JP5832168B2 - ヘッド・サスペンション - Google Patents

Description

本発明は、ハード・ディスク・ドライブ（Hard Disk Drive「HDD」）などに供されるヘッド・サスペンションに関する。

近年のHDDの高記憶密度化に対応するため、スライダのフライハイトは年々低くなり、現在は数ｎｍ程度のクリアランスにまでなっている。これに伴い、ＨＤＤ用のヘッド・サスペンションに対する清浄性の要求は益々高くなっている。

このため、製品そのものからの発塵を抑える工夫の提案が特許文献１，２として提案されている。

特許文献1では、ロード・ビームからフレキシャが突出する部分での接触による摩耗防止のため、ロード・ビームの角部に面取りやＲ加工を施している。

特許文献2では、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電素子を使用したサスペンションにおいて、圧電素子からのパーティクル（粒子）脱落を防止するため、圧電素子周りを樹脂でコーティングしている。

これらの提案により、製品そのものからの発塵は、ある程度抑えることができた。

一方、製品出荷前には、その表面に付着したパーティクル（コンタミネーション「汚濁物」）を効果的に除去するために、純水槽内で超音波洗浄を実施している。この超音波洗浄においても新たな問題があった。

図１７のように、近年のヘッド・サスペンション１０１は、たとえば板厚１８ｕｍのフレキシャ１０３に、同じく板厚３０ｕｍのロード・ビーム１０５といった極薄い金属箔製の板材を重合せてレーザー溶接したものであり、溶接結合部１０７，１０９間において板材間には、金属箔のひずみ等によるわずかな隙間１１１，１１３，１１５がロード・ビーム上、ばね部近傍、圧電素子近傍等で残存する。

超音波洗浄時に、この隙間１１１，１１３，１１５で板材相互が微振動により衝突し、金属表面を僅かに破壊し微小なパーティクルが発生していた。

当然、洗浄によりこれら微小なパーティクルは殆ど除去されるが、板材相互間の隙間１１１，１１３，１１５に挟み込まれたパーティクルはＨＤＤ内に製品が組み込まれるまで残ることがあり、この挟み込まれた微小なパーティクルが、ＨＤＤ内で隙間１１１，１１３，１１５から零れ落ちる可能性を内在していた。

また、ヘッド・サスペンションの清浄度評価にはＬＰＣ（リキッド・パーティクル・カウンタ）測定値を用いるが、ＬＰＣ測定用検体抽出時に使用する超音波振動により、表面のコンタミネーションの剥離のみならず、微振動による表面の破壊でパーティクルを誘発するため、測定値が不正確なものとなっていた。

特開２００２−１３３８１３号公報 特開２００２−１８４１３９号公報

解決しようとする問題点は、洗浄時等の超音波振動等により破壊された表面のパーティクルが零れ落ちて不具合を招く点である。

本発明は、洗浄時等の超音波振動等による表面の破壊を規制し、パーティクルの零れ落ちによる不具合を抑制することを可能とするため、キャリッジ側に取り付けられて軸回りに回転駆動されるベース・プレートと、剛体部及びばね部を含み基端側が前記ベース・プレートに複数個所の溶接結合部により結合されたロード・ビームと、書き込み用及び読み取り用のヘッド部及び配線を備えて前記ロード・ビームに複数箇所の溶接結合部により結合されたフレキシャとを備え、前記ロード・ビームとフレキシャとの間に設けられ振動による相互間の衝突を規制する樹脂座を有し、前記ロード・ビームとフレキシャとの両者間で少なくとも一方に形成された凹部又は溝部を備え、前記樹脂座は、前記凹部又は溝部に形成され、 前記凹部又は溝部は、前記溶接結合部により結合されたロード・ビームとフレキシャとの両者間外へ連通する連通部を備え、前記連通部から樹脂を注入して前記樹脂座を、前記複数箇所の溶接結合部の相互間に設けたことをヘッド・サスペンションの特徴とする。

本発明は、キャリッジ側に取り付けられて軸回りに回転駆動されるベース・プレートと、ばね部を介して先端側に剛体部を有しばね部の基端側に補強プレートが一体に設けられ前記ベース・プレートに前記補強プレートが複数箇所の溶接結合部により結合されたロード・ビームと、書き込み用及び読み取り用のヘッド部及び配線を備えて前記ロード・ビームに取り付けられたフレキシャとを備えたヘッド・サスペンションであって、前記ベース・プレートと補強プレートとの間に設けられ振動による相互間の衝突を規制する樹脂座を有し、前記ベース・プレートと補強プレートとの両者間で少なくとも一方に形成された凹部又は溝部を備え、 前記樹脂座は、前記凹部又は溝部に形成され、前記凹部又は溝部は、前記溶接結合部により結合されたベース・プレートと補強プレートとの両者間外へ連通する連通部を備え、前記連通部から樹脂を注入して前記樹脂座を、前記複数箇所の溶接結合部の相互間に設けたことをヘッド・サスペンションの特徴とする。

