又は約780g/Lのレベルの溶液の混合物)では、更に滑らかで光沢のある仕上げとなる。そして、濃縮度が低いクエン酸混合物を用いて仕上げた片と比べると均一で微細な目(grain)であり、腐食効果もない。   At concentrations of citric acid above about 600 g / L, the etch rate is substantially reduced. However, although the etching rate is reduced, the surface finish results are improved at least at moderate to high current densities with the high concentration of citric acid. Thus, when a direct current is applied, the surface material removal rate can be increased with a more diluted citric acid mixture. On the other hand, a more concentrated mixture of citric acid (up to about 42 wt% or about 780 g / L of solution) results in a smoother and more glossy finish. And compared with the piece finished using the citric acid mixture with low concentration, it has a uniform and fine grain and no corrosive effect.

本明細書に記載した槽溶液及び方法を用いて、高度に制御された金属除去を達成することが可能である。具体的には、制御レベルが微細であるが為に、バルク金属は、厚みにおいて、0.0001インチの小ささ、並びに0.5000インチの大きさ及び正確さで除去することができる。こうした精密な制御は、クエン酸濃度及びABF濃度の組合せ、温度、並びに電流密度を制御すること、並びに直流電流の期間や周期的な投与を変化させることによって達成することができる。一般的に、除去は、加工物の全表面に対して均一に行うことができる。または、ミル産物又は製造された部品でのある選択された表面に対してのみ選択的に適用することもできる。除去の制御は、幾つかのパラメーターを精度良くチューニングすることによって達成され、該パラメーターとしては、温度、電力密度、電力サイクル、ABF濃度、及びクエン酸濃度が含まれるがこれらに限定されない。   Using the bath solutions and methods described herein, it is possible to achieve highly controlled metal removal. Specifically, because of the fine control level, bulk metal can be removed in thickness as small as 0.0001 inches and as large as 0.5000 inches and accuracy. Such precise control can be achieved by controlling the combination of citrate and ABF concentrations, temperature, and current density, as well as changing the duration and periodic dosing of the direct current. In general, removal can be performed uniformly over the entire surface of the workpiece. Alternatively, it can be applied selectively only to certain selected surfaces on the mill product or manufactured parts. Removal control is achieved by precisely tuning several parameters, including but not limited to temperature, power density, power cycle, ABF concentration, and citric acid concentration.

除去速度は温度と共に直接的に変化する。従って、他の全てのパラメーターが一定である場合には、除去は、温度が下がれば遅くなり、温度が高くなれば速くなる。にもかかわらず、予想に反するものではあるが、クエン酸濃度及びABF濃度を特定の好ましい範囲内に維持することによって、高度のマイクロ研磨も高温で達成することができる。   The removal rate varies directly with temperature. Thus, if all other parameters are constant, removal will be slower if the temperature is lowered and faster if the temperature is higher. Nevertheless, although contrary to expectations, by maintaining the citric acid concentration and ABF concentration within certain preferred ranges, a high degree of micropolishing can also be achieved at high temperatures.

除去速度は、DC電力の投与に依存する。予想に反して、除去速度は、連続的に投与したDC電力とは逆比例の関係である。連続的に投与すると、DC電力密度が上昇すると除去速度が減少する。しかし、DC電力を周期的なものにすることによって、除去速度を早めることができる。従って、有効な材料除去速度が望まれる場合、処理操作中DC電力はOFFからONへと繰り返すサイクルを行う。逆に、除去速度を精度良く制御することが望まれる場合には、DC電力は連続的に与える。   The removal rate depends on the administration of DC power. Contrary to expectation, the removal rate is inversely related to continuously administered DC power. When administered continuously, the removal rate decreases as the DC power density increases. However, the removal speed can be increased by making the DC power periodic. Thus, if an effective material removal rate is desired, the DC power is cycled from OFF to ON during the processing operation. Conversely, when it is desired to control the removal rate with high accuracy, the DC power is continuously applied.

理論によって拘束されるものではないが、金属表面に形成される酸化層の厚さに比例して除去が遅くなり、より高いDC電力を与えると金属表面がより酸化することになる。そして、該酸化が、フッ化物イオンの金属に対する攻撃のバリアとして作用している可能性があると考えられる。従って、DC電力のon及びoffを所記の速度でサイクルさせることで前記酸素バリアを克服することができ、厚みのある酸化物を周期的に表面から剥落することを促進する機構を作り出す。本明細書に記載してあるように、槽温度、投与電圧、並びにクエン酸濃度、及び二フッ化水素アンモニウム濃度の稼動パラメーターを変化させると、電解質は、有用な結果に仕上げる能力を、即ち高度に制御されたバルク金属除去及びマイクロ研磨を、特定の応用に提供する。所与の工程内での稼動条件を変化させることのほかに、稼動パラメーターの組により、金属除去及び表面仕上げに関して精度良くチューニングして制御する能力を変化させたり強化したりすることができる。   Without being bound by theory, removal is slowed in proportion to the thickness of the oxide layer formed on the metal surface, and the metal surface becomes more oxidized when higher DC power is applied. And it is thought that this oxidation may act as a barrier against attack of fluoride ions on the metal. Therefore, cycling the DC power on and off at the stated rate can overcome the oxygen barrier, creating a mechanism that promotes the periodic stripping of thick oxide from the surface. As described herein, changing the bath temperature, dosing voltage, and operating parameters of citric acid concentration and ammonium bifluoride concentration allow the electrolyte to produce a useful result, i.e. advanced Controlled bulk metal removal and micropolishing are provided for specific applications. In addition to changing operating conditions within a given process, the set of operating parameters can change or enhance the ability to tune and control accurately for metal removal and surface finishing.

例えば、図8A及び9Aは、85℃、300g/Lのクエン酸、及び10g/Lの二フッ化水素アンモニウムの条件で、電流密度が10.8A/m2から538A/m2へ増加するにつれて材料除去速度が増加していることを示している。同時に、図8B及び9Bは、同一条件下で、電流密度が10.8A/m2から538A/m2へ増加したときに、表面仕上げが劣化していることを示している。DC電源をこれら2つの電流密度の間でサイクルさせることによって、全工程の間、いずれか1つの電流密度だけで稼動させる場合よりも良好な結果(net result)を達成することができる。具体的には、単に10.8A/m2で稼動させるのと比べると、特定量の材料を除去するための工程時間を減らすことができる。更に言えば、より低い電流密度での平滑化の効果が原因で、最終生成物の全体の表面仕上げが単に538A/m2で処理して得られる物よりも優れている。従って、2以上の電力設定(電流密度で示される)の間をサイクルすることによって、表面及び正確なバルク金属除去の両方の優れた結果を可能にし、前記工程は、表面強化又はバルク金属除去いずれかのみの個々の工程よりも少ない合計時間しか必要としない。 For example, as FIGS. 8A and 9A are, 85 ° C., 300 g / L citric acid, and under the condition of ammonium hydrogen difluoride of 10 g / L, the current density is increased from 10.8A / m 2 to 538A / m 2 It shows that the material removal rate is increasing. At the same time, FIG. 8B and 9B, the same conditions, when the current density is increased from 10.8A / m 2 to 538A / m 2, shows that the surface finish is degraded. By cycling the DC power source between these two current densities, better results (net result) can be achieved than when operating at only one current density during the entire process. Specifically, the process time for removing a specific amount of material can be reduced compared to simply operating at 10.8 A / m 2 . Furthermore, due to the smoothing effect at lower current densities, the overall surface finish of the final product is superior to that obtained by simply treating at 538 A / m 2 . Thus, cycling between two or more power settings (indicated by current density) allows for excellent results in both surface and precise bulk metal removal, which can be either surface enhancement or bulk metal removal. Less total time is required than individual processes.

動作周期(duty cycle)を変化させることに加えて、電気は電解質溶液を通り、加工物を通して投与することができ、DC電源から得られる様々な波形をとり、該波形としては、以下のものが含まれるがこれらに限定されない:半波整流;、全波整流;、矩形波;、並びに最終的な表面仕上げを犠牲にすることなく、更なる有用な結果及び/又は工程速度強化を生み出す他の中間整流。DCスイッチング速度(50kHz〜1MHzの速度、又は15〜90分の周期という遅さ)は、加工する表面積、加工物の質量、及び加工物の特定の表面条件によっては有用となる可能性がある。更に言えば、DCスイッチング周期自体は、適宜自身の周期を必要としても良い。例えば、非常に粗い初期の表面仕上げを伴う巨大質量の加工物は、最初遅いスイッチングサイクルで、その後、材料が除去されるにつれて周期を増加させることで最も大きな利点を得ることができ、表面仕上げが向上する。   In addition to changing the duty cycle, electricity can be delivered through the electrolyte solution and through the workpiece, taking various waveforms obtained from a DC power source, including the following: Including but not limited to: half-wave rectification; full-wave rectification; square wave; and others that produce additional useful results and / or process speed enhancements without sacrificing the final surface finish Intermediate rectification. DC switching speeds (50 kHz to 1 MHz speed, or 15 to 90 minute period slowness) may be useful depending on the surface area being processed, the mass of the workpiece, and the specific surface conditions of the workpiece. Furthermore, the DC switching period itself may require its own period as appropriate. For example, a massive workpiece with a very rough initial surface finish can get the most benefit by first increasing the period with a slow switching cycle and then increasing the material as the surface is removed. improves.

また、ある実施形態において、本明細書に記載した種類の電解槽を試験すると、金属表面において水素濃度を上げることなく電解研磨が行われ、そして幾つかの例では水素濃度を減少させることが明らかになった。材料表面での酸素バリアは、金属マトリックス内への水素の移動がないことに関与している可能性がある。データでは、前記酸素バリアが、金属表面からの水素除去も行っている可能性を示唆している。フッ化物イオン濃度が高くなると除去速度が速くなる結果となるが、しかし、金属マトリックスへ水素が吸着するという未知の影響がある。クエン酸濃度が高くなると、除去速度が遅くなり、電解研磨中高電力密度を必要とする傾向にある。しかし、表面に対して「平滑性」又は「光沢」を追加するように作用もする。   Also, in certain embodiments, when an electrolytic cell of the type described herein is tested, it is apparent that electropolishing is performed without increasing the hydrogen concentration on the metal surface, and in some instances, reducing the hydrogen concentration. Became. The oxygen barrier at the material surface may be responsible for the lack of hydrogen migration into the metal matrix. The data suggests that the oxygen barrier may also remove hydrogen from the metal surface. A higher fluoride ion concentration results in a faster removal rate, but has the unknown effect of adsorbing hydrogen on the metal matrix. When the citric acid concentration is high, the removal rate is low, and a high power density tends to be required during electropolishing. However, it also acts to add “smoothness” or “gloss” to the surface.

従来技術の溶液と比べると、ABF及びクエン酸の水系電解質溶液を用いることにより、金属生成物の仕上げ及び/又は酸洗に関して、幾つか有利な点が生じる。本開示の電解質溶液は、厳密に制御された仕上げ規格(gauge)を達成することを可能にする。従来の生産機合金平坦生成物(producer alloy flat products)(シート及び板)の仕上げでは、多数の工程を伴い、微細なグラインディング媒体(grinding media)を段々と用いて仕上げた規格に対して研削を行い、典型的にはその後にフッ化水素酸(HF)及び硝酸(HNO3)を含む酸槽中で「リンス酸洗」(rinse pickling)を行い、残留切削材料、グランドイン変形金属(ground−in smeared metal)、及び表面異常を除去する。HF−HNO3酸洗は発熱性であり、従って制御することが難しく、金属が規格を下回る結果となることがよくある。その結果、金属のスクラップ率が更に高くなったり、又は金属が再度目的を果たす数値が更に低くなったりする。前記リンス酸洗を必要とすることもできるが、本開示の電解質溶液を用いることにより、典型的な二次研削及び三次研削を省略することができる。現時点での切削及び酸洗の技術の状態では成しうることができなかった、予め正確に決めた仕上げ規格に到達することができる。更に、本開示の電解質溶液は、処理部分にストレスを導入することはない。比較すると、任意の機械的研削工程では重大な表面ストレスを与えており、材料の反りを引き起こす可能性があり、結果として、典型的な又は顧客から明示された平面度仕様をある程度の確率で材料が満たすことができなくなる。 Compared to prior art solutions, the use of an aqueous electrolyte solution of ABF and citric acid provides several advantages with respect to metal product finishing and / or pickling. The electrolyte solution of the present disclosure makes it possible to achieve a strictly controlled finish specification. The finishing of conventional producer alloy flat products (sheets and plates) involves a number of steps and is ground to the finished standard using fine grinding media. Typically followed by “rinse pickling” in an acid bath containing hydrofluoric acid (HF) and nitric acid (HNO 3 ) to form residual cutting material, ground-in deformed metal (ground) -Remove in-smeared metal) and surface abnormalities. HF-HNO 3 pickling is exothermic and is therefore difficult to control and often results in metals below specification. As a result, the scrap rate of the metal is further increased, or the numerical value at which the metal serves again is further decreased. Although the rinse pickling may be required, typical secondary grinding and tertiary grinding can be omitted by using the electrolyte solution of the present disclosure. Predetermined finishing specifications can be reached that could not be achieved with the current state of cutting and pickling techniques. Furthermore, the electrolyte solution of the present disclosure does not introduce stress into the treated portion. By comparison, any mechanical grinding process can cause significant surface stress and cause warping of the material, resulting in a certain degree of probability for a typical or customer specified flatness specification. Will not be able to meet.

HF−HNO3酸洗を用いた典型的な工程では、標的材料に水素を与えることがあり、材料の脆化を防ぐためにコストのかかる真空脱気によって除去しなくてはならないことがよくある。典型的なミル産物であるフルサイズシートのTi−6A1−4V、並びにCPチタン、6A1−4Vチタン、及びニッケルベース合金718の試験材に対して、クエン酸及びABFを含む水系電解質槽を用いて行ったテストでは、従来の強酸である酸洗溶液にサンプルを曝した場合と比較して、水素が浸透する結果を抑えることが示された。特に、Ti−6A1−4V及びCPチタンを処理して同一のアルファケースフリーを達成する場合に、強酸酸洗によって通常達成されるクリーンな表面エンド結果は、二フッ化水素アンモニウム及びクエン酸を含む水系電解質溶液組成物、ある範囲の温度、並びに電流密度条件を用いると、加工物の材料に対して水素が負荷されておらず、多くのこれらの稼動条件では、実際のところ、水素は材料から出て行っていることが判明した。全ての金属及び合金に関して、試験を継続して好ましい稼動範囲を洗練させている間、最適ではない可能性のある条件であっても強酸酸洗槽を用いた同一の稼動条件であれば負荷された場合と比べると材料に負荷された水素が少ないという結果が一貫して示された。一般的に、二フッ化水素アンモニウムの濃度が低くなると、電解質溶液に曝された材料からの水素除去が大きくなり、該材料への水素浸透が少なくなる。 In a typical process using HF-HNO 3 pickling, the target material may be hydrogenated and often must be removed by costly vacuum degassing to prevent embrittlement of the material. Using a water-based electrolyte bath containing citric acid and ABF for Ti-6A1-4V full-size sheet typical mill products and test materials of CP titanium, 6A1-4V titanium, and nickel base alloy 718 Tests that have been performed have shown that the hydrogen permeation results are reduced compared to the case where the sample is exposed to a conventional pickling solution, which is a strong acid. In particular, when treating Ti-6A1-4V and CP titanium to achieve the same alpha case-free, clean surface end results normally achieved by strong pickling include ammonium bifluoride and citric acid. Using an aqueous electrolyte solution composition, a range of temperatures, and current density conditions, the workpiece material is not loaded with hydrogen, and in many of these operating conditions, hydrogen is actually out of the material. Turned out to be out. While continuing testing and refining the preferred operating range for all metals and alloys, the same operating conditions using a strong pickling bath will be burdened even under conditions that may not be optimal. The results consistently showed that less hydrogen was loaded on the material compared to In general, as the concentration of ammonium hydrogen fluoride decreases, hydrogen removal from the material exposed to the electrolyte solution increases and hydrogen permeation into the material decreases.

