JP5849406B2 - ハロゲン含有ガス供給装置 - Google Patents
ハロゲン含有ガス供給装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5849406B2 JP5849406B2 JP2011033005A JP2011033005A JP5849406B2 JP 5849406 B2 JP5849406 B2 JP 5849406B2 JP 2011033005 A JP2011033005 A JP 2011033005A JP 2011033005 A JP2011033005 A JP 2011033005A JP 5849406 B2 JP5849406 B2 JP 5849406B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- halogen
- valve
- containing gas
- container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 title claims description 75
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 title claims description 75
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 40
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims description 22
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims description 14
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 claims description 6
- ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 7553-56-2 Chemical compound [I] ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical compound [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N bromine Substances BrBr GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052740 iodine Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000011630 iodine Substances 0.000 claims description 5
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 claims description 4
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 3
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 159
- 230000008859 change Effects 0.000 description 58
- 229920002493 poly(chlorotrifluoroethylene) Polymers 0.000 description 56
- 239000005023 polychlorotrifluoroethylene (PCTFE) polymer Substances 0.000 description 56
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 47
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 36
- 230000004580 weight loss Effects 0.000 description 35
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 30
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 25
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 25
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 18
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 13
- 238000002845 discoloration Methods 0.000 description 11
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 10
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 9
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 9
- 230000008569 process Effects 0.000 description 8
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 7
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 6
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 5
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 4
- 229910000617 Mangalloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000002366 halogen compounds Chemical class 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 3
- KZBUYRJDOAKODT-UHFFFAOYSA-N Chlorine Chemical compound ClCl KZBUYRJDOAKODT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 229910000856 hastalloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001026 inconel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- CHDVXKLFZBWKEN-UHFFFAOYSA-N C=C.F.F.F.Cl Chemical compound C=C.F.F.F.Cl CHDVXKLFZBWKEN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000792 Monel Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 NF 3 Chemical class 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 150000002222 fluorine compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- PNDPGZBMCMUPRI-UHFFFAOYSA-N iodine Chemical compound II PNDPGZBMCMUPRI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Description
[比較例1]
図10に本比較例の概略図を示す。本比較例では、マンガン鋼製の容器1にN2希釈による20vol%F2ガスが5MPaGの圧力で充填されている。容器1には開閉弁2が装着されている。開閉弁2と供給弁3は、外径1/2インチ、肉厚1mm、長さ200mmの直線状のステンレス製の導管6で接続されている。供給弁3の下流側には、導管6と同一形状のステンレス製の供給管4を介して、内容量50ccのステンレス製のシリンダ26が接続されている。
[比較例2]
本比較例では、容器1に、100vol%NF3ガスが14.7MPaGの圧力で充填されている。それ以外の構成は比較例1の構成と同様である。また、操作も比較例1と同様に行った。
[比較例3]
本比較例では、容器1に、100vol%O2ガスが14.7MPaGの圧力で充填されている。それ以外の構成は比較例1の構成と同様である。また、操作も比較例1と同様に行った。
[比較例4]
本比較例では、容器1に、N2希釈による20vol%BF3ガスが14.7MPaGの圧力で充填されている。それ以外の構成は比較例1の構成と同様である。また、操作も比較例1と同様に行った。
[比較例5]
本比較例では、容器1に、N2希釈による20vol%ClFガスが14.7MPaGの圧力で充填されている。それ以外の構成は比較例1の構成と同様である。また、操作も比較例1と同様に行った。
[比較例6]
本比較例では、容器1に、N2希釈による0.1vol%ClF3ガスが5MPaGの圧力で充填されている。それ以外の構成は比較例1の構成と同様である。また、操作も比較例1と同様に行った。
[比較例7]
本比較例では、容器1に、N2希釈による0.1vol%IF7ガスが5MPaGの圧力で充填されている。それ以外の構成は比較例1の構成と同様である。また、操作も比較例1と同様に行った。
2:開閉弁
3:供給弁
4:供給管
5:流通方向変化機構
6:導管
26:シリンダ(50cc)
27:PCTFEチップ(3×3×3mm3)
28:手動弁
29:真空ライン
50:ステンレス配管
51、54a、54b、54c、54d、54e、54f、54g:邪魔板
