JP5887742B2 - ダイヤモンド基板 - Google Patents
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Description
一方、{111}結晶構造はP型とN型の両方が可能であるが、これまでにダイヤモンドの種結晶を用いた高温高圧合成法しかなく、装置に制限があり、大きなサイズの基板を得ることは難しい問題がある。
また、デバイス特性において重要な膜表面の平坦性を確保することができなかった。
詳細は後述するが非特許文献1に示すように母ダイヤモンド基板にオフ角を有しないと、ゆっくりとした条件でしかも10〜20μm程度の薄膜でないと表面にクラックが発生してしまうのに対して本発明は2°以上の高オフ角の結晶構造{111}母ダイヤモンド基板を用いたのでエピタキシャル成長においてクラックの発生を抑えるとともに表面の平坦化を可能にした。
本発明においてオフ角は2〜10°(2°を除く)の範囲が好ましい。
また、本発明にてCVDはマイクロ波を用いたプラズマCVDを採用することができる。
また、CVDによる成膜をデバイス等に利用する場合に2°以上のオフ角を有する結晶構造{111}のダイヤモンド基板上にCVDを用いて膜厚20μm以上の厚膜を形成することもできる。
特に表面の平坦性が優れ、欠陥の少ない厚み50μm以上の厚膜を形成することもできる。
ラテラル成長条件としては圧力:10〜200Torr,基板温度:600〜1200℃,マイクロ波の出力100〜5,000Wの範囲が好ましい。
また、炭素源ガスとして水素で希釈したメタンガス、エタンガス、あるいはこれらと一酸化炭素、二酸化炭素、酸素、アルゴン、窒素の混合ガスを用いることができる。
例えば水素ガス中のメタンガスの濃度を0.001〜10%の範囲に設定することができ、好ましくは0.05〜10%、特に0.2〜10%の相対的に高濃度の条件にすると高速な膜成長になる。
本発明に係る{111}単結晶のダイヤモンド膜(成長ダイヤモンド基板)はドーピングによりp型あるいはn型の両方の半導体膜を得ることができる。
ドーピング原子としては、ホウ素、リンが代表例である。
水素ガス流量200sccm,メタンガス流量0.5sccm,7kPa,150W,1020℃、20hの条件にてエピタキシャル成長させた膜の結果を図1〜3に示す。
図3(a)は母ダイヤモンド基板のオフ角が9°で図3(b)は従来のオフ角0°の場合の表面光学顕微鏡像を示す。
オフ角0°の従来の方法では、表面に多数のクラックが発生していたのに対して本発明に係るオフ角9°のものはクラックの発生がなく正常であった。
図1にオフ角の変化による表面の光学顕微鏡像を示し、オフ角1°,0.5°のものは表面に段差状のスパイラル成長が認められるのに対して、オフ角2°,4°のものはスパイラル成長が認められずに平坦であった。
図2にAFM像を示すように(a)のオフ角2°のものはRMS=0.06nmであったのに対して(b)のオフ角0.5°のものはRMS=3.38nmであった。
ここでRMSとは、表面荒れの大きさを示す値で計算式は特開2010−251599号に開示する式を用いることができる。
その結果、厚さ約0.1mmの成長膜を得ることができ、レーザーカットにより自立型の{111}単結晶成長ダイヤモンド基板を得ることができた。
{111}母ダイヤモンド基板にエッチング方法でメサ構造を形成し、螺旋転位を起点とした略三角形のスパイラル成長をさせたステップ成長の成長丘の写真を図4に示す。
ステップ−ステップ間隔Ws−sは(a)の1重螺旋転位で最小Ws−s≒9nm,(b)の2重螺旋転位で最小Ws−s≒6nmであった。
図5に模式図を示す。
ラテラル成長になるようにオフ角を制限するにはWt<Ws−s,Wt=0.206[nm]/tanθ の条件からWt<6nm,θ>1.97°となり、オフ角θが約2°以上であればラテラル成長に抑制することができる。
Claims (1)
- 表面に2°以上(2°を除く)のオフ角を有し、結晶面{111}からなる母ダイヤモンド基板の上に直接、化学気相成長法(CVD)を用いてラテラル成長が発現する条件下でダイヤモンドを成長させて得るものであり、
前記ラテラル成長が発現する条件は、
水素ガスにて希釈された炭素源ガスの供給量は0.05〜10%であり、
前記CVDはプラズマCVDであり、
成長して得られた膜厚が20μm以上で、表面がクラック等の欠陥のないRMSの値で3.38nm未満の平坦面であることを特徴とするダイヤモンド基板の製造方法。
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