高度に制御された金属除去、表面仕上げ、及びマイクロ研磨   Highly controlled metal removal, surface finish, and micropolishing

構成部品のマイクロ研磨又はマイクロ平滑化、及び特に既に比較的平滑な表面のマイクロ平滑化は、本明細書に記載の溶液及び方法を用いると、手動の又は機械的な研磨と比べると優れた精度で達成することができる。両方とも現在の機械的な方法における問題点であるが、標的加工物又は標的材料において有害な残留ストレスを発生させることなく、そして、加工物において金属を変形させることなく、マイクロ研磨が行われる。更に言えば、ヒトによるばらつきを除外することによって、結果的に得られる研磨レベルは特定のものであり、再現可能なものである。また、既存の方法に比べて、本開示の電解質溶液を用いると、コスト削減も達成できる。   Micro-polishing or micro-smoothing of components, and especially micro-smoothing of already relatively smooth surfaces, is superior to manual or mechanical polishing using the solutions and methods described herein. Can be achieved. Both are problems in current mechanical methods, but micropolishing is performed without creating detrimental residual stress in the target workpiece or target material and without deforming the metal in the workpiece. Furthermore, by excluding human variation, the resulting polishing level is specific and reproducible. Moreover, cost reduction can also be achieved when the electrolyte solution of the present disclosure is used as compared with existing methods.

試験では、高濃度のクエン酸、低〜中濃度のABF、高温度、及び高DC電流密度(連続的に又は周期的に与えることができる)で、マイクロ研磨に関する良好な結果が得られた。しかし、DC電力密度は、処理される合金に基づいて調整されるべきものである。アルミニウムを含有するチタン合金(典型的には、ありふれたTi−6A1−4V合金を含むアルファ−ベータ冶金合金)は、40ボルトを超える投与DC電圧で光沢を失う傾向がある。しかし、これらの金属について、約40ボルトの電圧をかけて、及び更に高い電流を与えても(即ち、より高い電力密度を達成するために)材料の光沢を再び実現することが可能である。理論によって拘束されるものではないが、これは、アルファ安定化元素の結果である可能性があり、該元素は、多くのアルファーベータ合金(Ti−6Al−4Vを含む)の場合には、研磨されるというよりは、Al23へ陽極酸化されるアルミニウムである。しかし、更に言えば、チタン−モリブデン(全てベータ相冶金)及び工業用純(CP)チタン(全てアルファ相)は、同様の電圧上限に明らかに拘束されることなくDC電力密度の上昇と共に明るさが増す。特に、他の金属に関して、少なくとも最大150ボルトまでの更に高い電圧を使用することができ、例えば、ニッケルベース合金718に関して、本明細書に開示した電解質溶液を用いた電解研磨、マイクロ研磨、及び表面処理において、有用な結果を生み出すことが見出された。 The test gave good results for micropolishing at high concentrations of citric acid, low to medium concentrations of ABF, high temperature, and high DC current density (which can be given continuously or periodically). However, the DC power density should be adjusted based on the alloy being processed. Titanium alloys containing aluminum (typically alpha-beta metallurgical alloys including the common Ti-6A1-4V alloy) tend to lose luster at dose DC voltages in excess of 40 volts. However, for these metals, it is possible to re-achieve the material gloss even when applying a voltage of about 40 volts and applying a higher current (ie to achieve higher power density). Without being bound by theory, this may be the result of an alpha stabilizing element, which in the case of many alpha beta alloys (including Ti-6Al-4V) is polished. Rather, it is aluminum that is anodized to Al 2 O 3 . But more specifically, titanium-molybdenum (all beta phase metallurgy) and industrial pure (CP) titanium (all alpha phase) are brighter with increasing DC power density without being clearly bound by similar upper voltage limits. Increase. In particular, higher voltages up to at least 150 volts can be used for other metals, such as electropolishing, micropolishing, and surface with the electrolyte solution disclosed herein for nickel-based alloy 718, for example. In processing, it has been found to produce useful results.

本明細書に記載の溶液及び方法は、機械にかける部品のデバリングを行うために使用することができ、好ましくは、機械にかける金属構成部品に対するバリを加工することにより行い、特に、機械にかけることが困難な金属(例えばチタン及び及びニッケルベース合金)から部品が作られている場合に行われる。当分野での現状では、機械にかける構成部品のデバリングは、手動操作として通常行われる。従って、ヒューマンエラーや人の手による一貫性の欠如に関連した多くの問題に悩まされている。本開示の溶液を用いた試験が示すところによれば、クエン酸濃度が低いとき(電気化学的なセル中でのクエン酸の抵抗特性が原因ではあるが)デバリングが最も効果的であり、そして、ABFからのフッ化物イオンが高いとき最良であった。また、同様の溶液は、機械にかけた後で表面不純物を除去したり、又は加工物を洗浄したりするために使用することができ、例えば、該溶液でなければ、HF−HNO3槽を用いた強酸酸洗を用いて行ったであろう。 The solutions and methods described herein can be used to perform deburring of machined parts, preferably by processing burrs on metallized parts that are machined, especially machined. This is done when the parts are made from difficult metals (eg titanium and nickel based alloys). In the current state of the art, deburring of components on a machine is usually performed as a manual operation. Therefore, it suffers from many problems associated with human error and lack of human consistency. Testing with the solution of the present disclosure shows that deburring is most effective when the citric acid concentration is low (due to the resistance properties of citric acid in an electrochemical cell), and Best when fluoride ions from ABF were high. A similar solution can also be used to remove surface impurities after application to the machine or to clean the workpiece, for example using a HF-HNO 3 bath if it is not. Would have been done with a strong pickling.

上述したように、非鉄及び特に反応性金属は、広い範囲の希釈クエン酸混合物において効果的な速度の化学的エッチングを示す。このことにより、特定の非鉄金属加工品用に仕上げ工程のカスタマイズをすることが可能となり、該カスタマイズとしては、電解研磨を開始して選択的に尖端領域を減少させる前に、そして更に電流を与えて幾つかの表面金属を除去して反応させる前に、槽中での選択されたデルタイム(dwell time)を含めることができる。   As noted above, non-ferrous and especially reactive metals exhibit effective rates of chemical etching in a wide range of dilute citric acid mixtures. This makes it possible to customize the finishing process for a particular non-ferrous metal work piece, including the application of additional current before starting electropolishing and selectively reducing the tip area. Selected dwell time in the bath may be included before removing and reacting some of the surface metal.

クエン酸ベースの電解質は、従来の電解研磨混合物よりも、粘度がかなり低く、一部その原因としては、電解研磨電解質中で通常用いられる強酸の場合と比べるとクエン酸の解離定数がかなり低いことがあげられる。粘度が更に低いことにより、材料の移動することや電気抵抗を更に低くすることを補助し、その結果、従来の電解研磨よりも低い電圧を用いることができる。最終的に得られる電解研磨仕上げは、用いる電解質の粘度及び抵抗性の影響を実質的に受ける。高い電解研磨電圧(従って、中〜高電流密度)と組み合せた抵抗の高い電解質溶液用いて、最も微細な表面仕上げ(高度のマイクロ研磨)を達成できることが見出された。更に、ある程度導電性が更に高い(高抵抗性が低い)電解質溶液を用いると、高電圧及び高い電流密度であっても微細なマイクロ研磨がなおも達成可能である。   Citric acid-based electrolytes have a much lower viscosity than conventional electropolishing mixtures, partly due to the considerably lower dissociation constant of citric acid compared to the strong acids normally used in electropolishing electrolytes. Is given. The lower viscosity assists in moving the material and lowering the electrical resistance, so that a lower voltage can be used than in conventional electropolishing. The final electropolished finish is substantially affected by the viscosity and resistance of the electrolyte used. It has been found that the finest surface finish (high micropolishing) can be achieved using a highly resistive electrolyte solution combined with a high electropolishing voltage (and therefore medium to high current density). Furthermore, if an electrolyte solution having a somewhat higher conductivity (low resistance) is used, fine micropolishing can still be achieved even at high voltages and high current densities.

従って、対応する利点は、電解加工にもあてはまるであろう。特に予想されることとして、本明細書に記載の組成物を有する電解質槽は、実質的な環境の利点及びコストの利点を伴いながら、従来の電解加工及び/又は酸洗溶液に代わって効果的に用いることができる。本明細書に開示した電解質溶液は、本質的に強酸を有さないため、危険な廃棄物の廃棄や取り扱いの問題が最小限になる。更に、必要な電流密度は、従来の電解加工で必要とされるものよりもかなり低い。   Accordingly, the corresponding advantages may apply to electrolytic machining. It is particularly anticipated that an electrolyte bath having the composition described herein is an effective alternative to conventional electrolytic processing and / or pickling solutions, with substantial environmental and cost advantages. Can be used. The electrolyte solution disclosed herein is essentially free of strong acids, minimizing the risk of hazardous waste disposal and handling. Furthermore, the required current density is much lower than that required in conventional electrochemical machining.

一般的に、二フッ化水素アンモニウムの濃度が上昇すると、電解質溶液の電気抵抗が下がる傾向にある(即ち、二フッ化水素アンモニウムは、電解質溶液の電気伝導性を増加させる)。一方で、クエン酸が存在すると、又は二フッ化水素アンモニウムの濃度に対するクエン酸の濃度を上昇させると、電気抵抗に対する二フッ化水素アンモニウムの影響を和らげる傾向にある。換言すれば、電解質溶液の電気抵抗を高いレベルに維持してマイクロ研磨を促進するためには、二フッ化水素アンモニウム濃度を低く維持するか、又は更に高濃度の二フッ化水素アンモニウムに対して、更に高濃度のクエン酸と組み合せて用いることが望まれる。従って、二フッ化水素アンモニウムの濃度、並びに二フッ化水素アンモニウム及びクエン酸の相対濃度を変えることにより、電解質溶液の電気抵抗を有用に制御して、加工物の表面のマイクロ研磨の所望のレベルを達成することができる。   In general, as the concentration of ammonium difluoride increases, the electrical resistance of the electrolyte solution tends to decrease (ie, ammonium difluoride increases the electrical conductivity of the electrolyte solution). On the other hand, the presence of citric acid or increasing the concentration of citric acid relative to the concentration of ammonium bifluoride tends to moderate the effect of ammonium bifluoride on electrical resistance. In other words, in order to maintain the electrical resistance of the electrolyte solution at a high level and promote micropolishing, the ammonium hydrogen difluoride concentration should be kept low or even higher than ammonium difluoride concentration. Further, it is desirable to use it in combination with a higher concentration of citric acid. Therefore, by varying the concentration of ammonium bifluoride and the relative concentration of ammonium bifluoride and citric acid, the electrical resistance of the electrolyte solution is usefully controlled to achieve the desired level of micropolishing of the workpiece surface. Can be achieved.

従来の電解研磨又は電解加工とは対照的に、本明細書に開示した工程では、加工物(陽極)が陰極に近接することについては精度を必要としない。陰極を加工物から約0.1cm〜約15cmの距離で工程を行うと成功する。陰極と陽極加工物との間の最大距離に関する実際の限界は、主に工業的なものから生じており、槽サイズ、加工物サイズ、及び電解質溶液の電気抵抗が含まれる。電解加工で必要とされるものよりも全体の電流密度が低い、そしてかなり低いことがよくあるため、加工物〜陰極への距離を更に大きくして使用し、それに従って電源の容量を単純に増加させることが可能である。更に、本明細書に開示した更に粘度の低い電解質溶液は、高度に制御されたバルク金属除去、表面仕上げ、及びマイクロ研磨を可能にするため、同一の溶液は、電解加工においても効果的であることが予想される。   In contrast to conventional electropolishing or electromachining, the process disclosed herein does not require accuracy for the workpiece (anode) to be close to the cathode. The process is successful when the cathode is processed at a distance of about 0.1 cm to about 15 cm from the workpiece. Practical limits on the maximum distance between the cathode and the anode workpiece have arisen mainly from the industrial ones, including cell size, workpiece size, and electrical resistance of the electrolyte solution. Since the overall current density is often lower and much lower than that required for electrochemical machining, use a larger distance from the workpiece to the cathode, and simply increase the capacity of the power supply accordingly It is possible to make it. In addition, the lower viscosity electrolyte solution disclosed herein enables highly controlled bulk metal removal, surface finish, and micropolishing, so the same solution is also effective in electrolytic processing. It is expected that.

金属加工物の電解研磨は、加工物及び少なくとも1つの陰極を電解質溶液槽に曝し、加工物を陽極に接続することにより実行される。電解質溶液は、カルボン酸を約0.1重量%〜約59重量%の範囲の量で含む。また、電解質溶液は、アルカリ金属フッ化物、アルカリ土類金属フッ化物、シリケートエッチング化合物、及び/又はこれらの組合せから選択されるフッ化物塩を約0.1重量%〜約25重量%の範囲で含むこともできる。加工物に接続された少なくとも1つの陽極と、槽中に浸漬された陰極との間で、電源から電流が与えられ、加工物の表面から金属を除去する。約0.6ミリボルト直流(mVDC)〜約100ボルト直流(VDC)の範囲での電圧で電流を与える。他のカルボン酸(以下のものが含まれるがこれらに限定されない:蟻酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、カプロン酸、エナント酸、カプリル酸、ペラルゴン酸、カプリン酸、ラウリン酸、パルミチン酸及びステアリン酸)も使用可能であるが、クエン酸が好ましいカルボン酸である。ABFは、好ましいフッ化物塩である。   Electropolishing of the metal workpiece is performed by exposing the workpiece and at least one cathode to an electrolyte solution bath and connecting the workpiece to the anode. The electrolyte solution includes carboxylic acid in an amount ranging from about 0.1% to about 59% by weight. The electrolyte solution may be a fluoride salt selected from an alkali metal fluoride, an alkaline earth metal fluoride, a silicate etching compound, and / or a combination thereof in a range of about 0.1 wt% to about 25 wt%. It can also be included. A current is applied from a power source between at least one anode connected to the workpiece and a cathode immersed in the bath to remove metal from the surface of the workpiece. The current is applied at a voltage in the range of about 0.6 millivolt direct current (mVDC) to about 100 volts direct current (VDC). Other carboxylic acids including but not limited to formic acid, acetic acid, propionic acid, butyric acid, valeric acid, caproic acid, enanthic acid, caprylic acid, pelargonic acid, capric acid, lauric acid, palmitic acid and Stearic acid) can also be used, but citric acid is the preferred carboxylic acid. ABF is a preferred fluoride salt.

電解研磨方法の別態様において、電流は、約0.6VDC〜約150VDCの電圧で与える。約255,000A/m2以下(凡そ24,000アンペア/平方フィート)の電流密度で電流を与えることができる。ここで、分母は加工物の効果的な表面積全体を表す。ニッケルベース合金等の幾つかの非鉄金属に関して、最大で約5,000A/m2(約450 A/ft2)及びそれを含む電流密度を使用することができる。そして、チタン及びチタン合金に関して、約1〜約1100A/m2(約0.1〜100A/ft2)の電流密度が好ましい。電解質溶液を用いた電解研磨工程は、溶液の凝固点と沸点との間で行うことができ、例えば、温度が約2℃〜約98℃、好ましくは約21℃〜約85℃の範囲であってもよい。 In another aspect of the electropolishing method, the current is applied at a voltage of about 0.6 VDC to about 150 VDC. The current can be applied at a current density of about 255,000 A / m 2 or less (approximately 24,000 amps / square foot). Here, the denominator represents the entire effective surface area of the workpiece. For some non-ferrous metals such as nickel-based alloys, current densities up to and including about 5,000 A / m 2 (about 450 A / ft 2 ) can be used. For titanium and titanium alloys, a current density of about 1 to about 1100 A / m 2 (about 0.1 to 100 A / ft 2 ) is preferred. The electropolishing process using the electrolyte solution can be performed between the freezing point and the boiling point of the solution. For example, the temperature ranges from about 2 ° C to about 98 ° C, preferably from about 21 ° C to about 85 ° C. Also good.

実際、約0.0001インチ(0.00254mm)〜約0.01インチ(0.254mm)/分の速度で、金属基材から材料を除去することができる。以下の実施例では、濃度及び稼動条件を変えた場合の電解質の効果を示す。   Indeed, material can be removed from the metal substrate at a rate of about 0.0001 inch (0.00254 mm) to about 0.01 inch (0.254 mm) / min. The following examples show the effect of the electrolyte when the concentration and operating conditions are changed.

