JP5826430B1 - 三次元造形装置及び三次元形状造形物の製造方法 - Google Patents

三次元造形装置及び三次元形状造形物の製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP5826430B1
JP5826430B1 JP2015153023A JP2015153023A JP5826430B1 JP 5826430 B1 JP5826430 B1 JP 5826430B1 JP 2015153023 A JP2015153023 A JP 2015153023A JP 2015153023 A JP2015153023 A JP 2015153023A JP 5826430 B1 JP5826430 B1 JP 5826430B1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electron beam
diameter
light beam
region
beam scanning
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2015153023A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2017030254A (ja
Inventor
敏男 前田
敏男 前田
誠一 冨田
誠一 冨田
泰則 武澤
泰則 武澤
敏彦 加藤
敏彦 加藤
浩一 天谷
浩一 天谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Matsuura Machinery Corp
Original Assignee
Matsuura Machinery Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsuura Machinery Corp filed Critical Matsuura Machinery Corp
Priority to JP2015153023A priority Critical patent/JP5826430B1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5826430B1 publication Critical patent/JP5826430B1/ja
Publication of JP2017030254A publication Critical patent/JP2017030254A/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P10/00Technologies related to metal processing
    • Y02P10/25Process efficiency

Landscapes

  • Powder Metallurgy (AREA)

Abstract

【課題】 造形効率の向上を可能とする三次元造形装置の構成を提供すること。【解決手段】 光ビーム又は電子ビーム走査手段20を複数設け、これら複数の光ビーム又は電子ビーム走査手段20による複数の光ビーム又は電子ビームを同じ粉末層に照射するとともに、これら複数の光ビーム又は電子ビーム走査手段20による照射位置の移動における各移動単位を同期させている三次元造形装置において、前記複数の光ビーム又は電子ビーム走査手段として、大径領域用光ビーム又は電子ビーム走査手段20Lと、小径照射領域を形成する小径領域用光ビーム又は電子ビーム走査手段20Sとを備え、大径照射領域Lの中央の位置に含まれるように、小径照射領域Sを形成し、かつ前記大径照射領域Lの形成の後に前記小径照射領域Sの形成が実現するように制御する三次元造形装置。【選択図】 図2

