JP5879621B2 - 微小材料ひずみ計測装置及びその方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 14
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 174
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 136
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 69
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 36
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 14
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 8
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 6
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 31
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 7
- 230000008859 change Effects 0.000 description 6
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 6
- 239000010408 film Substances 0.000 description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 3
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 3
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 3
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 240000004050 Pentaglottis sempervirens Species 0.000 description 2
- 235000004522 Pentaglottis sempervirens Nutrition 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 2
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 2
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 230000002195 synergetic effect Effects 0.000 description 2
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000012993 chemical processing Methods 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/24—Measuring force or stress, in general by measuring variations of optical properties of material when it is stressed, e.g. by photoelastic stress analysis using infrared, visible light, ultraviolet
- G01L1/241—Measuring force or stress, in general by measuring variations of optical properties of material when it is stressed, e.g. by photoelastic stress analysis using infrared, visible light, ultraviolet by photoelastic stress analysis
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/16—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge
- G01B11/161—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge by interferometric means
- G01B11/162—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge by interferometric means by speckle- or shearing interferometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N3/00—Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
- G01N3/02—Details
- G01N3/06—Special adaptations of indicating or recording means
- G01N3/068—Special adaptations of indicating or recording means with optical indicating or recording means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N3/00—Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
- G01N3/08—Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress by applying steady tensile or compressive forces
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2203/00—Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
- G01N2203/02—Details not specific for a particular testing method
- G01N2203/026—Specifications of the specimen
- G01N2203/0286—Miniature specimen; Testing on microregions of a specimen
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2203/00—Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
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- G01N2203/06—Indicating or recording means; Sensing means
- G01N2203/0641—Indicating or recording means; Sensing means using optical, X-ray, ultraviolet, infrared or similar detectors
- G01N2203/0647—Image analysis
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- General Health & Medical Sciences (AREA)
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- Pathology (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
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Description
εt=ln(L1/L0) (1)
σ=Ld/S (2)
εf=(L1−L0)/L0 (3)
102…微小材料
104…支持ベース
104A…つかみ部
104B…肩部
104C…平行部
104D…補強部
106…薄膜
108…計測対象領域
110、132…ベースプレート
