JP5838504B2 - ロボットを用いた容器洗浄システム - Google Patents

Description

本発明は、容器を洗浄する洗浄装置に関し、特に複数の洗浄工程により容器を洗浄する洗浄装置に関する。

複数の洗浄工程により容器を洗浄する従来技術に係る洗浄装置としては、特許第２５２５５２０号公報に記載されたものが知られている（特許文献１）。この文献に記載された洗浄装置では、容器が、上流側から下方側に向かって移動するコンベア（本文献では「トランスファー」と表現されている）の上に載置され、粗洗浄工程、仕上洗浄工程、水切り工程及び乾燥工程の各々を実行するブース内を通過することにより、一連の洗浄工程を経る。

特許第２５２５５２０号公報

しかしながら、上述した従来技術に係る洗浄装置には、次に示すような問題がある。
まず、容器を載置して搬送するコンベアは、チェーンやローラーなどの機械的な部品により構成される。かかる部品には、潤滑油が付与され、また、サビが生ずるものである。このようなコンベアは、各工程を実行するブース内を通過する際に、これらブース内に潤滑油やサビ等をもたらすことによって、ブース内に汚れを発生させてしまう。
また、ブース内には、洗浄水や洗剤等の水分が付着することが避けられないため、時間の経過とともに、カビや藻が発生する。このようにブース内に発生したカビや藻等が、ブース内を移動するコンベアに付着して、ブース内全体が汚れる可能性もある。
このようにブース内が汚れると、ブース内を通過する容器自体が汚れることになるため、容器を洗浄するという本来の目的が達成されなくなる可能性がある。これを防止するためには、洗浄装置（特にブース内及びコンベア）を定期的に清掃及び点検する必要がある。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、容器を確実に洗浄することが可能な洗浄装置を提供することを目的とする。

本発明に係る洗浄装置は、容器を洗浄する洗浄装置であって、前記容器の洗浄に関連した第１の処理を実行するために開閉自在に設けられた開口を有する密閉可能な第１の処理室と、該第１の処理室から隔離して配置され、前記容器の洗浄に関連した第２の処理を実行するために開閉自在に設けられた開口を有する密閉可能な第２の処理室と、各処理室の前記開口を介して、前記第１の処理室の内部に搬入された容器を前記第２の処理室の内部に移送するロボットと、を具備することを特徴とする。

図１は、本発明の実施の形態に係る洗浄装置の構成を模式的に示す上面図である。 図２は、本発明の実施の形態に係る洗浄装置の一部分を図１中の方向Ｘから見て簡略化して示す側面図である。 図３は、本発明の実施の形態に係る洗浄装置の一部分を図１中の方向Ｙから見て簡略化して示す側面図である。 図４は、本発明の実施の形態に係る洗浄装置の一部分を図１中の方向Ｚから見て簡略化して示す側面図である。 図５は、本発明の実施の形態に係る洗浄装置において用いられる第１のロボット１４０の構成を簡略化して示す斜視図である。 図６は、本発明の実施の形態に係る洗浄装置における本洗浄室による本洗浄工程と各乾燥室による乾燥工程との組み合わせを例示する表である。

以下、本発明の実施の形態ついて添付図面を参照して説明する。なお、添付図面における同一の構成要素に対しては、同一の参照符号が付されている。

１．洗浄装置１００の構成
１−１．概略
図１は、本発明の実施の形態に係る洗浄装置の構成を模式的に示す上面図である。図１に示すように、本実施の形態に係る洗浄装置１００は、容器Ｃに対して予洗浄工程を実施する予洗浄室１１０と、この予洗浄室１１０に隣接して配置され、容器Ｃに対して本洗浄工程を実施する本洗浄室１２０（容器の洗浄に関連した第１の処理を実行するための第１の処理室）と、この本洗浄室１２０に対向して配置され、容器Ｃに対して乾燥工程を実施する乾燥室１３０（容器の洗浄に関連した第２の処理を実行するための第２の処理室）と、搬入台１０の上に置かれた容器Ｃを予洗浄室１１０及び本洗浄室１２０に搬入する第１のロボット１４０と、本洗浄室１２０に搬入された容器Ｃを外部に搬出し、容器Ｃを乾燥室１３０に搬入し、乾燥室１３０に搬入された容器Ｃを搬出して搬出台２０の上に載置する第２のロボット１５０と、を含む。

なお、図１において、斜線が付された外縁により画定される領域は、その外部から汚れ等の侵入を防止するように機能するクリーンルームＲとして、構成されている。乾燥室１３０及び第２のロボット１５０がこのクリーンルームＲの内部に配置されている。

１−２．予洗浄室１１０及び本洗浄室１２０
図２は、本実施の形態に係る洗浄装置の一部分を図１中の方向Ｘから見て簡略化して示す側面図である。なお、図１中の方向Ｘから見た場合、搬入台１０と第１のロボット１４０とが重なるため、図２では、便宜上、搬入台１０は、本来の位置からずらして示されている。

図２に示すように、予洗浄室１１０は、前面（紙面上左端）及び背面（紙面上右端）にそれぞれ搬入開口１１２及び搬出開口１１４が形成された箱型の形状を有する処理室である。予洗浄室１１０の上面には、洗浄水を下方に向かって放出する放出管１１６が設置されている。また、予洗浄室１１０の勾配が付けられた底面には、溜まった水を排出する排出管１１８が設置されている。

本洗浄室１２０は、前面（紙面上左端）及び背面（紙面上右端）にそれぞれ搬入開口１２２及び排出開口１２４が形成された箱型の形状を有する処理室である。図２に示す例では、搬入開口１２２は、予洗浄室１１０の搬出開口１１４とともに１つの開口を形成している。

搬入開口１２２には、鉛直方向又は水平方向にスライドする板状のシャッターＳ１が設けられている。シャッターＳ１がスライドすることにより、搬入開口１２２が開状態又は閉状態となる。搬出開口１２４にも同様の構成を有するシャッターＳ２が設けられている。搬入開口１２２及び搬出開口１２４がともに閉状態になると、本洗浄室１２０は密閉された状態となる。

本洗浄室１２０は、その内部に容器Ｃを洗浄するための例えば３種類のノズルを備える。具体的には、本洗浄室１２０の内部には、鉛直方向に延び、（開口１が下方に向いた状態で載置台１２６の上に載置される）容器Ｃの側面に向かって洗浄水を噴射する側面ノズル１２８Ａと、容器Ｃの上方に配置され、容器Ｃの上面に向かって洗浄水を噴射する上部ノズル１２８Ｂと、伸縮自在に形成され、容器Ｃの開口１を通って容器Ｃの内部に延出し、容器Ｃの内部に全方位に向かって洗浄水を噴射する３次元ノズルのような、内部ノズル１２８Ｃと、が配置されている。これにより、本洗浄室１２０は、容器Ｃの外面及び内面の両方に対して直接洗浄水を噴射して容器Ｃを洗浄することができる。なお、上部ノズル１２８Ｂとしては、下方にある容器Ｃに向かって洗浄水を噴射する各ノズルが固定されているタイプのものや、各ノズルが水平面上に円弧状の起動を描くように回動するタイプのもの等、様々なものを利用することができる。

また、本洗浄室１２０の勾配が付けられた底面には、溜まった水を排出する排出管１２９が設置されている。

１−３．乾燥室１３０
図１を参照するに、本実施の形態では、乾燥室１３０として、例えば３つの乾燥室１３０Ａ〜１３０Ｃが、本洗浄室１２０から隔離され一列に設置されている。これら３つの乾燥室はすべて同一の構成を有するものである。
図３は、本実施の形態に係る洗浄装置の一部分を図１中の方向Ｙから見て簡略化して示す側面図である。なお、図３では、便宜上、搬出台２０の表現が省略されている。図４は、本実施の形態に係る洗浄装置の一部分を図１中の方向Ｚから見て簡略化して示す側面図である。なお、図１中の方向Ｚから見た場合、搬入台２０と第２のロボット１５０とが重なるため、図４では、便宜上、搬入台２０は、本来の位置からずらして示されている。
図３に示すように、各乾燥室は、前面（紙面上左端）に開口１３２が形成された箱型の形状を有する処理室である。開口１３２には、鉛直方向又は水平方向にスライドするシャッターＳ３が設けられている。シャッターＳ３がスライドすることにより、開口１３２が開状態又は閉状態となる。各乾燥室は、これに隣接して配置された熱風発生ユニット３０（図１参照）により供給路１３４を介して供給される熱風を内部に取り込むことにより、載置台１３６に載置された容器Ｃを乾燥させる。

１−４．第１のロボット１４０及び第２のロボット１５０
第１のロボット１４０及び第２のロボット１５０は、同一の構成を有するロボットとすることができるものである。よって、第１のロボット１４０のみに着目し、その構成について図５を参照して説明する。図５は、本実施の形態に係る洗浄装置において用いられる第１のロボット１４０の構成を簡略化して示す斜視図である。

第１のロボット１４０は、地面に固定された台座５００と、略円柱状の形状を有し、台座５００に固定されたベース部５１０と、略円柱状の形状を有し、ベース部５１０に対して回動自在に接続された本体部５２０と、略棒状の形状を有し、本体部５２０の支持部５２２に回動自在に接続された第１のアーム部５３０と、略丸棒状の形状を有し、第１のアーム部５３０の支持部５３２に対して回動自在に接続された第２のアーム部５４０と、略円柱状の形状を有し、第２のアーム部５４０の支持部５４２に対して回動自在に接続された連絡部５５０と、容器Ｃを把持するために連絡部５５０に固定されたチャック部５６０と、を含む。

本体部５２０は、ベース部５１０の中心軸を回転軸としてＤ₁方向において回動する。第１のアーム部５３０は、本体部５２０における略円柱状の支持部５２２の中心軸を回転軸としてＤ₂方向において回動する。第２のアーム部５４０は、第１のアーム部５３０における略円柱状の支持部５３２の中心軸を回転軸としてＤ₃方向において回動する。連絡部５５０は、第２のアーム部５４０の支持部５４２の中心軸を回転軸としてＤ₄方向において回動する。また、連絡部５５０の先端部５５４は、連絡部５５０の本体部５５２の中心軸を回転軸としてＤ₅方向において回動する。
チャック部５６０は、略直方体状の形状を有し、連絡部５５０の先端５５４に固定された本体部５６２と、互いに平行に対向して延び、本体部５６２の延設方向に沿ってＤ₆方向においてスライドするように本体部５６２に接続された、２つの棒状部材５６４と、を含む。これら２つの棒状部材５６４は、互いに近づく方向にスライドすることにより、両者の間にある容器Ｃを把持することができる。これら２つの棒状部材５６４における容器Ｃとの接触面は、板状の樹脂等により形成されるようにしてもよい。

このように構成された第１のロボット１４０は、チャック部５６０により把持された容器Ｃを任意の位置（Ｘ座標、Ｙ座標、Ｚ座標）に移動させることができるとともに、容器Ｃを回転させる（容器Ｃの開口１を例えば下向き、上向き又は横向きにする）ことができる。

なお、第２のロボット１５０もまた、第１のロボット１４０と同様の構成を有するものとすることができる。

２．洗浄装置１００の動作
２−１．予洗浄工程
図１に示すように、図示しないコンベアにより搬送されてきた容器Ｃ（使用済みの汚れた容器Ｃ）が搬入台１０に載置されている。図２に示すように、第１のロボット１４０が、そのチャック５６０を用いて容器Ｃを把持し、搬入開口１１２を介して予洗浄室１１０の内部に搬入する。このとき、容器Ｃの開口１は、上方を向き、放出管１１６に対向している。この放出管１１６から放出された洗浄水（洗浄液）が開口１から容器Ｃの内部に供給される。第１のロボット１４０は、連絡部５５０の先端部５５４をＤ₅方向（図５参照）において回動させることにより、容器Ｃを揺動させる。この後、第１のロボット１４０が、開口１が下方向を向くように容器Ｃを回動させることにより、容器Ｃに供給された洗浄水を容器Ｃから排出する。これにより、予洗浄工程が終了する。なお、このような予洗浄工程においては、本洗浄室１２０の搬入開口１２２及び搬出開口１２４は、それぞれシャッターＳ１及びシャッターＳ２が閉じていることによって閉状態となっている。また、ここでは、予洗浄工程が洗浄水を用いて容器Ｃを洗浄する工程である場合について説明したが、本発明は、これに限定されず、予洗浄工程がエアブローを用いて容器Ｃを洗浄する工程である場合をも含むものである。

２−２．本洗浄工程
シャッターＳ１が開かれることによって、搬入開口１２２が開状態とされる。第１のロボット１４０は、搬入開口１２２を介して容器Ｃを本洗浄室１２０の内部に搬入し、開口１が下方を向いた状態となるように容器Ｃを載置台１２６の上に載置すると、ロボット１４０（のチャック部５６０）は、本洗浄室１２０の外部に退避する。シャッターＳ１が閉じられ、搬入開口１２２が閉状態とされる。これにより、本洗浄室１２０は、密閉された状態となっている。この状態において、上述したノズル１２８Ａ、１２８Ｂ、１２８Ｃから容器Ｃに対して洗浄水（洗浄液）が噴射され、容器Ｃが洗浄される。洗浄が完了すると、シャッターＳ２が開かれることにより、搬出開口１２４が開状態とされる。

