JP5835732B2 - Wiring board - Google Patents

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本発明は、半導体素子等の電子部品を搭載するために用いられる配線基板に関する。   The present invention relates to a wiring board used for mounting electronic components such as semiconductor elements.

従来、半導体素子等の電子部品を搭載するために用いられる配線基板は、図3に示すように、例えばガラス−エポキシ板等から成るコア用の絶縁層11aとエポキシ樹脂等から成るビルドアップ用の絶縁層11bとを複数層積層して成る絶縁基板11の各絶縁層11a,11bの表面に銅箔や銅めっき膜等の導体層から成る複数の配線導体層12を設けるとともにコア用の絶縁層11aを貫通する貫通導体(以下スルーホール導体と呼ぶ)13およびビルドアップ用の各絶縁層11bを貫通する貫通導体(以下ビア導体と呼ぶ)14により上下の配線導体層12を接続して成る。   Conventionally, as shown in FIG. 3, a wiring board used for mounting an electronic component such as a semiconductor element is a build-up layer made of a core insulating layer 11a made of, for example, a glass-epoxy plate, and an epoxy resin. A plurality of wiring conductor layers 12 made of a conductor layer such as a copper foil or a copper plating film are provided on the surface of each insulating layer 11a, 11b of an insulating substrate 11 formed by laminating a plurality of insulating layers 11b, and an insulating layer for a core The upper and lower wiring conductor layers 12 are connected by a through conductor (hereinafter referred to as a through-hole conductor) 13 penetrating 11a and a through conductor (hereinafter referred to as a via conductor) 14 penetrating each build-up insulating layer 11b.

このような配線基板においては、絶縁基板11の上面側における最外層の絶縁層11bの表面に設けた配線導体層12の一部が半導体素子等の電子部品Eの電極Tに半田バンプB1を介して電気的に接続される電子部品接続パッド15を形成しているとともに絶縁基板11の下面側における最外層の絶縁層11bの表面に設けた配線導体層12の一部が外部電気回路基板(不図示)に半田ボールB2を介して電気的に接続される外部接続パッド16を形成しており、これらの電子部品接続パッド15と外部接続パッド16とは絶縁基板11の上下面の間に設けた配線導体層12およびスルーホール導体13,ビア導体14を介してそれぞれ互いに電気的に接続されている。なお、最外層の絶縁層11bの表面には電子部品接続パッド15や外部接続パッド16を所定の形状および大きさで露出させるソルダーレジスト層17が積層されている。   In such a wiring substrate, a part of the wiring conductor layer 12 provided on the surface of the outermost insulating layer 11b on the upper surface side of the insulating substrate 11 is connected to the electrode T of the electronic component E such as a semiconductor element via the solder bump B1. In addition, a part of the wiring conductor layer 12 provided on the surface of the outermost insulating layer 11b on the lower surface side of the insulating substrate 11 is formed on the external electric circuit board (non-electrical circuit board). The external connection pads 16 that are electrically connected via the solder balls B2 are formed in the figure), and these electronic component connection pads 15 and the external connection pads 16 are provided between the upper and lower surfaces of the insulating substrate 11. The wiring conductor layer 12, the through-hole conductor 13, and the via conductor 14 are electrically connected to each other. A solder resist layer 17 that exposes the electronic component connection pads 15 and the external connection pads 16 in a predetermined shape and size is laminated on the surface of the outermost insulating layer 11b.

そして、この配線基板は、電子部品Eの電極Tを半田バンプB1を介して電子部品接続パッド15に電気的に接続した後、外部接続パッド16を半田ボールB2を介して外部電気回路基板(不図示)の配線導体に接続することにより搭載する電子部品Eが外部電気回路に電気的に接続されることとなる。   In this wiring board, the electrode T of the electronic component E is electrically connected to the electronic component connection pad 15 via the solder bump B1, and then the external connection pad 16 is connected to the external electric circuit board (not-used) via the solder ball B2. By connecting to the wiring conductor (shown), the electronic component E to be mounted is electrically connected to the external electric circuit.

ところで、このような配線基板における配線導体層12は、用途によって信号用の配線導体12(S)と接地用の配線導体12(G)と電源用の配線導体12(P)とに機能化されている。このうち信号用の配線導体12(S)は、半導体素子等の電子部品Eと外部電気回路基板との間で電気信号を伝播させるための導電路として機能し、細い帯状の導体パターンを有している。また、接地用の配線導体12(G)や電源用の配線導体12(P)は、配線基板に搭載される電子部品Eにそれぞれ接地電位や電源電位を供給する供給路としての機能を有しているとともに信号用の配線導体12(S)に対する電磁シールド機能や特性インピーダンスの調整機能を有している。   By the way, the wiring conductor layer 12 in such a wiring board is functionalized into a signal wiring conductor 12 (S), a ground wiring conductor 12 (G), and a power wiring conductor 12 (P) depending on applications. ing. Among these, the signal wiring conductor 12 (S) functions as a conductive path for propagating an electric signal between the electronic component E such as a semiconductor element and the external electric circuit board, and has a thin strip-shaped conductor pattern. ing. Further, the ground wiring conductor 12 (G) and the power wiring conductor 12 (P) have functions as supply paths for supplying a ground potential and a power supply potential to the electronic components E mounted on the wiring board, respectively. In addition, it has an electromagnetic shielding function and a characteristic impedance adjustment function for the signal wiring conductor 12 (S).

そしてこれらの信号用,接地用および電源用の配線導体12(S),12(G),12(P)に接続された電子部品接続パッド15や外部接続パッド16もそれぞれに対応して信号用,接地用および電源用の電子部品接続パッド15(S),15(G),15(P)や信号用,接地用および電源用の外部接続パッド16(S),16(G),16(P)に分類される。これらの電子部品接続パッド15(S),15(G),15(P)や外部接続パッド16(S),16(G),16(P)は、最外層の絶縁層11b表面に設けた配線導体層12の一部をそれぞれソルダーレジスト層17から露出させることで形成されている。なお、接地用の配線導体12(G)や電源用の配線導体12(P)は、例えば絶縁基板11の下面側の配線導体層12において所定の領域を占める広面積のパターンを有して配置されることが多く、これに対応する接地用の外部接続パッド16(G)や電源用の外部接続パッド16(P)もその広面積のパターンの直下およびその近傍に複数個が集合して形成されることが多い。   The electronic component connection pad 15 and the external connection pad 16 connected to these signal, grounding and power supply wiring conductors 12 (S), 12 (G), 12 (P) correspond to the corresponding signals. , Grounding and power supply electronic component connection pads 15 (S), 15 (G), 15 (P) and signal, grounding and power supply external connection pads 16 (S), 16 (G), 16 ( P). These electronic component connection pads 15 (S), 15 (G), 15 (P) and external connection pads 16 (S), 16 (G), 16 (P) are provided on the surface of the outermost insulating layer 11b. Each of the wiring conductor layers 12 is formed by being exposed from the solder resist layer 17. The ground wiring conductor 12 (G) and the power wiring conductor 12 (P) are arranged, for example, with a wide area pattern that occupies a predetermined area in the wiring conductor layer 12 on the lower surface side of the insulating substrate 11. In many cases, a plurality of ground external connection pads 16 (G) and power supply external connection pads 16 (P) corresponding to the ground are formed immediately below and in the vicinity of the large area pattern. Often done.