本発明は、キャリッジ側に取り付けられて軸回りに回転駆動されるベース・プレートと、ばね部を介して先端側に剛体部を有し基端側に補強プレートを有し前記ベース・プレートに前記補強プレートが複数箇所の溶接結合部により結合されたロード・ビームと、書き込み用及び読み取り用のヘッド部及び配線を備えて前記ロード・ビームに取り付けられたフレキシャとを備え、前記ベース・プレート及び補強プレートに設けられ圧電素子を取り付ける開口部と、前記開口部に接着剤を介して取り付けられ電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子とを有し、前記圧電素子の変形に従って前記ベース・プレートに対し前記ロード・ビームを介して前記ヘッド部をスウェイ方向に変位させるヘッド・サスペンションであって、 前記補強プレートは前記開口部内に突出して前記圧電素子を支持する支持縁部を備え、前記補強プレートに形成され端部が前記支持縁部に臨む凹部又は溝部を有し、前記接着剤が前記支持縁部に臨む凹部又は溝部の端部から該凹部又は溝部へ流れ込んで前記ベース・プレート及び補強プレート間に形成され振動による相互間の衝突を規制する樹脂座を、前記複数箇所の溶接結合部の相互間に設けたことをヘッド・サスペンションの特徴とする。

本発明は、上記構成のヘッド・サスペンションであるから、ロード・ビームとフレキシャとの相互間の振動による衝突を樹脂座により規制することができ、ロード・ビームとフレキシャとの間の表面の破壊を規制し、パーティクルの零れ落ちによる不具合を抑制することができる。

上記構成のヘッド・サスペンションであるから、ベース・プレートと補強プレートとの相互間の振動による衝突を樹脂座により規制することができ、ベース・プレートと補強プレートとの間の表面の破壊を規制し、パーティクルの零れ落ちによる不具合を抑制することができる。

本発明は、上記構成のヘッド・サスペンションであるから、圧電素子周辺でのベース・プレート及び補強プレート間の表面の破壊を規制し、パーティクルの零れ落ちによる不具合を抑制することができる。

ヘッド・サスペンションの斜視図である。（実施例１） 樹脂座を示すロード・ビームとフレキシャとの関係の斜視図である。（実施例１） （Ａ）は、ロード・ビームとフレキシャとの間の樹脂座を示す断面図、（Ｂ）は、ロード・ビームの溝部を示す断面図である。（実施例１） （Ａ）は、ベース・プレートと補強プレートとの間の樹脂座を示す断面図、（Ｂ）は、ベース・プレートの溝部を示す断面図である。（実施例１） （Ａ）は、ヘッド・サスペンションの概略斜視図、（Ｂ）は、（Ａ）のVＢにおける接着剤の領域を示す斜視図である。（実施例１） （Ａ）は、補強プレートの直線状の溝部を示す斜視図、（Ｂ）は、同溝部の変形例を示す斜視図である。（実施例１） （Ａ）は、補強プレートの傾斜状の溝部を示す斜視図、（Ｂ）は、同溝部の変形例を示す斜視図である。（実施例１） ヘッド・サスペンションの流れ止め部を示す斜視図である。（実施例１） （Ａ）は、溝形状の流れ止め部を示す平面図、（Ｂ）は、同断面図である。（実施例１） （Ａ）は、凹部形状の流れ止め部を示す平面図、（Ｂ）は、同断面図である。（実施例１） （Ａ）は、凹部形状の流れ止め部を示す平面図、（Ｂ）は、同断面図である。（実施例１） ＬＰＣ測定による結果を示し、０．３μｍ以上のパーティクルの数を示すグラフである。（実施例１） ＬＰＣ測定による結果を示し、０．６μｍ以上のパーティクルの数を示すグラフである。（実施例１） ヘッド・サスペンションの一部を省略した概略斜視図である。（実施例２） （Ａ）は、図１４のXVＡ部における断面図、（Ｂ）は、同変形例の断面図である。（実施例２） ヘッド・サスペンションの一部を省略した変形例に係る概略斜視図である。（実施例２） ヘッド・サスペンションの概略側面図である。（従来例）

洗浄時等の超音波振動等による表面の破壊を規制し、パーティクルの零れ落ちによる不具合を抑制することを可能にするという目的を、ロード・ビームとフレキシャとの間に設けられ振動による相互間の衝突を規制する樹脂座により実現した。

［ヘッド・サスペンション］
図1は、本発明実施例１のヘッド・サスペンションを示す斜視図である。

図1のように、ヘッド・サスペンション１は、板材の結合構造を適用したものであり、板材としてのベース・プレート３とロード・ビーム５とフレキシャ7とを備え、圧電素子９を有している。