図３に示すように、開状態とされた搬出開口１２４を介して、第２のロボット１５０が、そのチャック部５６０を、本洗浄室１２０の内部に進行させ、容器Ｃを把持し、本洗浄室１２０の外部（すなわちクリーンルームＲの内部）に退避させる。次に、シャッターＳ２が閉じることにより、搬出開口１２４は再び閉状態とされる。この状態において、本洗浄室１２０の内部では、ノズル１２８Ａ、１２８Ｂ、１２８Ｃから洗浄水（洗浄液）が噴射されることによって、自己洗浄動作が実行される。これにより、本洗浄工程が終了する。

２−３．乾燥工程
図３を参照して乾燥室１３０に着目すると、乾燥室１３０のシャッターＳ３が開かれることにより開口１３２が開状態とされる。チャック部５６０に容器Ｃを把持させた状態にある第２のロボット１５０は、開口１３２を介してチャック部５６０を乾燥室１３０の内部に搬入し、開口１が下方を向いた状態で容器Ｃを載置台１３６の上に載置する。第２のロボット１５０が乾燥室１３０の外部に退避すると、シャッターＳ３が閉じて開口１３２が閉状態とされる。この後、乾燥室１３０の内部に供給路１３４を介して熱風が供給されることにより、容器Ｃに対する乾燥動作が行われる。所定の時間が経過すると、乾燥室１３０の内部に対する熱風の供給が停止し、シャッターＳ３が開かれる。

図４に示すように、第２のロボット１５０が、チャック部５６０を乾燥室１３０の内部に進行させ、容器Ｃを把持し、乾燥室１３０の外部に退避させる。シャッターＳ３が閉じて、開口１３２が閉状態とされる。第２のロボット１５０は、把持した容器Ｃを搬出台２０の上に載置する。これにより、乾燥工程が終了する。

２−４．本洗浄工程と乾燥工程との組み合わせ
通常、乾燥室１３０が１つの容器Ｃの乾燥を完了させるのに必要な時間（例えば１５分）は、本洗浄室１２０が１つの容器Ｃの洗浄を完了させるのに必要な時間（例えば５分）よりも長いことが多い。この場合、１番目の容器Ｃ₁の乾燥工程を開始するとともに、２番目の容器Ｃ₂の本洗浄工程を開始した後、５分が経過しても、このとき、乾燥室１３０は、依然として容器Ｃ₁の乾燥工程を実行している（残り約１０分）。よって、本洗浄室１２０は、３番目の容器Ｃ₃の本洗浄工程を開始するためには、約１１分待機していなくてはならない。したがって、本洗浄室１２０による本洗浄工程と乾燥室１３０による乾燥工程とを並行して継続的に実行することができなくなる。

そこで、本実施の形態では、乾燥室１３０として例えば３つの乾燥室１３０Ａ、１３０Ｂ、１３０Ｃが設置されている。図６は、本発明の実施の形態に係る洗浄装置における本洗浄室１２０による本洗浄工程と乾燥室１３０Ａ〜１３０Ｃによる乾燥工程との組み合わせを例示する表である。ここで、容器Ｃ１〜容器Ｃ８は、それぞれ、洗浄装置１００に提供される１番目〜８番目の容器を示し、括弧書きは、ある時間（時間ｔ１〜ｔ８）において本洗浄工程又は乾燥工程において必要とされる残り時間を示す。

