JP5826463B2 - 反射防止光学素子 - Google Patents
反射防止光学素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5826463B2 JP5826463B2 JP2010108293A JP2010108293A JP5826463B2 JP 5826463 B2 JP5826463 B2 JP 5826463B2 JP 2010108293 A JP2010108293 A JP 2010108293A JP 2010108293 A JP2010108293 A JP 2010108293A JP 5826463 B2 JP5826463 B2 JP 5826463B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- trapezoidal shape
- shape
- periodic structure
- fine periodic
- wavelength
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
Description
例えば、YAGレーザから発振された波長:1064nmのレーザ光を波長変換して使用する場合、使用したい波長:266nmの光とともに、波長:355nm、532nm、1064nmの光も混在する。これら各波長のレーザ光とも「反射成分がレーザ光源に戻るとレーザ発振に悪影響を及ぼす」ので、この場合は反射防止機能を上記4波長に対して同時に満たす必要がある。
まず「基本台形形状」を説明する。
D=P、0<d≦D/2、3≦X≦15、H≧0.6λ2
を満足するように設計を行なう。
1.25≧S/s>1
を満足する。
請求項1記載の反射防止光学素子は、厚肉台形形状の面積:Sが、基本台形形状の面積:sに対して、
1.125≧S/s>1
を満足することがより好ましい(請求項2)。
D=P
は断面形状である厚肉台形形状の底部の長さ:Dが、配列ピッチ:Pに等しいという条件である。
この条件により、微細周期構造をなす厚肉台形形状の配列において、隣接する厚肉台形形状の底部は相互に接し、厚肉台形形状の「隣接部分のなす凹部」の底部は「楔状」であって、隣接する厚肉台形形状間には「平面部分」は存在しない。
d≦D/2
は、基本台形形状の上辺が、並列ピッチ:Pの1/2よりも小さいことを表している。
3≦X≦15、H≧0.6λ2
は、反射防止機能の良好な実現のための条件である。
配列ピッチ:Pとの兼ね合いで、高さ:Hが大きくなりすぎると、微細周期構造の形成自体が困難になる。
1.25≧S/s>1
については、後述する。
実際に形成された微細周期構造で、断面形状が「基本台形形状と実質的に同一」となる正規品は全体の40%であり、残りは、図1(b)に実線で示す「破線で示す基本台形形状の両斜辺が外側に拡張した厚肉台形形状」となるものが全体の30%、図1(c)に実線で示す「破線で示す基本台形形状の両斜辺が内側に入り込む薄肉台形形状」となるものが30%であった。
さらに、反射防止機能を有する微細周期構造の高さの作成条件:H≧0.6λ2を当てはめると、
H≧0.6×1200=720nm
である。
即ち、凹凸の高さ:H≧720nmであれば、面積増加量:+12.5%以下の厚肉台形形状に関しては、反射防止機能の特性低下は発生していないといえる。
しかしながら、この場合はアスペクト比:Xが上述の条件の範囲を超えてしまい、配列ピッチ:Pに対して高さ:Hが大きすぎ、微細周期構造の形成も困難になる。
1.25s≧S>s
を満足することにより「正規品と同様の実使用に耐える反射防止機能」を実現できることがわかる。
1.25s≧S≧s
の範囲に収まり、所望の反射防止機能を「実使用に耐えるレベル」で有する反射防止光学素子を実質100%の歩留まりで形成できる。
P 基本台形形状の1次元配列の配列ピッチ
H 基本台形形状の高さ
Claims (2)
- 使用波長に対して透明な無機光学材料による基板の表面に、前記基板自体の表面形状として、1次元の微細周期構造を形成してなり、上記使用波長を含む所定の波長領域内で反射防止効果を有する反射防止光学素子であって、
使用波長を含む所定の波長領域:
λ1≦λ≦λ2
内で反射防止効果を実現するべく、1次元の微細周期構造をなす断面形状を、高さ:H、
上辺の長さ:d、底辺の長さ:Dの台形形状とし、この台形形状の1次元の配列における
配列ピッチ:P、アスペクト比:X(=H/P)が、上記H、d、Dとともに、条件:
D=P、0<d≦D/2、3≦X≦15、H≧0.6λ2
を満足するように設計された上記台形形状を基本台形形状とするとき、
この基本台形形状の両斜辺が、外側へ拡張した厚肉台形形状を断面形状として、配列ピッチ:P(=D)、アスペクト比:Xで1次元に配列して上記1次元の微細周期構造をなし、
上記厚肉台形形状の面積:Sが、上記基本台形形状の面積:sに対して、条件:
1.25≧S/s>1
を満足することを特徴とする反射防止光学素子。 - 請求項1記載の反射防止光学素子において、
厚肉台形形状の面積:Sが、上記基本台形形状の面積:sに対して、
1.125≧S/s>1
を満足することを特徴とする反射防止光学素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010108293A JP5826463B2 (ja) | 2010-05-10 | 2010-05-10 | 反射防止光学素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010108293A JP5826463B2 (ja) | 2010-05-10 | 2010-05-10 | 反射防止光学素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011237568A JP2011237568A (ja) | 2011-11-24 |
JP5826463B2 true JP5826463B2 (ja) | 2015-12-02 |