図4は、従来の配線基板における接地用の配線導体12(G)およびこれに接続される接地用の外部接続パッド16(G)ならびに電源用の配線導体12(P)およびこれに接続される電源用の外部接続パッド16(P)の例を示す要部分解斜視図である。この図4においては、図3に示した絶縁基板11の下面側における配線導体層12ならびにそれらに接続されるスルーホール導体13およびビア導体14の一部を示しており、破線の矢印が下層の配線導体層12からのビア導体14の接続位置を示している。   FIG. 4 shows a grounding wiring conductor 12 (G) and a grounding external connection pad 16 (G) connected thereto and a power supply wiring conductor 12 (P) and a power supply wiring conductor 12 (P) in the conventional wiring board. It is a principal part disassembled perspective view which shows the example of the external connection pad 16 (P) for power supplies. 4 shows a part of the wiring conductor layer 12 on the lower surface side of the insulating substrate 11 shown in FIG. 3 and through-hole conductors 13 and via conductors 14 connected thereto, and the broken-line arrows indicate the lower layer. The connection position of the via conductor 14 from the wiring conductor layer 12 is shown.

図4に示すように、絶縁基板11の下面側における最上層の配線導体層12は、或る領域において広面積の接地用の配線導体12(G)と広面積の電源用の配線導体12(P)とを互いに隣接して備えている。これらの接地用の配線導体12(G)および電源用の配線導体12(P)には対応する複数のスルーホール導体13がそれぞれ接続されている。   As shown in FIG. 4, the uppermost wiring conductor layer 12 on the lower surface side of the insulating substrate 11 includes a large area grounding conductor 12 (G) and a large area power supply conductor 12 ( P) adjacent to each other. A plurality of corresponding through-hole conductors 13 are connected to the grounding wiring conductor 12 (G) and the power supply wiring conductor 12 (P), respectively.

その下層に位置する配線導体層12では、広面積の接地用の配線導体12(G)がその大部分を占めている。この層のこの領域においては、電源用の配線導体12(P)はビア導体14を接続するための小さな円形のランドパターンのみが存在する。これらの電源用の配線導体12(P)のランドパターンと接地用の配線導体12(G)とは、接地用の配線導体12(G)に電源用の配線導体12(P)のランドパターンを取り囲むように形成された開口部により互いに電気的に絶縁されている。そしてこれらの接地用の配線導体12(G)および電源用の配線導体12(P)は、ビア導体14を介してそれぞれ対応する上層の接地用の配線導体12(G)または電源用の配線導体12(P)に接続されている。   In the wiring conductor layer 12 located in the lower layer, a large area of the wiring conductor 12 (G) for grounding occupies most. In this region of this layer, the power supply wiring conductor 12 (P) has only a small circular land pattern for connecting the via conductor 14. The land pattern of the power wiring conductor 12 (P) and the ground wiring conductor 12 (G) are obtained by changing the land pattern of the power wiring conductor 12 (P) to the ground wiring conductor 12 (G). They are electrically insulated from each other by openings formed to surround them. The ground wiring conductor 12 (G) and the power wiring conductor 12 (P) correspond to the corresponding upper wiring conductor 12 (G) or power wiring conductor via the via conductors 14. 12 (P).

最下層の配線導体層12においては、広面積の電源用の配線導体12(P)がその大部分を占めている。電源用の配線導体12(P)には、複数の電源用の外部接続パッド16(P)としての部位が互いに集合した配置で包含されている。この層のこの領域においては、接地用の配線導体12(G)としては接地用の外部接続パッド16(G)のみが存在する。接地用の外部接続パッド16(G)と電源用の配線導体12(P)とは、電源用の配線導体12(P)に接地用の外部接続パッド16(G)を取り囲むように形成された開口部により互いに電気的に絶縁されている。そしてこれらの接地用の外部接続パッド16(G)および電源用の配線導体12(P)は、ビア導体14を介してそれぞれ対応する上層の接地用の配線導体12(G)または電源用の配線導体12(P)に接続されている。なお、一部の電源用の外部接続パッド16(P)は、その上方に広面積の電源用の配線導体12(P)が配置されておらず、最下層の電源用の配線導体12(P)を通してのみ上層の電源用の配線導体12(P)に接続されている。   In the lowermost wiring conductor layer 12, the wiring conductor 12 (P) for power supply having a large area occupies most of the wiring conductor layer 12. The power supply wiring conductor 12 (P) includes a plurality of power supply external connection pads 16 (P) in an arrangement in which the portions are gathered together. In this region of this layer, only the grounding external connection pad 16 (G) exists as the grounding wiring conductor 12 (G). The grounding external connection pad 16 (G) and the power supply wiring conductor 12 (P) are formed to surround the grounding external connection pad 16 (G) in the power supply wiring conductor 12 (P). The openings are electrically insulated from one another. The grounding external connection pads 16 (G) and the power supply wiring conductors 12 (P) are respectively connected to the corresponding upper-layer grounding wiring conductors 12 (G) or power supply wirings via the via conductors 14. It is connected to the conductor 12 (P). Note that some of the external connection pads 16 (P) for power supply are not provided with the power supply wiring conductor 12 (P) having a large area above the power supply wiring pad 12 (P). ) Is connected to the wiring conductor 12 (P) for the upper layer power supply only through the).