52:ステンレス配管
53:開口部
55:球
100:導入弁
101:半導体製造装置(外部装置)
Claims (3)
- ハロゲン含有ガスを、そのハロゲン含有ガスが高圧充填された容器から外部装置へと供給するハロゲン含有ガス供給装置であって、
前記容器と前記外部装置とを接続する供給管と、
前記供給管に設けられ、前記容器からハロゲン含有ガスを供給するための供給弁と、を備え、
前記供給弁より下流の前記供給管の一部の管内部に、ハロゲン含有ガスの流通方向を変化させる流通方向変化機構が設けられ、
前記流通方向変化機構として、前記供給管内部に配置され開口部を有してガスの流通を部分的に仕切る邪魔板を備え、
前記邪魔板は、前記供給管の長さ方向に複数配置され、
記開口部の面積は前記供給管の断面積の1/2以下であり、複数の前記邪魔板は、隣り合う邪魔板の前記開口部が前記供給管の長さ方向に重ならないように配置されることを特徴とするハロゲン含有ガス供給装置。 - ハロゲン含有ガスのハロゲンは、フッ素、塩素、臭素、又はヨウ素であることを特徴とする請求項1に記載のハロゲン含有ガス供給装置。
- 前記ハロゲン含有ガスの充填圧力は、5MPa以上20MPa以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載のハロゲン含有ガス供給装置。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011033005A JP5849406B2 (ja) | 2010-12-21 | 2011-02-18 | ハロゲン含有ガス供給装置 |
PCT/JP2011/070336 WO2012046533A1 (ja) | 2010-10-08 | 2011-09-07 | ハロゲン含有ガス供給装置及びハロゲン含有ガス供給方法 |
KR1020137010336A KR20130079553A (ko) | 2010-10-08 | 2011-09-07 | 할로겐 함유 가스 공급장치 및 할로겐 함유 가스 공급방법 |
EP11830466.6A EP2626615A4 (en) | 2010-10-08 | 2011-09-07 | HALOGENATED GAS SUPPLY APPARATUS AND HALOGENATED GAS SUPPLY METHOD |
US13/878,292 US20130221024A1 (en) | 2010-10-08 | 2011-09-07 | Halogen-containing gas supply apparatus and halogen-containing gas supply method |
TW100136314A TWI441998B (zh) | 2010-10-08 | 2011-10-06 | A halogen-containing gas supply device and a halogen-containing gas supply method |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010284311 | 2010-12-21 | ||
JP2010284311 | 2010-12-21 | ||
JP2011033005A JP5849406B2 (ja) | 2010-12-21 | 2011-02-18 | ハロゲン含有ガス供給装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012145214A JP2012145214A (ja) | 2012-08-02 |
JP2012145214A5 JP2012145214A5 (ja) | 2014-03-27 |
JP5849406B2 true JP5849406B2 (ja) | 2016-01-27 |
Family
ID=46788973
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011033005A Active JP5849406B2 (ja) | 2010-10-08 | 2011-02-18 | ハロゲン含有ガス供給装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5849406B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102322973B1 (ko) * | 2016-04-05 | 2021-11-08 | 칸토 덴카 코교 가부시키가이샤 | 재료, 이 재료를 이용한 보존 용기, 이 보존 용기에 부착되는 밸브, 및 ClF의 보존 방법, ClF 보존 용기의 사용 방법 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AT408676B (de) * | 1999-12-07 | 2002-02-25 | Kamleithner Maly Uta Mag Ing | Lüftungsrohr, insbesondere zuluftrohr |
US6257000B1 (en) * | 2000-03-22 | 2001-07-10 | Luping Wang | Fluid storage and dispensing system featuring interiorly disposed and exteriorly adjustable regulator for high flow dispensing of gas |
DE10015051A1 (de) * | 2000-03-25 | 2001-09-27 | Zf Lenksysteme Gmbh | Vorrichtung zur Verringerung von Druckpulsationen |
-
2011
- 2011-02-18 JP JP2011033005A patent/JP5849406B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012145214A (ja) | 2012-08-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6910602B2 (en) | Container valve | |
EP2035741B1 (en) | Low release rate cylinder package | |
US20100154908A1 (en) | Gas mixture supplying method and apparatus | |
US7121286B2 (en) | Method for cleaning a manufacturing apparatus and a manufacturing apparatus | |
WO2012046533A1 (ja) | ハロゲン含有ガス供給装置及びハロゲン含有ガス供給方法 | |
JP2008210982A (ja) | 半導体製造装置のガス供給システム及びガス供給集積ユニット | |
TW202120861A (zh) | 氣體輸送用的模組元件系統 | |
JP5849406B2 (ja) | ハロゲン含有ガス供給装置 | |
TW201823900A (zh) | 流體控制裝置及使用該流體控制裝置的製品製造方法 | |
JP2020524913A (ja) | 高気密気相腐食キャビティ | |
KR20210148405A (ko) | 앰풀로부터의 플럭스를 증가시키기 위한 장치 | |
JP5724438B2 (ja) | ハロゲン含有ガス供給装置及びハロゲン含有ガス供給方法 | |
JP5938847B2 (ja) | ハロゲン含有ガス供給装置 | |
US7198056B2 (en) | High purity chemical delivery system | |
JP5216421B2 (ja) | 腐食性ガス充填容器用バルブ | |
JP3710296B2 (ja) | 半導体プロセスガス用バルク供給装置 | |
JP5899883B2 (ja) | 高圧ガスの供給方法、衝撃波減衰機構を有する機器及び高圧ガスの供給装置 | |
JP2012102864A (ja) | ハロゲン含有ガス供給装置 | |
JP4017648B2 (ja) | プラズマ処理装置および同装置により製造された半導体素子 | |
JP3607998B2 (ja) | 減圧機能付き容器弁 | |
JP5636984B2 (ja) | 高圧ガスの供給方法及び供給装置 | |
JP4444622B2 (ja) | 真空排気装置 | |
US20190009353A1 (en) | Pipe joint, fluid control device, fluid control unit, semiconductor fabrication apparatus and method of forming pipe joint | |
KR101448686B1 (ko) | 반도체 제조설비의 배관에 사용되는 가스켓 | |
CN207074648U (zh) | 一种门阀隔热结构及刻蚀装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140205 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140205 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150303 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150427 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20151104 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151117 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5849406 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |