JP5874322B2 - 配線基板ユニット及びその製造方法 - Google Patents
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Description
、プローブカード基板を乾燥した環境で使用した場合、乾燥によってプリント基板が収縮してしまうことがあった。このように、使用環境の湿度によってプリント基板が膨張又は収縮すると、プローブ位置がずれて、ウェハ上方の電極とのコンタクト位置がずれしてしまう。このような場合には、半導体装置の正確な検査ができなくなることがあった。
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、配線基板ユニットが周囲の湿度の変化に影響を受け難くすることを目的とする。
前述の一般的な説明及び以下の詳細な説明は、典型例及び説明のためのものであって、本発明を限定するためのものではない。
ト部10を有する。ウェハコンタクト部10は、電極パッド11が複数配列されている。
最初に、プローブカード基板2を製造する。プローブカード基板2は、配線22が印刷されたプリント基板21を張り合わせて形成する。この後、穴あけ加工によってビアホール24を形成する。ビアホール24の内壁には、メッキ法によって導電性材料、例えば銅がメッキされ、これによって貫通電極25が形成される。さらに、最上層及び最下層のプリント基板21のそれぞれに表面にレジスト液を塗布し、パターニングして電極パッド11を形成する。この後、プリント基板21上のレジスト膜を除去する。続いて、ソルダーレジストを例えば印刷法によってプリトン基板21の上面及び下面に塗布する。ソルダーレジストは、電極パッド11の少なくとも一部が露出するようにプリント基板21上に塗布される。この後、ソルダーレジストを硬化させと、プローブカード基板2が形成される。プローブカード基板2は、例えば、外径がφ350mmに相当し、かつ厚さ2mmのサイズに形成される。
図3(a)に示すように、保護層33として、例えば、550mm×550mm、厚さ60μmのアンクラッド材41(基材)を用いる。アンクラッド材41は、例えば、配線層を形成していない樹脂基板が用いられる。即ち、アンクラッド材41は、ガラス繊維をランダムな向きに重ね合わせた母材に、エポキシ樹脂を含浸させた構成を有する。
エポキシ接着剤42によって接着されていない余分なトバモライト43を除去する。これによって、図3(d)に示すように、調湿材層32が形成される。
通常、プローブカード1は、クリーンルームなどに搬入され、不図示の半導体テスタと共にウェハWの検査に用いられる。検査対象であるウェハWには、絶縁膜や導体膜を用いて半導体素子や半導体回路が形成されており、最上層に信号の入出力や電力供給用の電極パッドなどが形成されている。ここで、電極パッドは、ウェハWの上方に多数配列されている。
めに、電極パッド11と、ウェハW上の電極パッドとの間の位置ずれを低減でき、半導体回路の検査を確実に行える。このような調湿層3に使用される調湿材の種類や形状、使用量は、使用環境の湿度に関係なくプローブカード基板2を使用に適した所定の湿度範囲に保てるものが用いられる。
さらに、調湿材を多数の球形の材料から構成したので、調湿材の表面積を多くできる。このために、吸湿量を増大させることができると共に、速やかな吸湿や放湿を実現できる。
プローブカード1のプローブカード基板2は、四角形上に限定されない。プローブカード基板2は、例えば、リング形状でも良い。この場合のプローブカード1は、外側面と内側面のそれぞれに調湿層3が設けられる。
(付記1) ガラス繊維と樹脂を有する配線基板と、前記配線基板の側面に取り付けられ、水分の吸収及び放出が可能な調湿部と、を備えることを特徴とする配線基板ユニット。(付記2) 前記調湿部は、ケイ酸カルシウム水和物又はケイ酸アルミニウム水和物の多孔質材料を含むことを特徴とする付記1に記載の配線基板ユニット。
(付記3) 前記調湿部は、前記配線基板側から順番に、接着層と、多孔質材料を有する層と、ガラス繊維及び樹脂を有する保護層とが積層されていることを特徴とする付記1又は付記2の記載の配線基板ユニット。
(付記4) 前記配線基板に、半導体回路の動作をテストするための信号を入出力する電極を形成したことを特徴とする付記1乃至付記3のいずれか一項に記載のプローブカード。
(付記5) 水分の吸収及び放出が可能な多孔質材料を基材上に接着して調湿部を形成する工程と、前記調湿部をガラス繊維と樹脂を有する配線基板の側面に接着する工程と、を備えることを特徴とする配線基板ユニットの製造方法。
(付記6) 前記多孔質材料は、ケイ酸カルシウム水和物又はケイ酸アルミニウム水和物であることを特徴とする付記5に記載の配線基板ユニットの製造方法。
(付記7) 前記調湿部を形成する工程は、ガラス繊維と樹脂を有する基材の上に接着剤を用いて、多孔質材料を接着させる工程と、前記多孔質材料の上に半硬化状態の樹脂シートを載せる工程と、を含み、前記樹脂シートを前記配線基板の側面に接着することを特徴とする付記5又は付記6に記載の配線基板ユニットの製造方法。
2 プローブカード基板(配線基板)
2A 外側面
3 調湿層(調湿部)
31 接着層
32 調湿材層
33 保護層
41 アンクラッド材(基材)
42 エポキシ接着剤
43 トバモライト(多孔質物質)
45 エポキシ樹脂シート
Claims (5)
- ガラス繊維と樹脂を有し、前記ガラス繊維が前記樹脂内にランダムな向きに混入された配線基板と、
前記配線基板の側面に取り付けられ、外部の湿度変化に伴って水分の吸収と、外部及び前記配線基板への水分の放出が可能な調湿部と、
を備えることを特徴とする配線基板ユニット。 - 前記調湿部は、ケイ酸カルシウム水和物又はケイ酸アルミニウム水和物の多孔質材料を含むことを特徴とする請求項1に記載の配線基板ユニット。
- 前記調湿部は、前記配線基板側から順番に、接着層と、多孔質材料を有する層と、ガラス繊維及び樹脂を有する保護層とが積層されていることを特徴とする請求項1又は請求項2の記載の配線基板ユニット。
- 外部の湿度変化に伴って水分の吸収と、外部及び前記配線基板への水分の放出が可能な多孔質材料を基材上に接着して調湿部を形成する工程と、
前記調湿部をガラス繊維と樹脂を有し、前記ガラス繊維が前記樹脂内にランダムな向きに混入された配線基板の側面に接着する工程と、
を備えることを特徴とする配線基板ユニットの製造方法。 - 前記多孔質材料は、ケイ酸カルシウム水和物又はケイ酸アルミニウム水和物であることを特徴とする請求項4に記載の配線基板ユニットの製造方法。
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