ステンレス製などのベース・プレート３とステンレス製の補強プレート１１との間には、レーザーによる複数箇所のスポット溶接で溶接結合部１２が形成され、相互に結合されている。これらベース・プレート３及び補強プレート１１によりヘッド・サスペンション１の基部が構成されている。

べース・プレート３及び補強プレート１１には、両者を貫通する貫通孔１３が形成されている。ベース・プレート３の貫通孔１３には、ボス部１５が一体に形成されている。ボス部１５は、ボイスコイル・モータ（図示せず）に取り付けられたキャリッジ（図示せず）の取付穴にボール・カシメにより取り付けられている。したがって、ベース・プレート３は、キャリッジ側に取り付けられて軸回りに回転駆動される構成となっている。

ロード・ビーム５は、剛体部１７とばね部１９とを備え、前記補強プレート１１が一体に形成されている。ばね部１９の基端側及びベース・プレート３の先端側間には、レーザーによる複数箇所のスポット溶接で溶接結合部２１が形成され、相互に結合されている。したがって、ロード・ビーム５は、剛体部１７及びばね部１９を含み基端側が前記ベース・プレート３に溶接結合部２１により結合された構成となっている。

フレキシャ7は、板材としてのステンレス製の薄板２３に書き込み用及び読み取り用のヘッド部及び配線を備えている。このフレキシャ7及びロード・ビーム５間には、レーザーによる複数箇所のスポット溶接で溶接結合部２４が形成され、相互に結合されている。

ヘッド部のスライダは、フレキシャ７のタング部に支持されている。

ロード・ビーム５の基端側において、ベース・プレート３及び補強プレート１１には、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電素子９を取り付ける開口部２５が形成されている。

開口部２５には、圧電素子９が非導電性の接着剤２７を介して取り付けられている。圧電素子９は、電圧の印加状態に応じて変形し、この圧電素子９の変形に従ってベース・プレート３に対しロード・ビーム５を介してヘッド部をスウェイ方向に変位させる。
［ロード・ビーム及びフレキシャ間の樹脂座］
図2は、樹脂座を示すロード・ビームとフレキシャとの関係の斜視図、図３（Ａ）は、ロード・ビームとフレキシャとの間の樹脂座を示す断面図、（Ｂ）は、ロード・ビームの溝部を示す断面図である。

図２、図３のように、ロード・ビーム５（相手部材、板材）とフレキシャ７（板材）との間には、溶接結合部２４間の中間部に樹脂座２９が一対設けられている。樹脂座２９は、超音波洗浄時などのロード・ビーム５とフレキシャ７との間の振動による相互間の衝突を規制するものであり、本実施例においてダンピング特性を有している。但し、樹脂座２９は、ダンピング特性を有さない構成にすることもできる。

樹脂座２９を設ける位置は、ロード・ビーム５の剛体部１７とフレキシャ７との間、ロード・ビーム５のばね部１９近傍とフレキシャ７との間の双方、又は何れか一方に設けることができる。

ロード・ビーム５の剛体部１７とフレキシャ７との間に樹脂座２９を設ける場合と、ロード・ビーム５のばね部１９近傍とフレキシャ７との間に樹脂座２９を設ける場合とは、ほぼ同様の構成である。したがって、ロード・ビーム５の剛体部１７とフレキシャ７との間に樹脂座２９を設ける場合について説明する。

図２のように、ロード・ビーム５の剛体部１７に溝部３１が形成され、樹脂座２９は、溝部３１に形成されている。溝部３１は、剛体部１７とフレキシャ７との少なくとも一方に形成されればよく、双方に形成し、或いはフレキシャ７に形成することもできる。剛体部１７及びフレキシャ７の双方に溝部を形成する場合は、溝部を同位置に形成して対向させ、或いは異なる位置に形成することもできる。

図２において、溝部３１は、フレキシャ７の幅よりも長く形成され、剛体部１７及びフレキシャ７の両者間外へ連通する連通部として溝部の端部３１ａを備えている。溝部がフレキシャ７に形成されているときは、フレキシャ７の幅方向縁部に開口する溝部の端部が連通部となる。

図３のように、溝部３１は、断面形状がほぼ矩形であり、例えばパーシャルエッチングにより形成されている。

ヘッド・サスペンション１の組立完成後に、図２の端部３１ａから溝部３１に樹脂として非導電性の接着剤が注入され、毛管現象により剛体部１７及びフレキシャ７間に満たされ、さらに溝部３１周辺で剛体部１７及びフレキシャ７間の隙間に至って固化する。固化した接着剤は、剛体部１７及びフレキシャ７間において樹脂座２９となる。

なお、樹脂座２９は、剛体部１７及びフレキシャ７の衝突を規制できれば良く、接着剤以外の樹脂で形成することもできる。
［ベース・プレート及び補強プレート間の樹脂座］
図４（Ａ）は、ベース・プレートと補強プレートとの間の樹脂座を示す断面図、（Ｂ）は、ベース・プレートの溝部を示す断面図である。

図４のように、ベース・プレート３（相手部材）と補強プレート１１（板材）との間には、溶接結合部１２間（図１）の中間部等に樹脂座３３が設けられている。樹脂座３３は、ベース・プレート３の溝部３５に形成されている。溝部３５は、ベース・プレート３と補強プレート１１との少なくとも一方に形成されればよく、双方に形成し、或いは補強プレート１１に形成することもできる。ベース・プレート３及び補強プレート１１の双方に溝部を形成する場合は、溝部を同位置に形成して対向させ、或いは異なる位置に形成することもできる。

溝部３５は、補強プレート１１の幅外へ延設される。この延設でベース・プレート３及び補強プレート１１の両者間外へ連通する連通部として溝部３５の端部を備える。溝部が補強プレート１１に形成されているときは、補強プレート１１の幅方向縁部に開口する溝部の端部を連通部として構成することができる。

図４のように、溝部３５は、断面形状がほぼ山形であり、本実施例では、例えばコイニングによりベース・プレート３に形成されている。

ヘッド・サスペンション１の組立完成後に、この溝部３５に端部から非導電性の接着剤が注入され、毛管現象によりベース・プレート３及び補強プレート１１間に満たされ、さらに溝部３５周辺でベース・プレート３及び補強プレート１１間の隙間に至って固化する。固化した接着剤は、ベース・プレート３及び補強プレート１１間においてダンピング特性を有する樹脂座３３となる。但し、樹脂座３３も、ダンピング特性を有さない構成にすることができる。

なお、樹脂座３３は、ベース・プレート３及び補強プレート１１の衝突を規制できれば良く、接着剤以外の樹脂で形成することもできる。
［圧電素子周辺の樹脂座］
図５（Ａ）は、ヘッド・サスペンションの斜視図、（Ｂ）は、（Ａ）のVＢにおける接着剤の領域を示す斜視図、図６（Ａ）は、補強プレートの直線状の溝部を示す斜視図、（Ｂ）は、同変形例の溝部を示す斜視図である。なお、図５のヘッド・サスペンションは、図１のヘッド・サスペンションの概略を示したものである。

図５、図６（Ａ）のように、補強プレート１１は、開口部２５内に突出して圧電素子９を支持する支持縁部１１ａを備えている。圧電素子９は、支持縁部１１ａに載置され、この圧電素子９と開口部２５との間に接着剤２７が充填されて圧電素子９の取り付けが行われている。

補強プレート１１には、長い溝部３７ａ、短い溝部３７ｂが形成されている。溝部３７ａ、３７ｂは、直線状に形成され、ロード・ビーム５方向へ直線的かつ平行に延設されている。溝部３７ａ、３７ｂの一方の端部３７ａａ、３７ｂａは支持縁部１１ａ上に臨み、支持縁部１１ａの端縁には開放されず、その手前まで至っている。溝部３７ａ、３７ｂの他方の端部３７ａｂ、３７ｂｂは支持縁部１１ａ外に至っている。

溝部３７ａ、３７ｂの支持縁部１１ａ上の端部３７ａａ、３７ｂａは、ベース・プレート３及び補強プレート１１の両者間外へ連通する連通部として構成されている。

そして、圧電素子９を取り付ける接着剤２７が、注入時に支持縁部１１ａに臨む溝部３７ａ、３７ｂの端部３７ａａ、３７ｂａから該溝部３７ａ、３７ｂ及びその周辺の隙間へ流れ込んで固化する。固化した接着剤２７は、ベース・プレート３及び補強プレート１１間においてダンピング特性を有する樹脂座３９となる。但し、樹脂座３９も、ダンピング特性を有さない構成にすることができる。

図６（Ｂ）は、補強プレートの直線状の溝部の変形例を示す斜視図である。

図６（Ｂ）の溝部３７Ａａ、３７Ａｂは、支持縁部１１ａ上の端部３７Ａａａ、３７Ａｂａが、支持縁部１１ａの端縁に開放されたものである。

図７（Ａ）は、補強プレートの傾斜状の溝部を示す斜視図、（Ｂ）は、同溝部の変形例を示す斜視図である。

図７（Ａ）の例は、図６（Ａ）に基本的な構造が対応しており、同符号を用いて説明する。溝部３７ａ、３７ｂは、支持縁部１１ａ側から離間する方向へ漸次直線状に広がる形態に配置されたものである。

図７（Ｂ）の例も、図６（Ａ）に基本的な構造が対応しており、同符号を用いて説明する。溝部３７ａ、３７ｂは、支持縁部１１ａ側から離間する方向へ漸次直線状に広がる形態に配置され、支持縁部１１ａ上に形成された溜まり凹部４１に端部３７ａａ、３７ｂａが解放されたものである。