実施例1:工業用純チタンのエッチング Example 1: Etching of industrial pure titanium

ある電解質(重量で、約56%の水、約43%のクエン酸(716g/L)、及び約1%の二フッ化水素アンモニウム(15.1g/L)から本質的に成り、185°F(85℃)で稼動する)において、材料の表面仕上げを向上させるために(即ち、ミル−標準仕上げをより平滑にするため)、工業用純チタン板サンプルを処理した。材料は、約160マイクロインチの表面仕上げで開始し、加工後は、表面仕上げでは、90マイクロインチだけ減少させ、最終的な読取値が50マイクロインチになるように減少させ、又は約69%だけ改良した。30分の間だけ工程を行い、結果として、材料の厚さが0.0178インチに減少した。   An electrolyte (consisting essentially of, by weight, about 56% water, about 43% citric acid (716 g / L), and about 1% ammonium bifluoride (15.1 g / L) at 185 ° F. In order to improve the surface finish of the material (ie to make the mill-standard finish more smooth), an industrial pure titanium plate sample was processed. The material starts with a surface finish of about 160 microinches, and after processing, the surface finish is reduced by 90 microinches, reduced to a final reading of 50 microinches, or by about 69%. Improved. The process was run for only 30 minutes, resulting in a reduction in material thickness to 0.0178 inches.

多くのエンドユーズアプリケーションに関するチタン板生成物の鍵となる特徴であるが、冷間成形性は、生成物の表面仕上げに大きく依存する。本明細書に開示した電気化学的な工程の実施形態を用いると、従来の研削方法及び酸洗方法と比べて、更に低いコストで材料表面仕上げの向上を成しとげることができる。本開示の溶液及び方法の実施形態を用いて得られた仕上げ物は、板生成物の冷間成形性において、従来の方法よりも更に高度に改良されたことを示した。   Although a key feature of titanium plate products for many end-use applications, cold formability is highly dependent on the surface finish of the product. Using the electrochemical process embodiments disclosed herein, the material surface finish can be improved at a lower cost compared to conventional grinding and pickling methods. The finishes obtained using the solution and method embodiments of the present disclosure showed a much higher improvement in the cold formability of the plate product than conventional methods.

実施例2:6A1−4V試験材のエッチング Example 2: Etching of 6A1-4V test material

52mm×76mmの測定値を有する6A1−4Vチタン合金シートストック試験材に対して以下の実施例が行われた。電解質については、濃度及び温度を変化させて、水(H2O)、クエン酸(CA)、及び二フッ化水素アンモニウム(ABF)から構成した。結果として得られる知見及び測定値については以下の表1に示した。 The following example was performed on a 6A1-4V titanium alloy sheet stock test material having a measured value of 52 mm × 76 mm. The electrolyte was composed of water (H 2 O), citric acid (CA), and ammonium hydrogen difluoride (ABF) with varying concentrations and temperatures. The results and measured values obtained as a result are shown in Table 1 below.

Figure 0005913349
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実施例3:6A1−4V試験材の電解研磨 Example 3: Electropolishing of 6A1-4V test material

52mm×76mmの測定値を有する6A1−4Vチタン合金シートストック試験材に対して以下の実施例が行われた。電解質については、濃度及び温度を変化させて、水(H2O)、クエン酸(CA)、及び二フッ化水素アンモニウム(ABF)から構成した。結果として得られる知見及び測定値については以下の表2に記録した。 The following example was performed on a 6A1-4V titanium alloy sheet stock test material having a measured value of 52 mm × 76 mm. The electrolyte was composed of water (H 2 O), citric acid (CA), and ammonium hydrogen difluoride (ABF) with varying concentrations and temperatures. The resulting findings and measurements were recorded in Table 2 below.

Figure 0005913349
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更に以下の条件で広範な試験を行った:水系電解質溶液(約0g/L〜約780g/L(約0%〜約47重量%)の範囲のクエン酸と、約0g/L〜約120g/L(約0%〜約8重量%)の範囲の二フッ化水素アンモニウムとを含み、実質的に強酸を有さない(即ち、約1g/L未満又は0.1重量%未満));槽温度 約21℃〜約85℃の範囲;与える電流密度、加工物の表面積に対して約0A/m2〜約1076A/m2の範囲(クエン酸は水中21℃での飽和濃度が780g/Lである点に留意されたい)。150ボルト以上の投与電圧で、少なくとも225,000A/m2の高さの電流密度を使用することができる。試験金属には、工業用純チタン、並びに6A1−4Vチタン及びニッケルベース合金718に対する幾つかのスポット試験が含まれる。これらの結果に基づいて、同様の電解研磨、マイクロ研磨、及び表面処理の結果が、非鉄金属及び合金の前記クラスで得られると予想される。結果については、以下の表及び記載に、並びに図面に対する言及を伴いながらまとめた。特記しない限り、温度については、約21℃、約54℃、約71℃、及び約85℃で、電流密度については、約0A/m2、約10.8A/m2、約52.8A/m2、約215A/m2、約538A/m2、及び約1076A/m2で、試験を行った。微量であったとしても結果に対して有意な影響を及ぼす可能性はないであろうが、いずれの試験溶液に対しても意図的に強酸を添加することはしなかった。 Further extensive testing was conducted under the following conditions: aqueous electrolyte solution (about 0 g / L to about 780 g / L (about 0% to about 47% by weight) of citric acid, and about 0 g / L to about 120 g / L. L (ammonia difluoride in the range of about 0% to about 8% by weight) and substantially free of strong acid (ie, less than about 1 g / L or less than 0.1% by weight)); Temperature range from about 21 ° C. to about 85 ° C .; current density applied, range from about 0 A / m 2 to about 1076 A / m 2 with respect to the surface area of the workpiece (citric acid has a saturation concentration of 780 g / L at 21 ° C. in water) Note that this is the case). A current density as high as at least 225,000 A / m 2 can be used with a dosing voltage of 150 volts or higher. Test metals include industrial pure titanium and several spot tests on 6A1-4V titanium and nickel base alloy 718. Based on these results, similar electropolishing, micropolishing, and surface treatment results are expected to be obtained with the above classes of non-ferrous metals and alloys. The results are summarized in the following table and description, with reference to the drawings. Unless otherwise noted, temperatures are about 21 ° C., about 54 ° C., about 71 ° C., and about 85 ° C., and current densities are about 0 A / m 2 , about 10.8 A / m 2 , about 52.8 A / Tests were conducted at m 2 , about 215 A / m 2 , about 538 A / m 2 , and about 1076 A / m 2 . Even if it was a trace amount, it would not have a significant effect on the results, but no strong acid was intentionally added to any of the test solutions.

図1A〜1Bは、表面仕上げでの材料除去速度及び変化を示しており、4つの異なる温度で行われ、準低濃度の20g/Lの二フッ化水素アンモニウムと、及び約0g/L〜約780g/Lの濃度のクエン酸とを含む水系電解質溶液を用いて行われ、電流密度1076A/m2で行われた。図1Aは、材料除去速度が、温度とともに、特により低濃度のクエン酸で、直接変化することを示している。槽温度が増加すると、除去速度も増加する。より低い温度である21℃、54℃、及び71℃では、二フッ化水素アンモニウムの材料除去効果を和らげることを開始するのに、180g/Lのクエン酸で充分である。一方で、より高温である85℃では、比較的急速な材料除去は最大約300g/Lのクエン酸の範囲まで継続している。クエン酸の濃度がより高い300g/L以上では、全ての温度で、除去速度が減少している。逆に、図1Bでは、より低いクエン酸濃度で、特に120g/L〜180g/L以下で、最も低い温度を除く全ての温度での表面仕上げが劣化していることを示している。換言すれば、より低いクエン酸濃度での有意な材料除去に寄与するフッ化物イオンは、表面のダメージも生み出す。しかし、充分な濃度でのクエン酸の存在は、明らかに、フッ化物イオンの攻撃に対する有用なバリアとして作用する。しかし、クエン酸濃度が180g/L以上に増加すると、実際に、表面仕上げが向上し、特にクエン酸レベルが600g/Lで向上している。そして、それ以上になると、材料除去速度が有意に減少する。更に、材料除去がなおも発生する約120g/L〜600g/Lでのクエン酸レベルであっても表面仕上げ向上は同時に達成することができる。 1A-1B show the material removal rate and variation at the surface finish, performed at four different temperatures, with quasi-low concentrations of 20 g / L ammonium bifluoride, and from about 0 g / L to about This was carried out using an aqueous electrolyte solution containing citric acid at a concentration of 780 g / L, and at a current density of 1076 A / m 2 . FIG. 1A shows that the material removal rate varies directly with temperature, especially at lower concentrations of citric acid. As the bath temperature increases, the removal rate also increases. At lower temperatures of 21 ° C., 54 ° C., and 71 ° C., 180 g / L of citric acid is sufficient to begin to mitigate the material removal effect of ammonium hydrogen fluoride. On the other hand, at the higher temperature of 85 ° C., relatively rapid material removal continues up to a range of about 300 g / L of citric acid. At higher concentrations of citric acid above 300 g / L, the removal rate decreases at all temperatures. Conversely, FIG. 1B shows that the surface finish at all temperatures except the lowest temperature is degraded at lower citric acid concentrations, especially 120 g / L to 180 g / L or less. In other words, fluoride ions that contribute to significant material removal at lower citric acid concentrations also produce surface damage. However, the presence of citric acid at a sufficient concentration clearly acts as a useful barrier to fluoride ion attack. However, when the citric acid concentration is increased to 180 g / L or more, the surface finish is actually improved, and particularly the citric acid level is improved at 600 g / L. Above that, the material removal rate is significantly reduced. Furthermore, even with citric acid levels of about 120 g / L to 600 g / L where material removal still occurs, surface finish enhancement can be achieved simultaneously.

所望の材料除去及び表面仕上げの向上を達成するためには、二フッ化水素アンモニウム等のフッ化物イオン源が必要であることが試験により明らかになった。水中でクエン酸のみから本質的に成り、実質的に二フッ化水素アンモニウムが無い電解質溶液では、槽の温度又は電流密度に関係なく、材料除去が実際に得られず、表面仕上げにおける変化も最小限である。クエン酸のみを含む水系電解質においてチタン又の別の反応性金属を処理すると非常に薄く(即ち、約200nm〜約600nmの厚さ)、素早く形成される酸化層で、材料の表面は本質的に陽極酸化されると考えられる。陽極酸化層が形成された後は、投与されたDC電力は材料表面をこれ以上攻撃することはできないので、水を加水分解する。結果として素早く形成される初期の酸素は、別の単独原子の酸素をみつけ、陽極でO2ガスとして放出される。 Tests have shown that a fluoride ion source, such as ammonium dihydrogen fluoride, is required to achieve the desired material removal and surface finish improvement. Electrolyte solutions that consist essentially of citric acid in water and are essentially free of ammonium hydrogen difluoride do not actually provide material removal and minimal changes in surface finish regardless of bath temperature or current density It is the limit. When the titanium or another reactive metal is treated in an aqueous electrolyte containing only citric acid, the surface of the material is essentially an oxide layer that is very thin (ie, about 200 nm to about 600 nm thick) and forms quickly. It is considered to be anodized. Once the anodized layer is formed, the administered DC power cannot attack the material surface any more and therefore hydrolyzes the water. The initial oxygen that forms quickly as a result finds another single atom of oxygen and is released as O 2 gas at the anode.

図2A〜2B、及び2C〜2Dは、120g/Lの濃度のクエン酸約0g/L〜約120g/Lの濃度の二フッ化水素アンモニウムを含む水系電解質溶液を用いたときの表面仕上げにおける材料除去速度、及び変化をそれぞれ示している。図2A及び2Cは、代表的な低温度である21℃でのデータを示す。そして、図2B及び2Cは、代表的な高温度である71℃でのデータを示す。図2A〜2Bが示すところによれば、材料除去は、二フッ化水素アンモニウム濃度、及び温度と強力に相関しているが、電流密度による影響は最小限である。一般的には、より高い材料速度は、二フッ化水素アンモニウム濃度及び温度のうちの1つ又は両方が上昇することによって得られる。図2C〜2Dは、材料除去がある程度の表面劣化を伴うことを示している。しかし、驚くべきことに、温度が上昇し、そして、材料除去速度が上昇するにつれ、表面仕上げの劣化の程度は減少する。図2Cにあるように、低温である21℃では、電流密度を挙げると表面劣化効果は軽減され、最も高い電流密度では、表面仕上げがある程度向上することも証明された。図2Dにあるように、より高い温度である71℃で、表面仕上げにおける変化については、電流密度の変化に伴う有意な変化は見られなかった。   FIGS. 2A-2B and 2C-2D show materials in surface finish when using an aqueous electrolyte solution containing ammonium difluoride at a concentration of about 0 g / L to about 120 g / L of citric acid at a concentration of 120 g / L. The removal rate and the change are shown respectively. 2A and 2C show data at 21 ° C., a typical low temperature. 2B and 2C show data at 71 ° C., which is a typical high temperature. 2A-2B show that material removal is strongly correlated with ammonium bifluoride concentration and temperature, but the effect of current density is minimal. In general, higher material rates are obtained by increasing one or both of ammonium bifluoride concentration and temperature. 2C-2D show that material removal is accompanied by some degree of surface degradation. Surprisingly, however, the degree of surface finish degradation decreases as the temperature increases and the material removal rate increases. As shown in FIG. 2C, at 21 ° C., which is a low temperature, the surface deterioration effect is reduced if the current density is given, and it was proved that the surface finish is improved to some extent at the highest current density. As shown in FIG. 2D, at a higher temperature of 71 ° C., there was no significant change in the surface finish with the change in current density.

図2E〜2Fは、水中で二フッ化水素アンモニウムから本質的に成り、クエン酸を意図的に添加しない水系電解質溶液を用いて、高温85℃で稼動したときの、電流密度の関数としての表面仕上げにおける材料除去速度、及び変化をそれぞれ示す。高い材料除去速度は、ABFのみの電解質を用いて達成することは可能であるが、こうした材料除去は表面仕上げを犠牲にしており、並程度で電解質溶液によって有意に劣化することがよくある。にも関わらず、特定の稼動条件(図には示さない)では、表面仕上げにおいて最小限の劣化又は最も穏やかな変化を達成した。例えば、ABFのみの電解質溶液からの表面仕上げの向上は、10g/LのABF溶液、21℃、及び215〜538A/m2、並びに54〜71℃、及び1076A/m2で、20g/LのABF溶液、21℃、及び215〜1076A/m2で、並びに60g/LのABF溶液、21℃、及び538〜1076A/m2で達成された。 FIGS. 2E-2F show the surface as a function of current density when operated at a high temperature of 85 ° C. with an aqueous electrolyte solution consisting essentially of ammonium difluoride in water and without the intentional addition of citric acid. The material removal rate and the change in finishing are shown respectively. High material removal rates can be achieved using an ABF-only electrolyte, but such material removal is at the expense of surface finish and is often moderately degraded by the electrolyte solution. Nevertheless, under certain operating conditions (not shown), minimal degradation or the most gradual change in surface finish was achieved. For example, surface finish enhancement from an ABF-only electrolyte solution is 20 g / L at 10 g / L ABF solution, 21 ° C., and 215-538 A / m 2 , and 54-71 ° C., and 1076 A / m 2 . ABF solution, 21 ° C., and 215-1076 A / m 2 and 60 g / L ABF solution, 21 ° C., and 538-1076 A / m 2 were achieved.

