JP5880079B2 - 膜分離方法及び装置 - Google Patents
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Description
(1) 返送する精製液の水質変動が生じる。即ち、濃縮倍率を一定に制御していると、精製液や濃縮液の濃度が原水の水質変動とともに変動し、返送先のエッチング槽の濃度変動が生じる。たとえば、アルカリエッチング液ならば、NaOH濃度を濃厚なNaOH新液で調整することができるが、SiO2は除去しきれないので、SiO2濃度が変動してしまう。
(2) 系内を濃縮循環している液の圧力が変動する。即ち、背圧弁の開度を一定にして濃縮液の排出量(つまり、濃縮倍率)を決めていると、液の粘性によって排出量が変動する。
(3) 背圧弁で濃縮液の排出量を調整した場合は、ポンプの出力が変わらないために、原水濃度が薄くなった場合には、濃縮水の粘性が下がるために透過水量が多くなる。逆に、原水濃度が高くなった場合は、液の粘性が上がり、ポンプは同出力のために、透過水量が少なくなる。つまり、透過水量に大きな変動が生じる。さらには、濃縮水濃度が高まり、液粘性が高まると、圧力が上昇して装置が非常停止し、連続運転に支障をきたすことがある。
<実験1>
図1に示す膜分離装置によって合成エッチング廃液を処理した。
上記実験1にひきつづいて被処理液のNaOH及びSiO2濃度を±50%の範囲で変動させたところ、ブラインの流量(排出弁13閉時の流量)及び濃度、透過液の流量及び濃度は殆ど変動はなかった(ブライン液のNaOH濃度は10±0.5%、SiO2濃度は11±0.5%の範囲であった。)。従って、原水濃度に大幅な変動があっても一定の水質の透過液が得られることが認められた。
<実験1>
実施例1の実験1において、密度に基づく排出弁13の開閉制御とブライン圧に基づくポンプ制御とを行わず、図2に示すフローにて通水を行った。
実験1にひきつづいて、被処理液(合成廃液)の濃度を±50%変動させたところ、ブラインの濃度はNaOH6〜15%、SiO26〜15%の範囲で変動し、透過液の濃度はNaOH1.5〜4%、SiO20.5〜1.6%の範囲で変動した。
被処理液(合成廃液)の濃度をNaOH1%、SiO20.5%と低くし、ミニマムブラインを15L/minとしたこと以外は実施例1の実験1と同様とした。
比較例1の実験1において、被処理液(合成廃液)の濃度をNaOH1%、SiO20.5%と低くし、背圧を1.8MPaとしたこと以外は比較例1と同一条件にて通水を行った。
15 圧力計
17 密度計
Claims (4)
- 槽からの被処理液を膜分離手段で透過液とブラインとに膜分離処理し、該ブラインの少なくとも一部を該槽に返送する循環系を有する膜分離方法において、
該膜分離手段に流入する被処理液の液圧又は該膜分離手段から流出するブラインの液圧を一定とし、
該膜分離手段からのブラインの密度指標値が予め設定された上限値以下となるようにブラインの循環系外への排出量を制御する膜分離方法であって、
該密度指標値が、密度、比重、粘度又は粘性であることを特徴とする膜分離方法。 - 請求項1において、前記膜分離手段の透過液を処理液として採取する膜分離方法であって、
前記ブラインの密度指標値が予め設定した下限値を下回るときには、該密度指標値が該下限値にまで上昇するまで前記膜分離手段の透過液を非再使用とすることを特徴とする膜分離方法。 - 請求項2において、前記被処理液は基板のエッチング排液であり、前記膜分離手段の透過液をエッチング液として再使用することを特徴とする膜分離方法。
- 槽と、
該槽内の被処理液を送液するためのポンプと、
該ポンプ吐出液が導入される膜分離手段と、
該膜分離手段の膜透過液を取り出す透過液ラインと、該膜分離手段からのブラインを前記槽に返送する返送ラインと、該ブラインの一部を返送ラインから排出させることが可能な排出手段と、
を有する膜分離装置において、
該膜分離手段に流入する被処理液の液圧又は該膜分離手段から流出するブラインの液圧を一定とするための調圧手段と、
該ブラインの密度指標値の測定手段と、
該測定手段で測定された密度指標値が予め設定された上限値以下となるように前記排出手段のブライン排出量を制御するブライン排出制御手段と
を備えた膜分離装置であって、
該密度指標値が、密度、比重、粘度又は粘性であることを特徴とする膜分離装置。
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