JP5846077B2 - 樹脂膜のパターニング方法およびそれを用いたセンサの製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の第1実施形態について図面を参照しつつ説明する。まず、本実施形態の樹脂膜をパターニングする方法に用いられるエッチング装置について説明する。
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して、マスク40に所定の磁力を印加しつつドライエッチング工程を行うものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第3実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して、マスク40のインピーダンスをモニタしつつドライエッチング工程を行うものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第4実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して、マスク40と樹脂膜30との間隔をモニタしつつドライエッチング工程を行うものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第5実施形態について説明する。本実施形態は、第4実施形態に対してマスクホルダー50を変更したものであり、その他に関しては第4実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第6実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して、樹脂膜30上に配線を形成してなるセンサの製造方法に本発明の樹脂膜30のパターニング方法を適用したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
上記各実施形態では、樹脂膜30としてポリイミドを例に挙げて説明したが、樹脂膜30として酢酸酪酸セルロース等を用いることもできる。
20 下部電極
21 上部電極
30 樹脂膜
31 基板
40 マスク
50 マスクホルダー
Claims (12)
- 基板(31)上に形成された樹脂膜(30)をパターニングする方法であって、
前記樹脂膜が備えられた前記基板を用意する工程と、
対向配置される一対の電極(20、21)が設けられた反応チャンバ(10)内において、前記一対の電極の一方の電極(20)上に前記樹脂膜が他方の電極と対向する状態で前記基板を配置する工程と、
前記樹脂膜と所定距離離間した状態で開口部(40a)が形成されたマスク(40)を配置するマスク配置工程と、
前記反応チャンバ内にエッチングガスを導入すると共に前記一対の電極に高周波電力を印加し、前記エッチングガスをプラズマ化させて前記樹脂膜をドライエッチングすることにより前記樹脂膜をパターニングするドライエッチング工程と、を行い、
前記ドライエッチング工程では、前記マスクを前記基板の反りに追従させつつ行うことを特徴とする樹脂膜のパターニング方法。 - 前記マスクとして金属製のものを用い、
前記ドライエッチング工程では、前記マスクに磁力を印加することによって前記マスクを前記基板の反りに追従させることを特徴とする請求項1に記載の樹脂膜のパターニング方法。 - 前記ドライエッチング工程前および前記ドライエッチング工程では、前記マスクと前記基板との間隔をモニタし、前記モニタした結果に応じて前記マスクと前記基板との間隔を調整することを特徴とする請求項1または2に記載の樹脂膜のパターニング方法。
- 前記ドライエッチング工程では、前記マスクのインピーダンスをモニタすることによって前記マスクと前記基板との間隔をモニタすることを特徴とする請求項3に記載の樹脂膜のパターニング方法。
- 前記ドライエッチング工程前および前記ドライエッチング工程では、レーザを前記マスクおよび前記樹脂膜に照射して反射波を受信することにより、前記マスクと前記樹脂膜との間隔をモニタすることを特徴とする請求項3または4に記載の樹脂膜のパターニング方法。
- 前記樹脂膜は、ポリイミド膜であることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1つに記載の樹脂膜のパターニング方法。
- 前記マスク配置工程では、前記ドライエッチング工程において、前記樹脂膜と前記マスクとの間に新たなプラズマガスが生成されないように前記樹脂膜から所定距離離間した位置に前記マスクを配置することを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1つに記載の樹脂膜のパターニング方法。
- 前記マスク配置工程では、前記マスクと前記樹脂膜との間隔が200μm未満となる状態で前記マスクを配置し、
前記ドライエッチング工程では、前記エッチングガスとして酸素ガスを導入することを特徴とする請求項7に記載の樹脂膜のパターニング方法。 - 前記マスク配置工程では、前記ドライエッチング工程において、前記樹脂膜と前記マスクとの間に新たなプラズマガスが生成されるように前記樹脂膜から所定距離離間した位置に前記マスクを配置することを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1つに記載の樹脂膜のパターニング方法。
- 前記マスク配置工程では、前記マスクと前記樹脂膜との間隔が200μm以上となる状態で前記マスクを配置し、
前記ドライエッチング工程では、前記エッチングガスとして酸素ガスを導入することを特徴とする請求項9に記載の樹脂膜のパターニング方法。 - 請求項7または8に記載の樹脂膜のパターニング方法を用いたセンサの製造方法であって、
前記基板を用意する工程では、前記基板上に第1、第2固定電極が櫛歯状に形成され、前記第1、第2固定電極が覆われる状態で前記樹脂膜が備えられてなるものを用意することを特徴とするセンサの製造方法。 - 請求項9または10に記載の樹脂膜のパターニング方法を用いたセンサの製造方法であって、
前記ドライエッチング工程の後、パターニングされた前記樹脂膜の端部を含む領域に配線(130)を形成することを特徴とするセンサの製造方法。
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