この例では、溜まり凹部４１から溝部３７ａ、３７ｂ側へ接着剤２７を十分に行き渡らせることができる。

図８は、ヘッド・サスペンションの流れ止め部を示す斜視図である。図９（Ａ）は、溝形状の流れ止め部を示す平面図、（Ｂ）は、同断面図、図１０（Ａ）は、凹部形状の流れ止め部を示す平面図、（Ｂ）は、同断面図、図１１（Ａ）は、凹部形状の流れ止め部を示す平面図、（Ｂ）は、同断面図である。

図８は、図６に基本的な構造が対応しており、同符号を用いて説明する。溝部３７ａ、３７ｂの反支持縁部側に前記接着剤２７の流れ止めを行う流れ止め部４３を設けたものである。

流れ止め部４３は、図９（Ａ）（Ｂ）のように長溝に形成され、一対の溝部３７ａの端部３７ａｂに直交するように配置されている。流れ止め部４３の両端は、溝部３７ａの相互間外の両側へ突出している。

図１０（Ａ）（Ｂ）は、図９（Ａ）（Ｂ）の流れ止め部４３に代えて流れ止め部４３Ｂとした。流れ止め部４３Ｂは、平面視及び断面で矩形の凹部４３Ｂａを連設したものであり、配置長は、流れ止め部４３に対応させている。

図１１（Ａ）（Ｂ）は、図９（Ａ）（Ｂ）の流れ止め部４３に代えて流れ止め部４３Ｃとした。流れ止め部４３Ｃは、平面視で円形及び断面で半円形の凹部４３Ｃａを連設したものであり、配置長は、流れ止め部４３に対応させている。

この例では、溝部３７ａ、３７ｂ側へ流れ込んだ前記接着剤２７を流れ止め部４３、４３Ｂ、４３Ｃで止めることができ、接着剤２７によるロード・ビーム５のばね部１９側への影響を規制することができる。

流れ止め部４３、４３Ｂ、４３Ｃへ流れ込んだ樹脂も、ベース・プレート３及び補強プレート１１間で固化することで樹脂座の機能を奏する。
［実施例１の効果］
本発明実施例のヘッド・サスペンション１は、キャリッジ側に取り付けられて軸回りに回転駆動されるベース・プレート３と、剛体部１７及びばね部１９を含み基端側がベース・プレート３に複数個所の溶接結合部２１により結合されたロード・ビーム５と、書き込み用及び読み取り用のヘッド部及び配線を備えてロード・ビーム５に複数箇所の溶接結合部２４により取り付けられたフレキシャ７とを備え、ロード・ビーム５の剛体部１７とフレキシャ７との間に設けられ振動による相互間の衝突を規制する樹脂座２９を有する。

したがって、剛体部１７とフレキシャ７との相互間の超音波振動による微振動の衝突を樹脂座により規制することができ、剛体部１７とフレキシャ７との間の表面の破壊を規制し、パーティクルの零れ落ちによる不具合を抑制することができる。

すなわち、ヘッド・サスペンション１の超音波洗浄時により、表面の微小なパーティクルは除去され、樹脂座２９により衝突による表面の破壊を規制して剛体部１７とフレキシャ７との間の隙間へのパーティクルの挟み込みを抑制することができる。

このため、ＨＤＤ内に製品が組み込まれるまでパーティクルが残ることは殆どなく、微小なパーティクルが、ＨＤＤ内で剛体部１７とフレキシャ７との隙間から零れ落ちる可能性を除去することができる。

また、ヘッド・サスペンション１の清浄度評価にはＬＰＣ（リキッド・パーティクル・カウンタ）測定値を用いるが、ＬＰＣ測定用検体抽出時に使用する超音波振動があっても、樹脂座２９により、微振動の破壊によるパーティクルの誘発が抑制されるため、測定値を正確なものにすることが可能となる。

剛体部１７とフレキシャ７との両者間で剛体部１７に形成された溝部３１を備え、樹脂座２９は、溝部３１に形成された。

このため、樹脂座２９の位置決めが容易であり、且つ溝部３１に沿って樹脂を浸透させることができる。

溝部３１は、剛体部１７とフレキシャ７との両者間外へ連通する連通部として端部３１ａを備えた。

このため、ヘッド・サスペンション１の完成後に図２の端部３１ａから溝部３１に樹脂として非導電性の接着剤を注入することができ、毛管現象により剛体部１７及びフレキシャ７間に満たされ、さらに溝部３１周辺で剛体部１７及びフレキシャ７間に至って固化させることができる。固化した接着剤は、剛体部１７及びフレキシャ７間において樹脂座２９として構成させることができ、樹脂座２９を容易に形成することができる。

ヘッド・サスペンション１の完成後に接着剤を注入することで、樹脂の溶接部介在に伴う溶接不良を防止することができる。

溝部３１の端部３１ａから接着剤を導くことで、剛体部１７及びフレキシャ７間の奥深くまで樹脂を浸透させることができる。

溝部３１を設けることで、樹脂の流れを制御し、余計な流れを規制することができ、ヘッド・サスペンション１の剛性のアンバランス化やバラつきを防止することができ、共振などの振動特性を安定化することができる。

ロード・ビーム５をエッチングで形成する際に、溝部３１を追加工程なくパーシャルエッチングで形成することができる。

ベース・プレート３と補強プレート１１との間に設けられ振動による相互間の衝突を規制する樹脂座３３を有する。

このため、ベース・プレート３と補強プレート１１との間で上記同様の効果を得ることができる。

ベース・プレート３は、金型で曲げやつぶし加工するため、溝部３５を追加工程なくコイニングにより形成することができる。

樹脂座２９，３３は、ダンピング特性を有する。

このため、剛体部１７とフレキシャ７との相互間、ベース・プレート３と補強プレート１１との相互間の微振動による衝突を樹脂座２９，３３により確実に規制することができ、且つヘッド・サスペンション１の振動特性を向上させることができる。

樹脂座２９，３３は、接着剤により形成された。

このため、剛体部１７とフレキシャ７との相互間、ベース・プレート３と補強プレート１１との相互間を樹脂座２９，３３により固定し、溶着結合部１２，２１，２４と相俟って剛体部１７とフレキシャ７との相互間、ベース・プレート３と補強プレート１１との相互間をより強固に結合し、微振動による衝突を確実に規制することができる。

補強プレート１１は開口部２５内に突出して圧電素子９を支持する支持縁部１１ａを備え、補強プレート１１に形成され端部３７ａａ、３７ａｂ、３７Ａａａ、３７Ａａｂが支持縁部１１ａに臨む溝部３７ａ、３７ｂ、３７Ａａ、３７Ａｂを有し、接着剤が支持縁部１１ａに臨む溝部３７ａ、３７ｂ、３７Ａａ、３７Ａｂの端部３７ａａ、３７ｂａ、３７Ａａａ、３７Ａｂａから溝部３７ａ、３７ｂ、３７Ａａ、３７Ａｂへ流れ込んでベース・プレート３及び補強プレート１１間に形成され振動による相互間の衝突を規制する樹脂座とした。

このため、圧電素子周辺でのベース・プレート３及び補強プレート１１間の表面の破壊を規制し、パーティクルの零れ落ちによる不具合を抑制し、上記同様の効果を奏することができる。

溝部３７ａ、３７ｂ、３７Ａａ、３７Ａｂを圧電素子９の接着部である支持縁部１１ａにかかるようにすることで、追加工程なく接着剤を導くことができる。

溝部３７ａ、３７ｂの反支持縁部側に接着剤の流れ止めを行う流れ止め部４３、４３Ｂ、４３Ｃを設けた。

このため、溝部３７ａ、３７ｂ側へ流れ込んだ前記接着剤２７を流れ止め部４３、４３Ｂ、４３Ｃで止めることができ、接着剤２７によるロード・ビーム５のばね部１９側への影響を規制することができる。

図１２、図１３は、ＬＰＣ測定による結果を示し、図１２は、０．３μｍ以上のパーティクルの数、図１３は、０．６μｍ以上のパーティクルの数を示すグラフである。測定対象製品の形態は、図１で示すものであり、ロード・ビーム５及びフレキシャ７間の溝部３１、ベース・プレート３及び補強プレート１１間の溝部３５に樹脂座２９、３３を備え、圧電素子９周辺の溝部３７ａ、３７ｂにも樹脂座を備えた。

図１２、図１３共に、縦軸は、単位面積（ｃｍ^２）当たりのパーティクルの数を示し、横軸に並ぶ製品１、２、３に対し、それぞれ左から溝幅５０μｍ、１００μｍ、１５０μｍ、２００μｍについて測定した結果を示した。横軸の右端にその平均についても示した。

図１２、図１３のように、全体的な傾向として、限度はあるが、溝部３１、３５、３７ａ、３７ｂの幅が広いほどパーティクルの数が少ないことが確認できた。

図１４〜図１６は、本発明の実施例２に係り、図１４は、ヘッド・サスペンションの一部を省略した概略斜視図、図１５（Ａ）は、図１４のXVＡ部における断面図、（Ｂ）は、同変形例の断面図、図１６は、ヘッド・サスペンションの一部を省略した変形例に係る概略斜視図である。である。なお、基本的な構成は実施例１と同様であり、対応する構成部分には同符号にＤを付し、重複した説明は省略する。

