JP5909369B2 - レーザ光整形用光学部品の設計方法、及び、レーザ光整形用光学部品の製造方法 - Google Patents
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Description
[比較例]
(第1の比較例)
この場合、ガウシアン分布は半径0mmを中心として回転対称となるため、1次元解析により非球面形状を設計することになる。なお、実際には、入射レーザ光Oiのエネルギーとしては、ステップS01における実測値を用いればよい。
なお、本手法に基づけば、整形後の出射レーザ光の所望の強度分布も規定の関数のみならず、任意の強度分布とすることも可能である。
Z0=0.0813686145668832、c=0.00777733881349394、K=0、α1= -0.00241229368324484、α2= 0.000234942586627072、α3= -0.0000275885138454212、α4= 0.0000063299148495522、α5= -1.36808383766256E-06、α6= 1.86570409257993E-07、α7= -1.50639871979035E-08、α8= 6.65228450030865E-10、α9= -1.24283263164959E-11
Z0=0.00170530995281016、c=-0.00675475280492833、K=0、α1=0.00119250802891454、α2=0.000234942586627072、α3=-0.0000275885138454212、α4=0.0000063299148495522、α5=-1.36808383766256E-06、α6=1.86570409257993E-07、α7=-1.50639871979035E-08、α8=6.65228450030865E-10、α9=-1.24283263164959E-11
(第2の比較例)
これより、伝搬距離10mmの位置におけるビーム径は4.67mm(1/e2)と推測される。
Z0=0.350060271791103、c=-0.0335120447820325、K=0、α1= -0.0231547991056179、α2= 0.00445665882657025、α3= -0.000284230904782999、α4= -2.59168381632891E-06、α5= 0.0000132262398562683、α6= 7.50723677147593E-06、α7= -1.50639871979035E-08、α8= 3.21477233487456E-07、α9= -1.47307055813572E-08
Z0=0.12102784735932、c= -0.0612836459255392、K=0、α1= -0.0018762895940451、α2= 0.00565750401091439、α3= -0.00619122793771896、α4= 0.00393535214632535、α5= -0.0015200258472543、α6= 0.000363537112881753、α7= -0.0000525402521473375、α8= 4.20752573217144E-06、α9= -1.43337039188705E-07
[本実施形態]
Z0=0.350060271791103、c=-0.0335120447820325、K=0、α1= -0.0231547991056179、α2= 0.00445665882657025、α3= -0.000284230904782999、α4= -2.59168381632891E-06、α5= 0.0000132262398562683、α6= 7.50723677147593E-06、α7= -1.50639871979035E-08、α8= 3.21477233487456E-07、α9= -1.47307055813572E-08
Z0=0.12102784735932、c= -0.0612836459255392、K=0、α1= -0.0018762895940451、α2= 0.00565750401091439、α3= -0.00619122793771896、α4= 0.00393535214632535、α5= -0.0015200258472543、α6= 0.000363537112881753、α7= -0.0000525402521473375、α8= 4.20752573217144E-06、α9= -1.43337039188705E-07