理論によって拘束されるものではないが、材料除去速度に最小限しか影響を与えずに電流密度の上昇によって表面仕上げを向上させる能力に関する可能な説明としては、電流の機能1つとして、材料の表面に酸化層を自然に生じさせることにある。この過剰な酸素は、クエン酸と組み合せて、材料表面への攻撃に対する有用なバリアとして作用すると考えられる。従って、電流密度が増加するにつれて、陽極で酸素の濃度が高くなり、そして、次第に、大きな輸送バリアとして作用している可能性が考えられる。或いは、「頂」と「谷」のシリーズとしての材料の表面形態という最も単純な観点からすれば、クエン酸及び酸素は谷に居座り、表面形態の頂のみをフッ化物イオンに曝すと予想される。クエン酸及び酸素バリアの強度が増加すると(即ち、より高濃度のクエン酸及びより高い電流密度)、表面の最も高い頂の所だけが、化学的な攻撃が可能となる。こうした理論の下、低い電流密度、及び低いクエン酸濃度では、表面平滑化に関して最低限の可能な工程を提供するものと予想され、一方で、高い電流密度、及び高いクエン酸濃度では、表面平滑化に関して最も能力のある工程を提供すると予想される。こうした理論が正しいかどうかに関わらず、データは明らかに上記分析と一致した結果を生み出している。   Without being bound by theory, a possible explanation for the ability to improve the surface finish by increasing the current density with minimal impact on the material removal rate is that the function of the current as a function of the current The purpose is to naturally generate an oxide layer. This excess oxygen, in combination with citric acid, is thought to act as a useful barrier against attack on the material surface. Therefore, it can be considered that as the current density increases, the concentration of oxygen at the anode increases and gradually acts as a large transport barrier. Or, from the simplest point of view of the surface morphology of the material as a series of “tops” and “valleys”, citric acid and oxygen are expected to stay in the valleys and expose only the tops of the surface morphology to fluoride ions. . As the strength of the citric acid and oxygen barrier increases (ie, higher concentrations of citric acid and higher current density), only the highest apex of the surface can be chemically attacked. Under these theories, low current density and low citric acid concentration are expected to provide the least possible process for surface smoothing, while high current density and high citric acid concentration provide surface smoothing. It is expected to provide the most capable process in terms of conversion. Regardless of whether these theories are correct, the data clearly produces results consistent with the above analysis.

酸素(電流によって生じる)、及びクエン酸が除去工程に対するミクローバリアとして明らかに作用することを理解すれば、ABF濃度、及び温度については、材料除去、及びマイクロ研磨結果を制御する目的で使用に対して最も従順に従う可能性がある変数であることが明らかになる。従って、本明細書に記載した工程において、電流密度は、明らかに酸素を生み出すものとして主に作用するのであって、材料除去全体を増加させるための重要な因子となることは殆どない。むしろ、材料除去は、明らかに、フッ化物イオンによって殆ど専ら誘起され、該材料除去活性は、温度の熱力学的な影響によってある程度支配される。総合すると、制御変数としての電流密度は、驚くべきことではあるが、明らかにその重要性は比較的マイナーなものである。そして、フッ化物イオンの存在は、電流密度の影響を上回るものである。   With the understanding that oxygen (caused by current) and citric acid clearly act as a micro-barrier to the removal process, the ABF concentration and temperature can be used for the purpose of controlling material removal and micro-polishing results. It becomes clear that it is the most likely variable to follow. Thus, in the process described herein, current density clearly acts primarily as producing oxygen and is rarely an important factor in increasing overall material removal. Rather, material removal is apparently almost exclusively induced by fluoride ions, and the material removal activity is governed to some extent by the thermodynamic effects of temperature. Overall, the current density as a control variable is surprising, but obviously its importance is relatively minor. The presence of fluoride ions exceeds the effect of current density.

図3A〜3Dでは、代表的な電流密度53.8A/m2において、温度に直接関連して材料除去速度が変化することができ、その結果として、クエン酸、二フッ化水素アンモニウム、及び水に関する同一の混合物に関して、より高温においては、材料除去がさら増大することを表している。同様の傾向が全ての電流密度(0A/m2〜1076A/m2)で観察された。 3A-3D, at a typical current density of 53.8 A / m 2 , the material removal rate can vary directly with temperature, resulting in citric acid, ammonium hydrogen difluoride, and water. For the same mixture, the material removal is further increased at higher temperatures. Similar trends were observed at all current densities (0 A / m 2 to 1076 A / m 2 ).

図4A〜4Dでは、代表的な温度54℃において、電流密度に対して材料除去の速度が比較的一定であり、その結果、任意の与えられた槽温度でのクエン酸及び二フッ化水素アンモニウムの同一の混合物に関していうと、材料除去の速度は、電流密度における変化に対して比較的影響を受けにくいことを表している。同様の傾向が全ての温度(21℃〜85℃)で観察された。そして、これらの傾向は、21℃未満(ただし、溶液の凝固点超)、及び81℃超(ただし、溶液の沸点未満)でも維持されると考えられる。ほぼ全ての温度及び電流条件において起こることではあるが、クエン酸濃度が一定のレベル(典型的には600g/L〜780g/L)を超えると、ABF濃度に関係なく、材料除去の速度は有意に減少する。従って、あるレベルの材料除去を達成するための能力を維持するために、加工物を成形することが望まれる場合に、一般的に、クエン酸濃度は、600g/L未満に維持すべきである。   4A-4D, at a typical temperature of 54 ° C., the rate of material removal is relatively constant with respect to current density, so that citric acid and ammonium bifluoride at any given bath temperature. For the same mixture of materials, the material removal rate is relatively insensitive to changes in current density. Similar trends were observed at all temperatures (21 ° C. to 85 ° C.). These tendencies are considered to be maintained even at temperatures below 21 ° C. (however, above the freezing point of the solution) and above 81 ° C. (however, below the boiling point of the solution). Although occurring at almost all temperature and current conditions, when the citric acid concentration exceeds a certain level (typically 600 g / L to 780 g / L), the rate of material removal is significant regardless of the ABF concentration. To decrease. Thus, in general, the citric acid concentration should be maintained below 600 g / L when it is desired to shape the workpiece to maintain the ability to achieve a certain level of material removal. .

図4E〜4Gは、代表的な高温度85℃で、及び3つの異なる濃度のクエン酸で、材料除去速度に対する電流密度の影響を表している。そして、図4H〜4Jは、同一の条件群の下での表面仕上げに対する電流密度の影響を表している。度合いが低いながらも図4F及び4Gでもそうではあるが、図4Eは、二フッ化水素アンモニウムが最も高い濃度のときに電解質溶液の材料除去能力が最も大きくなり、高い温度でかなり顕著となることを示している。図4Eは120g/Lのクエン酸でのデータしか示していないが、本質的には、クエン酸濃度が、60g/L、120g/L、及び300g/Lで同一の材料除去速度が見られる点に留意されたい。しかし、図4Fに示すように、600g/Lのクエン酸では、該濃度において、明らかに、大規模な攻撃から表面がある程度保護されており、更に低い濃度のクエン酸と比べると材料除去速度が落ちている。図4Gに示すように、780g/Lでは、除去速度は更に減少する。二フッ化水素アンモニウム及びクエン酸の濃度に関係なく、材料除去は、明らかに電流密度の影響を殆ど受けない。   4E-4G show the effect of current density on material removal rate at a typical high temperature of 85 ° C. and three different concentrations of citric acid. 4H to 4J show the influence of the current density on the surface finish under the same condition group. 4E and 4G, although to a lesser extent, FIG. 4E shows that the material removal capability of the electrolyte solution is greatest when ammonium bifluoride is at the highest concentration, and is significantly more noticeable at higher temperatures. Is shown. FIG. 4E only shows data with 120 g / L of citric acid, but essentially the same material removal rate is seen at citric acid concentrations of 60 g / L, 120 g / L, and 300 g / L. Please note that. However, as shown in FIG. 4F, 600 g / L of citric acid clearly protects the surface to some extent from large-scale attacks at that concentration, and the material removal rate is lower than that of lower concentrations of citric acid. falling. As shown in FIG. 4G, the removal rate further decreases at 780 g / L. Regardless of the concentration of ammonium hydrogen fluoride and citric acid, material removal is clearly almost unaffected by current density.

図4Hは、高温、且つ中程度のクエン酸濃度では、ほぼ全ての二フッ化水素アンモニウム濃度、及び電流密度において、中程度の表面仕上げの劣化が起こっていることを示している。しかし、図4E及び4Hを共に参照すると、1つの工程条件が傑出している。クエン酸濃度が120g/L、低いレベルである10g/Lの二フッ化水素アンモニウム、そして、高電流密度である1076A/m2では、材料除去が抑制され、表面仕上げ結果において有意に向上している。これは、以下の点で上述した理論の更なる証拠となる可能性がある。上昇した電流密度が充分過剰な酸素を材料表面で産生し、表面形態における「谷」を充満させ、その結果、二フッ化水素アンモニウムの解離によって生じるフッ化物イオンによって好適に「頂」が攻撃される。こうした効果は、可能なクエン酸のマイクロバリア効果と組み合せて、図4I(600g/Lのクエン酸)、及び図4J(780g/Lのクエン酸)においてさらに強調して見られる。該図において、表面仕上げにおける劣化の減少、及び幾つかの場合における表面仕上げの向上が、更に高い濃度のクエン酸、及び更に高い電流密度単独で示され、更に高い濃度のクエン酸、及び更に高い電流密度の組合せでは更に顕著に示される。例えば、600g/L〜780g/Lのクエン酸の範囲において、二フッ化水素アンモニウムが10g/L及び20g/Lのときに、表面仕上げが有意に向上している。 FIG. 4H shows that at high temperatures and moderate citric acid concentrations, moderate surface finish degradation occurs at almost all ammonium bifluoride concentrations and current densities. However, referring to FIGS. 4E and 4H together, one process condition is outstanding. With a citric acid concentration of 120 g / L, a low level of 10 g / L ammonium bifluoride, and a high current density of 1076 A / m 2 , material removal is suppressed and the surface finish results are significantly improved. Yes. This may be further evidence of the theory described above in the following respects. The increased current density produces a sufficient excess of oxygen at the material surface, filling the “valley” in the surface morphology, and as a result, the “top” is preferably attacked by fluoride ions resulting from the dissociation of ammonium bifluoride. The These effects are further emphasized in FIG. 4I (600 g / L citric acid) and FIG. 4J (780 g / L citric acid) in combination with the possible microbarrier effect of citric acid. In the figure, reduced degradation in surface finish, and in some cases improved surface finish, are shown with higher concentrations of citric acid and higher current density alone, higher concentrations of citric acid, and higher The combination of current densities is even more prominent. For example, in the range of 600 g / L to 780 g / L of citric acid, the surface finish is significantly improved when ammonium difluoride is 10 g / L and 20 g / L.

しかし、120g/L〜600g/L、及び更に〜780g/Lのクエン酸の範囲において、最も高い濃度である120g/L二フッ化水素アンモニウム、及び更に高い電流密度では、表面仕上げは著しく悪化しているのが見られることから、こうした効果は明らかに限定的なものである。少なくともクエン酸濃度が600g/L〜780g/Lの範囲において、60g/Lの二フッ化水素アンモニウムでは同様の結果が得られた。   However, in the citric acid range of 120 g / L to 600 g / L, and even to 780 g / L, at the highest concentration of 120 g / L ammonium bifluoride and higher current density, the surface finish is significantly worse. These effects are clearly limited. Similar results were obtained with 60 g / L ammonium bifluoride at least in the citric acid concentration range of 600 g / L to 780 g / L.

以下の表3A〜3C、及び4A〜4Cに示されるように、シート品の仕上げに関する工程条件(最小限の材料除去を必要とし、中〜高度の表面仕上げ向上が望まれる条件であって、また、マイクロ研磨に関しては、仮想的には材料除去が全く必要ではなく、非常に優れた表面仕上げ向上が望まれる条件)では、広い範囲の電解質混合物、温度、電流密度にわたって達成できる。広い範囲の温度及び電流密度にわたって、本質的に材料除去がゼロで、且つ中〜高度の表面向上を達成することが出来たとしても、表3A〜3C及び4A〜4Cでは、水及びクエン酸から本質的になり実質的に二フッ化水素アンモニウムが無い電解質を含まない。理由としては、これらの条件については、図1A−1Cに関連して別途議論したためである。同様に、表3A〜3C及び4A〜4Cは、水及び二フッ化水素アンモニウムから本質的になり、実質的にクエン酸が無い電解質を含まない。理由としては、これらの条件については、図2A−2Dに関連して別途議論したためである。表3A〜3Cは、表面仕上げの精度レベルで分離され、ABF濃度の昇順で纏められている。表4A〜4Cは、クエン酸濃度レベルで分離され、ABF濃度の昇順で纏められている。   As shown in Tables 3A-3C and 4A-4C below, process conditions for finishing sheet products (requires minimal material removal and conditions where medium to high surface finish enhancement is desired, and With regard to micropolishing, virtually no material removal is required, and very good surface finish enhancement is desired) over a wide range of electrolyte mixtures, temperatures and current densities. Tables 3A-3C and 4A-4C show that from water and citric acid, even though essentially no material removal and a moderate to high surface improvement could be achieved over a wide range of temperatures and current densities. It is essentially free of electrolytes that are substantially free of ammonium hydrogen fluoride. The reason is that these conditions were discussed separately in connection with FIGS. 1A-1C. Similarly, Tables 3A-3C and 4A-4C consist essentially of water and ammonium hydrogen difluoride and do not contain electrolytes that are substantially free of citric acid. The reason is that these conditions are discussed separately in connection with FIGS. 2A-2D. Tables 3A-3C are separated at the surface finish accuracy level and are summarized in ascending order of ABF concentration. Tables 4A-4C are separated by citric acid concentration level and summarized in ascending order of ABF concentration.

表3A〜3Cでは、幾つかの傾向がデータから現れている。第一に、低い、又はゼロに近い材料除去、及び向上した表面仕上げが、以下の範囲全体にわたって得られている:クエン酸濃度(60g/L〜780g/L)、二フッ化水素アンモニウム濃度(10g/L〜120g/L)、温度(21℃〜85℃)、電流密度(10.8A/m2〜1076A/m2)。従って、クエン酸及びABFの水性溶液であって、実質的に強酸が欠乏した該溶液では、以下の濃度において、最小限の材料ロスで微細な表面仕上げを生み出すことができる:60g/Lのクエン酸、及び10g/LのABFという低濃度;、並びに780g/Lのクエン酸、及び120g/LのABFという高濃度;、並びにこれらの間での幾つかの組合せ。 In Tables 3A-3C, several trends appear from the data. First, low or near zero material removal and improved surface finish have been obtained over the following ranges: citric acid concentration (60 g / L to 780 g / L), ammonium hydrogen fluoride concentration ( 10 g / L to 120 g / L), temperature (21 ° C. to 85 ° C.), current density (10.8 A / m 2 to 1076 A / m 2 ). Thus, an aqueous solution of citric acid and ABF that is substantially deficient in strong acid can produce a fine surface finish with minimal material loss at the following concentrations: 60 g / L of citric acid Acids and low concentrations of 10 g / L ABF; and 780 g / L citric acid and high concentrations of 120 g / L ABF; and some combinations between these.

Figure 0005913349
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一般的に、表3Aに示すように、最も高度な表面仕上げ向上(即ち、表面粗さにおける30%超の減少)は、更に高度な電流密度である538〜1076A/m2で、そして、中〜更に高濃度のクエン酸である120〜780g/Lで、そして、一般的には更に低いABF濃度である10〜20g/Lで得られた。ABF濃度が更に低い濃度であるとき、即ち10〜20g/Lの範囲であるときは、更に高濃度であるクエン酸濃度600〜780g/Lにおいて、更に高温である71〜85℃で、更に良好な表面仕上げを生成する傾向がある。一方で、中程度のクエン酸濃度である120〜300g/Lにおいて、更に中度な温度である54℃で、微細な表面仕上げを生成した。にもかかわらず、有意な表面仕上げ向上は以下の条件でも得られた:低濃度のABF、中濃度のクエン酸、及び高温度条件(10g/LのABF、120g/Lのクエン酸、85℃);、並びに低濃度のABF、中濃度のクエン酸、及び低温度条件(20g/LのABF、180g/Lのクエン酸、54℃)。ABF濃度が更に高いとき、即ち60〜120g/Lの範囲のとき、更に高濃度であるクエン酸濃度600〜780g/L、及び更に高い電流密度において、更に低い温度である21〜54℃で、更に良好な表面仕上げを生成する傾向がある。また、図4Hに示すように、低ABF濃度である10g/L、及び高ABF濃度である120g/Lの両方に関して、更に低い電流密度である10.8〜53.8A/m2、高いクエン酸濃度である780g/L、及び高温である71〜85℃で有意な表面仕上げの洗練(向上)を達成することができた。 In general, as shown in Table 3A, the most advanced surface finish enhancement (ie,> 30% reduction in surface roughness) is at a higher current density of 538-1076 A / m 2 and medium Higher concentrations of citric acid at 120-780 g / L and generally lower ABF concentrations of 10-20 g / L. When the ABF concentration is lower, that is, in the range of 10 to 20 g / L, the citric acid concentration of 600 to 780 g / L, which is a higher concentration, is even better at a higher temperature of 71 to 85 ° C. Tend to produce a smooth surface finish. On the other hand, at a medium citric acid concentration of 120 to 300 g / L, a fine surface finish was produced at 54 ° C., which is a more moderate temperature. Nevertheless, significant surface finish improvement was also obtained under the following conditions: low concentration of ABF, medium concentration of citric acid, and high temperature conditions (10 g / L ABF, 120 g / L citric acid, 85 ° C. ); And low concentrations of ABF, medium concentrations of citric acid, and low temperature conditions (20 g / L ABF, 180 g / L citric acid, 54 ° C.). When the ABF concentration is higher, that is, in the range of 60 to 120 g / L, at a higher concentration of citric acid of 600 to 780 g / L, and at a higher current density, a lower temperature of 21 to 54 ° C., Furthermore, it tends to produce a good surface finish. Further, as shown in FIG. 4H, for both the low ABF concentration of 10 g / L and the high ABF concentration of 120 g / L, an even lower current density of 10.8 to 53.8 A / m 2 , A significant surface finish refinement (improvement) could be achieved at an acid concentration of 780 g / L and high temperatures of 71-85 ° C.

Figure 0005913349
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表3Bに示すように、一般的には、最高度ではないが高度の表面仕上げ向上が(即ち、表面粗さにおいて約15%〜約30%の減少)以下の条件で得られた:更に低いABF濃度である10〜20g/L;、及び中〜更に高温の54〜85℃;、及び以下の電流密度に限られないが、その多くは、更に高い電流密度である538〜1076A/m2。典型的には、これらの結果は、高いクエン酸濃度である600〜780g/Lで達成された。例えば、10〜20g/LのABF濃度においては、通常は、更に高い電流密度、及び高いクエン酸濃度で微細な結果を生み出した。その一方で、微細な結果は以下の以下の条件を用いても得ることができた:更に低いクエン酸濃度である60〜300g/L:、低電流密度である10.8A/m2、及び高温である85℃;、並びに低い電流密度である53.8A/m2、及び中温である54℃。表面仕上げにおける高度な向上は、高レベルの120g/LのABFでも達成され、高温且つ低電流密度(71〜85℃、且つ10.8〜53.8A/m2)、及び低温且つ高電流密度(21℃且つ1076A/m2)の両方で達成され、高いクエン酸濃度である780g/Lの全ての場合において得られた。この点からすれば、高濃度のクエン酸を有する溶液に関して、更に高い電流密度且つ更に低い温度を用いて、又は更に低い電流密度且つ更に高い温度を用いて同様の表面仕上げ結果が達成できるという点で、明らかに温度と電流密度の間には幾つかの相補的な活性がある。また、図4H−4Jも参照されたい。これらの図では、高電流密度と組み合せた高温条件では、最良の表面仕上げ向上を生み出す傾向があることを示している。 As shown in Table 3B, generally, but not the highest, a high degree of surface finish improvement (ie, a reduction of about 15% to about 30% in surface roughness) was obtained at the following conditions: even lower ABF concentration of 10-20 g / L; and medium-higher temperatures of 54-85 ° C .; and many but not limited to the following current densities, many of which are even higher current densities: 538-1076 A / m 2 . Typically, these results were achieved with high citric acid concentrations of 600-780 g / L. For example, ABF concentrations of 10-20 g / L typically produced fine results at higher current densities and higher citric acid concentrations. On the other hand, fine results could also be obtained using the following conditions: 60-300 g / L for lower citric acid concentration: 10.8 A / m 2 for lower current density, and A high temperature of 85 ° C .; and a low current density of 53.8 A / m 2 and a medium temperature of 54 ° C. High improvements in surface finish are also achieved with high levels of 120 g / L ABF, high temperature and low current density (71-85 ° C. and 10.8-53.8 A / m 2 ), and low temperature and high current density. It was achieved at both (21 ° C. and 1076 A / m 2 ) and was obtained in all cases with a high citric acid concentration of 780 g / L. In this respect, similar surface finish results can be achieved for solutions with high concentrations of citric acid using higher current densities and lower temperatures or using lower current densities and higher temperatures. There is clearly some complementary activity between temperature and current density. See also FIGS. 4H-4J. These figures show that high temperature conditions combined with high current density tend to produce the best surface finish improvement.

Figure 0005913349
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表3Cに示すように、一般的に、最も中度なレベルの表面仕上げ向上(即ち、表面粗さにおいて約15%未満の減少)は、以下の条件で得られた:更に低いABF濃度である10〜20g/L;、及び更に高温である71〜85℃;、及び、その多くは、電流密度10.8〜1076A/m2全体で得られた。典型的には、これらの結果は、高いクエン酸濃度である600〜780g/Lで達成された。こうした傾向に対する特筆すべき1つの例外として、中〜高度の表面仕上げ向上が以下の条件でも得られたことが挙げられる:10〜120g/Lの範囲の全ABF濃度;、低〜中のクエン酸濃度である60〜300g/L;、低温である21℃;、及び高電流密度である1076A/m2As shown in Table 3C, in general, the most moderate level of surface finish improvement (ie, less than about 15% reduction in surface roughness) was obtained under the following conditions: lower ABF concentration 10-20 g / L; and even higher temperatures of 71-85 ° C .; and many of them were obtained over a current density of 10.8-1076 A / m 2 overall. Typically, these results were achieved with high citric acid concentrations of 600-780 g / L. One notable exception to this trend is that medium to high surface finish improvements were also obtained under the following conditions: total ABF concentrations in the range of 10 to 120 g / L; low to moderate citric acid Concentration 60-300 g / L; low temperature 21 ° C .; and high current density 1076 A / m 2 .

Figure 0005913349
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表4Aに示すように、低クエン酸濃度である60〜180g/Lでは、表面仕上げの向上は、明らかに一様に高い電流密度を必要としている。典型的には、最良の表面仕上げ向上は、低ABF濃度である10〜20g/L、及び中〜高温である54〜85℃で得られた。低度及び中度の表面仕上げ向上は、ABF濃度で10〜60g/L、及び低温である21℃で達成された。   As shown in Table 4A, at low citric acid concentrations of 60-180 g / L, the improvement in surface finish clearly requires a high current density. Typically, the best surface finish improvement was obtained at a low ABF concentration of 10-20 g / L and a medium to high temperature of 54-85 ° C. Low and moderate surface finish improvements were achieved at ABF concentrations of 10-60 g / L and a low temperature of 21 ° C.

Figure 0005913349
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表4Bに示すように、中クエン酸濃度である300〜600g/Lでは、一般的に、表面仕上げの有意な向上には、更に高い電流密度である538〜1076A/m2を必要とし、主に低いABF濃度である10〜20g/LのABFで生じる。最低濃度であるABF濃度10g/Lにおいては、更に高い温度である54〜85℃で最良の結果を達成しており、その一方で、ABF濃度20g/Lにおいては、21〜85℃の範囲で、良好な結果が達成される。更に高いABF濃度の60〜120g/Lにおいて、表面仕上げの向上は、更に低い温度である21℃でより典型的に生じる。 As shown in Table 4B, medium citric acid concentrations of 300-600 g / L generally require a higher current density of 538-1076 A / m 2 for significant improvement in surface finish, It occurs at 10-20 g / L ABF, which is a very low ABF concentration. At the lowest ABF concentration of 10 g / L, the best results are achieved at 54 to 85 ° C., which is a higher temperature, while at the ABF concentration of 20 g / L, it is in the range of 21 to 85 ° C. Good results are achieved. At higher ABF concentrations of 60-120 g / L, improved surface finish occurs more typically at a lower temperature of 21 ° C.

Figure 0005913349
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表4A及び4Bと表4Cを比べると、仮想的に材料ロスが無い、又は最小限となる表面向上を得るための殆どの工程条件は、高クエン酸濃度である780g/Lで発生していることがわかる。図4Cに示すように、高いクエン酸濃度である780g/Lにおいて、有意な表面仕上げ向上は以下の条件で得られた:10.8〜1076A/m2の範囲のほぼ全ての電流密度;、低〜高温である21〜85℃;、並びに低ABF濃度である10〜20g/LのABF、及び高ABF濃度である120g/LのABFの両方。 Comparing Tables 4A and 4B with Table 4C, most process conditions to obtain virtually no material loss or minimal surface improvement occur at a high citric acid concentration of 780 g / L. I understand that. As shown in FIG. 4C, at a high citric acid concentration of 780 g / L, a significant surface finish improvement was obtained under the following conditions: almost all current densities in the range of 10.8 to 1076 A / m 2 ; Low to high temperature 21-85 ° C; and both low ABF concentration 10-20 g / L ABF and high ABF concentration 120 g / L ABF.

図5A及び5Bは、代表的な低温である21℃、及び代表的な高電流密度である538A/m2での表面仕上げにおける材料除去速度及び変化を示す。図5Bから分かるように、表面仕上げ劣化は、ABF濃度60g/L未満に関して、クエン酸濃度600g/L未満の全てで中程度であった。そして、実際に、表面仕上げは、ABF濃度が10〜120g/Lの全ての範囲に関して、高クエン酸濃度である600g/L超で、及び具体的には780g/Lで向上した。更に、図5Aは、これらの工程条件での材料除去の速度が比較的低いことを示している。従って、こうした範囲の組成物、温度、及び電流密度で稼動させることが最小限の表面劣化で最も適度に制御された材料除去、又はおそらく最も適当な表面仕上げ向上を達成させるために望ましいであろうが、大規模な材料除去では特に効果がないであろう。 FIGS. 5A and 5B show the material removal rate and change in surface finish at a typical low temperature of 21 ° C. and a typical high current density of 538 A / m 2 . As can be seen from FIG. 5B, the surface finish degradation was moderate for all citric acid concentrations below 600 g / L for ABF concentrations below 60 g / L. And in fact, the surface finish was improved above 600 g / L, which is a high citric acid concentration, and specifically at 780 g / L for all ranges where the ABF concentration was 10-120 g / L. In addition, FIG. 5A shows that the rate of material removal at these process conditions is relatively low. Thus, operating in these ranges of compositions, temperatures, and current densities would be desirable to achieve the most reasonably controlled material removal with perhaps minimal surface degradation, or perhaps the most appropriate surface finish improvement. However, large-scale material removal will not be particularly effective.

同様に、図6A及び6Bは、代表的な低温である21℃、及び代表的な高電流密度である1076A/m2での表面仕上げにおける材料除去速度及び変化を示す。図6Bから分かるように、ABF濃度が10g/L超120g/L未満の場合に関して、クエン酸濃度が600g/L未満の全てにおいて、小〜中程度の表面仕上げ向上が達成されている。そして、表面仕上げは、クエン酸濃度が600g/L以上で最も有意に向上している。更に、図6Aでは、クエン酸が300g/L付近、且つABFが120g/L付近での組成物を除き、こうした工程条件での材料除去の速度が比較的低いことが示されている。ここで、材料除去速度は、有意な表面劣化を起こすことなく、更に高くなっている。従って、こうした範囲の組成物、温度、及び電流密度で稼動させることが最小限の表面劣化で最も適度に制御された材料除去、又はおそらく最も適当な表面仕上げ向上を達成させるために望ましいであろうが、大規模な材料除去では特に効果がないであろう。 Similarly, FIGS. 6A and 6B show material removal rates and changes in surface finish at a typical low temperature of 21 ° C. and a typical high current density of 1076 A / m 2 . As can be seen from FIG. 6B, for the case where the ABF concentration is greater than 10 g / L and less than 120 g / L, a small to moderate surface finish improvement is achieved in all cases where the citric acid concentration is less than 600 g / L. The surface finish is most significantly improved when the citric acid concentration is 600 g / L or more. Furthermore, FIG. 6A shows that the rate of material removal under these process conditions is relatively low, except for compositions where citric acid is near 300 g / L and ABF is near 120 g / L. Here, the material removal rate is even higher without causing significant surface degradation. Thus, operating in these ranges of compositions, temperatures, and current densities would be desirable to achieve the most reasonably controlled material removal with perhaps minimal surface degradation, or perhaps the most appropriate surface finish improvement. However, large-scale material removal will not be particularly effective.

図7A及び7Bは、特定条件下で、制御された材料除去及び表面仕上げ向上が同時に達成できることを示している。特に、図7Aは、高温である85℃及び高電流密度である1076A/m2で電解質溶液に加工物を曝したときに、ABF濃度が約10g/Lで、全てのクエン酸濃度にわたって、一貫した適度な材料除去速度を示している。同じ条件で、図7Bでは、60g/L以上のクエン酸濃度の全ての場合で表面仕上げにおける実質的な改良を示している。更に高いABF濃度である20g/L〜120g/LのABFであっても、表面仕上げが実質的に劣化することなく、ABF濃度に直接関係して材料除去を得ることができる。しかし、最も高いクエン酸濃度である600g/L以上のクエン酸では、材料除去速度は有意に減少した。 7A and 7B show that controlled material removal and surface finish enhancement can be achieved simultaneously under certain conditions. In particular, FIG. 7A shows a consistent ABF concentration of about 10 g / L over all citric acid concentrations when the workpiece is exposed to an electrolyte solution at a high temperature of 85 ° C. and a high current density of 1076 A / m 2. Moderate material removal rate. Under the same conditions, FIG. 7B shows a substantial improvement in surface finish in all cases of citric acid concentrations above 60 g / L. Even with an ABF having a higher ABF concentration of 20 g / L to 120 g / L, material removal can be obtained directly in relation to the ABF concentration without substantially deteriorating the surface finish. However, at the highest citric acid concentration of 600 g / L or higher, the material removal rate was significantly reduced.

幾つかの範囲の稼動条件が特定され、該条件では、表面仕上げを中程度に劣化させ、通常は、粗さを約50%未満上昇させる間に、制御された材料除去を達成することができる。図8A〜8B、9A〜9B、及び10A〜10Bは、こうしたカテゴリにおける例示的な稼動条件を示す。   Several ranges of operating conditions have been identified, in which controlled material removal can be achieved while moderately degrading the surface finish and usually increasing the roughness by less than about 50%. . 8A-8B, 9A-9B, and 10A-10B show exemplary operating conditions in these categories.

図8Aは、高温(85℃)且つ低電流密度(10.8A/m2)条件で、約60g/L〜約300g/Lの範囲のクエン酸濃度に関して、全てのABF濃度において、かなり一定の材料除去の速度を達成できており、ABF濃度に直接関係して更に大きい材料除去速度が得られていることを示している。図8Bは、特定のクエン酸及びABF濃度に殆ど関係なく、これらクエン酸、及びABF濃度範囲に関して、表面仕上げの劣化が一貫して中程度であることを示している。クエン酸濃度が600g/L以上では、電解質溶液の材料除去能力が大幅に低下し、又は停止さえしてしまう。また、ABF濃度が60g/Lの場合を除いて、表面仕上げ劣化を和らげ、僅かにながら表面仕上げを向上させる傾向さえ見られる。図9A及び9Bでは、高温(85℃)及び高電流密度(538A/m2)条件で、非常に類似した結果を示している。そして、図10A及び10Bでは、幾分更に低い温度である71℃、及び中程度の電流密度である215A/m2であっても、同様の結果に近づくことができることを示している。 FIG. 8A shows a fairly constant at all ABF concentrations for citric acid concentrations ranging from about 60 g / L to about 300 g / L at high temperature (85 ° C.) and low current density (10.8 A / m 2 ) conditions. The material removal rate can be achieved, indicating that a higher material removal rate is obtained in direct relation to the ABF concentration. FIG. 8B shows that the surface finish degradation is consistently moderate for these citric acid and ABF concentration ranges with little regard to specific citric acid and ABF concentrations. If the citric acid concentration is 600 g / L or more, the material removal ability of the electrolyte solution is greatly reduced or even stopped. Moreover, except for the case where the ABF concentration is 60 g / L, there is a tendency to alleviate the surface finish deterioration and slightly improve the surface finish. 9A and 9B show very similar results at high temperature (85 ° C.) and high current density (538 A / m 2 ) conditions. 10A and 10B show that similar results can be approached even at a somewhat lower temperature of 71 ° C. and a moderate current density of 215 A / m 2 .

本明細書に開示した試験データに基づいて明らかに言えるのは、温度、及び電流密度を制御することにより、同一の水系電解質溶液槽は、複数の工程を含む方法において使用可能であるということであり、該方法では、最初に中程度の制御された量の材料を比較的低い電流密度で除去し、温度を維持するか、又は僅かに低くしながら、その後、電流密度を高レベルまで上げることによって表面を修復することを含む。例えば、300g/Lのクエン酸、及び120g/LのABFを有する溶液を使用して、適度な材料除去速度が、表面仕上げの劣化が30%未満としながら、温度85℃、及び電流密度53.8A/m2(図3D参照)で得ることができる。そして、その後、材料の除去をより少なくしつつ、同一の温度、及び電流密度1076A/m2(図7A及び7B参照)で表面向上を得ることができる。 Clearly based on the test data disclosed herein, by controlling temperature and current density, the same aqueous electrolyte solution bath can be used in a method that includes multiple steps. Yes, in this method, a moderate controlled amount of material is first removed at a relatively low current density, and the current density is then raised to a high level while maintaining or slightly lowering the temperature. Repairing the surface. For example, using a solution with 300 g / L citric acid and 120 g / L ABF, a moderate material removal rate, a temperature finish of less than 30%, a temperature of 85 ° C., and a current density of 53. 8 A / m 2 (see FIG. 3D). Thereafter, surface improvement can be obtained at the same temperature and a current density of 1076 A / m 2 (see FIGS. 7A and 7B) with less material removal.

温度や電流密度のほかにクエン酸濃度を変化させることによって、複数の工程の方法に関する条件の更に多くの組合せが見出される。これは、クエン酸濃度が600g/L以上上昇すると生ずる強力な材料除去緩和効果が原因となっている。例えば、図8A、及び8Bを参照すると、120g/LのABFを含む電解質溶液を温度85℃、及び電流密度10.8A/m2で用いると、第一の加工ステップにおいて、クエン酸濃度が300g/Lの濃度で、中程度の表面劣化を伴う攻撃的な材料除去を達成することができる。そして、その後、第二の加工ステップにおいて、クエン酸濃度を780g/Lまで単純に上昇させるだけで、表面仕上げを有意に向上させながら、材料除去を仮想的にストップさせることができる。図9A、及び9Bの高温、更に高い電流密度条件を用いて、又は、図10A及び10Bの中程度に高温、中程度の電流密度条件を用いて、同様の結果を得ることができる。 By changing the citric acid concentration in addition to temperature and current density, more combinations of conditions for the multi-step process are found. This is due to the strong material removal mitigation effect that occurs when the citric acid concentration increases by 600 g / L or more. For example, referring to FIGS. 8A and 8B, when an electrolyte solution containing 120 g / L of ABF is used at a temperature of 85 ° C. and a current density of 10.8 A / m 2 , the citric acid concentration is 300 g in the first processing step. At a concentration of / L, aggressive material removal with moderate surface degradation can be achieved. Then, in the second processing step, the material removal can be virtually stopped while the surface finish is significantly improved by simply increasing the citric acid concentration to 780 g / L. Similar results can be obtained using the high temperature, higher current density conditions of FIGS. 9A and 9B, or the moderately high temperature, medium current density conditions of FIGS. 10A and 10B.

非常に低濃度の二フッ化水素アンモニウムは、材料除去、及びマイクロ研磨の両方において有効であることが見出された。図1Aに示すように、材料除去速度は、上昇した温度において最も大きくなる。従って、更に低濃度の二フッ化水素アンモニウムでは、更に高温(例えば85℃以上)で更に効果的になることが予想される。クエン酸濃度、及び二フッ化水素アンモニウム濃度を両方とも2g/L有する1つの例示的な電解質溶液では、材料除去、及び表面仕上げ変化が観察された。285A/m2では、0.008mm/hrの材料除去速度が記録され、対応する表面仕上げ変化(劣化)の−156%であった。0A/m2では、0.0035mm/hrの材料除去速度が記録され、対応する表面仕上げ変換の−187%であった。 Very low concentrations of ammonium hydrogen difluoride have been found to be effective in both material removal and micropolishing. As shown in FIG. 1A, the material removal rate is greatest at the elevated temperature. Therefore, it is expected that even lower concentrations of ammonium hydrogen difluoride will be more effective at higher temperatures (eg, 85 ° C. or higher). In one exemplary electrolyte solution having both a citric acid concentration and an ammonium hydrogen difluoride concentration of 2 g / L, material removal and surface finish changes were observed. At 285 A / m 2 , a material removal rate of 0.008 mm / hr was recorded, which was −156% of the corresponding surface finish change (deterioration). At 0 A / m 2 , a material removal rate of 0.0035 mm / hr was recorded, which was -187% of the corresponding surface finish conversion.

同様に、2g/LのABFの水性溶液で、クエン酸を含まない溶液において、271A/m2の電流を与えて加工したとき、0.004 mm/hrの材料除去速度が記録され、対応する表面仕上げ変化(劣化)の−162%であった。0A/m2で、0.0028mm/hrの材料除去速度が記録され、対応する表面仕上げ変化の−168%であった。 Similarly, a material removal rate of 0.004 mm / hr was recorded when processed in an aqueous solution of 2 g / L ABF without citric acid at a current of 271 A / m 2 , correspondingly. It was -162% of the surface finish change (deterioration). At 0 A / m 2 , a material removal rate of 0.0028 mm / hr was recorded, which was −168% of the corresponding surface finish change.

効果を有するのに必要となる最低量のABFを使用することが好ましいが、有意に120g/Lを超える濃度(二フッ化水素アンモニウム濃度で、240g/L〜360g/Lの高さの濃度を含み、更には水中飽和を超える濃度も含む)を使用することができる。温度を67℃に固定し、及び10.8A/m2〜255,000A/m2の範囲の電流密度で、ABFを増加しながら179.9g/Lのクエン酸溶液に添加することによって、高濃度のABFでの電解質溶液の効果の試験を行った。該溶液は比較的電気抵抗が低いため、ABF濃度を更に高くすると、溶液中の導電性が更に高くなる(特に更に高いレベルの電流密度において)と予想された。また、温度は室温を超えて上昇し、電解質の抵抗を減少させる。CPチタン、及びニッケルベース合金718の両サンプルを電解質に曝し、そして、ABFを添加している間、バルク材料除去、及びマイクロ研磨を続けた。ABFは、電解質中での飽和点以上まで添加した。これらのパラメーターの下でのABFの飽和点(温度及び圧力とともに変化する)は、約240g/L〜約360g/Lの間であった。表5中のデータは、ABF濃度が水中飽和濃度以上で、電解質溶液が、バルク金属除去、及びマイクロ研磨の両方に関して効果があったことを示している。 It is preferred to use the minimum amount of ABF required to have an effect, but concentrations significantly exceeding 120 g / L (ammonium difluoride concentrations as high as 240 g / L to 360 g / L) In addition, including concentrations exceeding saturation in water). By fixing the temperature at 67 ° C. and adding to the 179.9 g / L citric acid solution with increasing ABF at a current density in the range of 10.8 A / m 2 to 255,000 A / m 2 , The effect of the electrolyte solution at a concentration of ABF was tested. Since the solution has a relatively low electrical resistance, it was expected that higher ABF concentrations would result in higher conductivity in the solution (especially at higher levels of current density). Also, the temperature rises above room temperature, reducing the resistance of the electrolyte. Both samples of CP titanium and nickel base alloy 718 were exposed to the electrolyte, and bulk material removal and micropolishing continued while ABF was added. ABF was added above the saturation point in the electrolyte. The saturation point of ABF (which varies with temperature and pressure) under these parameters was between about 240 g / L and about 360 g / L. The data in Table 5 shows that the ABF concentration was above the saturation concentration in water and the electrolyte solution was effective for both bulk metal removal and micropolishing.

比較的高電流密度(255,000A/m2に近いものを含む)でのマイクロ研磨、及びバルク金属除去に関して、電解質溶液の効果を決定するために試験を実施した。文言上、抵抗値の低い電解質は、高電流密度を許容することができる点を理解されたい。クエン酸濃度とABF濃度との特定の組合せは、特に低い抵抗値を示す。例えば、約71℃〜85℃の範囲の温度において、高電流密度で、約180g/Lのクエン酸を含む電解質溶液の試験を行った。工業用純(CP)チタン、及びニッケルベースの合金718のサンプルを、10.8A/m2〜255,000A/m2までの範囲で電流密度を次第に上昇させながら、該電解質溶液に曝した。表5のデータは、試験が行われた全ての電流密度範囲(255,000A/m2を含めて)で、バルク材料除去、及びマイクロ研磨が達成されたことを示している。チタン及びチタン合金の加工と比べると、更に高い電流密度、特に約5000A/m2が、ニッケルベース合金の加工においては有用である可能性がある。 Tests were performed to determine the effect of the electrolyte solution on micropolishing at relatively high current densities (including those close to 255,000 A / m 2 ) and bulk metal removal. In text, it should be understood that electrolytes with low resistance values can tolerate high current densities. Certain combinations of citrate and ABF concentrations exhibit particularly low resistance values. For example, an electrolyte solution containing about 180 g / L citric acid was tested at a high current density at temperatures ranging from about 71 ° C. to 85 ° C. Commercially Pure (CP) Titanium, and a sample of nickel-based alloy 718, while gradually increasing the current density in the range up to 10.8A / m 2 ~255,000A / m 2 , were exposed to electrolyte solution. The data in Table 5 shows that bulk material removal and micropolishing were achieved in all current density ranges tested (including 255,000 A / m 2 ). Compared to processing titanium and titanium alloys, even higher current densities, particularly about 5000 A / m 2 , may be useful in processing nickel-based alloys.

約40ボルト以下という比較的低い電圧を用いてCPチタンが効果的に加工される一方で、更に高い電圧を用いることもできる。1つの例示的な試験において、85.6℃で、64.7VDCの電圧、及び53,160A/m2の電流密度を与えて、約180g/Lのクエン酸、及び約120g/LのABFを含む水系電解質溶液槽中でCPチタンを加工した。これらの条件の下、表面プロフィルメータ粗さ(surface profilometer roughness)を37.8%向上させながら5mm/hrのバルク金属除去速度を達成した。その結果、均一で視覚的に光沢を持ち、反射性の外観を有する表面となった。同一の化学電解質は、電圧を150VDCまで上げ、電流密度を5,067A/m2まで下げた後でも、バルク金属除去に関するCPチタンサンプルへの影響を維持していた。しかし、これらの条件の下、金属除去速度は、0.3mm/hrまで降下し、仕上がりが、サテンのような外観(satin appearance)へと僅かに劣化した。 While CP titanium is effectively processed using relatively low voltages of about 40 volts or less, higher voltages can also be used. In one exemplary test, at 85.6 ° C., a voltage of 64.7 VDC and a current density of 53,160 A / m 2 were applied to give about 180 g / L citric acid and about 120 g / L ABF. CP titanium was processed in the aqueous electrolyte solution bath containing it. Under these conditions, a bulk metal removal rate of 5 mm / hr was achieved with a 37.8% improvement in surface profilometer roughness. The result was a uniform, visually glossy surface with a reflective appearance. The same chemical electrolyte maintained the effect on the CP titanium sample for bulk metal removal even after raising the voltage to 150 VDC and reducing the current density to 5,067 A / m 2 . However, under these conditions, the metal removal rate dropped to 0.3 mm / hr and the finish was slightly degraded to a satin appearance.

幾つかの金属、及び合金に関して、電圧を更に高くすると、バルク材料除去、及び表面仕上げ向上のうちの一方又は両方を達成する際に、同等の効果又は更なる効果を得ることができる。特に、特定の金属(ニッケルベース合金(例えば、Waspaloy及びニッケル合金718)、18k金、純クロム、Nitinol合金が含まれるがこれらに限定されない)は、更に速度の速いバルク金属除去、及び/又は更に良好な表面仕上げ向上に関して、更に高い電圧での加工による利益を明らかに得る。ニッケル合金718に対する比較的高い電圧での1つの例示的な実験では、約180g/Lのクエン酸、及び約120g/LのABFを含む水系電解質中において、86.7℃で、150VDCの電圧、及び4,934A/m2の電流密度を用いて加工された試験片は、結果として、バルク金属除去速度が僅か0.09mm/hrではあったが、均一な表面仕上げを33.8%(表面プロフィルメータ測定に基づく)向上させた。 For some metals and alloys, higher voltages can provide an equivalent or further effect in achieving one or both of bulk material removal and surface finish enhancement. In particular, certain metals (including but not limited to nickel-based alloys (eg, Waspaloy and Nickel Alloy 718), 18k gold, pure chromium, Nitinol alloys) can be used for faster bulk metal removal, and / or With respect to good surface finish enhancement, the benefits of processing at higher voltages are clearly obtained. In one exemplary experiment at a relatively high voltage for nickel alloy 718, a voltage of 150 VDC at 86.7 ° C. in an aqueous electrolyte containing about 180 g / L citric acid and about 120 g / L ABF, And specimens processed with a current density of 4,934 A / m 2 resulted in a bulk metal removal rate of only 0.09 mm / hr, but a uniform surface finish of 33.8% (surface (Based on profilometer measurements) improved.

Figure 0005913349
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電解質溶液において蓄積した溶解金属の効果を評価するために、寸法が6.6cm×13.2cm×約3.3メートルである21Ti−6A1−4Vの長方形の棒のバッチを約1135リットルの槽で連続的に加工した。該加工では、典型的なミル産物形態での高度に制御された金属除去を示した。21を超える長方形の棒片(全体量で、70.9kgの材料)が棒から除去され、電解質溶液中に懸濁している。最初、棒は、溶液中で溶解金属が0g/Lの状態で加工を開始し、最終的に、棒は、60g/Lを超える溶解金属量で加工された。加工の開始から加工の終了まで、金属の表面状態、又は金属除去速度に対して有害な効果は検出されなかった。そして、電解質溶液中に溶解金属量が増加することの結果として、任意の稼動パラメータにおいて有意な変更は必要とされなかった。これは、溶液中のチタン濃度が12g/Lであっても、実質的に溶液の効果が低くなるという、HF/HNO3でチタンを酸洗して生じる結果とは対照的である。同様に、電解質溶液において高レベルで溶解した金属によって電解加工が妨害される。理由としては、金属粒子が陰極と陽極加工物との間のギャップを妨害する可能性があるからである。固形物が導電性である場合には、ショートを引き起こす可能性すらある。 To evaluate the effect of dissolved metal accumulated in the electrolyte solution, a batch of 21Ti-6A1-4V rectangular bars measuring 6.6 cm × 13.2 cm × about 3.3 meters in a tank of about 1135 liters. Processed continuously. The processing showed highly controlled metal removal in a typical mill product form. More than 21 rectangular rod pieces (70.9 kg material in total) have been removed from the rod and suspended in the electrolyte solution. Initially, the bar started processing with 0 g / L of dissolved metal in the solution, and finally the bar was processed with a dissolved metal amount greater than 60 g / L. From the start of processing to the end of processing, no detrimental effects on the metal surface condition or metal removal rate were detected. And, as a result of the increased amount of dissolved metal in the electrolyte solution, no significant changes were required in any operating parameters. This is in contrast to the result of pickling titanium with HF / HNO 3 , where the effect of the solution is substantially reduced even when the titanium concentration in the solution is 12 g / L. Similarly, electrolytic processing is hindered by metals dissolved at high levels in the electrolyte solution. The reason is that the metal particles can interfere with the gap between the cathode and the anode workpiece. If the solid is conductive, it can even cause a short circuit.

クラックの調節及び酸化物層の除去
本明細書で開示する水系電解質溶液は、表面のクラックの底部を調節または丸めるために使用することができ、これにより、鋭くとがったクラックの先端を除外することができる。該先端は、金属の表面において様々な深さで形成されるものである。そして、反応性金属のファミリーの中で最も有害たる物として、以下の物が挙げられるがこれらに限定されない:チタン及びチタン合金、ニッケル基合金、ジルコニウムなど。これらの金属は、酸素を含む雰囲気下で上昇した温度からの冷却が行われた時点でクラックを形成する。例えば、こうした表面クラックは、以下にあげる処理からの冷却時に生じる可能性があるが、これらに限定されない:熱を伴う処理(例えば、鍛造、圧延、超塑性成形など)、溶接、及び加熱処理。更には、水系電解質溶液は、比較的ロスを生じることがほとんどなく、これらのクラックを調節することができる。丸められた又は調整されたクラックの先端は、その後の金属熱処理に適する。その理由として、こうしたクラックは、その後の熱間加工において治癒を行うことができるからである。一方で、典型的な金属冷却クラックは、完全に除去しないと、次の処理で伝播し(runs)、金属が割離するか、または割れる。
Crack Control and Removal of Oxide Layer The aqueous electrolyte solution disclosed herein can be used to adjust or round the bottom of a crack on the surface, thereby eliminating the sharp tip of the crack. Can do. The tip is formed at various depths on the surface of the metal. And, the most harmful substances in the family of reactive metals include, but are not limited to: titanium and titanium alloys, nickel-base alloys, zirconium and the like. These metals form cracks at the time when cooling is performed from an elevated temperature in an oxygen-containing atmosphere. For example, such surface cracks may occur during cooling from the following processes, but are not limited to: processes involving heat (eg, forging, rolling, superplastic forming, etc.), welding, and heat treatment. Furthermore, the aqueous electrolyte solution hardly causes a loss, and can control these cracks. The tip of the rounded or conditioned crack is suitable for subsequent metal heat treatment. This is because such cracks can be healed in subsequent hot working. On the other hand, typical metal cooling cracks, if not completely removed, run in subsequent processing, causing the metal to split or crack.

図11は、クラックを除去するための従来の処理方法を説明している。ここで、該処理方法では、機械的除去(典型的には、材料の均一層全体を研削又は機械的に除去する)を行い、クラックの最深表面の底部を露出させることを伴う。概念的に示す通り、こうした処理では、材料を実質的にロスする結果となる。一方で、図12で示すクラック調節処理では、電解質溶液を用いており、これに組み合せる形で、底部においてクラックを広げ、クラックの先端を丸くさせるための電流を与えている。その結果、加工物に対して更なる熱処理操作を行ったり、サービス提供した際に、クラックが伝播することはないであろう。   FIG. 11 illustrates a conventional processing method for removing cracks. Here, the processing method involves performing mechanical removal (typically grinding or mechanically removing the entire uniform layer of material) to expose the bottom of the deepest surface of the crack. As conceptually shown, such processing results in substantial loss of material. On the other hand, in the crack adjustment processing shown in FIG. 12, an electrolyte solution is used, and a current is applied to expand the crack at the bottom and round the tip of the crack in a form combined with the electrolyte solution. As a result, cracks will not propagate when the workpiece is further heat treated or serviced.

従って、クラック先端の調節や除去のための好ましい処理条件としては、水素ピックアップを最小限又は排除しつつも迅速な除去速度を生じる条件である。後述するが、通常これらの条件は、カルボン酸(例えばクエン酸)濃度が低く、フッ化物イオン濃度が高く(例えば、二フッ化水素アンモニウムの形態で)、そして温度が高いときに得られる。効果的で大規模な除去は、全ての電力密度で行うことができる。しかし、良好な結果を達成できるのは、電力密度が低い場合である。そして、材料に添加される水素量を最小限にするために、前記処理が許容できる限りのOFF動作を有するように電力サイクルを調節する。   Therefore, preferable processing conditions for adjusting and removing the crack tip are conditions that produce a rapid removal rate while minimizing or eliminating hydrogen pickup. As will be described later, these conditions are usually obtained when the carboxylic acid (eg, citric acid) concentration is low, the fluoride ion concentration is high (eg, in the form of ammonium hydrogen difluoride), and the temperature is high. Effective and extensive removal can be done at all power densities. However, good results can be achieved when the power density is low. Then, to minimize the amount of hydrogen added to the material, the power cycle is adjusted to have as much OFF operation as the process can tolerate.

これらの処理パラメータの範囲で加工を行うことにより、水系電解質溶液のクラック調節能力は、現在の処理方法(最深部のクラック底部が周囲の金属とともに研削(ground flush)まで、金属表面は均一に又は局所的に、そして機械的に除去(研削又は機械的研磨)される。)と比べると、全体として有意な金属収率の向上をもたらす。また、現在の機械的除去と比べた場合、処理及び消耗品に係るコストは、本明細書に記載した電解質溶液及び方法を用いると有意に低くなる。   By processing within the range of these processing parameters, the ability of the aqueous electrolyte solution to control cracks is the same as the current processing method (the deepest crack bottom is ground with the surrounding metal (ground flush), the metal surface is uniform or Compared to local and mechanical removal (grinding or mechanical polishing)), it leads to a significant overall metal yield improvement. Also, when compared to current mechanical removal, the costs associated with processing and consumables are significantly lower using the electrolyte solutions and methods described herein.

水系電解質溶液で得られる別の重要な処理の利点としては、反応性金属の酸化物層(又は、チタン及びチタン合金の場合にはαケース)を除去できることである。他の反応性金属の酸化物層と同様に、αケースは酸素に富む相であり、チタン及びチタン合金が加熱空気や加熱酸素に曝されるときに生じる。αケースは脆く、表面に一連の微小クラックを生じさせ下記を含む性能を低下させる傾向にある:金属部品の強度、疲労特性、及び腐食耐性。チタン及びチタン合金は、反応性金属に属する。これが意味するところとして、チタン及びチタン合金は酸素と反応し、脆くて硬い酸化物層(TiについてはTiO2,ZrについてはZrO2など)を形成する。このことは、空気又は酸化性の雰囲気下で、自然に酸化物層が形成される温度以上で加熱されたときには常に生じ、特定の合金または酸化性雰囲気に依存する。上述したように、酸化物層またはαケース酸化層は、ミル鍛造又はミル圧延(mill forging or mill rolling)必要な温度、溶接の結果として必要な温度、又は完成部分の鍛造又は高温部分の成形のための加熱の温度まで金属を加熱することによって生じる可能性がある。αケースは脆く、バルク金属内部に浸透する微小クラックで満ちており、潜在的は、未成熟な張力又は疲労破壊を生じたり、及び表面に対して化学的攻撃を更に受けやすくする。 Another important treatment advantage obtained with aqueous electrolyte solutions is that the reactive metal oxide layer (or alpha case in the case of titanium and titanium alloys) can be removed. Like other reactive metal oxide layers, the alpha case is an oxygen rich phase and occurs when titanium and titanium alloys are exposed to heated air or heated oxygen. The α case is brittle and tends to cause a series of microcracks on the surface and degrade performance including: strength, fatigue properties, and corrosion resistance of metal parts. Titanium and titanium alloys belong to reactive metals. This means that titanium and titanium alloys react with oxygen to form brittle and hard oxide layers (TiO 2 for Ti, ZrO 2 for Zr, etc.). This occurs whenever heated in air or in an oxidizing atmosphere above the temperature at which the oxide layer naturally forms and depends on the particular alloy or oxidizing atmosphere. As described above, the oxide layer or α-case oxide layer may be formed at a temperature required for mill forging or mill rolling, a temperature required as a result of welding, or forging of a finished part or forming a hot part. Can be caused by heating the metal to the temperature of the heating. The α-case is brittle and filled with microcracks that penetrate into the bulk metal, potentially causing immature tension or fatigue failure and making it more susceptible to chemical attack on the surface.

従って、αケース層は、続いて行われる熱間加工若しくは冷間加工、又は最終部品サービスとなる前に除去する必要がある。本明細書に記載した水系電解質溶液及びこれらの溶液を用いた処理は、αケースを除去し、全く影響を受けないベースメタルを曝す。αケース除去は、チタン及びチタン合金の処理において非常に困難な問題である。その理由として、αケースは、攻撃に対する耐性が極端に高く、従来の知見では、電気化学的処理の前に、幾つかの機械的処理を介する必要があった。   Accordingly, the α case layer must be removed before subsequent hot or cold processing or final part service. The aqueous electrolyte solutions described herein and the treatment with these solutions remove the alpha case and expose a base metal that is not affected at all. Alpha case removal is a very difficult problem in the treatment of titanium and titanium alloys. The reason is that the α-case is extremely resistant to attack, and according to conventional knowledge, it has been necessary to perform several mechanical treatments before the electrochemical treatment.

こうした困難性は、初期の試験で明らかとなった。該試験では、チタンのαケースに対して、電気化学処理に対する前処理として、最初グリッドブラストを行い、及び/又は軽く研削を行う。一旦摩滅すると、残った酸化物層は最も容易にDC電力サイクルONで除去され、その後、単純なスクラブブラシによる摩滅を行い、そして、DC電力サイクルをOFFにする。その後、サイクル処理を数回繰り返す。スクラブブラシによる摩滅に代わるものとして、高圧高容量ポンプシステムがあることに留意されたい。一旦αケース層が除去されると、電気化学的エッチングからの材料除去速度は上昇する。しかし、こうした多段階処理サイクルは非常に運用にコストがかかり、生み出す収益も低い。   This difficulty became apparent in early trials. In the test, the titanium α case is initially grid-blasted and / or lightly ground as a pre-treatment for the electrochemical treatment. Once worn, the remaining oxide layer is most easily removed with a DC power cycle ON, followed by a simple scrubbing wear, and the DC power cycle is turned off. Thereafter, the cycle process is repeated several times. Note that high pressure, high volume pump systems are an alternative to scrub brush wear. Once the α-case layer is removed, the material removal rate from electrochemical etching increases. However, these multi-stage processing cycles are very expensive to operate and generate low revenue.

これら困難な点を克服するために、酸化物層又はαケース層を有する加工物は、水系電解質溶液の槽中で処理する。ここで該溶液は、低濃度のカルボン酸(例えばクエン酸)、高濃度のフッ化物イオン(例えば、二フッ化水素アンモニウム)を含み、高温であり、及び好ましくは電力密度が低い。クエン酸濃度が低いこと、二フッ化水素アンモニウム濃度が高いこと、及び温度が高いことにより、材料の除去速度を最大化する。そして、電力を周期的に与えた場合、除去速度は、電流密度に対する感受性が比較的低いため、より低い電力密度を用いて、材料表面に水素が浸透するのを少なくする。   In order to overcome these difficulties, the workpiece having the oxide layer or α-case layer is treated in a bath of aqueous electrolyte solution. Here, the solution contains a low concentration of carboxylic acid (eg, citric acid), a high concentration of fluoride ions (eg, ammonium hydrogen difluoride), is at a high temperature, and preferably has a low power density. The low citric acid concentration, the high ammonium difluoride concentration, and the high temperature maximize the material removal rate. And when power is applied periodically, the removal rate is relatively insensitive to current density, so a lower power density is used to reduce hydrogen penetration into the material surface.

要するに、本明細書に開示したように、水系電解質溶液及び該溶液を用いた方法では、制御され且つ繰り返し可能な態様で、酸化物層の除去及びチタンαケースを反応性金属表面から除去することを可能にする。これは、現在のHF−HNO3酸洗とは対照的である。該酸洗では、強力な発熱反応であり、チタンの場合には、反応中触媒として進化チタン(evolved titanium)を用いており、これにより酸濃度及び反応速度が継続的に変化し、繰り返し行うことが困難となり、正確な表面金属除去が殆ど不可能となる。更には、開示した水系電解質溶液及び方法は、有害な水素をバルク金属に浸透させない。実際、開示した方法は、水素をバルク金属から除去するような態様で行うことができる。対照的に、現在の方法では、まさにその特性によって、有害な水素をバルク金属の中に導入してしまい、水素を取り除くために脱気工程というコストの係る更なる工程が必要となる。 In short, as disclosed herein, the aqueous electrolyte solution and method using the solution remove the oxide layer and remove the titanium alpha case from the reactive metal surface in a controlled and repeatable manner. Enable. This is in contrast to current HF-HNO 3 pickling. The pickling is a powerful exothermic reaction. In the case of titanium, evolved titanium is used as a catalyst during the reaction, and thus the acid concentration and reaction rate are continuously changed and repeated. Therefore, accurate surface metal removal is almost impossible. Furthermore, the disclosed aqueous electrolyte solutions and methods do not penetrate harmful hydrogen into the bulk metal. Indeed, the disclosed method can be carried out in such a manner as to remove hydrogen from the bulk metal. In contrast, current methods, by their very nature, introduce harmful hydrogen into the bulk metal and require an additional costly step of degassing to remove the hydrogen.

水系電解質溶液は、環境にも優しく、有害な廃棄物も生じない。一方で、現在の処理方法では、環境に負荷がかかり、有害なフッ化水素酸(HF)や硝酸(HNO3)が生じ、極端に取り扱いが難しい。また、非常に厳密に許可されたプログラムの下でしか使用することができない。結果として、水系電解質溶液を用いた処理は、重要な空気調節設備なしで行うことができる。また、現在のHF−HNO3処理で使用するのに必要とされる有害な化学物質の防護ギアのオペレーターも必要ない。 The aqueous electrolyte solution is environmentally friendly and does not produce harmful waste. On the other hand, the current treatment method places a burden on the environment, produces harmful hydrofluoric acid (HF) and nitric acid (HNO 3 ), and is extremely difficult to handle. It can only be used under very strictly authorized programs. As a result, the treatment with the aqueous electrolyte solution can be performed without significant air conditioning equipment. There is also no need for operators of protective gear for hazardous chemicals required for use in current HF-HNO 3 treatment.

クラック調節及びαケース除去について、更なる加工ステップが続くため、表面仕上げは特に重要ではなく、表面仕上げを向上させる必要がないかもしれない。しかし、それでも、材料の表面は厳密に劣化させず、材料にピット、又は他の深い欠陥を生じさせないことが望ましい。   For crack conditioning and alpha case removal, the surface finish is not particularly important and may not need to be improved as further processing steps follow. However, it is still desirable that the surface of the material is not severely degraded and does not cause pits or other deep defects in the material.

図3D、4E−4J、7A、8A、9A及び10Aを見て分かることとして、ABF濃度及び温度を最大にすると(即ち、グラフに示すようにABF濃度が120g/L、温度が85℃)、最も高い材料除去速度が得られた。一方で、クエン酸濃度は300g/L以下に維持されていた。また、図4E〜4Gを含む幾つかの図で強調されているが、クエン酸は、材料表面上でのフッ化物イオンの攻撃を和らげる傾向にあるため、クエン酸濃度が0g/Lに近づくにつれ、材料の除去速度が上方に鋭く上昇する傾向が見られた。しかし、クエン酸条件がゼロの近くでは、図4H、7B、8B、9B、及び10Bが示すように、表面のピット及び深刻な表面仕上げの劣化が生じる結果となる可能性がある。   As can be seen from FIGS. 3D, 4E-4J, 7A, 8A, 9A and 10A, when the ABF concentration and temperature are maximized (ie, the ABF concentration is 120 g / L and the temperature is 85 ° C. as shown in the graph), The highest material removal rate was obtained. On the other hand, the citric acid concentration was maintained at 300 g / L or less. Also highlighted in several figures, including FIGS. 4E-4G, citric acid tends to mitigate fluoride ion attack on the material surface, so as the citric acid concentration approaches 0 g / L. The material removal rate tended to increase sharply upward. However, near citric acid conditions can result in surface pits and severe surface finish degradation, as shown in FIGS. 4H, 7B, 8B, 9B, and 10B.

従って、クラック調節のために水系電解質溶液を用いる際には、深刻な表面劣化は回避することが好ましいが、最も深刻なフッ化物イオンの攻撃の効力を和らげるために、少なくとも少量のクエン酸(例えば、1g/L〜10g/L)を用いるべきである。しかし、αケースの除去を目的として水系電解質溶液を用いる際には、深刻な表面劣化は特段有害でもないので、深刻なピットを生じない程度にフッ化物イオンの攻撃を許容することができる。従って、クエン酸の濃度はゼロの近くまで減らすことができる。   Therefore, when using an aqueous electrolyte solution for crack control, it is preferable to avoid serious surface degradation, but at least a small amount of citric acid (e.g., to reduce the effectiveness of the most severe fluoride ion attack) 1 g / L to 10 g / L) should be used. However, when the aqueous electrolyte solution is used for the purpose of removing the α case, since serious surface deterioration is not particularly harmful, attack of fluoride ions can be allowed to the extent that no serious pits are generated. Thus, the concentration of citric acid can be reduced to near zero.

クラック調節及びαケース除去の両方の環境下では、脆弱化を防ぐために、材料に水素を導入することを回避することが望まれる。図1A−1C、2A−2B、及び4E−4Gに特に見られるように、材料の除去速度は電流密度に対して比較的感受性が低いため、そして、電流密度が高くなると材料に水素が導入される傾向が生じるため、効果のある電流密度のうち最も低い密度で稼動させることが好ましい。   In both crack control and alpha case removal environments, it is desirable to avoid introducing hydrogen into the material to prevent embrittlement. As seen particularly in FIGS. 1A-1C, 2A-2B, and 4E-4G, the removal rate of the material is relatively insensitive to current density, and as the current density increases, hydrogen is introduced into the material. Therefore, it is preferable to operate at the lowest density among effective current densities.

本発明の例示的な実施形態に関連して記述してきたが、添付した特許請求の範囲で規定された本発明の思想及び範囲から離れることなく、具体的に記載されていない付加、削除、改変、及び置換を行うことができ、そして、本発明は特定の開示された実施形態に限定されるものではないということを当業者は理解するであろう。
一側面において、本願発明は以下の発明を包含する。
(発明1)
約0.1重量%〜約59重量%の濃度範囲のカルボン酸;及び
約0.1重量%〜約25重量%の濃度範囲のフッ化物塩
を含み、実質的に強酸を含まない水系電解質溶液。
(発明2)
発明1に記載の電解質溶液であって、前記フッ化物塩がアルカリ金属フッ化物、アルカリ土類金属フッ化物、シリケートエッチング化合物、及びこれらの組合せからなる群から選択される該電解質溶液。
(発明3)
発明2に記載の電解質溶液であって、前記フッ化物塩が二フッ化水素アンモニウムである該電解質溶液。
(発明4)
発明1に記載の電解質溶液であって、前記カルボン酸がクエン酸である該電解質溶液。
(発明5)
以下を含む水系電解質溶液であって、
約1.665g/L以上約982g/L以下のクエン酸;及び
約2g/L以上約360g/L以下のフッ化物塩としての二フッ化水素アンモニウム
実質的に強酸を含まない該電解質溶液。
(発明6)
非鉄金属加工物の表面を処理する方法であって、以下のステップを含む方法;
前記表面を水系電解質溶液槽に曝すステップ
(ここで、前記水系電解質溶液は:
約300g/L以下の濃度範囲のクエン酸;及び
約10g/L以上の濃度範囲の二フッ化水素アンモニウムを含み;並びに
強酸が約3.35g/L以下である);
約54℃以上になるように前記槽の温度を制御するステップ;
DC電源の陽極に前記加工物を接続し、且つ前記DC電源の陰極を前記槽内に浸漬するステップ;並びに
前記槽に電流を与えるステップ。
(発明7)
発明6に記載の方法であって、前記槽の温度を約71℃以上に制御する該方法。
(発明8)
発明6に記載の方法であって、前記槽内に与えた電流が約538A/m 2 以下である該方法。
(発明9)
発明8に記載の方法であって、前記槽内に与えた電流が約53.8A/m 2 以下である該方法。
(発明10)
発明6に記載の方法であって、前記クエン酸濃度が約60g/L未満である方法。
(発明11)
発明6に記載の方法であって、前記二フッ化水素アンモニウム濃度が約60g/L以上である該方法。
(発明12)
非鉄金属加工物の表面中のクラックを調節する方法であって、以下のステップを含む方法;
前記表面を水系電解質溶液槽に曝すステップ
(ここで、前記水系電解質溶液は:
約600g/L以下の濃度のクエン酸;及び
約60g/L以上の濃度の二フッ化水素アンモニウムを含み;並びに
強酸が約3.35g/L以下である);
槽の温度を約54℃以上になるように制御するステップ;
DC電源の陽極に前記加工物を接続し、且つ前記DC電源の陰極を前記槽内に浸漬するステップ;並びに
前記槽に約53.8A/m 2 未満の電流を与えるステップ。
(発明13)
非鉄金属加工物の表面から金属酸化物を除去する方法であって、以下のステップを含む方法;
前記表面を水系電解質溶液槽に曝すステップ
(ここで、前記水系電解質溶液は:
約60g/L以下の濃度のクエン酸;及び
約60g/L以上の濃度の二フッ化水素アンモニウムを含み;並びに
強酸が約3.35g/L以下である);
槽の温度を約54℃以上になるように制御するステップ;
DC電源の陽極に前記加工物を接続し、且つ前記DC電源の陰極を前記槽内に浸漬するステップ;並びに
前記槽に約53.8A/m 2 未満の電流を与えるステップ。
(発明14)
チタンまたはチタン合金加工物の表面からアルファケースを除去する方法であって、以下のステップを含む該方法:
前記表面を水系電解質溶液槽に曝すステップ
(ここで、前記水系電解質溶液は:
約60g/L以下の濃度のクエン酸;及び
約60g/L以上の濃度の二フッ化水素アンモニウムを含み;並びに
強酸が約3.35g/L以下である);
前記槽の温度を約54℃以上になるように制御するステップ;
DC電源の陽極に前記加工物を接続し、且つ前記DC電源の陰極を前記槽内に浸漬するステップ;並びに
前記槽に約53.8A/m 2 未満の電流を与えるステップ。
Although described in connection with exemplary embodiments of the invention, additions, deletions, and modifications not specifically described herein do not depart from the spirit and scope of the invention as defined in the appended claims. And those skilled in the art will appreciate that substitutions can be made and that the invention is not limited to the specific disclosed embodiments.
In one aspect, the present invention includes the following inventions.
(Invention 1)
A carboxylic acid in a concentration range of about 0.1% to about 59% by weight; and
Fluoride salt in a concentration range of about 0.1% to about 25% by weight
An aqueous electrolyte solution containing substantially no strong acid.
(Invention 2)
The electrolyte solution according to invention 1, wherein the fluoride salt is selected from the group consisting of alkali metal fluorides, alkaline earth metal fluorides, silicate etching compounds, and combinations thereof.
(Invention 3)
The electrolyte solution according to invention 2, wherein the fluoride salt is ammonium difluoride.
(Invention 4)
The electrolyte solution according to invention 1, wherein the carboxylic acid is citric acid.
(Invention 5)
An aqueous electrolyte solution comprising:
From about 1.665 g / L to about 982 g / L of citric acid; and
Ammonium difluoride as a fluoride salt of about 2 g / L or more and about 360 g / L or less
The electrolyte solution substantially free of strong acid.
(Invention 6)
A method for treating a surface of a non-ferrous metal workpiece, comprising the following steps;
Exposing the surface to an aqueous electrolyte solution bath
(Here, the aqueous electrolyte solution is:
Citric acid in a concentration range of about 300 g / L or less; and
Including ammonium difluoride in a concentration range of about 10 g / L or more; and
Strong acid is about 3.35 g / L or less);
Controlling the temperature of the bath to be about 54 ° C. or higher;
Connecting the workpiece to an anode of a DC power source and immersing the cathode of the DC power source in the vessel; and
Applying a current to the bath;
(Invention 7)
The method according to claim 6, wherein the temperature of the tank is controlled to about 71 ° C or higher.
(Invention 8)
The method according to invention 6, wherein the current applied in the vessel is about 538 A / m 2 or less.
(Invention 9)
The method according to invention 8, wherein the current applied in the vessel is about 53.8 A / m 2 or less.
(Invention 10)
The method of claim 6, wherein the citric acid concentration is less than about 60 g / L.
(Invention 11)
The method according to invention 6, wherein the ammonium hydrogen difluoride concentration is about 60 g / L or more.
(Invention 12)
A method of adjusting cracks in the surface of a non-ferrous metal workpiece, the method comprising the following steps;
Exposing the surface to an aqueous electrolyte solution bath
(Here, the aqueous electrolyte solution is:
Citric acid at a concentration of about 600 g / L or less; and
Containing ammonium difluoride at a concentration of about 60 g / L or more; and
Strong acid is about 3.35 g / L or less);
Controlling the bath temperature to be about 54 ° C. or higher;
Connecting the workpiece to an anode of a DC power source and immersing the cathode of the DC power source in the vessel; and
Applying a current of less than about 53.8 A / m 2 to the vessel .
(Invention 13)
A method of removing metal oxide from the surface of a non-ferrous metal workpiece, the method comprising the following steps;
Exposing the surface to an aqueous electrolyte solution bath
(Here, the aqueous electrolyte solution is:
Citric acid at a concentration of about 60 g / L or less; and
Containing ammonium difluoride at a concentration of about 60 g / L or more; and
Strong acid is about 3.35 g / L or less);
Controlling the bath temperature to be about 54 ° C. or higher;
Connecting the workpiece to an anode of a DC power source and immersing the cathode of the DC power source in the vessel; and
Applying a current of less than about 53.8 A / m 2 to the vessel .
(Invention 14)
A method of removing alpha case from the surface of a titanium or titanium alloy workpiece, the method comprising the following steps:
Exposing the surface to an aqueous electrolyte solution bath
(Here, the aqueous electrolyte solution is:
Citric acid at a concentration of about 60 g / L or less; and
Containing ammonium difluoride at a concentration of about 60 g / L or more; and
Strong acid is about 3.35 g / L or less);
Controlling the temperature of the vessel to be about 54 ° C. or higher;
Connecting the workpiece to an anode of a DC power source and immersing the cathode of the DC power source in the vessel; and
Applying a current of less than about 53.8 A / m 2 to the vessel .

Claims (11)

以下を含む水系電解質溶液であって、
1.665g/L以上982g/L以下のクエン酸;及び
2g/L以上360g/L以下のフッ化物塩としての二フッ化水素アンモニウム
強酸が0.335重量%以下であり、
陽極としての加工物について電気化学的な表面処理を行うための該電解質溶液。
An aqueous electrolyte solution comprising:
1.65 g / L or more and 982 g / L or less of citric acid; and 2 g / L or more and 360 g / L or less of ammonium hydrogen difluoride as a fluoride salt.
The electrolyte solution for performing electrochemical surface treatment on a workpiece as an anode.
非鉄金属加工物の表面を処理する方法であって、以下のステップを含む方法;
前記表面を水系電解質溶液槽に曝すステップ
(ここで、前記水系電解質溶液は:
300g/L以下の濃度範囲のクエン酸;及び
10g/L以上の濃度範囲の二フッ化水素アンモニウムを含み;並びに
強酸が3.35g/L以下である);
54℃以上になるように前記槽の温度を制御するステップ;
DC電源の陽極に前記加工物を接続し、且つ前記DC電源の陰極を前記槽内に浸漬するステップ;並びに
前記槽に電流を与えるステップ。
A method for treating a surface of a non-ferrous metal workpiece, comprising the following steps;
Exposing the surface to an aqueous electrolyte solution bath (wherein the aqueous electrolyte solution is:
Citric acid in a concentration range of 300 g / L or less; and containing ammonium difluoride in a concentration range of 10 g / L or more; and a strong acid of 3.35 g / L or less);
Controlling the temperature of the bath to be 54 ° C. or higher;
Connecting the workpiece to an anode of a DC power source and immersing the cathode of the DC power source in the vessel; and applying a current to the vessel.
請求項に記載の方法であって、前記槽の温度を71℃以上に制御する該方法。 It is a method of Claim 2 , Comprising: This method of controlling the temperature of the said tank to 71 degreeC or more. 請求項に記載の方法であって、前記槽内に与えた電流が538A/m2以下である該方法。 3. The method according to claim 2 , wherein an electric current applied to the tank is 538 A / m < 2 > or less. 請求項に記載の方法であって、前記槽内に与えた電流が53.8A/m2以下である該方法。 5. The method according to claim 4 , wherein an electric current applied to the tank is 53.8 A / m < 2 > or less. 請求項に記載の方法であって、前記クエン酸濃度が60g/L未満である方法。 3. The method according to claim 2 , wherein the citric acid concentration is less than 60 g / L. 請求項に記載の方法であって、前記二フッ化水素アンモニウム濃度が60g/L以上である該方法。 The method according to claim 2 , wherein the ammonium hydrogen fluoride concentration is 60 g / L or more. 非鉄金属加工物の表面中のクラックを調節する方法であって、以下のステップを含む方法;
前記表面を水系電解質溶液槽に曝すステップ
(ここで、前記水系電解質溶液は:
600g/L以下の濃度のクエン酸;及び
60g/L以上の濃度の二フッ化水素アンモニウムを含み;並びに
強酸が3.35g/L以下である);
槽の温度を54℃以上になるように制御するステップ;
DC電源の陽極に前記加工物を接続し、且つ前記DC電源の陰極を前記槽内に浸漬するステップ;並びに
前記槽に53.8A/m2未満の電流を与えるステップ。
A method of adjusting cracks in the surface of a non-ferrous metal workpiece, the method comprising the following steps;
Exposing the surface to an aqueous electrolyte solution bath (wherein the aqueous electrolyte solution is:
Citric acid at a concentration of 600 g / L or less; and ammonium difluoride at a concentration of 60 g / L or more; and a strong acid of 3.35 g / L or less);
Controlling the bath temperature to be 54 ° C. or higher;
Connecting the workpiece to an anode of a DC power source and immersing the cathode of the DC power source in the vessel; and applying a current of less than 53.8 A / m 2 to the vessel.
非鉄金属加工物の表面から金属酸化物を除去する方法であって、以下のステップを含む方法;
前記表面を水系電解質溶液槽に曝すステップ
(ここで、前記水系電解質溶液は:
60g/L以下の濃度のクエン酸;及び
60g/L以上の濃度の二フッ化水素アンモニウムを含み;並びに
強酸が3.35g/L以下である);
槽の温度を54℃以上になるように制御するステップ;
DC電源の陽極に前記加工物を接続し、且つ前記DC電源の陰極を前記槽内に浸漬するステップ;並びに
前記槽に53.8A/m2未満の電流を与えるステップ。
A method of removing metal oxide from the surface of a non-ferrous metal workpiece, the method comprising the following steps;
Exposing the surface to an aqueous electrolyte solution bath (wherein the aqueous electrolyte solution is:
Citric acid at a concentration of 60 g / L or less; and ammonium difluoride at a concentration of 60 g / L or more; and a strong acid of 3.35 g / L or less);
Controlling the bath temperature to be 54 ° C. or higher;
Connecting the workpiece to an anode of a DC power source and immersing the cathode of the DC power source in the vessel; and applying a current of less than 53.8 A / m 2 to the vessel.
チタンまたはチタン合金加工物の表面からアルファケースを除去する方法であって、以下のステップを含む該方法:
前記表面を水系電解質溶液槽に曝すステップ
(ここで、前記水系電解質溶液は:
60g/L以下の濃度のクエン酸;及び
60g/L以上の濃度の二フッ化水素アンモニウムを含み;並びに
強酸が3.35g/L以下である);
前記槽の温度を54℃以上になるように制御するステップ;
DC電源の陽極に前記加工物を接続し、且つ前記DC電源の陰極を前記槽内に浸漬するステップ;並びに
前記槽に53.8A/m2未満の電流を与えるステップ。
A method of removing alpha case from the surface of a titanium or titanium alloy workpiece, the method comprising the following steps:
Exposing the surface to an aqueous electrolyte solution bath (wherein the aqueous electrolyte solution is:
Citric acid at a concentration of 60 g / L or less; and ammonium difluoride at a concentration of 60 g / L or more; and a strong acid of 3.35 g / L or less);
Controlling the temperature of the tank to be 54 ° C. or higher;
Connecting the workpiece to an anode of a DC power source and immersing the cathode of the DC power source in the vessel; and applying a current of less than 53.8 A / m 2 to the vessel.
非鉄金属加工物の表面を処理する方法であって、以下のステップを含む方法;
前記表面を水系電解質溶液槽に曝すステップ
(ここで、前記水系電解質溶液は:
0.1重量%〜59重量%の濃度範囲のクエン酸;及び
10g/L以上の濃度範囲の二フッ化水素アンモニウムを含み;並びに
強酸が0.335重量%以下である);
凝固点と沸点との範囲で前記槽の温度を制御するステップ;
DC電源の陽極に前記加工物を接続し、且つ前記DC電源の陰極を前記槽内に浸漬するステップ;並びに
前記槽に1A/m2〜255,000A/m2の電流を与えるステップ。
A method for treating a surface of a non-ferrous metal workpiece, comprising the following steps;
Exposing the surface to an aqueous electrolyte solution bath (wherein the aqueous electrolyte solution is:
Citric acid in a concentration range of 0.1% to 59% by weight; and ammonium difluoride in a concentration range of 10 g / L or more; and a strong acid of 0.335% by weight or less);
Controlling the temperature of the vessel in the range of freezing point and boiling point;
Connecting the workpiece to an anode of a DC power source and immersing the cathode of the DC power source in the vessel; and applying a current of 1 A / m 2 to 255,000 A / m 2 to the vessel.
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