Description

本発明は、粉末材料を積層し焼結して三次元形状の造形物を製造する三次元造形装置及び三次元形状造形物の製造方法に関するものである。
従来、この種の発明では、粉末供給装置から粉末材料を供給して粉末層を形成する工程と、当該工程によって形成された粉末層の所定領域に光ビーム又は電子ビームを照射して前記所定領域の粉末を焼結する工程とを繰り返すことにより、多数の焼結層からなる三次元形状の造形物を製造するようにしている。
ところで、前記従来技術では、光ビーム又は電子ビームを照射するために、ガルバノスキャナ装置を用いる場合が多い。例えば、特許文献1に記載の発明では、レーザ発振器(20)から出射される光ビーム又は電子ビームを、単一のガルバノスキャナ装置(スキャナ22)に反射させるとともにその反射方向を変化させて粉末層に照射している。このような構成によれば、ガルバノスキャナ装置によって高速に光ビーム又は電子ビームの照射位置を移動させることが可能となり、造形時間の短縮に効果がある。
しかしながら、粉末材料を焼結するためには、高エネルギー照射が必要となり、光ビーム又は電子ビームを集約する必要がある。通常、焼結に使用する光ビーム又は電子ビームは、200Wレーザであり、照射径が0.1mm以下になるまで集光し、高エネルギー化する。前記のように照射径が極小であること等から、比較的大きな造形物を製作する場合は、ガルバノスキャナ装置を用いたとしても非常に時間がかかることが課題となっている。
また、通常の三次元造形物では、表面の硬度及び密度を高くすることが要求されるが、内部の硬度及び密度については比較的低くてもよい場合が多い。このため、従来技術では、造形時間の短縮のために、造形物の内部側に位置する粉末層を焼結する際には、照射径を大きくする等してエネルギー密度を低くし、造形物の外郭側に位置する粉末層を焼結する際にのみ照射径を小さくしてエネルギー密度を高くするようにしている。
しかしながら、このような従来技術では、照射径の切り換えを要することや、単一のガルバノスキャナ装置による走査パターンが多くなること等から、制御が複雑になる傾向がある。
特開2005−336547号公報
本発明は上記従来事情に鑑みてなされたものであり、その課題とする処は、造形効率を向上することができる三次元造形装置及び三次元形状造形物の製造方法を提供することにある。
上記課題を解決するための本発明の基本構成は、
粉末供給装置によって粉末層を形成する積層工程と、光ビーム又は電子ビーム走査手段によって光ビーム又は電子ビームを前記粉末層に照射するとともにその照射位置を中央制御装置、即ちコントローラにおける制御に関与しているコンピュータによって設定されている各移動単位毎に移動させて前記粉末層を焼結する焼結工程とを交互に繰り返し、かつ前記光ビーム又は電子ビーム走査手段を複数設け、これら複数の光ビーム又は電子ビーム走査手段による複数の光ビーム又は電子ビームを同じ粉末層に照射するとともに、これら複数の光ビーム又は電子ビーム走査手段による照射位置の移動における各移動単位を同期させるようにしている三次元造形装置において、
前記複数の光ビーム又は電子ビーム走査手段として、前記粉末層の表面に大径照射領域を形成する一個又は複数個の大径領域用光ビーム又は電子ビーム走査手段と、同粉末層の表面に前記大径照射領域よりも径の小さな一個又は複数個の小径照射領域を形成する小径領域用光ビーム又は電子ビーム走査手段とを備え、
前記大径照射領域の中央の位置に含まれるように、前記小径照射領域を形成し、当該形成状態を維持しながら前記大径照射領域の形成の後に前記小径照射領域の形成が実現するように、前記大径領域用光ビーム又は電子ビーム走査手段及び前記小径領域用光ビーム又は電子ビーム走査手段を前記粉末層の表面に沿って移動させるように制御することを特徴としている三次元造形装置、
からなる。
本発明は、以上説明したように構成されているので、焼結化を効率的に行って、造形効率を向上することができると共に、高エネルギーの単一の光ビーム又は電子ビームを照射するようにした場合と比較し、熱衝撃が小さく、高品質な三次元形状造形物を得ることができる。
本発明における技術的前提を模式的に示す斜視図である。 本発明の基本構成を模式的に示す斜視図である。
前記基本構成においては、粉末供給装置によって粉末層を形成する積層工程と、光ビーム又は電子ビーム走査手段によって光ビーム又は電子ビームを前記粉末層に照射するとともにその照射位置を中央制御装置、即ちコントローラにおける制御に関与しているコンピュータによって設定されている各移動単位毎に移動させて前記粉末層を焼結する焼結工程とを交互に繰り返すようにした三次元造形装置において、前記光ビーム又は電子ビーム走査手段を複数設け、これら複数の光ビーム又は電子ビーム走査手段による複数の光ビーム又は電子ビームを同じ粉末層に照射するとともに、これら複数の光ビーム又は電子ビーム走査手段による照射位置の移動における各移動単位を同期させている。
この構成によれば、複数の光ビーム又は電子ビーム走査手段による複数の光ビーム又は電子ビームを、同じ粉末層に照射するとともにその照射位置の移動における各移動単位を同期させているため、焼結効率及び造形効率を向上することができる。
具体的に説明するに、この三次元造形装置1は、図1に示すように、昇降可能な造形テーブル10と、該造形テーブル10の上方側に設けられた複数の光ビーム又は電子ビーム走査手段20と、造形テーブル10の昇降や各光ビーム又は電子ビーム走査手段20の動作等を制御するコントローラ30と、造形テーブル10上に粉末材料を供給する粉末供給装置40とを具備し、粉末材料を供給して粉末層を形成する積層工程と、光ビーム又は電子ビームを前記粉末層に照射するとともにその照射位置を各移動単位毎に移動させて前記粉末層を焼結する焼結工程とを交互に繰り返して三次元形状造形物を製造する。
