JP5861276B2 - 適応型オンツール質量流量コントローラ調整 - Google Patents
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Description
105 入力信号
115 デジタルコントローラ
125 制御弁
135 主流動ライン
145 熱センサ
155 圧力センサ
165 増幅器
175 アナログ/デジタル変換器
185 質量流量コントローラメモリ
195 バイパス
202 開始
212 質量流量コントローラを50%超の設定点において非製造調整ガスで動作させること(ステップ)
222 質量流量コントローラからのデータを質量流量コントローラメモリに記録すること(ステップ)
232 記録されたデータを補正アルゴリズムで分析すること(ステップ)
242 1つまたは複数の非製造調整ガスパラメータを計算すること(ステップ)
252 1つまたは複数の非製造調整ガスパラメータを質量流量コントローラメモリに保存すること(ステップ)
262 非製造調整ガスを伴う少なくとも1つの将来の質量流量コントローラ動作において1つまたは複数の非製造調整ガスパラメータを使用すること(ステップ)
272 終了
282 設定点を0%に変えること(ステップ)
404 第1の動作期間
414 第2の動作期間
424 第1のアイドルモード
434 第2のアイドルモード
502 開始
503 質量流量コントローラをゼロ設定点に設定すること(ステップ)および質量流量コントローラが弁オーバーライド制御モードにある間は弁をゼロ位置に設定すること(ステップ)の1つ
513 入り口圧力を変えること(ステップ)
523 質量流量コントローラ内に寄生流動を生成すること(ステップ)
533 質量流量コントローラ流量データおよび圧力データを測定すること(ステップ)
542 1つまたは複数の非製造調整ガスパラメータを計算すること(ステップ)
543 質量流量コントローラ流量データおよび圧力データを質量流量コントローラメモリに保存すること(ステップ)
552 1つまたは複数の非製造調整ガスパラメータを質量流量コントローラメモリに保存すること(ステップ)
553 流量データおよび圧力データを補正アルゴリズムで分析すること(ステップ)
562 非製造調整ガスを伴う少なくとも1つの将来の質量流量コントローラ動作において1つまたは複数の非製造調整ガスパラメータを使用すること(ステップ)
572 終了
Claims (18)
- 非製造調整ガスについての質量流量コントローラの流量データを提供する方法であって、
前記質量流量コントローラを50%超の設定点において前記非製造調整ガスで動作させること(ステップ)と、
前記質量流量コントローラからのデータを質量流量コントローラメモリに記録すること(ステップ)と、
前記設定点を0%に変えること(ステップ)と、
前記記録されたデータを分析すること(ステップ)と、
前記データを使用して、前記非製造調整ガスについての流量データを補正するデジタルフィルタのパラメータである非製造調整ガス補正アルゴリズムパラメータの1つまたは複数を計算すること(ステップ)と、
前記1つまたは複数の非製造調整ガス補正アルゴリズムパラメータを質量流量コントローラメモリに保存すること(ステップ)と、
前記非製造調整ガスを伴う少なくとも1つの将来の質量流量コントローラ動作において前記1つまたは複数の非製造調整ガス補正アルゴリズムパラメータを使用すること(ステップ)とを含み、
前記ステップは何れも、前記質量流量コントローラが備えるデジタルコントローラによって行われる、方法。 - 前記質量流量コントローラからのデータを質量流量コントローラメモリに記録する前記ステップと、前記記録されたデータを分析する前記ステップと、1つまたは複数の非製造調整ガス補正アルゴリズムパラメータを計算する前記ステップと、前記1つまたは複数の非製造調整ガス補正アルゴリズムパラメータを質量流量コントローラメモリに保存する前記ステップと、前記非製造調整ガスを伴う少なくとも1つの将来の質量流量コントローラ動作において前記1つまたは複数の非製造調整ガス補正アルゴリズムパラメータを使用する前記ステップとは、前記質量流量コントローラによって自動的に行われる、請求項1に記載の方法。
- 前記質量流量コントローラからのデータを質量流量コントローラメモリに記録する前記ステップと、前記記録されたデータを分析する前記ステップと、1つまたは複数の非製造調整ガス補正アルゴリズムパラメータを計算する前記ステップと、前記1つまたは複数の非製造調整ガス補正アルゴリズムパラメータを質量流量コントローラメモリに保存する前記ステップと、前記非製造調整ガスを伴う少なくとも1つの将来の質量流量コントローラ動作において前記1つまたは複数の非製造調整ガス補正アルゴリズムパラメータを使用する前記ステップとは、前記質量流量コントローラのユーザにステップの進行が表示されることなく前記質量流量コントローラによって行われる、請求項2に記載の方法。
- 前記質量流量コントローラからのデータを質量流量コントローラメモリに記録する前記ステップと、前記記録されたデータを分析する前記ステップと、1つまたは複数の非製造調整ガス補正アルゴリズムパラメータを計算する前記ステップと、前記1つまたは複数の非製造調整ガス補正アルゴリズムパラメータを質量流量コントローラメモリに保存する前記ステップとは、前記質量流量コントローラがアイドルモードにある間に前記質量流量コントローラによって行われる、請求項1に記載の方法。
- 前記記録されたデータを分析する前記ステップおよび1つまたは複数の非製造調整ガス補正アルゴリズムパラメータを計算する前記ステップは、質量流量コントローラファームウェアによって行われる、請求項1に記載の方法。
- 前記データは、前記質量流量コントローラによって許容される最速データ記録速度で記録される、請求項5に記載の方法。
- 前記質量流量コントローラによって許容される前記最速データ記録速度は、質量流量コントローラファームウェアのループサイクルごとに少なくとも1つのデータ点を記録することを含む、請求項6に記載の方法。
