JP5867803B2

JP5867803B2 - 圧電材、電子部品及び圧電材の製造方法

Info

Publication number: JP5867803B2
Application number: JP2011187268A
Authority: JP
Inventors: 柿本　健一; 健一柿本; 啓介深田; 傑稔小川; 宏仁森; 良一廣井
Original assignee: Otsuka Chemical Co Ltd; Nagoya Institute of Technology NUC
Current assignee: Otsuka Chemical Co Ltd; Nagoya Institute of Technology NUC
Priority date: 2011-08-30
Filing date: 2011-08-30
Publication date: 2016-02-24
Anticipated expiration: 2031-08-30
Also published as: JP2013051252A

Description

本発明は、圧電材、それを備える電子部品及び圧電材の製造方法に関する。

従来、発電素子やアクチュエータなどに、圧電材料を用いた圧電素子が広く用いられている。圧電材料としては、圧電定数が大きなチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）が広く用いられてきた。しかしながら、ＰＺＴは、環境規則による削減対象物質である鉛を含む材料である。このため、ＰＺＴに替わる圧電材料が強く求められている。

例えば特許文献１には、ＰＺＴ以外の圧電材料として、フッ化ビニリデンとクロロトリフルオロエチレンとの重合比が９７／３〜９４／６とされたシート状の共重合体からなり、延伸倍率が１．５〜２．５倍となるように共重合体が延伸処理されてなる電歪高分子材料が記載されている。特許文献１には、特許文献１に記載の電歪高分子材料では、低電界の印加で所望の歪み量を得ることができる旨が記載されている。

特開２０１０−１８６８４９号公報特開平９−３１２４４号公報特開２００３−８１６３６号公報

しかしながら、印加電界が低いときの歪み量をさらに大きくしたいという要望がある。

本発明は、印加電界が低いときの歪み量が大きな圧電材を提供することを主な目的とする。

本発明に係る圧電材は、圧電性高分子と、圧電性高分子中に分散しており、一般式ｎＭＯ・ＴｉＯ_２（式中、Ｍは１種又は２種以上の二価の金属元素であり、ｎは０＜ｎ≦１を満たす実数である。）で表わされる繊維状のチタン酸金属塩粒子及び平板状のチタン酸金属塩粒子の少なくとも一方のチタン酸金属塩粒子とを含む。

チタン酸金属塩粒子の配合量は、圧電性高分子とチタン酸金属塩粒子の合計体積に対して５体積％〜８０体積％であることが好ましい。

Ｍは、１種又は２種以上のアルカリ土類金属元素であることが好ましい。

圧電性高分子がポリフッ化ビニリデンであることが好ましい。

本発明に係る圧電材は、延伸処理されてなるものであることが好ましい。

チタン酸金属塩粒子の配向度は、２０％以上であることが好ましい。

本発明に係る電子部品は、上記本発明に係る圧電材を備えている。

本発明に係る電子部品は、圧電素子であってもよい。

本発明に係る圧電材の製造方法では、一般式ｎＭＯ・ＴｉＯ_２（式中、Ｍは１種又は２種以上の二価の金属元素であり、ｎは０＜ｎ≦１を満たす実数である。）で表わされる繊維状のチタン酸金属塩粒子及び平板状のチタン酸金属塩粒子の少なくとも一方を含む圧電性高分子材を延伸することにより圧電材を得る。

本発明によれば、印加電界が低いときの歪み量が大きな圧電材を提供することができる。

本発明の一実施形態に係る圧電素子の略図的断面図である。実施例及び比較例で作製した測定サンプルの模式的斜視図である。実施例１，４及び比較例１，４における印加電界と発生した歪み量との関係を表すグラフである。実施例２，５及び比較例２，４における印加電界と発生した歪み量との関係を表すグラフである。実施例３，６及び比較例３，４における印加電界と発生した歪み量との関係を表すグラフである。

以下、本発明を実施した好ましい形態の一例について説明する。但し、下記の実施形態は、単なる例示である。本発明は、下記の実施形態に何ら限定されない。

実施形態等において参照する図面は、模式的に記載されたものであり、図面に描画された物体の寸法の比率などは、現実の物体の寸法の比率などとは異なる場合がある。図面相互間においても、物体の寸法比率等が異なる場合がある。具体的な物体の寸法比率等は、以下の説明を参酌して判断されるべきである。

図１は、本実施形態に係る圧電素子の略図的断面図である。図１に示す圧電素子１は、電圧が印加された際に変形したり、変形した際に電荷を生じさせたりする素子である。圧電素子１は、例えば、アクチュエータや発電素子等に利用することができる。

圧電素子１は、圧電材１０を備えている。本実施形態では、圧電材１０は、板状またはシート状に設けられている。圧電材１０の厚みは、例えば、２０μｍ〜１ｍｍ程度であることが好ましく、５０μｍ〜２００μｍ程度であることがより好ましい。

圧電素子１には、圧電材１０に電圧を印加する第１及び第２の電極１１，１２が設けられている。具体的には、第１の電極１１は、圧電材１０の第１の主面１０ａの上に配されている。第２の電極１２は、圧電材１０の第２の主面１０ｂの上に配されている。即ち、圧電材１０は、第１及び第２の電極１１，１２により挟持されている。

第１及び第２の電極１１，１２は、例えばＡｇ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ａｕ、Ｐｔなどの金属や合金などの適宜の導電材料により構成することができる。

圧電材１０は、有機・無機ハイブリッド材料からなる有機・無機ハイブリッド圧電材である。具体的には、圧電材１０は、圧電性高分子と、チタン酸金属塩粒子とを含む。

圧電性高分子は、圧電特性を示す高分子である。圧電性高分子は、高分子内の双極子が揃い自発分極方向を揃えることができる高分子であることが好ましい。好ましく用いられる圧電性高分子の具体例としては、例えば、ポリフッ化ビニリデン、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンの共重合体、フッ化ビニリデンと三フッ化ビニリデンの共重合体、フッ化ビニリデンとクロロトリフルオロエチレンの共重合体、ビニリデンシアナイド酢酸ビニル共重合体、ポリ乳酸、及び側鎖に強誘電液晶を導入した側鎖型サーモトロピック液晶ポリマーなどが例示できる。なかでもポリフッ化ビニリデン、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンの共重合体、フッ化ビニリデンと三フッ化ビニリデンの共重合体が圧電性高分子としてより好ましく用いられる。圧電材１０は、１種の圧電性高分子のみを含んでいてもよいし、複数種類の圧電性高分子を含んでいてもよい。

チタン酸金属塩粒子は、圧電性高分子中に分散している。チタン酸金属塩粒子は、一般式ｎＭＯ・ＴｉＯ_２（式中、Ｍは１種又は２種以上の二価の金属元素であり、ｎは０＜ｎ≦１を満たす実数である。）で表わされる。一般式ｎＭＯ・ＴｉＯ_２の式中のＭは、１種又は２種以上のアルカリ土類金属元素であることが好ましく、Ｂａ及びＳｒのうちの少なくとも一種であることがより好ましい。

圧電材１０は、繊維状のチタン酸金属塩粒子及び平板状のチタン酸金属塩粒子のうちの少なくとも一方を含む。繊維状のチタン酸金属塩粒子のアスペクト比（繊維長／繊維径）は、３以上であることが好ましく、４〜１００であることが好ましい。繊維状のチタン酸金属塩粒子の繊維径は、０．０１μｍ〜１０μｍであることが好ましく、０．１μｍ〜５μｍであることがより好ましい。繊維状のチタン酸金属塩粒子の繊維径が大きすぎると、圧電材１０の成形が困難となる場合がある。

平板状のチタン酸金属塩粒子のアスペクト比（最大径／厚さ）は、２以上であることが好ましく、３〜１０であることがより好ましい。平板状のチタン酸金属塩粒子の粒子径は、０．５μｍ〜１００μｍであることが好ましく、１μｍ〜５０μｍであることがより好ましい。平板状のチタン酸金属塩粒子の粒子径が大きすぎると、圧電材１０の成形が困難となる場合がある。

