JP5875741B1 - ガス計測装置とその計測方法 - Google Patents
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Abstract
Description
また複数のガスを同時に測定する場合は、バンドパスフィルタを一定時間毎に切り替えて、それぞれの出力を求めるが、バンドパスフィルタの切り替え直後は温度が一定しないため安定せず、安定するまで待つ必要があることから高速の測定ができないという問題点があった。
なお、各実施の形態において、同一もしくは相当部分は同一符号で示し、重複する説明は省略する。
また、各実施の形態に係るガス計測装置は、油入電気機器内の絶縁油に溶存するガスを測定する目的で使用される。ただし、このような用途に限定されず、この発明は、一般的なガス測定の用途にも利用可能である。
図1はこの発明の実施の形態1に係るガス計測装置の概略断面図を示したものである。
投光部5、中空ファイバ6、検出部7、ロックインアンプ8、計測・制御部9を備えており、これらに接続する形で油入電気機器10およびガスサンプル抽出機構11が接続されている。
なお、測定波長領域は計測・制御部9で計測される各種ガスに対応する光の波長領域である。
ガラス窓22は石英ガラス単独としてもよいが、測定とは関係のない波長の光を除去するフィルタとしてもよい。例えば熱線として知られる5μm以上の赤外光を除去するショートウェイブパスフィルタとしてもよい。これにより熱の影響を除外することができる。ショートウェイブパスフィルタは具体的には例えば、石英ガラスにサファイヤ、シリコンなどの母材にアルミナ等の多層膜をコーティングしたものからなり、特定波長以上の赤外光を遮断する機能を有する。
なお、回転部23、スライド治具をバンドパスフィルタの切替機構とする。切替機構は、バンドパスフィルタを設けた回転部23等に相当する可動部と、この可動部を可動に支持する支持部からなる。さらに、単一のバンドパスフィルタ、またはバンドパスフィルタ4a、4b、4c、4dとその切替機構を、それぞれ光フィルタ部とする。
アセチレンであれば3.05μm、
二酸化炭素であれば4.25μm、
一酸化炭素であれば4.70μm
などとして、目的とするガス種類に応じて適宜選択すればよい。バンドパスフィルタ4a、4b、4c、4dは中心波長から一定範囲の幅離れた波長の赤外光を透過する特性があり、半値幅で規定される。半値幅を小さくすると他の妨害ガスのスペクトルの影響を遮断できるが、光量が減少して測定感度が低下するデメリットがあることから、他のガスのスペクトル特性や目標とする測定下限値に応じて半値幅を設定する。またバンドパスフィルタ4a、4b、4c、4dとしてバンドパスフィルタの単独の構成ではなく、ショートウェイブパスフィルタとロングウェイブパスフィルタの組み合わせでもよい。
バンドパスフィルタ4aはアセチレン測定用、
バンドパスフィルタ4bはバックグラウンド測定用の透明ガラス、
バンドパスフィルタ4cは二酸化炭素測定用、
バンドパスフィルタ4dは一酸化炭素測定用とした。
なお、バンドパスフィルタが1枚の場合には切替機構は不要である。回転部23とガラス窓22の間隙にレンズ24を設けている。レンズ24は回転部23を可能に支持する回転しない上述の支持部に固定してもよいし、専用に設けた支持具(図示省略)で固定してもよい。中空ファイバ6の他端(検出部7側の端)から射出された赤外光は、一定の光束すなわち0.7mmの束で導光されるわけではなく拡散するため、レンズ24により集光する。
レンズ24は赤外光を集光する役割を持つため、例えば石英製のものであり、凸形状としている。集光された赤外光はバンドパスフィルタ4aを介して、検出器素子31を有する検出器25に導光されるように構成されている。レンズ24の焦点距離およびレンズ径は中空ファイバ6の径、レンズ24と検出器25の間の距離に応じて決めるが、ここでは焦点距離は25mm、レンズ径は8mmとした。検出器25はPbSe、InSb、MCTなど光導電素子、フォトマルチプライヤーなどを用いるが、ここでは特に限定されず、赤外光を検出できるものであれば何でもよい。検出器25に用いられる光導電素子、フォトマルチプライヤーは温度が低いほど感度が高い特性がある。よってペルチェ冷却器26は検出器25全体を冷却することで高感度とするために設置している。