造形テーブル10は、上面を平坦状に形成したテーブルであり、図示しない昇降機構によって昇降するように構成されている。
この造形テーブル10は、後述する粉末供給装置40及び光ビーム又は電子ビーム走査手段20により粉末層の形成と該粉末層の部分的な焼結が繰り返される毎に、下方へ所定量移動する。
なお、他例としては、この造形テーブル10を昇降不能に固定し、粉末供給装置40を昇降させる構造とすることも可能である。
光ビーム又は電子ビーム走査手段20は、光ビーム又は電子ビーム発信装置(図示せず)から発せられる光ビーム又は電子ビームを、二つの反射ミラー21,21により反射させて、造形テーブル10上の粉末層の上面に照射するととものその照射位置を平面方向へ移動させる二軸式のガルバノスキャナ装置である。
各光ビーム又は電子ビーム走査手段20は、コントローラ30からの操作指令に応じて、二つの反射ミラー21,21を、それぞれモーター22,22により独立して回転させ、この回転により、粉末層上面に照射される光ビーム又は電子ビームを、CCDカメラ等の撮像装置(図示せず)により撮像した造形テーブル10上の基準位置を原点にしてXY方向へ走査する。
なお、図1中、符号23は、コントローラ30の制御電圧を増幅して各光ビーム又は電子ビーム走査手段20へ供給するアンプである。
また、前記光ビーム又は電子ビーム発信装置は、例えば、光ビーム又は電子ビーム走査手段20の数よりも少ない数のレーザ光源を備え、該レーザ光源から出射されるレーザ光を、プリズムやレンズ等の光学手段により分光し、それぞれの光を光ビーム又は電子ビーム走査手段20の反射ミラー21へ照射する構成とすればよい。なお、光ビーム又は電子ビーム発信装置の他例としては、複数の光ビーム又は電子ビーム走査手段20毎にレーザ光源を具備することも可能である。
コントローラ30は、加工プログラム及び加工データ等を記憶する記憶部、CPU、及び入出力インターフェース等を具備した制御回路であり、例えば、マイコンやプログラマブルコントローラ、その他の電子回路により構成すればよい。
このコントローラ30には、図示しないCAD/CAMシステムにより生成された三次元データ(例えば、STL形式データ等)や、光ビーム又は電子ビームの照射径、光ビーム又は電子ビームの照射出力等のデータが入力される。そして、コントローラ30は、前記データを予め記憶した加工プログラムに基づき演算処理し、その処理結果に応じて、光ビーム又は電子ビーム発信装置(図示せず)や、造形テーブル10の昇降機構(図示せず)、複数の光ビーム又は電子ビーム走査手段20等を制御する。
光ビーム又は電子ビームの照射径を変更する手段は、光ビーム又は電子ビームの光路中に、ビーム径を変えることが可能な絞り機構を具備すればよい。この絞り機構は、例えば、径の異なる複数の絞り孔を有するマスク板を備え、このマスク板を移動させて、前記複数の絞り孔を選択的に光ビーム又は電子ビームの光路上に移動させる構造とすればよい。
また、粉末供給装置40は、水平に移動しながら平面上に金属製又は非金属製の粉末材料を供給しスキージングすることで、略平坦状の粉末層を形成する周知の装置である。この造形テーブル10は、造形テーブル10の上方側を略水平に移動するように設けられ、造形テーブル10上面に粉末層を形成したり、該粉末層上にさらに粉末層を積層したりする。
次に、上記三次元造形装置1により、三次元形状造形物を製造する手順を詳細に説明する。
先ず、コントローラ30は、予め記憶した加工プログラムに基づき、粉末供給装置40を動作させ、造形テーブル10上に粉末層を形成する。この後、コントローラ30は、複数の光ビーム又は電子ビーム走査手段20を動作させて、前記粉末層の上表面に光ビーム又は電子ビームを照射する。
詳細に説明すれば、コントローラ30は、図1に示すように、造形テーブル10上に、前記三次元データ等に基づき、被造形領域Eを設定する。
被造形領域Eは、当該三次元造形装置1によって製造される三次元形状造形物を、造形テーブル10に平行する平面で切断した断面に対応しており、前記三次元形状造形物の形状に応じて、複数の粉末層毎に異なる形状となる場合や、同一形状となる場合等がある。
次に、コントローラ30は、図1に示すように、複数の光ビーム又は電子ビーム走査手段20による複数の光ビーム又は電子ビームを、同じ粉末層における被造形領域E上の所定位置に集中させて照射するとともに、その集中部分x1を、予め設定された造形パスに沿って移動させるように、複数の光ビーム又は電子ビーム走査手段20の動作を同期させる。前記集中部分x1は、粉末層上において複数の光ビーム又は電子ビームが照射された瞬時の領域であり、上記絞り機構により調整された照射径を有する。
前記造形パスは、光ビーム又は電子ビームの走査経路であり、コントローラ30が前記三次元データ等に基づき予め設定し所定の記憶領域に記憶している。
この造形パスには、被造形領域Eの輪郭に沿って光ビーム又は電子ビームを走査せるためのベクトル造形パスと、被造形領域Eの内側の領域をハッチングするようにして光ビーム又は電子ビームを走査せるためのラスタ造形パスとの2種類があり、それぞれ、粉末層毎に設定される。
前記ラスタ造形パスは、詳細に説明すれば、例えば、光ビーム又は電子ビームオン状態で被造形領域E内の一端側から他端側へ向かう直線状走査経路と、光ビーム又は電子ビームオフ状態で前記直線状走査経路の前記一端側からオフセットした位置へ向かう戻り走査経路とを交互に繰り返した経路とされる。なお、このラスタ造形パスは、前記パターン以外の他のパターンとすることが可能である。
前記造形パスに沿って光ビーム又は電子ビームの走査が行われると、粉末層上面の被造形領域Eが光ビーム又は電子ビームの熱により焼結する。この後、コントローラ30は、造形テーブル10を粉末層の厚み分だけ下降させ、被造形領域Eを含む粉末層の上面に対し、粉末供給装置40により新たな粉末層を形成する。
