JP5899730B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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本発明の半導体装置の製造方法は、炭化珪素(SiC)で構成される半導体層中に溝が形成された構成を具備する半導体装置の製造方法であって、光を吸収する吸収層を前記半導体層の表面に局所的に形成する吸収層形成工程と、前記吸収層が形成された側から前記半導体層に対して光を照射する照射工程と、前記照射工程によって前記半導体層に形成された非晶質層をウェットエッチングによって除去することによって前記溝を形成する非晶質層除去工程と、を具備することを特徴とする。
本発明の半導体装置の製造方法は、前記光の波長を、前記半導体層を構成する材料の禁制帯幅に対応するエネルギーの光の波長を越える波長とし、前記吸収層の厚さを、前記光を吸収した前記吸収層の発熱が前記半導体層に伝わることによって前記半導体層が非晶質化されるように設定することにより、前記照射工程において、前記吸収層の直下の前記半導体層に前記非晶質層を形成することを特徴とする。
本発明の半導体装置の製造方法は、前記光の波長を、前記半導体層を構成する材料の禁制帯幅に対応するエネルギーの光の波長以下の波長とし、前記吸収層の厚さを、前記光を吸収した前記吸収層の発熱が前記半導体層に伝わることによって前記半導体層が非晶質化されないように設定することにより、前記照射工程において、前記吸収層が形成されない領域の直下の前記半導体層に前記非晶質層を形成することを特徴とする。
本発明の半導体装置の製造方法において、前記吸収層は黒鉛で構成されることを特徴とする。
本発明の半導体装置の製造方法は、前記照射工程の後に、熱処理又は酸素プラズマ処理によって前記吸収層を除去する吸収層除去工程を具備することを特徴とする。
図2(a)〜(j)、図3(k)(l)は、この半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。図2、3は、このトレンチゲート型MOSFETにおけるゲートが延伸する方向の溝に垂直な方向の断面図であり、同じ形状のMOSFETが横方向に並んで製造されている。隣接するMOSFETにおけるソース電極は共用とされている。
上記の製造方法においては、吸収層直下に非晶質層を形成するという(1)の設定とされた。次に、吸収層が形成されない領域の直下に非晶質層を形成するという(2)の設定とした製造方法について説明する。この製造方法においては、図2、3に記載の製造方法における吸収層形成工程と照射工程が特に異なる。図4(a)〜(d)は、この吸収層形成工程と照射工程、及び照射工程後の断面形状を、図2(c)〜(f)に対応して示す工程断面図である。これら以外の工程については、図2、3に記載されたものと同様であるために説明を省略する。
10a、90a n+基板
10b、90b n−層
11、91 p層
12、92 n+層(ソース領域)
13、93 p+層
14、94 ゲート酸化膜(SiO2)
15、95 多結晶シリコン層(ゲート電極)
16、96 層間絶縁層
17、97 ゲート配線
18、98 ソース配線
19、99 ドレイン電極
30、130 カーボンキャップ層(吸収層)
40 非晶質層
100 レーザー光(光)
161 ゲート開口
162 ソース開口
200 トレンチ(溝)
Claims (5)
- 炭化珪素(SiC)で構成される半導体層中に溝が形成された構成を具備する半導体装置の製造方法であって、
光を吸収する吸収層を前記半導体層の表面に局所的に形成する吸収層形成工程と、
前記吸収層が形成された側から前記半導体層に対して光を照射する照射工程と、
前記照射工程によって前記半導体層に形成された非晶質層をウェットエッチングによって除去することによって前記溝を形成する非晶質層除去工程と、
を具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記光の波長を、前記半導体層を構成する材料の禁制帯幅に対応するエネルギーの光の波長を越える波長とし、
前記吸収層の厚さを、前記光を吸収した前記吸収層の発熱が前記半導体層に伝わることによって前記半導体層が非晶質化されるように設定することにより、
前記照射工程において、前記吸収層の直下の前記半導体層に前記非晶質層を形成することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記光の波長を、前記半導体層を構成する材料の禁制帯幅に対応するエネルギーの光の波長以下の波長とし、
前記吸収層の厚さを、前記光を吸収した前記吸収層の発熱が前記半導体層に伝わることによって前記半導体層が非晶質化されないように設定することにより、
前記照射工程において、前記吸収層が形成されない領域の直下の前記半導体層に前記非晶質層を形成することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記吸収層は黒鉛で構成されることを特徴とする請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記照射工程の後に、熱処理又は酸素プラズマ処理によって前記吸収層を除去する吸収層除去工程を具備することを特徴とする請求項4に記載の半導体装置の製造方法。
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