圧電材１０は、１種のチタン酸金属塩粒子のみを含んでいてもよいし、複数種類のチタン酸金属塩粒子を含んでいてもよい。

本実施形態において好ましく用いられるチタン酸金属塩粒子は、例えば特許文献２や特許文献３に記載の方法に従い製造することができる。具体的には、チタン酸金属塩粒子は、例えば、繊維長と繊維径の比が３以上、好ましくは３以上１０未満であり繊維形状を有する一般式ＴｉＯ_２・ｍＨ_２Ｏ（式中ｍは０≦ｍ≦８）で表される成分が９０％以上である繊維状チタニア化合物を原料として製造することができる。より具体的には、繊維状チタニア化合物を水もしくは各種有機溶媒等の分散媒に分散させてスラリーとした後、一種又は二種以上の金属元素Ｍの化合物溶液を該スラリーに添加し撹拌する。金属元素Ｍの化合物としては、金属元素Ｍのハロゲン化物、硝酸塩、硫酸塩、リン酸塩、ギ酸塩、シュウ酸塩、水酸化物、次亜塩素酸塩、過塩素酸塩等が好ましく用いられる。金属元素Ｍの化合物は、各金属元素Ｍに対して１種であってもよいし、２種以上であってもよい。金属元素Ｍの化合物が液状でない場合には溶解させて溶液として用いてもよい。溶媒としては、水又は各種の有機溶媒を用いることができる。金属元素Ｍの添加量は、繊維状チタニア化合物１モルに対して１以下となるようにする。次に、炭酸イオンを含有する溶液を撹拌しながら添加するか、又は撹拌下の溶液に炭酸ガスを吹き込むことにより原料の繊維状チタニア化合物の表面に金属化合物の炭酸塩を沈着することができる。この際、反応中の溶液のｐＨを、アンモニア等のアルカリ性溶液を用いて８〜１０の弱アルカリ性に調整することが好ましい。これにより、生成した炭酸塩の溶解を抑制して最終目的物を得ることができる。次に、上記炭酸塩が沈着された繊維状チタニア化合物を、適宜濾別、水洗、乾燥した後、５００℃〜１３００℃、好ましくは７００℃〜１１００℃程度の温度で３分〜２４時間程度加熱処理することにより繊維状チタン酸金属塩粒子を得ることができる。

圧電材１０において、チタン酸金属塩粒子の配合量は、得ようとする圧電材１０の圧電性や電歪性等に応じて適宜設定することができる。チタン酸金属塩粒子の配合量は、圧電性高分子とチタン酸金属塩粒子の合計体積に対して５体積％〜８０体積％であることが好ましい。圧電性高分子とチタン酸金属塩粒子の合計体積に対するチタン酸金属塩粒子の配合量の下限値は、１０体積％であることがより好ましく、１５体積％であることがさらに好ましい。圧電性高分子とチタン酸金属塩粒子の合計体積に対するチタン酸金属塩粒子の配合量の上限値は、４０体積％であることがより好ましく、３０体積％であることがさらに好ましい。チタン酸金属塩粒子の配合量が、圧電性高分子とチタン酸金属塩粒子の合計体積に対して少なすぎると、電歪性や圧電性が低くなりすぎる場合がある。チタン酸金属塩粒子の配合量が、圧電性高分子とチタン酸金属塩粒子の合計体積に対して多すぎると、圧電材１０の成形が困難となったり、圧電材１０の強度が低くなりすぎたりする場合がある。

圧電材１０におけるチタン酸金属粒子の配向度は、２０％以上であることが好ましく、３０％以上であることが好ましい。このような高い配向度を実現するために、圧電材１０は、延伸処理されてなるものであることが好ましく、３倍以上に延伸処理されてなるものであることがより好ましく、３倍〜５倍に延伸処理されてなるものであることがさらに好ましい。

なお、圧電材１０は、圧電性高分子及びチタン酸金属塩粒子のみからなるものであってもよいが、圧電性高分子及びチタン酸金属塩粒子に加えて本発明の効果を損なわない範囲で他の成分を含んでいてもよい。

例えば、圧電材１０には、圧電性高分子とチタン酸金属塩粒子の界面の親和性や接合性を向上させ、機械的強度を改善するために、シラン系カップリング剤、チタネート系カップリング剤、ジルコアルミネート系カップリング剤等のカップリング剤が配合されていてもよい。