そして、コントローラ30は、上述した最初の粉末層に対する加工と同様に、前記新たな粉末層の上面に、被造形領域Eを設定し、複数の光ビーム又は電子ビーム走査手段20による複数の光ビーム又は電子ビームを、前記新たな粉末層における被造形領域E上の所定位置に集中させて照射するとともに、その集中部分x1を前記造形パスに沿って移動させるように、複数の光ビーム又は電子ビーム走査手段20の動作を同期させる。よって、新たな粉末層の被造形領域Eが焼結するとともに、この焼結部分が、先の粉末層の焼結部分と一体化する。
以降、造形テーブル10の下降と、粉末供給装置40による粉末層の形成と、複数の光ビーム又は電子ビーム走査手段20の光ビーム又は電子ビーム走査による焼結とが順番に繰り返されることで、所定の三次元形状造形物が製造される。なお、前記行程中、焼結層の外周部は、必要に応じて、図示しない切削加工装置により高精度に切削加工される。
よって、上記構成の三次元造形装置1によれば、複数の光ビーム又は電子ビーム走査手段による複数の光ビーム又は電子ビームを、同じ粉末層の被造形領域Eにおける所定位置に集中させて照射するようにしているため、その集中部分x1において高エネルギー焼結を行うことができ、ひいては、造形時間を短縮化することができる。
なお、複数の光ビーム又は電子ビーム走査手段20の光ビーム又は電子ビームによる集中部分x1は、前記ベクトル造形パスと前記ラスタ造形パスとのうちの一方を走査するのに用いてもよいし、双方を走査するのに用いてもよい。例えば、前記集中部分x1を前記ベクトル造形パスの走査に用い、図示しない単一の光ビーム又は電子ビーム走査手段の光ビーム又は電子ビームをラスタ造形パスの走査に用いれば、三次元形状造形物の外周面寄りに高密度な焼結層を形成するとともに、内部側に低密度な焼結層を形成することができる。
前記基本構成においては、
前記複数の光ビーム又は電子ビーム走査手段として、前記粉末層の表面に大径照射領域を形成する一個又は複数個の大径領域用光ビーム又は電子ビーム走査手段と、同粉末層の表面に前記大径照射領域よりも径の小さな一個又は複数個の小径照射領域を形成する小径領域用光ビーム又は電子ビーム走査手段とを備え、
前記大径照射領域の中央の位置に含まれるように、前記小径照射領域を形成し、当該形成状態を維持しながら前記大径照射領域の形成の後に前記小径照射領域の形成が実現するように、前記大径領域用光ビーム又は電子ビーム走査手段及び前記小径領域用光ビーム又は電子ビーム走査手段を前記粉末層の表面に沿って移動させるように制御することを特徴としている。
この構成によれば、大径照射領域及び小径照射領域が同時に移動する際、先ず、大径照射領域の外周寄り部分によって粉末層の表面に予熱が与えられる。そして、その予熱された部分を、小径照射領域が通過することにより、該部分がさらに加熱されることになる。
よって、粉末層の表面を大径照射領域と小径照射領域とによって段階的に加熱することができ、ひいては、高エネルギーの単一の光ビーム又は電子ビームを照射するようにした場合と比較し、熱衝撃が小さく、高品質な三次元形状造形物を得ることができる。
上記大径照射領域及び小径照射領域について更に具体的に説明するに、図2に示す態様では、複数の光ビーム又は電子ビーム走査手段として、粉末層の表面に大径照射領域Lを形成する大径領域用光ビーム又は電子ビーム走査手段20Lと、同粉末層の表面に大径照射領域Lよりも径の小さな小径照射領域Sを形成する小径領域用光ビーム又は電子ビーム走査手段20Sとを備える。
大径領域用光ビーム又は電子ビーム走査手段20L及び小径領域用光ビーム又は電子ビーム走査手段20Sの各々は、上述した光ビーム又は電子ビーム走査手段20と同構造のものが用いられ、それぞれの光ビーム又は電子ビームが、上述した絞り機構(図示せず)によって絞られることで、被照射面上に、比較的径の大きな大径照射領域Lと、該大径照射領域Lよりも径の小さな小径照射領域Sを形成する。
コントローラ30は、大径照射領域L内の中央の位置に含まれるように、小径照射領域Sを配置し、当該形成状態を維持しながら、これら大径照射領域L及び小径照射領域Sを所定の造形パスに沿って移動させるように、大径領域用光ビーム又は電子ビーム走査手段A及び前記小径領域用光ビーム又は電子ビーム走査手段Bの動作における各移動単位を同期させる。
上記構成によれば、小径照射領域Sの輪郭線と大径照射領域Lの輪郭線との間の領域は、一方の光ビーム又は電子ビームのみが照射されるため、比較的熱量が小さく、小径照射領域Sの輪郭線の内側の領域は、一方の光ビーム又は電子ビームと他方の光ビーム又は電子ビームとが重なり合うため、比較的熱量が大きくなる。そして、これら二つの照射領域S,Lが同時に移動すると、被造形領域E内の同一点を、最初に大径照射領域Lの外周寄りの部分が通過した後、次に大径照射領域L内中央寄りの小径照射領域Sが通過することになる。このため、前記一方の光ビーム又は電子ビームにより予熱された部分が、前記一方及び他方の光ビーム又は電子ビームにより高熱量で加熱されるという、段階的な加熱が行われ、ひいては、高エネルギーの単一の光ビーム又は電子ビームを一度に照射するようにした場合と比較し、熱衝撃が小さく、高品質な三次元形状造形物を得ることができる。
以上の実施形態及び実施形態からも明らかなように、造形効率を明らかに向上している本発明は、三次元造形物の製造分野において、十分産業上の利用価値を発揮することができる。
10 :造形テーブル
20 :光ビーム又は電子ビーム走査手段
20S:小径領域用光ビーム又は電子ビーム走査手段
20L:大径領域用光ビーム又は電子ビーム走査手段
30 :コントローラ
40 :粉末供給装置
E :被造形領域
S :小径照射領域
L :大径照射領域

