JP5844445B2 - アバランシ・フォトダイオード - Google Patents
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Description
図1は、APD301を説明する素子の模式図である。図1(a)は上面図であり、図1(b)は断面図である。なお、本明細書では、半絶縁性基板1に対し、n電極9側を上側及び積層方向として説明する。
図5は、APD302を説明する素子の模式図(断面図)である。APD302と図1及び図2のAPD301との違いは、APD302の空乏化抑制領域11’がn形電界制御層7Aのドナーを一部不活性化して形成されているのではなく、n形電界制御層7Aを、電子走行層7Bと共にリング状にエッチングで取り除いて形成されている点である。すなわち、空乏化抑制領域11’は、第1メサ101から電子走行層7B及びn形電界制御層7Aの包囲部分14を除去した切り欠き部である。
図7から図9は、それぞれAPD303からAPD305を説明する素子の模式図(断面図)である。APD(303、304、305)と図5及び図6のAPD302(実施形態2)との違いは、少なくともなだれ増倍層6からp形光吸収層3Aに達するp形不純物領域15を形成している点である。すなわち、第1メサ101は、包囲部分14の内周より外側に電子走行層7Bからp形光吸収層3Aまで達するp形不純物領域15を有する。
2、32:p形電極層
3A、33A:p形光吸収層
3B、33B:光吸収層
4、34:バンドギャップ傾斜層
5、35:p形電界制御層
6、36:なだれ増倍層
7A、37A:n形電界制御層
7B、37B:電子走行層
8A、38A:n形電極バッファ層
8B、28B、38B:n形電極層
9、39:n電極
10、40:p電極
11、11’:空乏化抑制領域
12A、22B:空乏領域
12B:活性領域
13:ホールが残留した部分
14:包囲部分
15:p形不純物領域
101:第1メサ
102:第2メサ
300、301、302、303、304、305:APD
Claims (2)
- 半絶縁性基板と、
前記半絶縁性基板面上に、p形電極層、p形光吸収層、低不純物濃度の光吸収層、バンドギャップ傾斜層、p形電界制御層、なだれ増倍層、n形電界制御層、及び低不純物濃度の電子走行層の順で積層された第1積層構成からなる第1メサと、
積層方向から見て、外周が前記第1メサの外周の内側にあり、前記第1メサの前記電子走行層側の表面上に、n形電極バッファ層、及びn形電極層の順で積層された第2積層構成からなる第2メサと、
を備え、
積層方向から見たときに前記第1メサの外周の内側で前記第2メサの外周を取り囲む包囲部分のうち、前記n形電界制御層のドナーが不活性化された部分により、バイアス印加時に前記p形電界制御層の前記包囲部分の空乏化を防止することを特徴とするアバランシ・フォトダイオード。 - 前記n形電界制御層のドナーが不活性化された部分は、
バイアス印加時、該部分の電界強度変化を、前記n形電界制御層の前記第2メサ中央の電界変化量より小さくすることを特徴とする請求項1に記載のアバランシ・フォトダイオード。
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