例えば、圧電材１０には、メッキ性を改良するために、タルク、ピロリン酸カルシウム等の微粒子性充填剤が配合されていてもよい。

例えば、圧電材１０には、熱安定性を改善するための酸化防止剤が配合されていてもよい。

例えば、圧電材１０には、耐光性を改良するために紫外線吸収剤等の光安定剤が配合されていてもよい。

例えば、圧電材１０には、難燃性を改善するためにリン系等の難燃剤、及びホウ酸亜鉛、メタホウ酸バリウム等の難燃助剤が配合されていてもよい。

例えば、圧電材１０には、耐衝撃性を改良するために耐衝撃性付与剤が配合されていてもよい。

例えば、圧電材１０には、潤滑性を改良するために滑剤、摺動性改良剤（固体潤滑剤、液体潤滑剤）が配合されていてもよい。

例えば、圧電材１０には、電気伝導度を改善するためにカーボンブラック等の導電剤が配合されていてもよい。

例えば、圧電材１０には、着色するために染料、顔料などの着色剤が配合されていてもよい。

例えば、圧電材１０には、物性を調整するために可塑剤、架橋剤等の添加剤が配合されていてもよい。

例えば、圧電材１０には、ガラスファイバー、チタン酸カリウムウィスカー等のチタン酸アルカリ金属繊維、酸化チタン繊維、ホウ酸マグネシウムウィスカーやホウ酸アルミニウムウィスカー等のホウ酸金属塩系繊維、ケイ酸亜鉛ウィスカーやケイ酸マグネシウムウィスカー等のケイ酸金属塩系繊維、カーボンファイバー、アルミナ繊維、アラミド繊維等各種の有機又は無機の充填材が配合されていてもよい。

圧電材１０は、例えば以下のような製造方法により製造することができる。まず、圧電性高分子とチタン酸金属塩粒子とを含む母材を作製する。例えば、圧電性高分子とチタン酸金属塩粒子とを含むペーストをスピンコーティング法、ドクターブレード法等により塗布し、乾燥させることによって母材を作製することができる。また、チタン酸金属塩粒子と圧電性高分子とを混練した後に、射出成形または押出成形することにより母材を作製してもよい。

なお、母材の形状寸法は、特に限定されない。母材は、板状、シート状、フィルム状、ペレット状、棒状等の形状を有していてもよい。

次に、母材を延伸処理することにより、圧電材１０を製造することができる。延伸倍率は、３倍以上であることが好ましく、３倍〜５倍であることがさらに好ましい。延伸倍率とは、延伸前の延伸方向の長さＬに対して延伸後の長さＬ’からＬ’／Ｌにより算出される値である。

以上説明したように、本実施形態では、圧電材１０は、圧電性高分子と、一般式ｎＭＯ・ＴｉＯ_２（式中、Ｍは１種又は２種以上の二価の金属元素であり、ｎは０＜ｎ≦１を満たす実数である。）で表わされる繊維状のチタン酸金属塩粒子及び平板状のチタン酸金属塩粒子の少なくとも一方のチタン酸金属塩粒子とを含む。このため、圧電材１０の印加電界が低いときの歪み量を大きくすることができる。よって、本実施形態の圧電素子１を用いることにより、例えば小さな振動が加わった際にも発電可能な発電素子、定電圧駆動が可能なアクチュエータ、高感度なセンサーなどを実現することができる。

また、圧電材１０は、圧電性高分子のみからなる圧電材や、球状の圧電結晶を含む圧電性高分子からなる圧電材よりも大きな電歪定数及び圧電定数を有する。

また、チタン酸金属塩粒子の配合量を調整したり、延伸倍率を調整したりすることにより、圧電材１０の電歪定数、圧電定数を調整することができる。このため、例えば、チタン酸金属塩粒子の配合量を変化させることなく、延伸倍率を調整することにより圧電材１０の電歪定数、圧電定数を調整することも可能である。よって、例えばチタン酸金属塩粒子の配合量を少なくし、延伸倍率を高くすることによって、柔軟性に優れ、且つ高い電歪定数、圧電定数を有する圧電材１０を実現することができる。