図１４、図１５（Ａ）の本実施例２のヘッド・サスペンション１Ｄでも、ロード・ビーム５Ｄに補強プレート１１Ｄが一体に設けられ、ベース・プレート３Ｄに補強プレート１１Ｄが複数箇所の溶接結合部（図示せず）により結合されている。

また、フレキシャ７Ｄがロード・ビーム５Ｄに複数箇所の溶接結合部（図示せず）により結合されている。

ベース・プレート３Ｄと補強プレート１１Ｄとの間、ロード・ビーム５Ｄの剛体部１７Ｄとフレキシャ７Ｄとの間には、樹脂座３３Ｄ、２９Ｄが設けられている。

補強プレート１１Ｄには、溝部４５が設けられ、樹脂座３３Ｄは、主に溝部４５に設けられている。溝部４５は、ベース・プレート３Dと補強プレート１１Dとの両者間外へ連通する連通部として溝部４５を外部へ連通させる貫通孔４７を備えている。

ヘッド・サスペンション１Ｄの組立完成後に、貫通孔４７から樹脂として非導電性の接着剤が注入され、毛管現象により溝部４５側へ移動する。さらに貫通孔４７及び溝部４５周辺でベース・プレート３Ｄ及び補強プレート１１Ｄ間の隙間にも至って固化する。固化した接着剤は、ベース・プレート３Ｄ及び補強プレート１１Ｄ間において樹脂座３３Ｄとなる。

フレキシャ７Ｄには、貫通した溝部４９が設けられ、樹脂座２９Ｄは、溝部４９及び貫通孔５１周辺に設けられている。

ヘッド・サスペンション１Ｄの組立完成後に、貫通孔５１から樹脂として非導電性の接着剤が注入され、毛管現象により溝部４９側へ移動する。さらに貫通孔５１及び溝部４９周辺で剛体部１７Ｄ及びフレキシャ７Ｄ間の隙間にも至って固化する。固化した接着剤は、剛体部１７Ｄ及びフレキシャ７Ｄ間において樹脂座２９Ｄとなる。

図１５Ｂの例では、溝部４５をベース・プレート３Ｄ側に設けて樹脂座３３Ｄを設けた。

図１６の例では、補強プレート１１Ｄ及びフレキシャ７Ｄに貫通孔４７、５１を設け、ベース・プレート３Ｄ及びロード・ビーム５Ｄの剛体部１７Ｄに溝部４５、４９をリング状に形成した。

ヘッド・サスペンション１Ｄの組立完成後に、貫通孔４７、５１から樹脂として非導電性の接着剤が注入され、毛管現象により溝部４５，４９側へ移動して固化する。固化した接着剤は、ベース・プレート３Ｄ及び補強プレート１１Ｄ間において樹脂座３３Ｄとなり、剛体部１７Ｄ及びフレキシャ７Ｄ間において樹脂座２９Ｄとなる。

したがって、本実施例においても、樹脂座２９Ｄ、３３Ｄにより、上記実施例と同様な作用効果を奏することができる。

また、溝部４５，４９を貫通孔４７、５１と組み合わせて配置し、例えば板間振動が極大化する部分をピンポイントで固定することができ、接着剤使用量の抑制等を図ることができる。
［その他］
上記各実施例の溝部は、凹部に代えることもできる。

溝部３１、３５、３７ａ、３７ｂ、３７Ａａ、３７Ａｂは、曲線状、波線状等に形成することもできる。流れ止め部４３は、曲線状、波線状等に形成することもできる。流れ止め部４３Ｂ、４３Ｃは、曲線状、波線状等に配列することもできる。

本発明は、ヘッド・サスペンションの板材の結合構造に適用したが、その他、超音波による微振動などで面衝突の破壊でパーティクルが問題となり得る部材に広く適用することができる。

１、１Ｄ ヘッド・サスペンション
３、３Ｄ ベース・プレート（板材、相手部材）
５、５Ｄ ロード・ビーム（板材、相手部材）
７、７Ｄ フレキシャ（板材。相手部材）
９ 圧電素子
１１、１１Ｄ 補強プレート（板材）
１１ａ 支持縁部
１２、２１、２４ 溶接結合部
１７ 剛体部
１９ ばね部
２７ 接着剤
２９、２９Ｄ、３３、３３Ｄ 樹脂座
３１、３５、３７ａ、３７ｂ、３７Ａａ、３７Ａｂ、４５、４９ 溝部
３１ａ、３７ａａ、３７Ａａａ、３７Ａｂａ 端部（連通部）
４１ 凹部
４３、４３Ｂ、４３Ｃ 流れ止め部
４７、５１ 貫通孔（連通部）

Claims (10)

