JP5832336B2 - センスアンプ回路及び半導体記憶装置 - Google Patents
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Description
実施の形態を説明する前に、実施の形態を適用する前の参考例について説明する。
以下、図面を参照して実施の形態1について説明する。図1は、本実施の形態に係るフラッシュメモリのシステム構成を示している。フラッシュメモリ202は、CPU201によって指定されたアドレスのメモリセルに対しデータの読出し/書込みを行う半導体記憶装置である。なお、CPU201とフラッシュメモリ202とは、1チップの半導体装置として構成してもよいし、別々のチップを1パッケージの半導体装置として構成してもよい。
寄生容量C3=N型FETQ2のゲート容量+接点3の配線容量+N型FETQ6ドレイン側接合容量 ・・・(式1)
CD=C1+C3+C8 ・・・(式2)
C1=CD−C3−C8 ・・・(式3)
CD=N型FETQ2のソース側接合容量+データ線2(例えば図1のDL0)の配線容量+N型FETQS(例えば図1のQS00)のドレイン側接合容量+N型FETQS(例えば図1のQS00)のソース側接合容量+ビット線BL(例えば図1のBL00)の配線容量+メモリセルQM0(例えば図1のQM000)のドレイン側接合容量+メモリセルQMx(例えば図1のQMx00)のドレイン側接合容量 ・・・(式4)
R1=1/{2π・f・(C1+C3+C8)} ・・・(式5)
C=ε・εr・S/d ・・・(式6)
なお、式6において、εは誘電率、εrはSiO2の比誘電率、Sは面積(S=W・L)、dはSiO2の膜厚を示している。
配線312が、配線311と間隔d離れて並列に形成されている。配線311と配線312の間に層間絶縁膜であるSiO2膜313が形成されている。そして、配線311に接点8が接続され、配線312が接地GNDに接続されて、図2の容量素子C1が形成される。なお、図4(a)の平行平板メタル容量の容量は、図3(a)と同じ式6となる。
以下、図面を参照して実施の形態2について説明する。本実施の形態は、実施の形態1のセンスアンプ回路に対し、抵抗素子R1と容量素子C1の接続位置を変更した例である。なお、その他の構成については、実施の形態1と同様である。また、本実施の形態の構成を、その他の実施の形態に適用することも可能である。
以下、図面を参照して実施の形態3について説明する。本実施の形態は、実施の形態1のセンスアンプ回路に対し、容量素子C1及び抵抗素子R1の設定値の計算を変更した例である。なお、その他の構成については、実施の形態1と同様である。また、本実施の形態の設定値を、その他の実施の形態に適用することも可能である。
寄生容量CL=P型FETQ3のドレイン側接合容量+N型FETQ4のドレイン側接合容量+インバータINV1の入力容量+接点5の配線容量 ・・・(式11)
ΔV5=VINV1−V5 ・・・(式12)
ΔIQ3=ΔV5・CL/T ・・・(式13)
M=IQ3/IQ1 ・・・(式14)
ΔIQ1=ΔIQ3/M ・・・(式15)
ΔIQ2=ΔIQ1 ・・・(式16)
IQ2=1/2・β・((V3−V2)−Vt)^2 ・・・(式17)
IQ2d=1/2・β・(((V3+ΔV3)−(V2+ΔV2))−Vt)^2 ・・・(式18)
ΔIQ2=IQ2d−IQ2 ・・・(式19)
ΔV3=−(V3−V2−Vt)+√((V3−V2−Vt)^2+2・ΔIQ2/β)+ΔV2 ・・・(式20)
(C1+C3+C8)/CD=ΔV3/ΔV2 ・・・(式21)
C1=CD・ΔV3/ΔV2−C3−C8 ・・・(式22)
C1=CD・(−(V3−V2−Vt)+√((V3−V2−Vt)^2+2・(((VINV1−V5)・CL/T)/(IQ3/IQ1))/β)+ΔV2)/ΔV2−C3−C8 ・・・式(23)
R1=1/{2π・f・(C1+C3+C8)} ・・・(式24)
以下、図面を参照して実施の形態4について説明する。本実施の形態は、実施の形態1のセンスアンプ回路に対し、N型FETQ2(センシングトランジスタ)の急速充電機能を追加した例である。なお、その他の構成については、実施の形態1と同様である。また、本実施の形態の構成を、その他の実施の形態に適用することも可能である。
以下、図面を参照して実施の形態5について説明する。本実施の形態は、実施の形態1のセンスアンプ回路に対し、低速読出モード/高速読出モードを切り替える機能を追加した例である。なお、その他の構成については、実施の形態1と同様である。また、本実施の形態の構成を、その他の実施の形態に適用することも可能である。
以下、図面を参照して実施の形態6について説明する。本実施の形態は、実施の形態1のセンスアンプ回路に対し、スタンバイ制御信号VSTBの入力を省略した例である。なお、その他の構成については、実施の形態1と同様である。また、本実施の形態の構成を、その他の実施の形態に適用することも可能である。
C1=CD−C3 ・・・式(21)
R1=1/{2π・f・(C1−C3)} ・・・式(22)
以下、図面を参照して実施の形態7について説明する。本実施の形態では、実施の形態6のセンスアンプ回路に対し、センス回路102の出力段の構成を変更した例について説明する。なお、その他の構成については、実施の形態6と同様である。また、本実施の形態の構成を、その他の実施の形態に適用することも可能である。
2 データ線(データ線信号VLINE)
3 接点(センス制御信号VCTL)
4 接点(ミラー信号VMIRR)
5 接点(センス信号VSENS)
6 出力端子(出力信号VOUT)
7 スタンバイ制御端子(スタンバイ制御信号VSTB)
8 接点
9 急速充電制御端子(急速充電制御信号VFAST)
10 モード切替制御端子(モード切替制御信号VMODE)
11〜14 接点
101 センスアンプ回路
102 センス回路
103 制御回路
104 モード切替回路
202 フラッシュメモリ
211 入出力制御回路
212 読出回路
213 書込回路
214 アドレスデコーダ
215 列選択回路
216 行選択回路
217 メモリセルアレイ
218 基準電圧発生回路
221 外部制御信号
222 アドレス信号
223 内部制御信号
224 データ出力端子
225 データ入力端子
226 列アドレスデコード信号
227 行アドレスデコード信号
228 ワード線
229 ビット線
301 P型半導体基板
302N N型ウェル領域
302P P型ウェル領域
303 N+型活性領域
304 SiO2膜
305 ポリシリコン膜
311、312 配線
313 SiO2膜
C1 容量素子
R1 抵抗素子
PF1 フィルタ
CD、C3、C8、CL 寄生容量
Q1、Q3、Q5、Q7 P型FET(電界効果トランジスタ)
Q2、Q4、Q6 N型FET(電界効果トランジスタ)
INV1、INV2、INV3、INV10 インバータ
CINV クロックドインバータ
NAND1 NANDゲート
NOR1 NORゲート
Claims (21)
- 第1の電源と、メモリセルまで延在するメモリセル接続線を介した第2の電源との間に接続されたセンシングトランジスタと、
前記センシングトランジスタの制御端子と前記第1の電源との間に接続された抵抗素子と、
前記センシングトランジスタの制御端子と前記第2の電源との間に接続された容量素子と、
を備え、
前記第2の電源の電位は接地電位である、
センスアンプ回路。 - 前記センシングトランジスタから前記容量素子を介した前記第2の電源までの第1の容量は、前記センシングトランジスタから前記メモリセル接続線を介した前記第2の電源までの第2の容量に等しい容量である、
請求項1に記載のセンスアンプ回路。 - 前記センシングトランジスタに流れる電流をミラーするカレントミラー回路を有し、
前記センシングトランジスタから前記容量素子を介した前記第2の電源までの第1の容量は、前記センシングトランジスタから前記メモリセル接続線を介した前記第2の電源までの第2の容量と、前記カレントミラー回路の出力側の回路の第3の容量とに基づいた容量である、
請求項1に記載のセンスアンプ回路。 - 前記第3の容量は、前記カレントミラー回路の出力側トランジスタの寄生容量、前記出力側トランジスタから前記センスアンプ回路の出力回路である出力インバータまでの出力配線の全体の寄生容量、前記出力インバータの寄生容量を合計した容量である、
請求項3に記載のセンスアンプ回路。 - 前記出力配線は、出力制御トランジスタとの接続を含む経路で前記出力側トランジスタと前記出力インバータとを接続し、
前記出力配線の全体の寄生容量は、前記出力側トランジスタから前記出力インバータまでの配線の寄生容量、前記出力制御トランジスタの寄生容量を合計した容量である、
請求項4に記載のセンスアンプ回路。 - 前記第1の容量は、前記容量素子の容量、前記センシングトランジスタの寄生容量、前記容量素子から前記センシングトランジスタまで接続する容量配線の全体の寄生容量を合計した容量である、
請求項2乃至5のいずれか一項に記載のセンスアンプ回路。 - 前記容量配線は、入力制御トランジスタとの接続を含む経路で前記センシングトランジスタと前記容量素子とを接続し、
前記容量配線の全体の寄生容量は、前記センシングトランジスタから前記容量素子までの配線の寄生容量と、前記入力制御トランジスタの寄生容量を合計した容量である、
請求項6に記載のセンスアンプ回路。 - 前記第2の容量は、前記センシングトランジスタの寄生容量、前記メモリセル接続線の全体の寄生容量、メモリセルの寄生容量を合計した容量である、
請求項2乃至7のいずれか一項に記載のセンスアンプ回路。 - 前記メモリセル接続線は、メモリセルの列を選択する列選択回路を介して前記センシングトランジスタとメモリセルとを接続し、
前記メモリセル接続線の全体の寄生容量は、前記センシングトランジスタから前記列選択回路までのデータ線の寄生容量、前記列選択回路の寄生容量、前記列選択回路から前記メモリセルまでのビット線の寄生容量を合成した容量である、
請求項8に記載のセンスアンプ回路。 - 前記抵抗素子の抵抗値は、前記第2の電源の電位側へ電位変動するノイズの周波数と前記第1の容量とに基づいた値である、
請求項2乃至9のいずれか一項に記載のセンスアンプ回路。 - 前記容量素子は、MOSトランジスタで構成され、
前記容量素子の容量は、前記MOSトランジスタのゲート容量である、
請求項1乃至10のいずれか一項に記載のセンスアンプ回路。 - 前記容量素子は、前記センスアンプ回路を含む半導体装置において、同一配線層内で離間して平行に延在配置された2つの配線により構成され、
前記容量素子の容量は、前記2つの配線間の絶縁膜の容量である、
請求項1乃至10のいずれか一項に記載のセンスアンプ回路。 - 前記容量素子は、前記センスアンプ回路を含む半導体装置において、上層配線層の上層配線と下層配線層の下層配線により構成され、
前記容量素子の容量は、前記上層配線と前記下層配線間の絶縁膜の容量である、
請求項1乃至10のいずれか一項に記載のセンスアンプ回路。 - 第1の電源とデータ線との間に直列に接続された第1及び第2のトランジスタと、
前記第1及び第2のトランジスタ間の中間ノードを含む経路で接続された出力インバータと、
前記第2のトランジスタのゲートと前記第1の電源との間に接続された抵抗素子と、
前記第2のトランジスタのゲートと第2の電源との間に接続された容量素子と、
を備え、
前記第2の電源の電位は接地電位である、
センスアンプ回路。 - 前記第1のトランジスタとカレントミラー接続された第3のトランジスタと、
前記第1の電源と前記第2の電源との間に、前記第3のトランジスタと直列に接続された第4のトランジスタと、を備え、
前記出力インバータは、前記第3及び第4のトランジスタ間の中間ノードに接続されている、
請求項14に記載のセンスアンプ回路。 - 前記第1の電源と前記第2の電源との間に接続され、インバータを構成する第5及び第6のトランジスタを備え、
前記第2のトランジスタのゲートは、前記第5及び第6のトランジスタの中間ノードに接続され、
直列に接続された前記抵抗素子と前記容量素子の中間ノードは、前記第5のトランジスタの前記第1の電源側の端子に接続されている、
請求項14または15に記載のセンスアンプ回路。 - 前記第1の電源と前記第2の電源との間に接続され、インバータを構成する第5及び第6のトランジスタを備え、
前記第2のトランジスタのゲートは、前記第5及び第6のトランジスタの中間ノードに接続され、
前記抵抗素子は、前記第1の電源と前記第5のトランジスタの間に接続され、
前記容量素子は、一端が前記第2のトランジスタのゲートに接続されている、
請求項14または15に記載のセンスアンプ回路。 - 前記第1の電源と前記第2の電源との間に接続され、インバータを構成する第5及び第6のトランジスタを備え、
前記第2のトランジスタのゲートは、前記第5及び第6のトランジスタの中間ノードに接続され、
前記抵抗素子は、前記第5及び第6のトランジスタの間に接続され、
前記容量素子は、一端が前記第2のトランジスタのゲートに接続されている、
請求項14または15に記載のセンスアンプ回路。 - 前記第2のトランジスタのゲートに接続され、当該ゲートの充電速度を切り替えるための充電制御トランジスタを備えている、
請求項14乃至18のいずれか一項に記載のセンスアンプ回路。 - 前記第2のトランジスタのゲート、前記第5のトランジスタのゲート、前記第6のトランジスタのゲートにそれぞれ接続され、前記センスアンプ回路の読出モードを切り替えるためのモード切替回路を備えている、
請求項16乃至18のいずれか一項に記載のセンスアンプ回路。 - 複数のメモリセルが行方向及び列方向にアレイ状に配列されたメモリセルアレイと、
前記列方向に延在し前記複数のメモリセルに接続される複数のビット線と、
前記複数のビット線に接続される複数のセンスアンプ回路と、を備え、
前記複数のセンスアンプ回路の各々は、
第1の電源と前記複数のビット線のいずれかとの間に接続されたセンシングトランジスタと、
前記センシングトランジスタの制御端子と前記第1の電源との間に接続された抵抗素子と、
前記センシングトランジスタの制御端子と第2の電源との間に接続された容量素子と、
を備え、
前記第2の電源の電位は接地電位である、
半導体記憶装置。
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