Claims (2)

  1. 粉末供給装置によって粉末層を形成する積層工程と、光ビーム又は電子ビーム走査手段によって光ビーム又は電子ビームを前記粉末層に照射するとともにその照射位置を中央制御装置、即ちコントローラにおける制御に関与しているコンピュータによって設定されている各移動単位毎に移動させて前記粉末層を焼結する焼結工程とを交互に繰り返し、かつ前記光ビーム又は電子ビーム走査手段を複数設け、これら複数の光ビーム又は電子ビーム走査手段による複数の光ビーム又は電子ビームを同じ粉末層に照射するとともに、これら複数の光ビーム又は電子ビーム走査手段による照射位置の移動における各移動単位を同期させるようにしている三次元造形装置において、
    前記複数の光ビーム又は電子ビーム走査手段として、前記粉末層の表面に大径照射領域を形成する一個又は複数個の大径領域用光ビーム又は電子ビーム走査手段と、同粉末層の表面に前記大径照射領域よりも径の小さな一個又は複数個の小径照射領域を形成する小径領域用光ビーム又は電子ビーム走査手段とを備え、
    前記大径照射領域の中央の位置に含まれるように、前記小径照射領域を形成し、当該形成状態を維持しながら前記大径照射領域の形成の後に前記小径照射領域の形成が実現するように、前記大径領域用光ビーム又は電子ビーム走査手段及び前記小径領域用光ビーム又は電子ビーム走査手段を前記粉末層の表面に沿って移動させるように制御することを特徴としている三次元造形装置。
  2. 大径領域用光ビーム又は電子ビーム走査手段及び小径領域用光ビーム又は電子ビーム走査手段における光ビーム又は電子ビームが絞り機構によって、大径照射領域と小径照射領域を形成することを特徴とする請求項1記載の三次元造形装置。
JP2015153023A 2015-08-03 2015-08-03 三次元造形装置及び三次元形状造形物の製造方法 Active JP5826430B1 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015153023A JP5826430B1 (ja) 2015-08-03 2015-08-03 三次元造形装置及び三次元形状造形物の製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015153023A JP5826430B1 (ja) 2015-08-03 2015-08-03 三次元造形装置及び三次元形状造形物の製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP5826430B1 true JP5826430B1 (ja) 2015-12-02
JP2017030254A JP2017030254A (ja) 2017-02-09