ただし実際には測定の安定性を考慮して、より長い時間でガスサンプルを導入した方が望ましく、絶縁油から得られるガスサンプルの容量や測定時間を考慮して、導入時間を決めるのが望ましい。この結果、中空ファイバ6の内部に分析(測定)対象のガスサンプルが導入される。ここでポンプ20は一旦停止させ、中空ファイバ6の内部のガスサンプルは静止状態とする。静止状態とする理由としては、中空ファイバ6の内部が流動状態となることや、ポンプ20の動作時の振動によりノイズの発生源となることで、SN比が低下することを避けるためである(S12)。
すなわち120秒経過後に、例えばバンドパスフィルタ4aから4bに切り替えるとして、合計480秒間の実験を行った。
なお、ピークノイズに限らずノイズが混入する原因として、既に述べたバンドパスフィルタ4a、4b、4c、4dに伝わる熱の影響の他に、回転部23が回転するときに発生する振動が共振チョッパ18に伝わることでノイズの発生につながる。共振チョッパ18はブレード3a、3bの開閉により赤外光を透過または遮断していることから、振動の影響を受けやすいためである。したがって本実施の形態1で示す図1のように、回転部23と共振チョッパ18はできるだけ離すことが、ノイズの低減につながる。
図8はこの発明の実施の形態2に係るガス計測装置の概略断面図を示したものである。
実施の形態1の図1に示す構成と異なる点は、レンズ24を用いずにガラス窓22から導出した赤外光をバンドパスフィルタ4aを介して直接検出器25に導光するものである。
レンズ24が存在しないことでガラス窓22から導出した赤外光は拡散するため、検出器25に届く赤外光は減少する。
検出器素子31は3×3mmの矩形状(この場合は正方形)の大きさとした。
図8および図9に示すように、中空ファイバ6の他端とガラス窓22は面一(同一平面を構成)にすることは、ガスの流路の関係で2mm程度の隙間を開ける必要があり、さらにガラス窓22は強度を考慮すると少なくとも1mmの厚さが必要であることから、難しく、実質的にはガラス窓22と検出器素子31の間隔が7mm以下が、この実験結果を満たす用件となる。したがって、回転部23の厚さが7mm以下となれば、本実施の形態2の図8に示すように、レンズ24を用いなくても感度面で問題ないことが分かった。
図12はこの発明の実施の形態3に係るガス計測装置の概略断面図を示したものである。実施の形態1の図1に示す構成と異なる部分は以下の点である。図1ではレンズ24の位置は、回転部23とガラス窓22との間の間隙に置いていたが、本実施の形態を示す図12では、回転部23と検出器25との間の間隙に置いている点が異なる。レンズ24はここでは凹レンズを用いている。図13は図1におけるレンズ24を含む周辺付近の拡大図であり、中空ファイバ6から出た赤外光の拡散、集光状況を示している。また図14は図12のレンズ24を含む周辺付近の拡大図である。
図15はこの発明の実施の形態4に係るガス計測装置の概略断面図を示したものである。実施の形態1の図1に示す構成と異なるところは以下の点である。図15の構成では、図1に示す共振チョッパ18の代わりに回転式チョッパ35を設置する。
図17はこの発明の実施の形態5に係るガス計測装置の概略断面図を示したものである。実施の形態1の図1に示す構成と異なるところは以下の点である。図17に示す構成では、図1に示す回転部23、バンドパスフィルタ4a、4b、4c、4dの代わりに波長可変フィルタ29を設置した。
なお、上記各実施の形態のバンドパスフィルタ4a、4b、4c、4dとその切替機構からなる部分と、波長可変フィルタ29とその印加電圧を変化させる電源部(図示省略)からなる部分を、波長可変光フィルタ部とも称する。
図18はこの発明の実施の形態6に係るガス計測装置の概略断面図を示したものである。実施の形態1の図1に示す構成と異なるところは以下の点である。図18に示す構成では、図1に示す中空ファイバ6の一部をとぐろ状に巻き、螺旋形状または巻線コイル形状にする。これにより、フィラメント16と中空ファイバ6の一端すなわち共振チョッパ18の近傍領域とは一点鎖線の軸37bに示すように同一直線上に設置されることになる。また、検出器25とレンズ24と中空ファイバ6の他端側すなわちガスサンプル導入部21の近傍領域とは一点鎖線の軸37cに示すように同一直線上に設置されることになる。なお、中空ファイバ6はとぐろ状に巻く代わりに、上記軸37bと軸37cが互いに角度をなす状態になるように中空ファイバ6を曲げてもよい。