ところで、配線基板に搭載される半導体素子等の電子部品Eを良好に作動させるためには、電源用の電子部品接続パッド15(P)から電源用の外部接続パッド16(P)までと接地用の電子部品接続パッド15(G)から接地用の外部接続パッド16(G)までとの間のループインピーダンスが低いことが求められる。しかしながら、本発明者の解析によると、図4に示したように、例えば一部の電源用の外部接続パッド16(P)の上方に広面積の電源用の配線導体12(P)が配置されておらず、それらの一部の電源用の外部接続パッド16(P)が最下層の電源用の配線導体12(P)を通してのみ上層の電源用の配線導体12(P)に接続されている場合、電源用の電子部品接続パッド15(P)から電源用の外部接続パッド16(P)までと接地用の電子部品接続パッド15(G)から接地用の外部接続パッド16(G)までとの間におけるループインピーダンスを十分に低いものとすることができないことが分かった。   By the way, in order to operate the electronic component E such as a semiconductor element mounted on the wiring board satisfactorily, from the electronic component connection pad 15 (P) for power supply to the external connection pad 16 (P) for power supply and for grounding. The loop impedance between the electronic component connection pad 15 (G) and the ground external connection pad 16 (G) is required to be low. However, according to the analysis of the present inventor, as shown in FIG. 4, for example, a wide area power supply wiring conductor 12 (P) is arranged above a part of the external connection pads 16 (P) for power supply. However, some of the external connection pads 16 (P) for power supply are connected to the upper power supply wiring conductor 12 (P) only through the lowermost power supply wiring conductor 12 (P). The power supply electronic component connection pad 15 (P) to the power supply external connection pad 16 (P) and the grounding electronic component connection pad 15 (G) to the grounding external connection pad 16 (G). It was found that the loop impedance during the period cannot be made sufficiently low.

特開平8−172141号公報JP-A-8-172141

本発明は、電源用の電子部品接続パッドから電源用の外部接続パッドまでと接地用の電子部品接続パッドから接地用の外部接続パッドまでとの間におけるループインピーダンスを十分に低いものとして、搭載する半導体素子等の電子部品を良好に作動させることが可能な配線基板を提供することを課題とする。   The present invention is mounted with a sufficiently low loop impedance between the power supply electronic component connection pad and the power supply external connection pad and the grounding electronic component connection pad and the grounding external connection pad. It is an object of the present invention to provide a wiring board capable of favorably operating an electronic component such as a semiconductor element.

本発明の配線基板は、コア用の絶縁層の上下面に複数のビルドアップ用の絶縁層が積層されて成る絶縁基板の前記コア用の絶縁層の下面に、互いに隣接して形成された互いに異なる広面積の第1および第2の接地用または電源用の配線導体を有するとともに、前記絶縁基板の上面に前記第1の接地用または電源用の配線導体に電気的に接続された複数の第1の接地用または電源用の電子部品接続パッドおよび前記第2の接地用または電源用の配線導体に電気的に接続された複数の第2の接地用または電源用の電子部品接続パッドならびに前記絶縁基板の下面に前記第1の接地用または電源用の配線導体に電気的に接続された複数の第1の接地用または電源用の外部接続パッドおよび前記第2の接地用または電源用の配線導体に電気的に接続された複数の第2の接地用または電源用の外部接続パッドを有し、前記第1の接地用または電源用の外部接続パッドのうちの複数個が前記第1および第2の接地用または電源用の配線導体の下方の領域に跨って互いに集合して配置されて成る配線基板であって、集合して配置された全ての前記第1の接地用または電源用の外部接続パッドの上方の前記ビルドアップ用の絶縁層間に前記第1の接地用または電源用の配線導体に接続された広面積の第3の接地用または電源用の配線導体が配置されているとともに、集合して配置された前記第1の接地用または電源用の外部接続パッドとその上方に配置された前記第3の接地用または電源用の配線導体とが、集合して配置された前記第1の接地用または電源用の外部接続パッドの各々に接続されたビア導体を介して互いに電気的に接続されていることを特徴とするものである。
The wiring board of the present invention is formed on the lower surface of the core insulating layer of the insulating substrate formed by laminating a plurality of build-up insulating layers on the upper and lower surfaces of the core insulating layer. A plurality of first and second grounding or power supply wiring conductors having different large areas, and a plurality of first grounding or power supply wiring conductors electrically connected to the upper surface of the insulating substrate . One grounding or power supply electronic component connection pad and a plurality of second grounding or power supply electronic component connection pads electrically connected to the second grounding or power supply wiring conductor and the insulation A plurality of first grounding or power supply external connection pads electrically connected to the first grounding or power supply wiring conductor on the lower surface of the substrate and the second grounding or power supply wiring conductor Electrically connected to Having a plurality of second external connection pads for ground or power, wherein the first plurality is or power for the first and second grounding of the external connection pads for grounding or power A wiring board formed by being assembled and arranged across a region below the wiring conductor of the first and the builds above all of the first grounding or power supply external connection pads arranged together together with the third wiring conductors for ground or power large area that is connected to the grounding or the wiring conductor of the power supply the first insulating interlayer for up are arranged, disposed to set the first external connection pads for grounding or for power source and the wiring conductors of the said located above the third for grounding or for power source, the first being arranged to set for ground or power Each of the external connection pads And it is characterized in that it is electrically connected to each other via a conductor.

本発明の配線基板によれば、絶縁基板の下面に互いに集合して配置された全ての接地用または電源用の外部接続パッドの上方に、絶縁基板における絶縁層間の一部を占有する接地用または電源用の配線導体が配置されているとともに、両者が外部接続パッドの各々に接続されたビア導体を介して互いに電気的に接続されていることから、集合して配置された接地用または電源用の外部接続パッドとその上方に配置された接地または電源用の配線導体との間のビア導体を介した電流経路が多くなる。したがって、電源用の電子部品接続パッドから電源用の外部接続パッドまでと接地用の電子部品接続パッドから接地用の外部接続パッドまでとの間におけるループインピーダンスが低いものとなり、それにより搭載する半導体素子等の電子部品を良好に作動させることが可能な配線基板を提供することができる。   According to the wiring board of the present invention, above all grounding or power supply external connection pads arranged together on the lower surface of the insulating substrate, the grounding that occupies a part of the insulating layer in the insulating substrate or The wiring conductor for power supply is arranged, and both are electrically connected to each other via via conductors connected to each of the external connection pads. Current paths through via conductors between the external connection pads and the ground or power supply wiring conductors disposed above the external connection pads increase. Therefore, the loop impedance between the electronic component connection pad for power supply and the external connection pad for power supply and from the electronic component connection pad for grounding to the external connection pad for grounding is low, and thereby the semiconductor element to be mounted It is possible to provide a wiring board capable of favorably operating electronic components such as the above.