Family

ID=54776762

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015153023A Active JP5826430B1 (ja) 2015-08-03 2015-08-03 三次元造形装置及び三次元形状造形物の製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5826430B1 (ja)

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017114658A1 (en) * 2015-12-30 2017-07-06 Asml Netherlands B.V. Method and apparatus for direct write maskless lithography
JP6234596B1 (ja) * 2016-05-31 2017-11-22 技術研究組合次世代3D積層造形技術総合開発機構 3次元積層造形システム、3次元積層造形方法、積層造形制御装置およびその制御方法と制御プログラム
WO2017213082A1 (ja) * 2016-06-07 2017-12-14 三菱重工業株式会社 選択型ビーム積層造形装置及び選択型ビーム積層造形方法
JP2018030373A (ja) * 2017-10-24 2018-03-01 技術研究組合次世代3D積層造形技術総合開発機構 3次元積層造形システム、3次元積層造形方法、積層造形制御装置およびその制御方法と制御プログラム
US10527946B2 (en) 2015-12-30 2020-01-07 Asml Netherlands B.V. Method and apparatus for direct write maskless lithography
US20200038999A1 (en) * 2018-08-03 2020-02-06 Fanuc Corporation Control device for laser machining apparatus, and laser machining apparatus
CN110788480A (zh) * 2018-08-03 2020-02-14 发那科株式会社 激光加工装置的控制装置以及激光加工装置
US10814554B2 (en) 2018-08-03 2020-10-27 Fanuc Corporation Control device for laser machining apparatus, and laser machining apparatus
US10928736B2 (en) 2015-12-30 2021-02-23 Asml Netherlands B.V. Method and apparatus for direct write maskless lithography
CN112818282A (zh) * 2021-02-01 2021-05-18 中国航空制造技术研究院 一种生成电子束毛化扫描波形的方法和系统

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018189804A1 (ja) * 2017-04-11 2018-10-18 株式会社アドバンテスト 三次元積層造形装置および積層造形方法
EP3444100B1 (en) * 2017-08-16 2022-06-08 CL Schutzrechtsverwaltungs GmbH Apparatus for additively manufacturing three-dimensional objects

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0342233A (ja) * 1989-07-07 1991-02-22 Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd 光学的造形法
JP2006224107A (ja) * 2005-02-15 2006-08-31 Mitsubishi Electric Corp レーザ加工方法および装置
JP2009006509A (ja) * 2007-06-26 2009-01-15 Panasonic Electric Works Co Ltd 三次元形状造形物の製造方法及び製造装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0342233A (ja) * 1989-07-07 1991-02-22 Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd 光学的造形法
JP2006224107A (ja) * 2005-02-15 2006-08-31 Mitsubishi Electric Corp レーザ加工方法および装置
JP2009006509A (ja) * 2007-06-26 2009-01-15 Panasonic Electric Works Co Ltd 三次元形状造形物の製造方法及び製造装置

