JP5868626B2 - 光学測定用セル及び光学分析計 - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 41
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 44
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 41
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 41
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 35
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 27
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 21
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 22
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 4
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 4
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical group [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 3
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 3
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 3
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000861 Mg alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004847 absorption spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000009795 derivation Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- -1 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000007790 scraping Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Optical Measuring Cells (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
H・・・配管
2・・・光学測定用セル
3・・・光源
4・・・光検出器
5・・・流路
51・・・大流路部
52・・・小流路部
6・・・セルブロック
6m、6n・・・一対の側面
6A、6B・・・固定孔
7・・・光導入面
8・・・光導出面
9・・・光導入部材
12・・・光導出部材
15m、15n・・・一対の固定部材
16・・・押圧機構
161・・・ねじ部材
17・・・スペーサ
Claims (5)
- 被測定液が流れる流路が内部に形成されたセルブロックと、
前記セルブロックに設けられ、前記セルブロックの外部からの光を前記流路に導入する光導入面と、
前記セルブロックにおいて前記光導入面に対向して設けられ、前記流路を通過した光を前記セルブロックの外部に導出する光導出面と、
前記セルブロックを前記光導入面及び前記光導出面の対向方向から押圧する押圧機構と、
前記光導入面及び前記光導出面の間に設けられたスペーサと、
前記光導入面が形成された光導入部材と、
前記光導出面が形成された光導出部材と、
前記セルブロックにおいて、前記光導入面及び前記光導出面の対向方向に互いに向き合う一対の側面に設けられた一対の固定部材とを備え、
前記押圧機構が、前記一対の固定部材を前記対向方向から前記セルブロックに押圧することにより、前記一対の固定部材が、前記セルブロックを介さずに前記光導入部材及び前記光導出部材を前記対向方向から押圧し、前記スペーサの対向する面の一方に前記光導入面が押圧されるとともに他方に前記光導出面が押圧される光学測定用セル。 - 前記押圧機構が、一端が一方の固定部材に作用し他端が他方の固定部材に作用して、前記一対の固定部材を前記対向方向に締め付けるねじ部材を有しており、
前記ねじ部材の熱膨張係数が、前記セルブロックの熱膨張係数よりも小さい請求項1記載の光学測定用セル。 - 前記光導入部材及び前記光導出部材が、前記セルブロックに設けられた固定孔に挿入されるとともに、前記固定部材に設けられた押さえ部材により位置決めされる請求項1又は2記載の光学測定用セル。
- 前記流路が、大流路部とこれに連続して並んで設けられた小流路部とを有し、
前記光導入面及び前記光導出面が、少なくとも前記小流路部において対向して設けられている請求項1乃至3の何れかに記載の光学測定用セル。 - 請求項1乃至4の何れかに記載の光学測定用セルと、
前記光学測定用セルに対して光を照射する光源と、
前記光学測定用セルを透過した光を検出する光検出器とを有する光学分析計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011161357A JP5868626B2 (ja) | 2011-07-22 | 2011-07-22 | 光学測定用セル及び光学分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011161357A JP5868626B2 (ja) | 2011-07-22 | 2011-07-22 | 光学測定用セル及び光学分析計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013024780A JP2013024780A (ja) | 2013-02-04 |
JP5868626B2 true JP5868626B2 (ja) | 2016-02-24 |
Family
ID=47783286
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011161357A Active JP5868626B2 (ja) | 2011-07-22 | 2011-07-22 | 光学測定用セル及び光学分析計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5868626B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6197093B1 (ja) * | 2016-12-13 | 2017-09-13 | 日科ミクロン株式会社 | オゾン濃度測定装置 |
JP6197094B1 (ja) * | 2016-12-13 | 2017-09-13 | 日科ミクロン株式会社 | オゾン濃度測定装置 |
JP7518712B2 (ja) | 2020-09-28 | 2024-07-18 | 株式会社堀場エステック | 光学測定用セル、及び、光学分析装置 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52139856A (en) * | 1977-01-14 | 1977-11-22 | Fuji Heavy Ind Ltd | Connecting device for parts being subjected to the effect of thermal expansion |
ATE60133T1 (de) * | 1987-07-22 | 1991-02-15 | Ciba Geigy Ag | Prozesskuevette. |
EP0302009A1 (de) * | 1987-07-22 | 1989-02-01 | Ciba-Geigy Ag | Prozessküvette |
JPH0712713A (ja) * | 1993-06-21 | 1995-01-17 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 透過光測定用フローセル |
JPH0763678A (ja) * | 1993-08-31 | 1995-03-10 | Olympus Optical Co Ltd | 流体濃度測定用検出器 |
JPH0868746A (ja) * | 1994-08-29 | 1996-03-12 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 透過光測定用フローセル |
JP3299102B2 (ja) * | 1995-01-31 | 2002-07-08 | 株式会社堀場製作所 | 半導体特殊ガス用赤外線ガス分析計 |
JPH09264845A (ja) * | 1996-03-28 | 1997-10-07 | Tokimec Inc | 吸光光度計 |
US7027147B2 (en) * | 2001-03-19 | 2006-04-11 | E. I. Dupont De Nemours And Company | Method and apparatus for measuring the color properties of fluids |
US7307717B2 (en) * | 2005-09-16 | 2007-12-11 | Lockheed Martin Corporation | Optical flow cell capable of use in high temperature and high pressure environment |
JP2011257146A (ja) * | 2010-06-04 | 2011-12-22 | Horiba Ltd | 光学測定用セル |
-
2011
- 2011-07-22 JP JP2011161357A patent/JP5868626B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013024780A (ja) | 2013-02-04 |
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A977 | Report on retrieval |
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