Family
ID=45325624
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010108293A Active JP5826463B2 (ja) | 2010-05-10 | 2010-05-10 | 反射防止光学素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5826463B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6435776B2 (ja) * | 2014-10-28 | 2018-12-12 | 大日本印刷株式会社 | 反射防止物品、その製造方法及び画像表示装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4270806B2 (ja) * | 2002-05-24 | 2009-06-03 | 大日本印刷株式会社 | ゾルゲル法による反射防止物品の製造方法 |
JP2003344855A (ja) * | 2002-05-30 | 2003-12-03 | Mitsubishi Chemicals Corp | フロントライト用導光板 |
JP2005173457A (ja) * | 2003-12-15 | 2005-06-30 | Konica Minolta Holdings Inc | 反射防止構造を有する光学素子及び光学系 |
JP5170495B2 (ja) * | 2006-03-20 | 2013-03-27 | 日産自動車株式会社 | 反射防止微細構造及び反射防止構造体 |
-
2010
- 2010-05-10 JP JP2010108293A patent/JP5826463B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011237568A (ja) | 2011-11-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP3043375B1 (en) | Reflective photomask and production method therefor | |
US20040017989A1 (en) | Fabricating sub-resolution structures in planar lightwave devices | |
JP5953833B2 (ja) | 反射型フォトマスクおよびその製造方法 | |
JP2008299084A (ja) | 表面に微細凹凸形状をもつ光学素子の製造方法 | |
JP2015038579A (ja) | 光学素子、光学系、撮像装置、光学機器、ならびに原盤およびその製造方法 | |
JP2007101799A (ja) | 透過型光学素子 | |
JP2011248213A (ja) | 反射型波長板 | |
JP5895427B2 (ja) | 低反射構造を成型するための原版の製造方法 | |
JP2003114316A (ja) | 光学素子 | |
JP5826463B2 (ja) | 反射防止光学素子 | |
JP5490216B2 (ja) | 光学素子及び光学素子の製造方法 | |
JP5484929B2 (ja) | 反射防止光学素子およびレーザ光源装置 | |
US20220404390A1 (en) | Method for lithography process | |
JP2009128541A (ja) | 反射防止構造体の製造方法 | |
JP2009128540A (ja) | 反射防止構造体の製造方法 | |
JP2018025716A (ja) | 反射型露光用マスク及びその製造方法 | |
US20110090569A1 (en) | Optical component having antireflection structure and method of manufacturing optical component | |
JP4542317B2 (ja) | 光学媒質の光入出射部処理方法 | |
WO2024014272A1 (ja) | メタレンズ、メタレンズの製造方法、電子機器、メタレンズの設計方法 | |
TWI829204B (zh) | 超穎光學元件 | |
JP2009216951A (ja) | モールド、光学基板及びモールドの製造方法 | |
WO2020085288A1 (ja) | 原盤、原盤の製造方法及び転写物の製造方法 | |
TWI836590B (zh) | 光學體、母盤、及光學體之製造方法 | |
JP2020068381A (ja) | 原盤、原盤の製造方法及び転写物の製造方法 | |
JP2016164691A (ja) | 反射型フォトマスクおよびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121225 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131021 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131112 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131217 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140318 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150724 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151014 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5826463 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |