JP5911361B2 - メンテナンス時予測システム及びメンテナンス時予測方法 - Google Patents
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Description
(a)ステップS101で、図2に示すクリーンルーム10に粒子検出装置20を設置する。クリーンルーム10に設置される粒子検出装置20は、予めメンテナンスされていてもよいし、設置後にメンテナンスされてもよい。また、粒子検出装置20が新品で清浄であれば、設置前後のメンテナンスは必ずしも必要ではない。ステップS102で、粒子検出装置20は、粒子の検出を開始する。粒子検出装置20は、粒子の検出を開始したことを、図1に示すネットワークを介して期間取得部301に通知する。ステップS103で、通知を受けた期間取得部301は、粒子検出装置20が粒子の検出を開始した年月日等の時を、検出開始時記録装置402に記録する。
上記のように、本発明を実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす記述及び図面はこの発明を限定するものであると理解するべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施の形態及び運用技術が明らかになるはずである。例えば、実施の形態において、送受信機2は、アンテナ24を用いて情報を無線送信すると説明したが、送受信機2は情報を有線ネットワークに送信してもよい。また、粒子検出装置20が備える電子機器には、外部電源から電源が供給されてもよい。この様に、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を包含するということを理解すべきである。
3 情報受信機
10 クリーンルーム
20 粒子検出装置
21 吸引口
22 排気口
23 光学系
24 アンテナ
25 内蔵バッテリ
301 期間取得部
302 リセット部
303 抽出部
304 予測部
305 積算部
401 期間記録装置
402 検出開始時記録装置
403 予測時記録装置
Claims (9)
- 粒子検出装置が検出した粒子の総数が基準値に達するまでに要した期間を取得する期間取得部と、
前記取得された期間を記録する期間記録装置と、
前記検出粒子の総数が前記基準値に達した後、前記検出粒子の総数をゼロにリセットするリセット部と、
前記期間記録装置に記録されている複数の期間のうち、最も短い期間を抽出する抽出部と、
前記検出粒子の総数が前記基準値に達して前記粒子検出装置がメンテナンスされた後、前記粒子検出装置が前記粒子の検出を再開した時から、前記抽出された最も短い期間を経た時を、前記粒子検出装置の次回のメンテナンス時と予測する予測部と、
を備える、メンテナンス時予測システム。 - 前記予測されたメンテナンス時を出力する出力装置を更に備える、請求項1に記載のメンテナンス時予測システム。
- 前記予測されたメンテナンス時をシールに印字する印刷装置を更に備える、請求項1に記載のメンテナンス時予測システム。
- 前記予測されたメンテナンス時をネットワークに送信する送信部を更に備える、請求項1乃至3のいずれか1項に記載のメンテナンス時予測システム。
- 粒子検出装置が検出した粒子の総数が基準値に達するまでに要した期間を取得すること、前記取得された期間を期間記録装置に記録すること、前記検出粒子の総数が前記基準値に達した後、前記検出粒子の総数をゼロにリセットすること、及び前記粒子検出装置をメンテナンスして粒子の検出を再開することを繰り返し、前記取得された期間の記録を前記期間記録装置に蓄積することと、
前記期間記録装置に記録されている複数の期間のうち、最も短い期間を抽出することと、
前記粒子検出装置がメンテナンスされた後、前記粒子の検出を再開した時から、前記抽出された最も短い期間を経た時を、前記粒子検出装置の次回のメンテナンス時と予測することと、
を含む、メンテナンス時予測方法。 - 前記予測されたメンテナンス時を出力することを更に含む、請求項5に記載のメンテナンス時予測方法。
- 前記予測されたメンテナンス時をシールに印字することを更に含む、請求項5に記載のメンテナンス時予測方法。
- 前記予測されたメンテナンス時を印字された前記シールを前記粒子検出装置に貼ることを更に含む、請求項7に記載のメンテナンス時予測方法。
- 前記予測されたメンテナンス時をネットワークに送信することを更に含む、請求項5乃至8のいずれか1項に記載のメンテナンス時予測方法。
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