112…ブラケット
114…位置調整部
116、138…Yステージ
118、142…Xステージ
120…θステージ
122…βステージ
124…αステージ
130…ひずみ発生部
134、136…チャック部
140…微動Xステージ
144、152…Zステージ
146…ロードセル
150…計測部
154…鏡筒
156…白色光源
158…反射ミラー
160、166C…ハーフミラー
162…スライダ
164…微動Zステージ
166…第1対物レンズ
166A…ホルダ
166B…レンズ
166D…参照鏡
168…第2対物レンズ
170…CCDカメラ
Claims (8)
- 微小材料に引張応力または圧縮応力を加えて該微小材料にひずみを発生させるとともに該引張応力または圧縮応力を計測するひずみ発生部と、該ひずみによる該微小材料の変形を計測する計測部と、を有する微小材料ひずみ計測装置であって、
前記計測部に、前記微小材料の計測対象領域を照射する白色光源と、該白色光源で照射された該計測対象領域からの光である測定光と該白色光源から分岐された光で照射された参照鏡からの光である参照光とによって形成される干渉光を検出する2次元光電センサと、該干渉光を該2次元光電センサに受光させるとともに前記参照鏡を備える第1対物レンズと、該第1対物レンズの光軸方向で該第1対物レンズとの位置関係が一定とされるとともに該第1対物レンズと一緒に移動されることで自身の焦点位置が該2次元光電センサにおける前記計測対象領域の結像状態から自動調整され且つ光軸上の該第1対物レンズと入れ替え可能な第2対物レンズと、該光軸方向における相対的な走査で前記干渉光のコントラストが最大となる該第1対物レンズの位置から前記計測対象領域の3次元形状を測定するとともに、該3次元形状に基づいて該計測対象領域における変位を計測する上で基準となる位置である標点を複数定め且つ該複数の標点間の距離を計測する画像処理装置と、を備え、且つ、
前記ひずみ発生部に、前記微小部材を保持するための2つのチャック部と、該2つのチャック部の一方を支持し前記引張応力または圧縮応力を計測する応力検出手段と、該2つのチャック部の距離を変化させることで前記ひずみを発生させる移動機構と、を備え、
前記自動調整された前記第2対物レンズの位置に従い前記第1対物レンズの光軸上の位置が初期的に定められ、該移動機構により前記ひずみを前記微小材料に発生させた際には、前記応力検出手段によって計測された前記引張応力または圧縮応力と、前記初期的に定められた位置から前記第1対物レンズが前記光軸方向で相対的に走査されることで、前記ひずみで変化した前記複数の標点が見失われることなく追従して特定されて計測された該複数の標点間の距離とに基づいて、前記引張応力また圧縮応力に対する前記ひずみが計測される
ことを特徴とする微小材料ひずみ計測装置。 - 請求項1において、
前記ひずみは、該ひずみのない状態の前記複数の標点間の距離と、該ひずみを付加したのちの該複数の標点間の距離と、から求められる真ひずみとされる
ことを特徴とする微小材料ひずみ計測装置。 - 請求項1または2において、
前記複数の標点は、3以上とされている
ことを特徴とする微小材料ひずみ計測装置。 - 請求項1乃至3のいずれかにおいて、更に、
前記計測部に前記微小材料を成形加工可能なレーザを照射するレーザ加工部を備える
ことを特徴とする微小材料ひずみ計測装置。 - 請求項1乃至4のいずれかにおいて、
前記2つのチャック部のうち、一方の該チャック部が他方に対して互いに直交する3軸方向で相対的に位置調整可能とされている
ことを特徴とする微小材料ひずみ計測装置。 - 請求項1乃至5のいずれかにおいて、更に、
前記ひずみ発生部は、前記光軸方向に直交する面内で移動可能とされ、且つ、該光軸方向に対して傾斜可能とされている
ことを特徴とする微小ひずみ計測装置。 - 微小材料に引張応力または圧縮応力を加えて該微小材料にひずみを発生させるとともに該引張応力または圧縮応力を計測し、該ひずみによる該微小材料の変形を計測することでひずみを求める微小材料ひずみ計測方法であって、
前記微小材料を保持する工程と、
光軸上で第2対物レンズを移動させ該微小材料の計測対象領域の結像状態から該第2対物レンズの焦点位置を自動調整し、該第2対物レンズと一緒に光軸方向に移動され該第2対物レンズと一定の位置関係を有し参照鏡を備える第1対物レンズと該第2対物レンズとを入れ替え、該第2対物レンズの光軸上の位置に従い前記第1対物レンズの位置を初期的に定める工程と、
保持された該微小材料に前記ひずみを発生させるとともに前記引張応力または圧縮応力を計測する工程と、
該ひずみが付与された微小材料の計測対象領域に白色光源で光を照射する工程と、
該計測対象領域からの光である測定光と該白色光源から分岐された光で照射された前記参照鏡からの光である参照光とによって形成される干渉光を、前記第1対物レンズで2次元光電センサに受光させる工程と、
前記第1対物レンズを前記初期的に定められた位置からその光軸方向で相対的に走査し前記干渉光のコントラストが最大となる該第1対物レンズの位置から前記計測対象領域の3次元形状を測定する工程と、
測定された該3次元形状に基づいて、前記ひずみで変化した該計測対象領域における変位を計測する上で基準となる位置である複数の標点を見失うことなく追従して特定し、該複数の標点間の距離を計測する工程と、
得られた該複数の標点間の距離及び前記引張応力または圧縮応力に基づいて、該引張応力または圧縮応力に対する前記ひずみが計測される工程と、
を含むことを特徴とする微小材料ひずみ計測方法。 - 請求項7において、
一定速度で前記微小材料を変形させることで前記引張応力または圧縮応力を連続的に該微小材料に加える工程を含む
ことを特徴とする微小材料ひずみ計測方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012518419A JP5879621B2 (ja) | 2010-06-02 | 2011-06-01 | 微小材料ひずみ計測装置及びその方法 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010127109 | 2010-06-02 | ||
JP2010127109 | 2010-06-02 | ||
PCT/JP2011/062565 WO2011152441A1 (ja) | 2010-06-02 | 2011-06-01 | 微小材料ひずみ計測装置及びその方法 |
JP2012518419A JP5879621B2 (ja) | 2010-06-02 | 2011-06-01 | 微小材料ひずみ計測装置及びその方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2011152441A1 JPWO2011152441A1 (ja) | 2013-08-01 |
JP5879621B2 true JP5879621B2 (ja) | 2016-03-08 |
Family
ID=45066799
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012518419A Expired - Fee Related JP5879621B2 (ja) | 2010-06-02 | 2011-06-01 | 微小材料ひずみ計測装置及びその方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8844367B2 (ja) |
JP (1) | JP5879621B2 (ja) |
WO (1) | WO2011152441A1 (ja) |
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- 2011-06-01 JP JP2012518419A patent/JP5879621B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2011-06-01 WO PCT/JP2011/062565 patent/WO2011152441A1/ja active Application Filing
- 2011-06-01 US US13/701,402 patent/US8844367B2/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2011152441A1 (ja) | 2013-08-01 |
US20130068034A1 (en) | 2013-03-21 |
WO2011152441A1 (ja) | 2011-12-08 |
US8844367B2 (en) | 2014-09-30 |
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