JP5852420B2 - 超音波検査方法及び超音波検査装置 - Google Patents
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Description
かかる方法により、規則的に配列する凹凸形状の検査体の超音波検査において、簡便に検査可能な領域を拡大し得るものとなる。
かかる構成により、規則的に配列する凹凸形状の検査体の超音波検査において、簡便に検査可能な領域を拡大し得るものとなる。
最初に、図1を用いて、本実施形態による超音波検査装置の構成について説明する。
図1は、本発明の一実施形態による超音波検査装置の構成を示すブロック図である。
sinθ1/ν1=sinθ2/ν2 …(1)
ここで、θは超音波の入射角度及び屈折角度、vは音速、θ及びvの添え字1、2は媒質番号である。このようにして、検査対象の所定の位置に超音波を集束して送信する。
図2は、本発明の一実施形態による超音波検査装置に用いる探傷部の構成を示す斜視図である。図3は、本発明の一実施形態によるアニュラアレイ超音波プローブの構成を示す図である。
図4は、本発明の一実施形態による超音波検査装置による検査内容を示すフローチャートである。
図5は、本発明の一実施形態による超音波検査装置の送信の説明図である。図6は、本発明の一実施形態による超音波検査装置の受信の説明図である。図7は、本発明の一実施形態による超音波検査装置による3次元スキャンの説明図である。図8は、本発明の一実施形態による検査画像の表示結果の説明図である。図9は、本発明の一実施形態による振動素子の組合せを変更した場合の超音波検査装置の送信の説明図である。図10は、本発明の一実施形態による超音波プローブと被検査体の距離を変更した場合の超音波検査装置の送信の説明図である。
図11は、本発明の他の実施形態による超音波検査装置による検査内容を示すフローチャートである。
図12は、本発明の他の実施形態の超音波検査装置によるによる超音波伝搬モードの変換を利用して遅延時間を変更した場合の超音波検査装置の送信の説明図である。
101…探傷部
101A…アニュラアレイ超音波プローブ
101B…圧電振動素子
101C…走査手段
102…送・受信部
102A…パルサ
102B…レシーバ
102C…送信遅延回路
102D…送信切替回路
102E…送信増幅器
102F…受信切替回路
102G…受信増幅器
102H…アナログ−デジタル変換機
102I…遅延メモリ
103…制御部
103A…走査制御回路
103B…切替制御回路
103C…遅延制御回路
103D…加算回路
103E…制御・処理用コンピュータ
103F…記憶装置
104…表示部
104A…検査モード切替器
Claims (5)
- アニュラアレイ超音波プローブを備える超音波検査装置により、第1の層と規則的に配列する凹凸形状を有する第2の層との間を検査する超音波検査方法であって、
前記超音波プローブの振動素子を、内周側と外周側の組合せに分け、
前記振動素子の組合せ毎に遅延時間を与えて前記第1の層と前記第2の層の間に集束するように超音波を送信するとともに、前記振動素子の組合せ毎に前記超音波を受信することを、超音波の送信方向に対して直交する平面上に2次元走査して行い、
前記振動素子の組合せ毎の画像を合成処理して得られる検査画像を表示することを特徴とする超音波検査方法。 - 請求項1記載の超音波検査方法において、
前記組合せ毎の振動素子の面積の和が同じ値となることを特徴とする超音波検査方法。 - 請求項1記載の超音波検査方法において、
前記組合せ毎に与える遅延時間の曲線形状が異なることを特徴とする超音波検査方法。 - アニュラアレイ超音波プローブと、
前記超音波プローブから検査対象に超音波を送信させるとともに、前記検査対象からの超音波の反射波を前記超音波プローブに受信させる送・受信部と、
前記送・受信部を制御する制御部と、
前記送・受信部により受信された受信信号に基づく前記検査対象の検査画像を表示する表示部と、
前記超音波プローブをその超音波の送信方向に対して直交する平面上の2次元を機械的に走査する走査手段とを有する超音波検査装置であって、
前記制御部は、
前記超音波プローブの振動素子を、内周側と外周側の組合せに分けるコンピュータと、
前記振動素子の組合せに応じて、超音波の送・受信に使用する振動素子を選択するための切替信号を送信する切替制御回路と、
前記振動素子の組合せに応じて、超音波の送・受信に使用する各振動素子に付与する遅延時間を送信する遅延制御回路と、
前記走査手段による2次元走査を制御する走査制御回路と、
前記送・受信部から得られる受信信号を加算処理する加算回路とを備え、
前記送・受信部は、前記切替制御回路からの切替信号及び前記遅延制御回路からの遅延時間により、前記振動素子の組合せ毎に遅延時間を与えて前記第1の層と前記第2の層の間に集束するように超音波を送信させるとともに、前記振動素子の組合せ毎に超音波の反射波を受信させ、
前記表示部は、前記振動素子の組合せ毎の画像を合成処理して得られる検査画像を表示することを特徴とする超音波検査装置。 - アニュラアレイ超音波プローブを用いて、第1の層と規則的に配列する凹凸形状を有する第2の層との間を検査する超音波検査装置であって、
前記超音波プローブの振動素子を、内周側と外周側の組合せに分ける制御部と、
前記振動素子の組合せ毎に遅延時間を与えて前記第1の層と前記第2の層の間に収束するように超音波を送信させるとともに、前記振動素子の組合せ毎に前記超音波を受信させる送・受信部と、
前記超音波プローブをその超音波の送信方向に対して直交する平面上の2次元を機械的に走査する走査手段と、
前記振動素子の組合せ毎の画像を合成処理して得られる検査画像を表示する表示部とを備えることを特徴とする超音波検査装置。
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JP2011255128A JP5852420B2 (ja) | 2011-11-22 | 2011-11-22 | 超音波検査方法及び超音波検査装置 |
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