Cited By (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10712669B2 (en) 2015-12-30 2020-07-14 Asml Netherlands B.V. Method and apparatus for direct write maskless lithography
WO2017114658A1 (en) * 2015-12-30 2017-07-06 Asml Netherlands B.V. Method and apparatus for direct write maskless lithography
US10527946B2 (en) 2015-12-30 2020-01-07 Asml Netherlands B.V. Method and apparatus for direct write maskless lithography
US10928736B2 (en) 2015-12-30 2021-02-23 Asml Netherlands B.V. Method and apparatus for direct write maskless lithography
JP6234596B1 (ja) * 2016-05-31 2017-11-22 技術研究組合次世代3D積層造形技術総合開発機構 3次元積層造形システム、3次元積層造形方法、積層造形制御装置およびその制御方法と制御プログラム
WO2017208362A1 (ja) * 2016-05-31 2017-12-07 技術研究組合次世代3D積層造形技術総合開発機構 3次元積層造形システム、3次元積層造形方法、積層造形制御装置およびその制御方法と制御プログラム
US10926469B2 (en) 2016-05-31 2021-02-23 Technology Research Association For Future Additive Manufacturing Three-dimensional laminating and fabricating system, three-dimensional laminating and fabricating method, laminating and fabricating control apparatus and method of controlling the same, and control program
WO2017213082A1 (ja) * 2016-06-07 2017-12-14 三菱重工業株式会社 選択型ビーム積層造形装置及び選択型ビーム積層造形方法
JP2017217799A (ja) * 2016-06-07 2017-12-14 三菱重工業株式会社 選択型ビーム積層造形装置及び選択型ビーム積層造形方法
JP2018030373A (ja) * 2017-10-24 2018-03-01 技術研究組合次世代3D積層造形技術総合開発機構 3次元積層造形システム、3次元積層造形方法、積層造形制御装置およびその制御方法と制御プログラム
CN110788482A (zh) * 2018-08-03 2020-02-14 发那科株式会社 激光加工装置的控制装置以及激光加工装置
US10814554B2 (en) 2018-08-03 2020-10-27 Fanuc Corporation Control device for laser machining apparatus, and laser machining apparatus
CN110788480A (zh) * 2018-08-03 2020-02-14 发那科株式会社 激光加工装置的控制装置以及激光加工装置
US20200038999A1 (en) * 2018-08-03 2020-02-06 Fanuc Corporation Control device for laser machining apparatus, and laser machining apparatus
DE102019211486B4 (de) 2018-08-03 2022-02-03 Fanuc Corporation Steuereinrichtung für eine laserbearbeitungsvorrichtung und laserbearbeitungsvorrichtung
CN110788482B (zh) * 2018-08-03 2022-02-25 发那科株式会社 激光加工装置的控制装置以及激光加工装置
DE102019211487B4 (de) 2018-08-03 2023-06-01 Fanuc Corporation Steuereinrichtung für eine laserbearbeitungsvorrichtung und laserbearbeitungsvorrichtung
DE102019211417B4 (de) 2018-08-03 2023-06-01 Fanuc Corporation Steuerungsvorrichtung für eine Laserbearbeitungsvorrichtung, und Laserbearbeitungsvorrichtung
US11945044B2 (en) 2018-08-03 2024-04-02 Fanuc Corporation Control device for laser machining apparatus, and laser machining apparatus
CN112818282A (zh) * 2021-02-01 2021-05-18 中国航空制造技术研究院 一种生成电子束毛化扫描波形的方法和系统
CN112818282B (zh) * 2021-02-01 2023-12-29 中国航空制造技术研究院 一种生成电子束毛化扫描波形的方法和系统

Also Published As

Publication number Publication date
JP2017030254A (ja) 2017-02-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5826430B1 (ja) 三次元造形装置及び三次元形状造形物の製造方法
JP6030597B2 (ja) 三次元造形装置及び三次元形状造形物の製造方法
CA3009200C (en) Three-dimensional molding equipment and method for manufacturing three-dimensional shaped molding object
JP2015199195A (ja) 三次元造形装置
KR101950534B1 (ko) 적층 조형 장치 및 적층 조형 방법
EP3199327B1 (en) Novel method for calibrating laser additive manufacturing process
JP6053745B2 (ja) 照射システムを制御する方法及び制御装置
JP2020505251A (ja) 電子ビーム選択的溶融と電子ビーム切断とを組み合わせた積層造形装置
JP6600278B2 (ja) 選択型ビーム積層造形装置及び選択型ビーム積層造形方法
JP2003321704A (ja) 積層造形法およびそれに用いる積層造形装置
JP5470635B2 (ja) 積層造形装置及び積層造形方法
JP2004284025A (ja) 積層造形法および積層造形装置
KR101683799B1 (ko) 형상물의 슬라이싱 단면을 영역분할하고 그 분할된 면적에 따라 빔의 크기 및 속도를 조절하여 생산속도를 향상시킨 3차원 형상 가공 방법
JP2019203145A (ja) 積層造形物の積層造形方法及び積層造形装置
JP6385294B2 (ja) レーザ加工装置及びレーザ加工方法

Legal Events

Date Code Title Description
A975 Report on accelerated examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005

Effective date: 20150930

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20151009

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20151013

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5826430

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250