- 前記記録されたデータは、少なくとも100データサンプルを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記記録されたデータを分析するステップは、
前記記録されたデータを別個のデータセットと比較し、前記質量流量コントローラが適切に動作していないと決定すること(ステップ)と、
新しく計算されたガス特有の補正アルゴリズムパラメータを先に計算されたガス特有の補正アルゴリズムパラメータと比較し、前記2つのパラメータ値間の差がある指定しきい値を越えるかどうかを決定すること(ステップ)との少なくとも1つを含む、請求項1に記載の方法。 - 非製造調整ガスについての正確な質量流量コントローラの流量データを提供する方法であって、
前記質量流量コントローラをゼロ設定点に設定すること(ステップ)および前記質量流量コントローラが弁オーバーライド制御モードにある間は弁をゼロ位置に設定すること(ステップ)の1つと、
入力圧力を変えること(ステップ)と、
前記質量流量コントローラ内に寄生流動を生成すること(ステップ)と、
質量流量コントローラ流量データおよび圧力データを測定すること(ステップ)と、
前記質量流量コントローラ流量データおよび圧力データを質量流量コントローラメモリに保存すること(ステップ)と、
前記流量データおよび前記圧力データを分析すること(ステップ)と、
前記流量データおよび前記圧力データを使用して、前記非製造調整ガスについての流量データを補正するデジタルフィルタのパラメータである非製造調整ガス補正アルゴリズムパラメータの1つまたは複数を計算すること(ステップ)と、
前記1つまたは複数の非製造調整ガス補正アルゴリズムパラメータを質量流量コントローラメモリに保存すること(ステップ)と、
前記非製造調整ガスを伴う少なくとも1つの将来の質量流量コントローラ動作において前記1つまたは複数の非製造調整ガス補正アルゴリズムパラメータを使用すること(ステップ)とを含み、
前記ステップは何れも、前記質量流量コントローラが備えるデジタルコントローラによって行われる、方法。 - 前記寄生流動は、コントローラフルスケール流量の少なくとも5%を含む、請求項10に記載の方法。
- 前記入力圧力は、圧力スパイクおよび非一時的圧力変化の少なくとも1つを通じて変えられる、請求項10に記載の方法。
- 前記圧力データおよび流量データの少なくとも1つは、もし入力圧力変化が指定範囲内で検出されないならば、その後の圧力データおよび流量データの少なくとも1つで上書きされる、請求項10に記載の方法。
- 前記圧力データおよび流量データの少なくとも1つは、もし調節された流量が指定流量範囲の外側でないならば、その後の圧力データおよび流量データの少なくとも1つで上書きされる、請求項10に記載の方法。
- 調節された流量が指定流量範囲の外側であることを決定すること(ステップ)をさらに含み、
前記1つまたは複数の非製造調整ガス補正アルゴリズムパラメータを計算するステップは、前記圧力データおよび流量データを使用して、
新しい非製造調整ガス補正アルゴリズムパラメータを計算すること(ステップ)と、
現在の製造調整ガス補正アルゴリズムパラメータを調節すること(ステップ)との1つを含む、請求項10に記載の方法。 - 前記圧力は、流量読み出ししきい値の外側の測定可能な流量読み出しを生じさせるように構成される量だけ変えられる、請求項10に記載の方法。
- 非製造調整ガスについての正確な質量流量コントローラの流量データを提供する方法であって、
前記質量流量コントローラを50%超の設定点において前記非製造調整ガスで動作させること(ステップ)と、
前記質量流量コントローラからの流量データを質量流量コントローラメモリに記録すること(ステップ)と、
前記質量流量コントローラからの圧力データを質量流量コントローラメモリに記録すること(ステップ)と、
前記設定点を0%に変えること(ステップ)と、
入力圧力を変えること(ステップ)と、
前記質量流量コントローラ内に寄生流動を生成すること(ステップ)と、
前記記録されたデータを補正アルゴリズムで分析すること(ステップ)と、
前記流量データおよび前記圧力データを使用して、前記非製造調整ガスについての流量データを補正するデジタルフィルタのパラメータである非製造調整ガスパラメータの1つまたは複数を計算すること(ステップ)と、
前記1つまたは複数の非製造調整ガスパラメータを質量流量コントローラメモリに保存すること(ステップ)と、
前記非製造調整ガスを伴う少なくとも1つの将来の質量流量コントローラ動作において前記1つまたは複数の非製造調整ガスパラメータを使用すること(ステップ)とを含み、
前記ステップは何れも、前記質量流量コントローラが備えるデジタルコントローラによって行われる、方法。 - 補正アルゴリズムパラメータを決定するために使用される流体以外の流体を受け入れるように構成される質量流量コントローラであって、
主流動ラインと、
前記主流動ラインに動作可能に結合される熱センサと、
前記主流動ラインに動作可能に結合される圧力センサと、
前記主流動ラインに動作可能に結合される制御弁と、
メモリデバイスと、
前記メモリデバイスに電気的に結合され、前記制御弁に動作可能に結合されるデジタルコントローラであって、
前記圧力センサから圧力データを受け取り、
前記熱センサから流量データを受け取り、
前記圧力データおよび流量データを分析し、
前記流量データに適用されるように構成されるアルゴリズムのために、前記流量データを補正するデジタルフィルタのパラメータである1つまたは複数のガス特有のパラメータを、
流量設定点が、50%超から0%に変えられる、および
前記流量設定点が0%と設定されている状態で質量流量コントローラ内の圧力を変動させる、
の少なくとも1つのときに得られる前記流量データおよび前記圧力データを使用して計算するように構成される、デジタルコントローラとを含む質量流量コントローラ。
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