Z0= 0.999744765422979、c= -0.025501288167687、K=0、α1= -0.00779439758374836、α2= 0.000514205035516824、α3= -0.0000178494594498606、α4= 1.51670534278056E-07、α5= -1.3710575306782E-07、α6= 2.7221471663064E-08、α7= -2.1347767748253E-09、α8= 7.93767668581535E-11、α9= -1.16817554775238E-12
Z0= 0.358429163892539、c= -0.061266244924921、K=0、α1= -0.000592140229237842、α2= 0.000630170183409268、α3= -0.000230974778737322、α4= 0.0000491620526766769、α5= -6.35843489783214E-06、α6= 5.09206932756945E-07、α7= -2.46417525352681E-08、α8= 6.60755442416571E-10、α9= -7.53702687864744E-12
また、任意の位置(i,j)と回転中心(0,0)とを結ぶ動径のJ軸に対する回転角度をθとすると、下記(27)式が成り立つ。
上記(26)式及び(27)式より、下記(28)式が求められる。
同様に、出射側非球面レンズ12の動径rのための補正係数A、及び、非球面形状(非球面高さ)のための補正係数Bは、Rr=1.71、RZ2=2.9615より、下記(32)式、(33)式のように求められる。
次に、ステップS26B(形状決定工程)では、上記(31)式で表される入射側非球面レンズ11の非球面形状の補正高次多項式Z1(r)に基づいて、入射側非球面レンズ11の非球面形状を求めると共に、上記(34)式で表される出射側非球面レンズ12の非球面形状の補正高次多項式Z2(r)に基づいて、出射側非球面レンズ12の非球面形状を求める。すると、入射側非球面レンズ11の非球面形状が図32のように求められ、出射側非球面レンズ12の非球面形状が図33のように求められる。
Claims (9)
- 一対の非球面レンズを備え、異なる広がり角を有する入射レーザ光の強度分布を所望の強度分布に整形した出射レーザ光を生成するレーザ光整形用光学部品の設計方法において、
前記入射レーザ光の強度分布を計測する入射光計測工程と、
前記一対の非球面レンズのうちの入射側非球面レンズにおいて、前記入射レーザ光の短軸方向及び長軸方向それぞれについて、計測した前記入射レーザ光の強度分布を分布方向に分割して複数の入射光分割領域を求める入射光分割工程と、
前記一対の非球面レンズのうちの出射側非球面レンズにおいて、前記短軸方向及び前記長軸方向それぞれについて、前記出射レーザ光の強度分布を分布方向に分割した複数の出射光分割領域であって、前記所望の強度分布に応じて前記複数の入射光分割領域それぞれの高さを調整すると共に分布方向の幅及び位置を調整することによって当該複数の出射光分割領域を求める出射光分割工程と、
前記短軸方向及び前記長軸方向それぞれについて、前記入射側非球面レンズにおける前記複数の入射光分割領域の分布方向の位置と前記出射側非球面レンズにおける対応の前記複数の出射光分割領域の分布方向の位置とから光路を特定する光路特定工程と、
前記光路から前記一対の非球面レンズの前記短軸方向及び前記長軸方向の形状をそれぞれ求める短軸方向及び長軸方向形状決定工程と、
前記一対の非球面レンズの前記短軸方向及び前記長軸方向の形状の高次多項式近似をそれぞれ行うことによって、前記短軸方向及び前記長軸方向の高次多項式をそれぞれ求める高次多項式近似工程と、
前記入射レーザ光の動径の回転角度、前記入射レーザ光の短軸方向の動径と長軸方向の動径との比率、及び、前記一対の非球面レンズそれぞれの前記短軸方向の形状と前記長軸方向の形状との比率に基づく補正係数を用いて、前記短軸方向の高次多項式又は前記長軸方向の高次多項式を補正することによって、補正高次多項式を求める高次多項式補正工程と、
前記補正高次多項式に基づいて前記一対の非球面レンズの形状を求める形状決定工程と、
を含む、レーザ光整形用光学部品の設計方法。 - 前記出射光分割工程では、前記複数の入射光分割領域のエネルギーと対応の前記複数の出射光分割領域のエネルギーとがそれぞれ等しくなるように、前記複数の入射光分割領域の分布方向の幅及び位置を調整して前記複数の出射光分割領域を求める、
請求項1に記載のレーザ光整形用光学部品の設計方法。 - 前記入射光計測工程では、更に、前記入射レーザ光の広がり角を計測し、
前記短軸方向及び長軸方向形状決定工程では、前記入射側非球面レンズの形状を、前記光路及び計測した前記入射レーザ光の広がり角から求める、
請求項1に記載のレーザ光整形用光学部品の設計方法。 - 前記短軸方向及び長軸方向形状決定工程では、前記出射側非球面レンズの形状を、前記光路及び前記出射レーザ光の所望の広がり角から求める、
請求項1に記載のレーザ光整形用光学部品の設計方法。 - 前記短軸方向及び長軸方向形状決定工程では、前記複数の入射光分割領域それぞれにおいて、
前記入射側非球面レンズの入射側の平面に垂直な主軸に対して前記光路がなす角度、及び、計測した前記入射レーザ光の広がり角から、前記入射側非球面レンズの平面で前記入射レーザ光が屈折した屈折入射レーザ光であって、前記入射側非球面レンズの出射側の非球面に対する当該屈折入射レーザ光の入射角を求め、
前記入射側非球面レンズの非球面に対する前記屈折入射レーザ光の入射角から、前記入射側非球面レンズの非球面の高低差を求める、
請求項3に記載のレーザ光整形用光学部品の設計方法。 - 前記短軸方向及び長軸方向形状決定工程では、前記複数の出射光分割領域それぞれにおいて、
前記出射側非球面レンズの出射側の平面に垂直な主軸に対して前記光路がなす角度、及び、前記出射レーザ光の所望の広がり角から、前記出射側非球面レンズの入射側の非球面に対する前記光路の屈折角を求め、
前記出射側非球面レンズの非球面に対する前記光路の屈折角から、前記出射側非球面レンズの非球面の高低差を求める、
請求項4に記載のレーザ光整形用光学部品の設計方法。 - 前記短軸方向及び長軸方向形状決定工程では、前記出射側非球面レンズの形状を、前記光路から求めると共に、前記出射レーザ光の位相を揃えて前記出射レーザ光が平行光となるように求める、
請求項1に記載のレーザ光整形用光学部品の設計方法。 - 前記短軸方向及び長軸方向形状決定工程では、前記複数の出射光分割領域それぞれにおいて、
前記出射側非球面レンズの出射側の平面に垂直な主軸に対して前記光路がなす角度から、前記出射側非球面レンズの入射側の非球面に対する前記出射レーザ光の出射角を求め、
前記出射側非球面レンズの非球面に対する前記出射レーザ光の出射角から、前記出射側非球面レンズの非球面の高低差を求める、
請求項7に記載のレーザ光整形用光学部品の設計方法。 - 一対の非球面レンズを備え、異なる広がり角を有する入射レーザ光の強度分布を所望の強度分布に整形した出射レーザ光を生成するレーザ光整形用光学部品の製造方法において、
前記入射レーザ光の強度分布を計測する入射光計測工程と、
前記一対の非球面レンズのうちの入射側非球面レンズにおいて、前記入射レーザ光の短軸方向及び長軸方向それぞれについて、計測した前記入射レーザ光の強度分布を分布方向に分割して複数の入射光分割領域を求める入射光分割工程と、
前記一対の非球面レンズのうちの出射側非球面レンズにおいて、前記短軸方向及び前記長軸方向それぞれについて、前記出射レーザ光の強度分布を分布方向に分割した複数の出射光分割領域であって、前記所望の強度分布に応じて前記複数の入射光分割領域それぞれの高さを調整すると共に分布方向の幅及び位置を調整することによって当該複数の出射光分割領域を求める出射光分割工程と、
前記短軸方向及び前記長軸方向それぞれについて、前記入射側非球面レンズにおける前記複数の入射光分割領域の分布方向の位置と前記出射側非球面レンズにおける対応の前記複数の出射光分割領域の分布方向の位置とから光路を特定する光路特定工程と、
前記光路から前記一対の非球面レンズの前記短軸方向及び前記長軸方向の形状をそれぞれ求める短軸方向及び長軸方向形状決定工程と、
前記一対の非球面レンズの前記短軸方向及び前記長軸方向の形状の高次多項式近似をそれぞれ行うことによって、前記短軸方向及び前記長軸方向の高次多項式をそれぞれ求める高次多項式近似工程と、
前記入射レーザ光の動径の回転角度、前記入射レーザ光の短軸方向の動径と長軸方向の動径との比率、及び、前記一対の非球面レンズそれぞれの前記短軸方向の形状と前記長軸方向の形状との比率に基づく補正係数を用いて、前記短軸方向の高次多項式又は前記長軸方向の高次多項式を補正することによって、補正高次多項式を求める高次多項式補正工程と、
前記補正高次多項式に基づいて前記一対の非球面レンズの形状を求める形状決定工程と、
求めた前記形状に基づいて前記一対の非球面レンズを成形する成形工程と、
を含む、レーザ光整形用光学部品の製造方法。
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