本洗浄室１２０が容器Ｃ₂の本洗浄工程を完了した時間ｔ３においては、乾燥室１３０Ａが容器Ｃ₁の乾燥工程を実行中である（残り時間は約１０分）ので、乾燥室１３０Ｂが容器Ｃ₂の乾燥工程を実行する。これにより、本洗浄室１２０は、次の容器Ｃ₃の洗浄工程を開始することができる。次に、本洗浄室１２０が容器Ｃ₃の本洗浄工程を完了した時間ｔ４においては、乾燥室１３０Ａ及び乾燥室１３０Ｂが依然としてそれぞれ容器Ｃ₁及び容器Ｃ₂の乾燥工程を実行中である（残り時間はそれぞれ約５分及び約１０分）ので、乾燥室１３０Ｃが容器Ｃ₃の乾燥工程を実行する。一方、本洗浄室１２０が容器Ｃ₄の本洗浄工程を完了した時間ｔ５においては、乾燥室１３０Ｂ及び乾燥室１３０Ｃがそれぞれ容器Ｃ₂及び容器Ｃ₃の乾燥工程を実行中であるが、乾燥室１３０Ａは容器Ｃ₁の乾燥工程を完了させている。よって、乾燥室１３０Ａが容器Ｃ₄の乾燥工程を実行する。同様に、本洗浄室１２０が容器Ｃ₅及び容器Ｃ₆のそれぞれの本洗浄工程を完了させた時間ｔ６及び時間ｔ７にあっては、乾燥室１３０Ｂ及び乾燥室１３０Ｃがそれぞれ容器Ｃ₅及び容器Ｃ₆の乾燥工程を実行する。これにより、本洗浄室１２０は、或る容器の本洗浄工程を完了させたときには、遅滞なく、次の容器の本洗浄工程に取り掛かることができる。したがって、本実施の形態によれば、本洗浄室１２０による本洗浄工程と乾燥室１３０による乾燥工程とを並行して継続的に実行することができる。

２−５．クリーンルーム
上述したように、図１において、斜線が付された外縁により画定される領域がクリーンルームＲである。このクリーンルームＲは、容器Ｃの入り口として本洗浄室１２０を用いることにより、クリーンルームＲに対する汚れの侵入を確実に防止することができる。
すなわち、通常の状態にあっては、図２に示すように、本洗浄室１２０のシャッターＳ１及びシャッターＳ２が閉じていることにより搬入開口１２２及び搬出開口１２４がともに閉状態とされているので、本洗浄室１２０を介して汚れがクリーンルームＲの内部に侵入することはほとんどない。使用済みの汚れた容器Ｃが本洗浄室１２０に搬入される本洗浄工程が実行される場合であっても、依然として、シャッターＳ２が閉じて搬出開口１２４が閉状態とされている。シャッターＳ２が開かれて搬出開口１２４が開状態になったときというのは、容器Ｃに対する本洗浄処理が完了したときである。本洗浄処理が完了した容器ＣがクリーンルームＲの内部に持ち込まれた後、直ぐにシャッターＳ２が閉ざされ搬出開口１２４は閉状態に戻される。このようにして、クリーンルームＲは清潔に保たれる。

３．他の実施の形態
上記実施の形態では、本洗浄室１２０に配置された容器Ｃを外部に搬出する動作、乾燥室１３０Ａ〜１３０Ｃに容器Ｃを搬入する動作、及び、乾燥室１３０Ａ〜１３０Ｃに配置された容器Ｃを外部に搬出する動作が、すべて同一のロボット（第２のロボット１５０）により実行される場合について説明した。しかしながら、本発明は、これに限定されるものではなく、各動作がその動作に固有に設けられたロボットにより実行される構成をも含むものである。

また、上記実施の形態では、或る１つの容器が複数の乾燥室１３０のうちのいずれかのみにおいて乾燥される場合について説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、或る１つの容器を複数の乾燥室１３０に順次搬入して乾燥させる態様をも含むものである。この場合、複数の乾燥室１３０のそれぞれが相互に異なる方式の乾燥を行うものとすることができる。例えば、乾燥室１３０Ａ、１３０Ｂ及び１３０Ｃが、それぞれ、高温、中温及び低音の熱風により容器を乾燥させるものとすることができる。

さらにまた、上記実施の形態では、容器の洗浄に関連した第１の処理を実行するための第１の処理室として、容器に対して本洗浄処理を実行する本洗浄室１２０を用いるとともに、容器の洗浄に関連した第２の処理を実行するための第２の処理室として、容器に対して乾燥処理を実行する乾燥室１３０を用いた場合について、説明した。しかしながら、本発明は、これに限定されるものではなく、第１の処理室及び第２の処理室が、それぞれ予洗浄処理を実行する処理室及び本洗浄処理を実行する処理室である場合や、第１の処理室及び第２の処理室が、それぞれ、第１方式の本洗浄処理を実行する処理室及び（第１方式とは異なる）第２方式の本洗浄処理を実行する処理室である場合等、様々な態様を含むものである。