1. キャリッジ側に取り付けられて軸回りに回転駆動されるベース・プレートと、
   剛体部及びばね部を含み基端側が前記ベース・プレートに複数個所の溶接結合部により結合されたロード・ビームと、
   書き込み用及び読み取り用のヘッド部及び配線を備えて前記ロード・ビームに複数箇所の溶接結合部により結合されたフレキシャとを備え、
   前記ロード・ビームとフレキシャとの間に設けられ振動による相互間の衝突を規制する樹脂座を有し、
   前記ロード・ビームとフレキシャとの両者間で少なくとも一方に形成された凹部又は溝部を備え、
   前記樹脂座は、前記凹部又は溝部に形成され、
   前記凹部又は溝部は、前記溶接結合部により結合されたロード・ビームとフレキシャとの両者間外へ連通する連通部を備え、
   前記連通部から樹脂を注入して前記樹脂座を、前記複数箇所の溶接結合部の相互間に設けた、
   ことを特徴とするヘッド・サスペンション。
2. 請求項１記載のヘッド・サスペンションであって、
   前記連通部は、前記ロード・ビームとフレキシャとの両者間外に臨んだ前記凹部又は溝部の端部である、
   ことを特徴とするヘッド・サスペンション。
3. 請求項１記載のヘッド・サスペンションであって、
   前記連通部は、前記ロード・ビーム又はフレキシャに形成され前記凹部又は溝部を外部へ連通させる貫通孔である、
   ことを特徴とするヘッド・サスペンション。
4. キャリッジ側に取り付けられて軸回りに回転駆動されるベース・プレートと、
   ばね部を介して先端側に剛体部を有しばね部の基端側に補強プレートが一体に設けられ前記ベース・プレートに前記補強プレートが複数箇所の溶接結合部により結合されたロード・ビームと、
   書き込み用及び読み取り用のヘッド部及び配線を備えて前記ロード・ビームに取り付けられたフレキシャとを備えたヘッド・サスペンションであって、
   前記ベース・プレートと補強プレートとの間に設けられ振動による相互間の衝突を規制する樹脂座を有し、
   前記ベース・プレートと補強プレートとの両者間で少なくとも一方に形成された凹部又は溝部を備え、
   前記樹脂座は、前記凹部又は溝部に形成され、
   前記凹部又は溝部は、前記溶接結合部により結合されたベース・プレートと補強プレートとの両者間外へ連通する連通部を備え、
   前記連通部から樹脂を注入して前記樹脂座を、前記複数箇所の溶接結合部の相互間に設けた、
   ことを特徴とするヘッド・サスペンション。
5. 請求項４記載のヘッド・サスペンションであって、
   前記連通部は、前記ベース・プレートと補強プレートとの両者間外に臨んだ前記凹部又は溝部の端部である、
   ことを特徴とするヘッド・サスペンション。
6. 請求項４記載のヘッド・サスペンションであって、
   前記連通部は、前記ベース・プレートと補強プレートとの一方に形成され前記凹部又は溝部を外部へ連通させる貫通孔である、
   ことを特徴とするヘッド・サスペンション。
7. 請求項１〜６の何れか１項に記載のヘッド・サスペンションであって、
   前記樹脂座は、ダンピング特性を有する、
   ことを特徴とするヘッド・サスペンション。
8. 請求項１〜７の何れか１項に記載のヘッド・サスペンションであって、
   前記樹脂座は、接着剤により形成された、
   ことを特徴とするヘッド・サスペンション。
9. キャリッジ側に取り付けられて軸回りに回転駆動されるベース・プレートと、
   ばね部を介して先端側に剛体部を有し基端側に補強プレートを有し前記ベース・プレートに前記補強プレートが複数箇所の溶接結合部により結合されたロード・ビームと、
   書き込み用及び読み取り用のヘッド部及び配線を備えて前記ロード・ビームに取り付けられたフレキシャとを備え、
   前記ベース・プレート及び補強プレートに設けられ圧電素子を取り付ける開口部と、
   前記開口部に接着剤を介して取り付けられ電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子とを有し、
   前記圧電素子の変形に従って前記ベース・プレートに対し前記ロード・ビームを介して前記ヘッド部をスウェイ方向に変位させるヘッド・サスペンションであって、
   前記補強プレートは前記開口部内に突出して前記圧電素子を支持する支持縁部を備え、
   前記補強プレートに形成され端部が前記支持縁部に臨む凹部又は溝部を有し、
   前記接着剤が前記支持縁部に臨む凹部又は溝部の端部から該凹部又は溝部へ流れ込んで前記ベース・プレート及び補強プレート間に形成され振動による相互間の衝突を規制する樹脂座を、前記複数箇所の溶接結合部の相互間に設けた、
   ことを特徴とするヘッド・サスペンション。
10. 請求項９記載のヘッド・サスペンションであって、
    前記凹部又は溝部の反支持縁部側に前記接着剤の流れ止めを行う流れ止め部を設けた、
    ことを特徴とするヘッド・サスペンション。

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