圧電材１０の電歪定数、圧電定数を高くする観点からは、チタン酸金属塩粒子の配合量が、圧電性高分子とチタン酸金属塩粒子の合計体積に対して５体積％以上であることが好ましく、１０体積％以上であることがより好ましく、１５体積％以上であることがさらに好ましい。但し、チタン酸金属塩粒子の配合量が、圧電性高分子とチタン酸金属塩粒子の合計体積に対して多すぎると、圧電材１０の柔軟性や強度が悪化する場合がある。このため、チタン酸金属塩粒子の配合量は、圧電性高分子とチタン酸金属塩粒子の合計体積に対して８０体積％以下であることが好ましく、４０体積％以下であることがより好ましく、３０体積％以下であることがさらに好ましい。

圧電材１０の電歪定数、圧電定数を高くする観点からは、圧電材１０の延伸倍率は、３倍以上であることが好ましい。但し、圧電材１０の延伸倍率が高すぎると、圧電材１０の成形が困難になったり、圧電材１０に含有させることができるチタン酸金属塩粒子の量が少なくなったりする場合がある。このため、圧電材１０の延伸倍率は、５倍以下であることが好ましい。

圧電材１０の電歪定数、圧電定数を高くする観点からは、チタン酸金属塩粒子が繊維状である場合は、チタン酸金属塩粒子のアスペクト比は、３以上であることが好ましく、４以上であることがより好ましい。但し、繊維状のチタン酸金属塩粒子のアスペクト比が大きすぎると、圧電材１０の製造が困難になる場合がある。従って、繊維状のチタン酸金属塩粒子のアスペクト比は、１００以下であることが好ましく、２０以下であることがより好ましい。

チタン酸金属塩粒子が平板状である場合は、チタン酸金属塩粒子のアスペクト比は、２以上であることが好ましく、３以上であることがより好ましい。但し、平板状のチタン酸金属塩粒子のアスペクト比が大きすぎると、圧電材１０の製造が困難になる場合がある。従って、平板状のチタン酸金属塩粒子のアスペクト比は、２０以下であることが好ましく、１０以下であることがより好ましい。

圧電材１０の電歪定数、圧電定数を高くする観点からは、圧電材１０の配向度は、２０％以上であることが好ましく、３０％以上であることがより好ましい。

また、電歪定数、圧電定数を高くする観点から、圧電材１０は、圧電性高分子として、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）を含むことが好ましい。

さらに、圧電材１０は、チタン酸金属塩粒子等が分散した圧電性高分子により構成されているため、チタン酸金属塩のみからなる圧電材１０とは異なり、所望の形状に成形することが容易である。圧電材１０は、例えば、シート状、フィルム状、板状、バルク状等の任意の形状に容易に成形することができる。

なお、本実施形態では、本発明を実施した好ましい形態の一例として、圧電素子１を例に挙げたが、本発明に係る電子部品は、圧電素子に限定されない。本発明に係る電子部品は、例えば、エレクトレット、発電モジュール等であってもよい。

本発明において、圧電材は、平板状でなくてもよく、例えば曲板状等であってもよい。

以下、本発明について、具体的な実施例に基づいて、さらに詳細に説明するが、本発明は以下の実施例に何ら限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲において適宜変更して実施することが可能である。

［合成例１（繊維状チタン酸バリウム粒子の製造）］
繊維状チタニア（ＴｉＯ_２、平均繊維長１０μｍ、平均繊維径０．３μｍ）２０．０ｇ（０．２５モル）を１リットルの脱イオン水に分散させ、攪拌しながら無水水酸化バリウム粉末２０ｇ（０．２３モル）をスラリーに添加した。室温（２０℃）で３０分撹拌した後、炭酸ガスを６０ｍＬ／ｍｉｎの流量でスラリーへ１２０分間バブリングした後、更に３０分間攪拌を続けた後、固形物を濾取し、水洗及び乾燥したところ白色の繊維状物６４ｇを得た。この繊維状物３０ｇをアルミナ製るつぼに入れ、大気雰囲気下で９８０℃にて２時間加熱処理し、白色の繊維状チタン酸バリウム粒子２５ｇを得た。この繊維状チタン酸バリウム粒子は、平均繊維径０．８μｍ、平均繊維長４μｍ、平均アスペクト比５、比重６．０２ｇ／ｃｃであった。