４．効果
本発明の各実施の形態においては、従来技術に係る洗浄装置のように全ブースを横断するコンベアにより容器を搬送するのではなく、複数の処理室を互いに隔離して配置し、各処理室間における容器の移送を各処理室に形成した開口を介してロボットにより実行させている。これにより、（コンベアがブースに常に接触しているのに対して）機械的な部品により構成されるロボットと各処理室とが接触する時間は、各処理室に容器を搬入又は各処理室から容器を搬出するごく短い時間のみであるので、各処理室内に汚れが発生する可能性を著しく低減することができる。
また、洗浄工程を実行する処理室（例えば本洗浄室）内には、洗浄水（洗浄液）等の水分が付着することは避けられないものの、かかる処理室は、容器に対する洗浄工程を完了させた後に自己洗浄を行うことができる。加えて、洗浄工程を実行する処理室と別の処理室（例えば乾燥工程を実行する乾燥室）とは、互いに隔離されているので、洗浄工程を実行する処理室で発生した汚れ等が別の処理室に搬送される事態も抑えられる。
このように各処理室が汚染される要因が抑えられているので、各処理室に搬入される容器が汚染される可能性も非常に低くすることができる。これにより、容器を確実に洗浄することが可能な洗浄装置を提供することができる。

また、各処理室が他の処理室とは独立して設けられているため、各処理室の処理能力を他の処理室とは個別に制御することができる。

Ｃ 容器
Ｒ クリーンルーム
Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３ シャッター
１００ 洗浄装置
１１２、１２２ 搬入開口
１１４、１２４ 搬出開口
１２０ 本洗浄室（第１の処理室）
１３０、１３０Ａ、１３０Ｂ、１３０Ｃ 乾燥室（第２の処理室）
１３２ 開口
１４０ 第１のロボット
１５０ 第２のロボット

Claims (8)

1. クリーンルーム外部に配置された第１のロボットと、クリーンルーム内部に配置された第２のロボットとを用いて物品を洗浄及び乾燥する装置であって、
   予洗浄室及び本洗浄室がクリーンルーム外部に、乾燥室がクリーンルーム内部にあり、 予洗浄のために前記物品を予洗浄室に搬入し、予洗浄の終了後に前記物品を本洗浄室に搬入する前記第１のロボットと、
   前記物品の本洗浄の終了後、本洗浄室から前記物品を搬出して、１以上の乾燥室のいずれかに搬入する前記第２のロボットと、
   本洗浄室を密閉空間にして、本洗浄室内部を洗浄する自己洗浄手段とを備え、
   本洗浄室の開口部に設けた開閉自在なシャッター機構を閉状態にすることによって、本洗浄室の密閉空間を形成するとともに、クリーンルーム及び非クリーンルームで分離されるエリアを形成する、前記装置。
2. 前記物品の本洗浄は、前記シャッター機構を閉状態にして行う、請求項１に記載の装置。
3. 前記第２のロボットが本洗浄室から前記物品を搬出した後、前記自己洗浄手段により本洗浄室の洗浄が行われる、請求項１又は２に記載の装置。
4. 前記乾燥室が複数ある場合、各乾燥室の乾燥時間を、前記物品の洗浄を完了する時間よりも長く設定しておき、
   前記第２のロボットが、複数の乾燥室のうち使用していない乾燥室に本洗浄後の前記物品を搬入することによって、洗浄処理と乾燥処理とを並行して実行させる、請求項１〜３の何れか１項に記載の装置。
5. 物品の洗浄及び乾燥方法であって、
   クリーンルーム外部に配置された第１のロボットが、予洗浄のために物品を予洗浄室に搬入し、予洗浄の終了後に前記物品を本洗浄室に搬入する処理と、
   前記物品の本洗浄の終了後、クリーンルーム内部に配置された第２のロボットが、本洗浄室から前記物品を搬出して、１以上の乾燥室のいずれかに搬入する処理と、
   本洗浄室を密閉空間にして、本洗浄室内部を洗浄する処理と、を含み、
   本洗浄室の開口部に設けた開閉自在なシャッター機構を閉状態することによって、本洗浄室の密閉空間を形成するとともに、クリーンルーム及び非クリーンルームで分離されるエリアを形成する、前記方法。
6. 前記物品の本洗浄は、前記シャッター機構を閉状態にして行われる、請求項５に記載の方法。
7. 前記第２のロボットが本洗浄室から前記物品を搬出した後、本洗浄室の洗浄が行われる、請求項５又は６に記載の方法。
8. 前記乾燥室が複数ある場合、各乾燥室の乾燥時間を、前記物品の洗浄を完了する時間よりも長く設定しておき、
   前記第２のロボットが、複数の乾燥室のうち使用していない乾燥室に本洗浄後の前記物品を搬入することによって、洗浄処理と乾燥処理とが並行して行われる、請求項５〜７の何れか１項に記載の方法。

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