すなわち中空ファイバ6を、例えは、光源であるフィラメント16と中空ファイバ6の一端を結ぶフィラメント16から中空ファイバ6への光軸となる軸37bと、中空ファイバ6の他端と検出器25を結ぶ中空ファイバ6の他端から検出器25への光軸となる軸37cとが、互いに角度をなすような形状とすればよい。中空ファイバ6は例えばU字形状または図19に示すようにL字形状等に曲げられたものとする。曲げた角度は90度、180度に限定されない。すなわち軸37bと軸37cの交わる角度θは図19に示すように90度であってもよいし、例えば60度であってもよい。これにより検出器25とレンズ24のある部分は、フィラメント16を有する投光部5から中空ファイバ6に沿って直線的に延びるエリア38から離れた位置に設定できる。
図18の構成例では、中空ファイバ6を巻線コイル形状またはU字形状に曲げたものとしたことにより、軸37bと軸37cが互いに180度の角をなし(平行で逆方向)かつ互いに重ならないように距離が置かれている。このような構成は、例えばL字形状の中空ファイバ6を使用した場合に比べガス計測装置の実質的な専有面積が小さく(図18の図面の縦方向の専有する長さが短い)、実際にガス計測装置を設置する上で好ましい。
より広義には、中空ファイバ6は、検出器25を投光部5の光源2から中空ファイバ6に直線的に延びるエリア38以外の位置に設置するように、例えば1箇所が曲げられた形状を有する。
Claims (9)
- 内部に測定対象のガスが導入され、曲げられた形状を有する中空ファイバと、
前記中空ファイバの一端側に配置されて前記中空ファイバの内部に光源からの光を照射する投光部と、
前記中空ファイバの5μm以上の赤外光を除去するショートウェイブパスフィルタで封止された他端側の先において前記中空ファイバの内部を通過した光を検出する検出器と、
前記検出器で検出された光に基づいて、測定対象の前記ガスを計測する計測・制御部と、
前記中空ファイバの他端と前記検出器の隙間に設けられ、前記中空ファイバの内部を通過した光のうち前記ガスの光吸収帯の光を透過する透過周波数帯域を有する光学フィルタ部と、
を備え、
前記投光部と前記一端側とは第1軸上に配置してあり、
前記検出器と前記光学フィルタ部と前記他端側とは、前記第1軸とは異なる第2軸上に配置してある、ガス計測装置。 - 前記中空ファイバの前記ショートウェイブパスフィルタと前記検出器の隙間に集光用のレンズを備える請求項1に記載のガス計測装置。
- 前記光学フィルタ部と前記検出器の間隙に前記集光用のレンズを備えた請求項2に記載のガス計測装置。
- 前記光学フィルタ部が、前記透過周波数帯域が可変なものである請求項1から3までのいずれか1項に記載のガス計測装置。
- 上記光学フィルタ部が、印加電圧を変化させると透過周波数帯域が変化する波長可変フィルタからなる請求項4に記載のガス計測装置。
- 光を断続的に遮断する回転式チョッパまたは共振式チョッパを前記投光部の前記光源と前記中空ファイバの一端側の間隙に設置した請求項1から5までのいずれか1項に記載のガス計測装置。
- 前記投光部が前記光源からの光を集光する集光部を有し、前記集光部は、測定波長を含む波長領域の光を集光する請求項1から6までのいずれか1項に記載のガス計測装置。
- 内部に測定対象のガスが導入された中空ファイバと、
前記中空ファイバの一端側に配置されて前記中空ファイバの内部に光源からの光を照射する投光部と、
前記中空ファイバの5μm以上の赤外光を除去するショートウェイブパスフィルタで封止された他端側の先において前記中空ファイバの内部を通過した光を検出する検出器と、
前記検出器で検出された光に基づいて、測定対象の前記ガスを計測する計測・制御部と、
前記中空ファイバの他端と前記検出器の隙間に設けられ、前記中空ファイバの内部を通過した光のうち前記ガスの光吸収帯の光を透過する透過周波数帯域を有する光学フィルタ部と、
を備え、
前記中空ファイバが、前記検出器を前記投光部の前記光源から前記中空ファイバに直線的に延びるエリア以外の位置に設置するように曲げられた形状を有するガス計測装置。 - 曲げられた形状を有する中空ファイバの内部に測定対象のガスを導入し、
前記中空ファイバの一端側から前記中空ファイバの内部に前記一端側と共に第1軸上にあり光源を有する投光部から光を照射し、
前記中空ファイバの5μm以上の赤外光を除去するショートウェイブパスフィルタで封止されている他端の先で、前記中空ファイバの内部を通過した光のうち、上記ガスの光吸収帯の光を透過する光学フィルタ部を透過した光を前記他端と共に前記第1軸とは異なる第2軸上にある検出器で検出し、
前記検出された光に基づいて、測定対象の前記ガスを計測する、ガス計測方法。
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