図1は、本発明の配線基板の実施形態の一例を示す概略断面図である。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an example of an embodiment of a wiring board according to the present invention. 図2は、図1に示す配線基板における要部分解斜視図である。2 is an exploded perspective view of a main part of the wiring board shown in FIG. 図3は、従来の配線基板を示す概略断面図である。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing a conventional wiring board. 図4は、図3に示す配線基板における要部分解斜視図である。4 is an exploded perspective view of a main part of the wiring board shown in FIG.

次に、本発明の配線基板の実施形態の一例を添付の図を基に説明する。図1は本発明の配線基板の実施形態の一例を示す概略断面図である。この図1において、1は絶縁基板、2は配線導体層、3,4は貫通導体、5は電子部品接続パッド、6は外部接続パッドであり、主としてこれらで半導体素子等の電子部品Eを搭載するための配線基板が構成される。   Next, an example of an embodiment of a wiring board according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a schematic sectional view showing an example of an embodiment of a wiring board according to the present invention. In FIG. 1, 1 is an insulating substrate, 2 is a wiring conductor layer, 3 and 4 are through conductors, 5 is an electronic component connection pad, and 6 is an external connection pad. These components mainly mount an electronic component E such as a semiconductor element. A wiring board is configured for this purpose.

絶縁基板1は、例えばガラス繊維を縦横に織り込んだガラス織物にエポキシ樹脂やビスマレイミドトリアジン樹脂等の熱硬化性樹脂を含浸させて成るコア用の絶縁層1aの上下面にエポキシ樹脂やビスマレイミドトリアジン樹脂等の熱硬化性樹脂から成るビルドアップ用の絶縁層1bがそれぞれ複数層ずつ積層されて成り、各絶縁層1a,1bの表面に銅箔や銅めっき膜等の導体層から成る複数の配線導体層2が形成されているとともに、コア用の絶縁層1aを貫通して貫通導体(以下スルーホール導体と呼ぶ)3および各ビルドアップ用の絶縁層1bを貫通して貫通導体(以下ビア導体と呼ぶ)4が形成されている。   The insulating substrate 1 is made of, for example, epoxy resin or bismaleimide triazine on the upper and lower surfaces of a core insulating layer 1a formed by impregnating a glass fabric in which glass fibers are woven vertically and horizontally with a thermosetting resin such as epoxy resin or bismaleimide triazine resin. A plurality of build-up insulating layers 1b made of a thermosetting resin such as a resin are laminated, and a plurality of wirings made of a conductor layer such as a copper foil or a copper plating film on the surface of each insulating layer 1a, 1b A conductor layer 2 is formed, and penetrates through a core insulating layer 1a and penetrates through conductors (hereinafter referred to as through-hole conductors) 3 and build-up insulating layers 1b. 4) is formed.

絶縁基板1を構成するコア用の絶縁層1aは、厚みが0.2〜1.5mm程度であり、その上面から下面にかけて直径が75〜300μm程度の複数の貫通孔(以下スルーホールと呼ぶ)7を有している。そして、その上下面には配線導体層2が被着されているとともに各スルーホール7の内面には、スルーホール導体3が被着されており、絶縁層1aの上下面の配線導体層2がスルーホール導体3を介して電気的に接続されている。   The core insulating layer 1a constituting the insulating substrate 1 has a thickness of about 0.2 to 1.5 mm and a plurality of through holes (hereinafter referred to as through holes) having a diameter of about 75 to 300 μm from the upper surface to the lower surface. 7. And the wiring conductor layer 2 is attached to the upper and lower surfaces, and the through-hole conductor 3 is attached to the inner surface of each through-hole 7, and the wiring conductor layers 2 on the upper and lower surfaces of the insulating layer 1a are formed. They are electrically connected through the through-hole conductor 3.

このような絶縁層1aは、ガラス織物に未硬化の熱硬化性樹脂を含浸させたシートを熱硬化させた後、これに上面から下面にかけてドリル加工を施すことにより製作される。なお、絶縁層1a上下面の配線導体層2は、絶縁層1a用のシートの上下全面に厚みが5〜50μm程度の銅箔を貼着しておくとともに、この銅箔をシートの硬化後にエッチング加工することにより所定のパターンに形成される。また、スルーホール7内面のスルーホール導体3は、絶縁層1aにスルーホール7を設けた後に、このスルーホール7内面に無電解めっき法および電解めっき法により厚みが5〜50μm程度の銅めっき膜を析出させることにより形成される。   Such an insulating layer 1a is manufactured by thermally curing a sheet in which a glass fabric is impregnated with an uncured thermosetting resin, and then drilling the sheet from the upper surface to the lower surface. In addition, the wiring conductor layer 2 on the upper and lower surfaces of the insulating layer 1a has a copper foil having a thickness of about 5 to 50 μm attached to the entire upper and lower surfaces of the sheet for the insulating layer 1a, and the copper foil is etched after the sheet is cured. A predetermined pattern is formed by processing. The through-hole conductor 3 on the inner surface of the through-hole 7 is provided with a copper plating film having a thickness of about 5 to 50 μm by electroless plating and electrolytic plating on the inner surface of the through-hole 7 after providing the through-hole 7 in the insulating layer 1a. It is formed by precipitating.

さらに、絶縁層1aは、そのスルーホール7の内部にエポキシ樹脂やビスマレイミドトリアジン樹脂等の熱硬化性樹脂から成る孔埋め樹脂8が充填されている。孔埋め樹脂8は、スルーホール7を塞ぐことによりスルーホール7の直上および直下にビルドアップ用の絶縁層1bを形成可能とするためのものであり、未硬化のペースト状の熱硬化性樹脂をスルーホール7内にスクリーン印刷法により充填し、これを熱硬化させた後、その上下面を略平坦に研磨することにより形成される。そして、この孔埋め樹脂8を含む絶縁層1aの上下面に絶縁層1bが積層されている。   Further, the insulating layer 1 a is filled with a hole filling resin 8 made of a thermosetting resin such as an epoxy resin or a bismaleimide triazine resin in the through hole 7. The hole-filling resin 8 is for making it possible to form a build-up insulating layer 1b directly above and below the through-hole 7 by closing the through-hole 7, and an uncured paste-like thermosetting resin is used. The through hole 7 is formed by filling the through hole 7 by screen printing and thermally curing it, and then polishing the upper and lower surfaces thereof substantially flatly. The insulating layer 1b is laminated on the upper and lower surfaces of the insulating layer 1a including the hole filling resin 8.

絶縁層1aの上下面に積層された絶縁層1bは、それぞれの厚みが20〜50μm程度であり、各層の上面から下面にかけて直径が30〜100μm程度の複数の貫通孔(以下ビアホールと呼ぶ)9を有している。これらの絶縁層1bは、複数の配線導体層2を高密度に配線するための絶縁間隔を提供するためのものであり、絶縁層1bにはその表面に配線導体層2およびビアホール9内にビア導体4が形成されている。そして、上層の配線導体層2と下層の配線導体層2とをビアホール9内のビア導体4を介して電気的に接続することにより高密度配線を立体的に形成可能としている。   The insulating layer 1b laminated on the upper and lower surfaces of the insulating layer 1a has a thickness of about 20 to 50 μm and a plurality of through holes (hereinafter referred to as via holes) 9 having a diameter of about 30 to 100 μm from the upper surface to the lower surface of each layer. have. These insulating layers 1b are provided to provide an insulating interval for wiring the plurality of wiring conductor layers 2 with high density, and the insulating layer 1b has vias in the wiring conductor layers 2 and via holes 9 on the surface thereof. A conductor 4 is formed. The upper wiring conductor layer 2 and the lower wiring conductor layer 2 are electrically connected via the via conductor 4 in the via hole 9 so that a high-density wiring can be formed in three dimensions.

このような絶縁層1bは、厚みが20〜50μm程度の未硬化の熱硬化性樹脂フィルムを絶縁層1aの上下面に貼着し、これを熱硬化させるとともにレーザ加工によりビアホール9を穿孔し、さらにその上に同様にして次の絶縁層1bを順次積み重ねることによって形成される。なお、各絶縁層1b表面に形成された配線導体層2およびビアホール9内に形成されたビア導体4は、各絶縁層1bを形成する毎に各絶縁層1bの表面およびビアホール9内に5〜50μm程度の厚みの銅めっき膜を公知のセミアディティブ法やサブトラクティブ法等のパターン形成法により所定のパターンに被着させることによって形成される。   Such an insulating layer 1b is obtained by sticking an uncured thermosetting resin film having a thickness of about 20 to 50 μm to the upper and lower surfaces of the insulating layer 1a, thermosetting it, and drilling the via hole 9 by laser processing, Further, the next insulating layer 1b is sequentially stacked thereon in the same manner. The wiring conductor layer 2 formed on the surface of each insulating layer 1b and the via conductor 4 formed in the via hole 9 are added to the surface of each insulating layer 1b and the via hole 9 every time each insulating layer 1b is formed. It is formed by depositing a copper plating film having a thickness of about 50 μm in a predetermined pattern by a known pattern forming method such as a semi-additive method or a subtractive method.

さらに、この例では最外層の絶縁層1b上にソルダーレジスト層10が被着されている。ソルダーレジスト層10は、例えばアクリル変性エポキシ樹脂にシリカやタルク等の無機物粉末フィラーを30〜70質量%程度分散させた絶縁材料から成り、最外層の配線導体層2同士の電気的絶縁信頼性を高める作用をなす。   Further, in this example, the solder resist layer 10 is deposited on the outermost insulating layer 1b. The solder resist layer 10 is made of an insulating material in which an inorganic powder filler such as silica or talc is dispersed in an acrylic-modified epoxy resin, for example, and has an electrical insulation reliability between the outermost wiring conductor layers 2. It works to increase.

このようなソルダーレジスト層10は、その厚みが10〜50μm程度であり、感光性を有するソルダーレジスト層10用の未硬化樹脂ペーストをロールコーター法やスクリーン印刷法を採用して最外層の絶縁層1b上に塗布し、これを乾燥させた後、露光および現像処理を行なって電子部品接続パッド5や外部接続パッド6を露出させる開口を形成した後、これを熱硬化させることによって形成される。あるいは、ソルダーレジスト層10用の未硬化の樹脂フィルムを最上層の絶縁層1b上に貼着した後、これを熱硬化させ、しかる後、電子部品接続パッド5や外部接続パッド6に対応する位置にレーザ光を照射し、硬化した樹脂フィルムを部分的に除去することによって電子部品接続パッド5や外部接続パッド6を露出させる開口を有するように形成される。   Such a solder resist layer 10 has a thickness of about 10 to 50 μm, and an uncured resin paste for the solder resist layer 10 having photosensitivity is applied to the outermost insulating layer by using a roll coater method or a screen printing method. It is formed by applying on 1b and drying it, then performing exposure and development processes to form openings for exposing the electronic component connection pads 5 and external connection pads 6, and then thermally curing them. Alternatively, after an uncured resin film for the solder resist layer 10 is stuck on the uppermost insulating layer 1b, this is thermally cured, and then the positions corresponding to the electronic component connection pads 5 and the external connection pads 6 Are formed so as to have openings for exposing the electronic component connection pads 5 and the external connection pads 6 by partially removing the cured resin film.

絶縁基板1の絶縁層1a,1bの表面に形成された配線導体層2は、半導体素子等の電子部品Eの各電極T(信号用,接地用および電源用電極)を外部電気回路基板(不図示)に電気的に接続するための導電路として機能し、電子部品Eの各電極Tに対応して信号用の配線導体2(S),接地用の配線導体2(G),電源用の配線導体2(P)をそれぞれ有している。これらの配線導体層2のうち、絶縁基板1の上面側における最外層の絶縁層1bの表面に設けたの一部が半導体素子等の電子部品Eの電極Tに半田バンプB1を介して電気的に接続される電子部品接続パッド5を形成しているとともに絶縁基板1の下面側における最外層の絶縁層1bの表面に設けた一部が外部電気回路基板(不図示)に半田ボールB2を介して電気的に接続される外部接続パッド6を形成している。これらの電子部品接続パッド5と外部接続パッド6とは絶縁基板1の上下面の間に設けた配線導体層2およびスルーホール導体3,ビア導体4を介してそれぞれ互いに電気的に接続されている。なお、電子部品接続パッド5および外部接続パッド6も、これらに接続される配線導体層2に対応して信号用の電子部品接続パッド5(S),接地用の電子部品接続パッド5(G)および電源用の電子部品接続パッド5(P)と、信号用の外部接続パッド6(S),接地用の外部接続パッド6(G)および電源用の外部接続パッド6(P)とを有している。   The wiring conductor layer 2 formed on the surfaces of the insulating layers 1a and 1b of the insulating substrate 1 is used to connect each electrode T (signal, grounding and power supply electrode) of the electronic component E such as a semiconductor element to an external electric circuit board (non-conductive circuit board). It functions as a conductive path for electrical connection to the figure), corresponding to each electrode T of the electronic component E, signal wiring conductor 2 (S), grounding wiring conductor 2 (G), power supply Each has a wiring conductor 2 (P). A part of the wiring conductor layer 2 provided on the surface of the outermost insulating layer 1b on the upper surface side of the insulating substrate 1 is electrically connected to the electrode T of the electronic component E such as a semiconductor element via the solder bump B1. A part provided on the surface of the outermost insulating layer 1b on the lower surface side of the insulating substrate 1 is formed on the external electric circuit substrate (not shown) via the solder balls B2. Thus, the external connection pads 6 to be electrically connected are formed. These electronic component connection pads 5 and external connection pads 6 are electrically connected to each other via a wiring conductor layer 2, a through-hole conductor 3 and a via conductor 4 provided between the upper and lower surfaces of the insulating substrate 1. . The electronic component connection pad 5 and the external connection pad 6 also correspond to the wiring conductor layer 2 connected to them, and the signal electronic component connection pad 5 (S) and the grounding electronic component connection pad 5 (G). And an electronic component connection pad 5 (P) for power supply, an external connection pad 6 (S) for signal, an external connection pad 6 (G) for grounding, and an external connection pad 6 (P) for power supply ing.

信号用の配線導体2(S)は、搭載される電子部品Eと外部電気回路基板(不図示)との間で周波数が100M〜10GHz程度の高速の電気信号を伝播させるための細い帯状パターンを例えば絶縁基板1の上面側における最外層の絶縁層1bと次層の絶縁層1bとの間に有している。そして、この帯状パターンの一端部は絶縁基板1の上面側における最外層の絶縁層1bを貫通するビア導体4を介して最外層の絶縁層1bの表面に設けた信号用の電子部品接続パッド5(S)に接続されており、他端部はこの帯状パターンより下側の絶縁層1bに設けたビア導体4および絶縁層1aに設けたスルーホール導体3を介して絶縁基板1の下面側における最外層の絶縁層1bの表面に設けた信号用の外部接続パッド6(S)に電気的に接続されている。   The signal wiring conductor 2 (S) has a thin belt-like pattern for propagating a high-speed electric signal having a frequency of about 100 M to 10 GHz between the electronic component E to be mounted and an external electric circuit board (not shown). For example, it is provided between the outermost insulating layer 1 b and the next insulating layer 1 b on the upper surface side of the insulating substrate 1. One end of the belt-like pattern is connected to a signal electronic component connection pad 5 provided on the surface of the outermost insulating layer 1b through a via conductor 4 penetrating the outermost insulating layer 1b on the upper surface side of the insulating substrate 1. The other end is connected to the lower surface side of the insulating substrate 1 via the via conductor 4 provided in the insulating layer 1b below the band-like pattern and the through-hole conductor 3 provided in the insulating layer 1a. It is electrically connected to a signal external connection pad 6 (S) provided on the surface of the outermost insulating layer 1b.

接地用の配線導体2(G)は、搭載される電子部品Eに接地電位を供給するとともに信号用の配線導体2(S)に対して電磁シールする機能や特性インピーダンス調整する機能を有している。このうち、絶縁基板1の上面側における最外層の絶縁層1bの表面に形成された接地用の配線導体2(G)の一部はソルダーレジスト層10から露出して接地用の電子部品接続パッド5(G)を形成しており、絶縁基板1の下面側における最外層の絶縁層1bの表面に形成された接地用の配線導体2(G)の一部はソルダーレジスト層10から露出して接地用の外部接続パッド6(G)を形成している。また、絶縁基板1の表面や内部に形成された接地用の配線導体2(G)の別の一部は、上面側や下面側の配線導体層2における所定の領域を占めるように二次元的な広がりを有して延在する広面積のパターンを有している。そして、これらの接地用の配線導体2(G)同士は絶縁層1aに設けたスルーホール導体3および絶縁層1bに設けたビア導体4を介して互に電気的に接続されている。   The grounding wiring conductor 2 (G) has a function of supplying a ground potential to the mounted electronic component E and electromagnetically sealing the signal wiring conductor 2 (S) and adjusting a characteristic impedance. Yes. Among these, a part of the grounding wiring conductor 2 (G) formed on the surface of the outermost insulating layer 1 b on the upper surface side of the insulating substrate 1 is exposed from the solder resist layer 10 and is connected to the grounding electronic component connection pad. 5 (G) is formed, and a part of the ground wiring conductor 2 (G) formed on the surface of the outermost insulating layer 1 b on the lower surface side of the insulating substrate 1 is exposed from the solder resist layer 10. An external connection pad 6 (G) for grounding is formed. Further, another part of the grounding wiring conductor 2 (G) formed on the surface or inside of the insulating substrate 1 is two-dimensionally so as to occupy a predetermined region in the wiring conductor layer 2 on the upper surface side or the lower surface side. It has a wide area pattern extending with a wide spread. These grounding wiring conductors 2 (G) are electrically connected to each other via a through-hole conductor 3 provided in the insulating layer 1a and a via conductor 4 provided in the insulating layer 1b.

電源用の配線導体2(P)は、搭載される電子部品Eに電源電位を供給するとともに信号用の配線導体2(S)に対して電磁シールする機能や特性インピーダンス調整する機能を有している。このうち、絶縁基板1の上面側における最外層の絶縁層1bの表面に形成された電源用の配線導体2(P)の一部はソルダーレジスト層10から露出して電源用の電子部品接続パッド5(P)を形成しており、絶縁基板1の下面側における最外層の絶縁層1bの表面に形成された電源用の配線導体2(P)の一部はソルダーレジスト層10から露出して電源用の外部接続パッド6(P)を形成している。また、絶縁基板1の表面や内部に形成された電源用の配線導体2(P)の別の一部は、上面側や下面側の配線導体層2における所定の領域を占めるように二次元的な広がりを有して延在する広面積のパターンを有している。そして、これらの電源用の配線導体2(P)同士は絶縁層1aに設けたスルーホール導体3および絶縁層1bに設けたビア導体4を介して互に電気的に接続されている。   The power supply wiring conductor 2 (P) has a function of supplying a power supply potential to the mounted electronic component E and electromagnetically sealing the signal wiring conductor 2 (S) and adjusting a characteristic impedance. Yes. Among these, a part of the wiring conductor 2 (P) for power supply formed on the surface of the outermost insulating layer 1 b on the upper surface side of the insulating substrate 1 is exposed from the solder resist layer 10 and is an electronic component connection pad for power supply. 5 (P) is formed, and a part of the power supply wiring conductor 2 (P) formed on the surface of the outermost insulating layer 1 b on the lower surface side of the insulating substrate 1 is exposed from the solder resist layer 10. An external connection pad 6 (P) for power supply is formed. In addition, another part of the power supply wiring conductor 2 (P) formed on the surface or inside of the insulating substrate 1 is two-dimensional so as to occupy a predetermined region in the wiring conductor layer 2 on the upper surface side or the lower surface side. It has a wide area pattern extending with a wide spread. These power supply wiring conductors 2 (P) are electrically connected to each other through a through-hole conductor 3 provided in the insulating layer 1a and a via conductor 4 provided in the insulating layer 1b.

ここで、本例における接地用の配線導体2(G)およびこれに接続される接地用の外部接続パッド6(G)ならびに電源用の配線導体2(P)およびこれに接続される電源用の外部接続パッド6(P)の例を図2に要部分解斜視図で示す。この図2においては、図1に示した絶縁基板1の下面側における配線導体層2ならびにそれらに接続されるスルーホール導体3およびビア導体4の一部を示しており、破線の矢印が下層の配線導体層2からのビア導体4の接続位置を示している。   Here, the ground wiring conductor 2 (G) and the ground external connection pad 6 (G) connected to the ground wiring conductor 2 (P) and the power supply wiring conductor 2 (P) and the power source connected to the ground wiring conductor 2 (G) in this example An example of the external connection pad 6 (P) is shown in FIG. 2 shows a part of the wiring conductor layer 2 on the lower surface side of the insulating substrate 1 shown in FIG. 1 and the through-hole conductors 3 and via conductors 4 connected to them. The connection position of the via conductor 4 from the wiring conductor layer 2 is shown.

図2に示すように、絶縁基板1の下面側における最上層の配線導体層2は、或る領域において広面積の接地用の配線導体2(G)と広面積の電源用の配線導体2(P)とを互いに隣接して備えている。これらの接地用の配線導体2(G)および電源用の配線導体2(P)には対応する複数のスルーホール導体3がそれぞれ接続されている。   As shown in FIG. 2, the uppermost wiring conductor layer 2 on the lower surface side of the insulating substrate 1 includes a large area grounding wiring conductor 2 (G) and a large area power supply wiring conductor 2 ( P) adjacent to each other. A plurality of corresponding through-hole conductors 3 are connected to the ground wiring conductor 2 (G) and the power supply wiring conductor 2 (P), respectively.

その下層に位置する配線導体層2では、広面積の電源用の配線導体2(P)がその大部分を占めている。この層のこの領域においては、接地用の配線導体2(G)はビア導体4を接続するための小さな円形のランドパターンのみが存在する。これらの電源用の配線導体2(P)と接地用の配線導体2(G)のランドパターンとは、電源用の配線導体2(P)に接地用の配線導体2(G)のランドパターンを取り囲むように形成された開口部により互いに電気的に絶縁されている。そしてこれらの接地用の配線導体2(G)および電源用の配線導体2(P)は、ビア導体4を介してそれぞれ対応する上層の接地用の配線導体2(G)または電源用の配線導体2(P)に接続されている。   In the wiring conductor layer 2 located in the lower layer, the wiring conductor 2 (P) for power supply having a large area occupies most of the wiring conductor layer 2. In this region of this layer, the ground wiring conductor 2 (G) has only a small circular land pattern for connecting the via conductor 4. The land pattern of the power supply wiring conductor 2 (P) and the grounding wiring conductor 2 (G) is obtained by changing the land pattern of the grounding wiring conductor 2 (G) to the power supply wiring conductor 2 (P). They are electrically insulated from each other by openings formed to surround them. The ground wiring conductor 2 (G) and the power wiring conductor 2 (P) correspond to the corresponding upper ground wiring conductor 2 (G) or power wiring conductor via the via conductor 4. 2 (P).

最下層の配線導体層2においては、広面積の接地用の配線導体2(G)がその大部分を占めている。接地用の配線導体2(G)には、接地用の外部接続パッド6(G)としての部位が包含されている。この層のこの領域においては、電源用の配線導体2(G)としては電源用の外部接続パッド6(P)のみが存在する。これらの電源用の外部接続パッド6(P)は複数個が互いに集合して配置されている。電源用の外部接続パッド6(P)と接地用の配線導体2(G)とは、接地用の配線導体2(G)に電源用の外部接続パッド6(P)を取り囲むように形成された開口部により互いに電気的に絶縁されている。そしてこれらの接地用の配線導体2(G)および電源用の外部接続パッド6(P)は、ビア導体4を介してそれぞれ対応する上層の接地用の配線導体2(G)または電源用の配線導体2(P)に接続されている。   In the lowermost wiring conductor layer 2, a large area of the grounding wiring conductor 2 (G) occupies the majority. The grounding wiring conductor 2 (G) includes a portion as the grounding external connection pad 6 (G). In this region of this layer, only the power supply external connection pad 6 (P) exists as the power supply wiring conductor 2 (G). A plurality of these external connection pads 6 (P) for power supply are arranged in a collective manner. The external connection pad 6 (P) for power supply and the wiring conductor 2 (G) for grounding are formed so as to surround the external connection pad 6 (P) for power supply in the wiring conductor 2 (G) for grounding. The openings are electrically insulated from one another. The grounding wiring conductor 2 (G) and the power supply external connection pad 6 (P) are connected to the corresponding grounding wiring conductor 2 (G) or power supply wiring via the via conductor 4. It is connected to the conductor 2 (P).

そして本発明においては、集合して配置された全ての電源用の外部接続パッド6(P)の上方に電源用の配線導体2(P)が配置されているとともに、電源用の外部接続パッド6(P)とその上方の電源用の配線導体2(P)とが電源用の外部接続パッド6(P)の各々に接続されたビア導体4を介して互いに電気的に接続されている。このような配置とることによって、集合して配置された電源用の外部接続パッド6(P)とその上方の電源用の配線導体2(P)との間のビア導体4を介した電流経路を多く確保することができる。その結果、電源用の電子部品接続パッド5(P)から電源用の外部接続パッド6(P)までと接地用の電子部品接続パッド5(G)から接地用の外部接続パッド6(G)までとの間におけるループインピーダンスが低いものとなり、それにより搭載する半導体素子等の電子部品Eを良好に作動させることが可能な配線基板を提供することができる。   In the present invention, the power supply wiring conductors 2 (P) are disposed above all the power supply external connection pads 6 (P) arranged together, and the power supply external connection pads 6 are arranged. (P) and the wiring conductor 2 (P) for power supply thereabove are electrically connected to each other through via conductors 4 connected to each of the external connection pads 6 (P) for power supply. With such an arrangement, a current path via the via conductor 4 between the power supply external connection pad 6 (P) and the power supply wiring conductor 2 (P) disposed above the power supply external connection pad 6 (P) is gathered. Many can be secured. As a result, from the electronic component connection pad 5 (P) for power supply to the external connection pad 6 (P) for power supply and from the electronic component connection pad 5 (G) for grounding to the external connection pad 6 (G) for grounding. Therefore, it is possible to provide a wiring board capable of favorably operating the electronic component E such as a semiconductor element to be mounted.

本発明者が、図2に示した本発明に対応する解析モデルと、図4に示した従来技術に対応する解析モデルとで、電磁界シミュレータを用いて電磁界解析した結果によると、本発明に対応する解析モデルにおけるループインピーダンスが従来技術に対応する解析モデルにおけるループインピーダンスよりも5〜15%程度低下する結果が得られた。 According to the result of the electromagnetic field analysis using the electromagnetic field simulator by the inventor, the analysis model corresponding to the present invention shown in FIG. 2 and the analysis model corresponding to the prior art shown in FIG. As a result, the loop impedance in the analysis model corresponding to the above was reduced by about 5 to 15% from the loop impedance in the analysis model corresponding to the conventional technique.

なお、本発明は上述の実施形態の一例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば種々の変更は可能である。例えば、上述の一例では、電源用の外部接続パッド6(P)を集合して配置した場合について説明したが、接地用の外部接続パッド6(G)を集合して配置する場合にも当然に適用され、この場合、集合して配置された全ての接地用の外部接続パッド6(G)の上方に接地用の配線導体2(G)を配置するとともに、接地用の外部接続パッド6(G)とその上方の接地用の配線導体2(G)とを接地用の外部接続パッド6(G)の各々に接続されたビア導体4を介して互いに電気的に接続することは言うまでもない。   In addition, this invention is not limited to an example of above-mentioned embodiment, A various change is possible if it is a range which does not deviate from the summary of this invention. For example, in the above-described example, the case where the external connection pads 6 (P) for power supply are collectively arranged has been described. However, the case where the external connection pads 6 (G) for grounding are collectively arranged is also naturally understood. In this case, the grounding wiring conductor 2 (G) is disposed above all the grounding external connection pads 6 (G) arranged together, and the grounding external connection pads 6 (G Needless to say, the wiring conductor 2 (G) for grounding is electrically connected to each other via the via conductor 4 connected to each of the external connection pads 6 (G) for grounding.

1 絶縁基板
1a,1b 絶縁層
2(G) 接地用の配線導体
2(P) 電源用の配線導体
4 ビア導体
5(G) 接地用の電子部品接続パッド
5(P) 電源用の電子部品接続パッド
6(G) 接地用の外部接続パッド
6(P) 電源用の外部接続パッド
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Insulating board 1a, 1b Insulating layer 2 (G) Grounding conductor 2 (P) Power source wiring conductor 4 Via conductor 5 (G) Grounding electronic component connection pad 5 (P) Power source electronic component connection Pad 6 (G) External connection pad for grounding 6 (P) External connection pad for power supply

Claims (1)

コア用の絶縁層の上下面に複数のビルドアップ用の絶縁層が積層されて成る絶縁基板の前記コア用の絶縁層の下面に、互いに隣接して形成された互いに異なる広面積の第1および第2の接地用または電源用の配線導体を有するとともに、前記絶縁基板の上面に前記第1の接地用または電源用の配線導体に電気的に接続された複数の第1の接地用または電源用の電子部品接続パッドおよび前記第2の接地用または電源用の配線導体に電気的に接続された複数の第2の接地用または電源用の電子部品接続パッドならびに前記絶縁基板の下面に前記第1の接地用または電源用の配線導体に電気的に接続された複数の第1の接地用または電源用の外部接続パッドおよび前記第2の接地用または電源用の配線導体に電気的に接続された複数の第2の接地用または電源用の外部接続パッドを有し、前記第1の接地用または電源用の外部接続パッドのうちの複数個が前記第1および第2の接地用または電源用の配線導体の下方の領域に跨って互いに集合して配置されて成る配線基板であって、集合して配置された全ての前記第1の接地用または電源用の外部接続パッドの上方の前記ビルドアップ用の絶縁層間に前記第1の接地用または電源用の配線導体に接続された広面積の第3の接地用または電源用の配線導体が配置されているとともに、集合して配置された前記第1の接地用または電源用の外部接続パッドとその上方に配置された前記第3の接地用または電源用の配線導体とが、集合して配置された前記第1の接地用または電源用の外部接続パッドの各々に接続されたビア導体を介して互いに電気的に接続されていることを特徴とする配線基板。
First and second wide areas different from each other formed adjacent to each other on the lower surface of the core insulating layer of the insulating substrate formed by laminating a plurality of build-up insulating layers on the upper and lower surfaces of the core insulating layer. second and has a wiring conductor for ground or power, the insulating substrate top surface to said first plurality of first grounding or power source electrically connected to the wiring conductor for ground or power Electronic component connection pads, a plurality of second grounding or power supply electronic component connection pads electrically connected to the second grounding or power supply wiring conductor, and the first surface on the lower surface of the insulating substrate . It is electrically connected to the grounding or external connection pad and the second wiring conductor for ground or power electrically connected to the plurality of first grounding or for power supply wiring conductors for power supply Multiple second grounds Or having an external connection pads for power supply, to the lower region of the printed conductors of the plurality is the first and second ground or power of the first external connection pads for grounding or power A wiring board that is assembled and arranged across each other, and is arranged between the build-up insulating layers above all of the first grounding or power supply external connection pads arranged together . A third grounding or power supply wiring conductor having a large area connected to one grounding or power supply wiring conductor is disposed, and the first grounding or power supply arranged in a collective manner. External connection pads and the third grounding or power supply wiring conductors disposed above the external connection pads are connected to the first grounding or power supply external connection pads arranged together. Via each other via conductors Wiring board, characterized in that it is gas-connected.
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