JP5881923B1 - 紫外線発生装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本明細書において、「ループ」とは、隅部が曲線的に形成されたものだけでなく、直角に形成されたものも含んでいる。例えば楕円形に限らず四角形も「ループ」に含まれる。
このため、どの時刻においても、いずれかの分割電極6、6間で放電が起こり、低周波数の交流放電にもかかわらず、高周波点灯のような連続バリア放電が発生し、放電の結果、プラズマPが発生する。本実施態様においては、6つの分割電極6、6、6、6、6、6はループ状の石英製の放電管5の外面に、隣り合った分割電極6、6の間隙が3mmになるように形成されているから、隣り合った分割電極6、6間に、バリア放電が一様に発生し、したがって、石英製の放電管5内の分割電極6に対向する部分に、プラズマPが一様に発生して、このプラズマPによって、電気的に中性な分子性ガスが励起されて、紫外線が発生する。このようにして発生した紫外線は、石英製の放電管5の分割電極6、6、6、6、6、6が形成されていない半周面(光の窓)を介して、取り出される。
本実施態様においては、ループ状をなした石英製の放電管5の角部が略直角に形成されていることに対応して、両側部に位置する分割電極6Aおよび分割電極6Dはそれぞれ、略直角をなした2つの角部を備えている。角部は2本の直管を接続して形成するので、放電管の縦横の長さの寸法精度が良く、曲線部のものより製造が容易という利点がある。
図38は、実施例3のランプ配置図で、実施例2と同様の、角部が略直角をなしたループ状の放電管5を有する紫外線ランプ#3を作製した。
各放電管5の直径はL1で、ループの内側の間隔L2及び隣接する放電管5との間隔L3も直径L1に等しい。
これら複数本の放電管群を、図39に示すように、上面が開放した浅い箱体Bに納める。箱体Bはアルミ板製で表面が鏡面仕上げされている。
図39は、箱体Bに放電管5を5本並べて収容した状態を模式的に示している。
図40は、図39のA−A線に沿う断面図で、図41は図39のB―B線に沿う断面図で、どちらも箱体Bと放電管5の位置関係を示している。
箱体Bの横内側面と放電管5の間隔L4は放電管5の直径L1の2分の1で、箱体Bの縦内側面と放電管5の間隔L5は放電管5の直径L1の2分の1から1分の1で、箱体Bの側面の高さHは30mmで放電管5の直径L1の2倍ある。
さらに図42に示すように、放電管5と放電管5の中間及びループ状の放電管5の内側にも鏡面仕上げしたアルミ板ALを敷き詰める。ここでアルミ板ALよりも上方に放電管5の窓が露出するように配置する。
ここで箱体Bの材料はアルミ板に限らない。鏡のように光を反射するものであればよい。そして実施例1と同様に給電しプラズマを生成して紫外線を発生させ、そのときの紫外線ランプ#3の直上の放射束密度を測定したところ、図43に示すとおり、紫外線の強度が放電管から離れても変わらず一様であることが確認できた。このことから実施例3においては空間の縦方向において紫外線の強さが一様であることが分かる。
図44及び図45は紫外線ランプ#3の放電管5の表面から20mm離れた高さの仮想的な平面における紫外線の強さを示すグラフで、そのうち図44は放電管5の横断方向に沿ってプロットした位置の紫外線の強さを表し、図45は放電管5の長さ方向に沿ってプロットした位置の紫外線の強さを表す。これらから実施例3においては紫外線ランプ#3の中央部と隅部で紫外線の強さが一様であることが分かる。
すなわち反射鏡を組み合わせた実施例3においては、紫外線の強さが紫外線ランプ#3から離れても近くと同じであり、紫外線ランプ#3の隅部でも中央部と変わらない。
2、3、4 永久磁石
5 放電管
6 分割電極
7 電極
9 絶縁体
10 紫外線ランプ
12 磁気シールド板
15 給電プローブ
18 磁力線
20 枝管
25 6相交流電源
P プラズマ
E1、E2、E3、E4、E5、E6 分割電極
M1、M2、M3 永久磁石
EE1、EE2、EE3、EE4、EE5、EE6、EE7、EE8、EE9、EE10、EE11、EE12 分割電極
TT1、TT2、TT3、TT4、TT5、TT6、TT7、TT8、TT9、TT10、TT11、TT12 給電端子
MM1、MM2、MM3 永久磁石
Claims (10)
- ループ状に形成された電気絶縁性の放電管であって、15/85<酸素ガス/窒素ガス<30/70の混合比で、酸素ガスと窒素ガスが混合された混合ガスが封入されている放電管と、放電管と前記同じループ状になるように前記放電管の外表面に所定の間隔を隔てて、取り付けられた複数の分割電極と、前記放電管を囲むように配置され、前記放電管内に閉じた磁場を形成する磁石とにより紫外線ランプを形成し、
前記紫外線ランプの分割電極に多相交流電源を接続して、その多相交流放電電圧を隣り合う分割電極に位相をずらして印加し、これにより生じた放電プラズマにより紫外線を発生するように構成された紫外線発生装置であって、
前記紫外線ランプが、全体としてループ状に取り付けられた3つ以上の分割電極と、長さが異なり、枠状をなした3つの磁石を備え、前記3つの枠状の磁石のうち、最も長さが長い枠状の磁石が最も外側に、最も長さが短い枠状の磁石が最も内側に、中間の長さを有する枠状の磁石が中央に、それぞれ配置され、最も外側に配置された枠状の磁石の極性と中央に配置された枠状の磁石の極性が逆で、かつ、中央に配置された枠状の磁石の極性と最も内側に配置された枠状の磁石の極性が逆になるように、前記3つの枠状の磁石が配置され、前記電気絶縁性の放電管が前記3つの磁石の間に囲まれるように配置されるとともに、中央に配置された前記枠状の磁石と最も外側に配置された前記枠状の磁石との間の磁力線および中央に配置された前記枠状の磁石と最も内側に配置された前記枠状の磁石との間の磁力線が、前記電気絶縁性の放電管を横切るように、前記電気絶縁性の放電管および前記枠状の3つの磁石が配置され、
前記酸素ガスと窒素ガスが混合された混合ガスが0.5Torrないし1.0Torrの初期封入圧力で、前記放電管内に封入されていることを特徴とする紫外線発生装置。 - 前記3つの枠状の磁石のうち、中央に配置された中間の長さを有する磁石がループ状をなしていることを特徴とする請求項1に記載の紫外線発生装置。
- 前記3つの枠状の磁石がループ状をなしていることを特徴とする請求項1に記載の紫外線発生装置。
- 前記電気絶縁性の放電管の外周面に所定の間隔を隔てて取り付けられたN個の分割電極(Nは3以上の整数である。)に、N相交流電源が接続されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の紫外線発生装置。
- 前記電気絶縁性の放電管の外周面に所定の間隔を隔てて、6個の分割電極が取り付けられ、6個の分割電極に6相交流電源が接続されていることを特徴とする請求項4に記載の紫外線発生装置。
- 前記3つの磁石が永久磁石によって構成されていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載の紫外線発生装置。
- 前記3つの磁石が磁気シールド部材に取り付けられていることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1項に記載の紫外線発生装置。
- 前記紫外線ランプの周囲を反射板で囲み、この紫外線ランプの分割電極に多相交流電源を接続してその多相交流放電電圧を隣り合う分割電極に位相をずらして印加し、これにより生じた放電プラズマにより紫外線を発生することを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1項に記載の紫外線発生装置。
- 前記放電管内に、0.20≦酸素ガス/窒素ガス≦0.35の混合比で、酸素ガスと窒素ガスが混合された混合ガスが封入されていることを特徴とする請求項1ないし8に記載の紫外線発生装置。
- 前記多相交流放電電圧が900Vないし1000Vに設定されていることを特徴とする請求項1ないし9のいずれか1項に記載の紫外線発生装置。
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