（実施例１〜３）
ジメチルスルホキシド２０ｍＬにポリフッ化ビニリデン（商品名：マルボーＦ２、タキロン株式会社製）０．５ｇを加え、１４０℃で５時間保持することで、ポリフッ化ビニリデン溶液を得た。ポリフッ化ビニリデン溶液に合成例１で得た繊維状チタン酸バリウム粒子を、下記の表１に記載の量だけ混合したのち、攪拌脱泡機（商品名：自転・公転ミキサー／あわとり錬太郎ＡＲＥ−３１０、株式会社シンキー製）を用いて、室温（２０℃）にて、回転数２０００ｒｐｍで１分間攪拌し、回転数２５００ｒｐｍで３０秒間脱泡しコーティング溶液を調製した。

ガラス基板上にコーティング溶液３ｃｃを滴下し、回転数４００ｒｐｍで３０秒間スピンコーティングを行い、その後１４０℃で２０分間乾燥することにより、厚さ５０μｍのフィルムを得た。得られたフィルムを１０ｍｍ×１０ｍｍの形状にカットし、１０枚重ねた後、１５０℃に設定した加熱延伸機（商品名：１９Ａ８、株式会社井元製作所製）で厚さ３００μｍのシートを調製した。シートを９０℃に設定した加熱延伸機（商品名：１９Ａ８、株式会社井元製作所製）を用いて一軸延伸（延伸倍率：３倍）を行い厚さ１００μｍのフィルムを得た。

（実施例４〜６）
ジメチルスルホキシド２０ｍＬにポリフッ化ビニリデン（商品名：マルボーＦ２、タキロン株式会社製）０．５ｇを加え、１４０℃で５時間保持することで、ポリフッ化ビニリデン溶液を得た。ポリフッ化ビニリデン溶液に合成例１で得た繊維状チタン酸バリウム粒子を、下記の表１に記載の量だけ混合したのち、攪拌脱泡機（商品名：自転・公転ミキサー／あわとり錬太郎ＡＲＥ−３１０、株式会社シンキー製）を用いて、室温（２０℃）にて、回転数２０００ｒｐｍで１分間攪拌し、回転数２５００ｒｐｍで３０秒間脱泡しコーティング溶液を調製した。

ガラス基板上に長さ２００ｍｍまで一方向に走査しつつコーティング溶液３ｃｃを連続的に滴下し、その後１４０℃で２０分間乾燥し、厚さ１５０μｍフィルムを得た。得られたフィルムを１０×１０ｍｍの形状にカットし、４枚重ねた後、１５０℃に設定した加熱延伸機（商品名：１９Ａ８、株式会社井元製作所製）で厚さ３００μｍのシートを調製した。シートを９０℃に設定した加熱延伸機（商品名：１９Ａ８、株式会社井元製作所製）で一軸延伸（延伸倍率：３倍）を行い厚さ１００μｍのフィルムを得た。

（比較例１〜３）
合成例１で得た繊維状チタン酸バリウム粒子に換えて、球状チタン酸バリウム粒子（平均粒子径１．２μｍ、純度９８％、キシダ化学株式会社製）を用いたこと以外は、実施例１〜３と同様にして厚さ１００μｍのフィルムを得た。

（比較例４）
合成例１で得た繊維状チタン酸バリウム粒子を混合しなかったこと以外は、実施例１〜３と同様にして厚さ１００μｍのフィルムを得た。

［圧電定数ｄ_３１及び電歪定数Ｍ_３１の測定方法］
実施例１〜６及び比較例１〜４のそれぞれにおいて作製したフィルムを５ｍｍ×１４ｍｍの形状にカット後、フィルムの両主面のそれぞれの幅１ｍｍの周縁部を除いた中央部に電極を取り付けることにより測定サンプルを調製した。図２に測定サンプルの模式図を示す。図２に示すように、測定サンプル２０は、フィルム２１と、フィルム２１の両主面の上に配された一対の電極２２とを有する。電極２２の端部からフィルム２１の端部までの距離は１ｍｍである。フィルム２１の延伸方向は、フィルム２１の長手方向と一致している。

次に、各測定サンプルに、強誘電体テスター（商品名：ＴＦＡｎａｌｙｚｅｒ２０００、ａｉｘＡＣＣＴ社製）を用いて、表１に記載の各電圧を印加し、ひずみゲージ（ＫＦＧ−１−１２０−Ｃ１−１１Ｎ３０Ｃ２、共和電業社製）を用いて発生するひずみを測定し、圧電定数ｄ_３１及び電歪定数Ｍ_３１を算出した。結果を表１及び図３〜図５に示す。

なお、圧電定数ｄ_３１とは、延伸方向と一致する３１方向における圧電定数である。電歪定数Ｍ_３１とは、延伸方向と一致する３１方向における電歪定数である。

［配向度の測定方法］
実施例１〜６及び比較例１〜４のそれぞれにおいて作製したフィルムの表面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）（商品名：Ｍｉｇｈｔｙ−８、株式会社テクネックス工房製）を用いて観察した。観察部位を写真撮影し、その写真の中からランダムに２５０個のチタン酸バリウム粒子をピックアップした。画像解析ソフト（商品名：Ｃａｎｖａｓ９、日本ポラデジタル株式会社製）を用いて、フィルム延伸方向を主軸としたチタン酸バリウム粒子の長軸方向の傾き角度を測定し、角度が３０°未満である個数割合を算出しチタン酸バリウム粒子の配向度（％）とした。結果を表１に示す。

表１及び図３〜図５に示す結果から、圧電性高分子と、圧電性高分子中に分散しており、一般式ｎＭＯ・ＴｉＯ_２（式中、Ｍは１種又は２種以上の二価の金属元素であり、ｎは０＜ｎ≦１を満たす実数である。）で表わされる繊維状のチタン酸金属塩粒子及び平板状のチタン酸金属塩粒子の少なくとも一方のチタン酸金属塩粒子を含むフィルムは、球状のチタン酸金属塩粒子を含むフィルムや、チタン酸金属塩粒子を含まないフィルムよりも印加電界が低いときの歪み量が大きく、かつ電歪定数も大きいことが分かる。

１…圧電素子
１０…圧電材
１０ａ、１０ｂ…圧電材の主面
１１，１２…電極

Claims

圧電性高分子と、
前記圧電性高分子中に分散しており、一般式ｎＭＯ・ＴｉＯ_２（式中、Ｍは１種又は２種以上の二価の金属元素であり、ｎは０＜ｎ≦１を満たす実数である。）で表わされる繊維状のチタン酸金属塩粒子及び平板状のチタン酸金属塩粒子の少なくとも一方のチタン酸金属塩粒子と、
を含み、一軸延伸処理されてなり、前記チタン酸金属塩粒子の配合量が、前記圧電性高分子と前記チタン酸金属塩粒子の合計体積に対して５体積％〜３０体積％であり、前記チタン酸金属塩粒子の配向度が２０％以上である、圧電材。
Ｍは、１種又は２種以上のアルカリ土類金属元素である、請求項１に記載の圧電材。
前記圧電性高分子がポリフッ化ビニリデンである、請求項１または２に記載の圧電材。
請求項１〜３のいずれか一項に記載の圧電材を備える、電子部品。
圧電素子である、請求項４に記載の電子部品。
一般式ｎＭＯ・ＴｉＯ_２（式中、Ｍは１種又は２種以上の二価の金属元素であり、ｎは０＜ｎ≦１を満たす実数である。）で表わされる繊維状のチタン酸金属塩粒子及び平板状のチタン酸金属塩粒子の少なくとも一方を、チタン酸金属塩粒子の配合量が、圧電性高分子とチタン酸金属塩粒子の合計体積に対して５体積％〜３０体積％となるように含む圧電性高分子材を、前記チタン酸金属塩粒子の配向度が２０％以上となるように一軸延伸することにより圧電材を得る、圧電材の製造方法。