JP5823180B2 - 時計テンプ・ゼンマイ組立体を微細機械加工可能材料又はシリコンで製造する方法 - Google Patents

Description

本発明は、テンプ・ゼンマイ組立体を、微細機械加工可能材料又はシリコン材料（以下単に「シリコン」と総称する）を使用する微細加工技術で且つ三次元で製造する方法に関する。

このテンプ・ゼンマイは、ひげゼンマイにより形成される第１の平坦な構成要素を有する。このひげゼンマイは、シリコン製のウエハで、シリコンを使用する微細加工技術から所定の結晶方向を有するよう形成される。この第１の構成要素は、ベース面から一側面上に伸びる。
本発明は、平坦なひげゼンマイと終端湾曲を含むテンプ・ゼンマイ組立体に関する。
本発明は、サブ・コンポーネットを含む取り付け点を有する時計に関する。
本発明は、テンプ・ゼンマイを取り付けるスタッドを有する時計に関する。このスタッドは固定手段を有する。
本発明の技術分野は、シリコンを使用する微細加工技術の分野であり、特にシリコンを使用する微細加工技術から構成される時計の分野である。

更に本発明は、三次元の構成要素に関する。この三次元の構成要素は、調整部材、テンプ・ゼンマイ、テンプ、トゥールビロン・キャレッジ、カルッセル等を含む。
本発明は、特にシリコン製のテンプ・ゼンマイを例に説明する。

ヨーロッパ特許出願第２１８４６５２号明細書 ヨーロッパ特許出願第２１９６８６７Ａ１号明細書 ヨーロッパ特許出願第１８４３２２７Ａ１号明細書

ある種の時計のテンプ・ゼンマイ、例えばブルゲのオーバーコイルは、所定の曲げ形状の外側終端湾曲（outer terminal curve）、或いは、Phillip カーブのようなカーブを有する。その終端湾曲は、スタッドにピンで留められている。平坦なテンプ・ゼンマイの場合には、テンプ・ゼンマイのスタッドは、テンプ・ゼンマイとは別の面に配置されている。スタッドがテンプ・ゼンマイの面に突出する位置は、ムーブメントのテンプ・ゼンマイの範囲外或いは中又は外の適宜の場所にある。円筒状或いは他の形のテンプ・ゼンマイにおいては、スタッドはあらゆる位置に配置できる。

シリコンの使用により、時計の製造技術に多大な進歩がもたれされたが、これは、１０Ｈｚ程度の高振動用のシリコン製のひげゼンマイを使用することに因る。

シリコン材料を使用する微細加工技術を用いることにより、平坦な構成要素が製造でき、ＤＲＩＥ（deep reactive ion etching）により、複雑な形状が得られる。三次元の構成要素に対しては、製造技術は、多層構造の並行な構成要素に限られるが、様々な製造技術（即ち、組み立て、マルチレベルのエッチング、ウエハのボンディング等）を組み合わせることも可能である。これ等の製造方法は、サブ・コンポーネットを一体にすることに限られており、それ等を様々なレベルで組み立てている。

これ等の技術では、曲げられたテンプ・ゼンマイで且つ外側の終端湾曲がスタッドへの高い位置にある取り付け点に対しなだらかに傾斜して立ち上がるようなテンプ・ゼンマイを製造することは不可能である。更に強い湾曲度を有する構成要素を製造することも不可能である。
スタッドがテンプ・ゼンマイの面より遙か高い場所にある場合には、終端湾曲は、テンプ・ゼンマイの本体とスタッドとの間に、適宜組立て可能とならなければならない。
かくして、これ等の機械的な問題点を解決するために、シリコン製の複雑な三次元部品を製造する必要がある。

特許文献１の解決方法は、シリコン製の２つの並列で平坦なカーブの間に、これ等２つのカーブの面に直交するジョイント・バーを介して、組み立てる並列軸による方法を提案する。これにより、従来に対し大幅な技術進歩を達成している。
特許文献２によれば、シリコン製の終端湾曲が立ち上がるテンプ・ゼンマイを開示する。このテンプ・ゼンマイは、テンプ・ゼンマイの外側コイルと終端コイルの間に隆起装置を有する。

特許文献３によれば、異なる周波数で振動するテンプ・ゼンマイと同調フォークを含む結合された共振器を有し、この共振器が更に永続的な機械結合手段を有する。

本発明は、シリコン製の平坦なひげゼンマイとスタッドとの間に、大きい曲げ角度を有するカーブを介して組み立てる方法を、提案する。このカーブは、ひげゼンマイの面とは別の面に配置される。
時計のテンプ・ゼンマイ組立体を、微少機械加工可能材料或いはシリコンで製造する方法において、
前記微少機械加工可能材料或いはシリコンは、以下「シリコン」と総称する
前記テンプ・ゼンマイ組立体は、所定の結晶方向を有するシリコン製のウエハで形成された第１構成要素であるひげゼンマイと第２構成要素である終端湾曲を有し、
前記第１構成要素は、ベース面（Ｐ）から、前記テンプ・ゼンマイ組立体の面に伸び、
（ａ）前記テンプ・ゼンマイ組立体は、複数の基礎的部分に分割され、
前記各基礎的部分は、パラレルパイプの基礎プリズムに刻まれ、
前記基礎プリズムは、接合領域で互いに対で交差し、
前記基礎的部分は、互いに直交して同一数のサブ・コンポーネットを構成し、
前記各サブ・コンポーネットは、第１構成要素であるひげゼンマイと第２構成要素である終端湾曲であり、前記ウエハの厚さと結晶方向により決定されるシリコンのウエハ内に形成され、前記ウエハはウエハの面に並行に伸び、
（ｂ）前記終端湾曲は、前記ひげゼンマイに結合し、
前記終端湾曲の前記ベース面（Ｐ）に当たる部分は、前記ひげゼンマイの外側にあり、
前記終端湾曲は、前記ひげゼンマイの面に直交する面にあり、
（ｃ）前記サブ・コンポーネットは、接合領域で、組み立て手段により組み立てられる。

本発明の一態様によれば、前記終端湾曲は、前記ウエハに最も近い２つの面の間にある面に湾曲を有し、前記湾曲の中心は、前記並行な２つの面の間にある。
本発明の一態様によれば、前記終端湾曲は、前記ひげゼンマイをスタッドに組み立て、前記スタッドは、前記ベース面（Ｐ）に向き、前記ひげゼンマイの外側にある。
本発明の一態様によれば、前記終端湾曲は、フィリップ型のカーブの形状を有する。
本発明の一態様によれば、前記テンプ・ゼンマイ組立体は、終端湾曲とひげゼンマイのみを有する。
本発明の一態様によれば、前記ひげゼンマイは、その内側コイル側で、コレットであるサブ・コンポーネットと共働する。
本発明の一態様によれば、前記終端湾曲の最小断面の最小寸法は、前記終端湾曲が形成されるウエハの最小寸法に対応する。
本発明の一態様によれば、前記終端湾曲の最小断面の最大寸法は、前記終端湾曲が形成されるウエハの最大寸法に対応する。
本発明の一態様によれば、本発明の前記テンプ・ゼンマイ組立体は、固定手段を有するスタッドに取り付けられ、前記テンプ・ゼンマイ組立体は、ひげゼンマイと終端湾曲とを有し、前記ひげゼンマイは、ベース面（Ｐ）に形成され、前記スタッドは、前記ひげゼンマイの外側にあり、前記終端湾曲は、前記テンプ・ゼンマイ組立体を前記スタッドに取り付け、前記終端湾曲は、前記スタッドの固定手段を組み立て固定する相補的固定手段を有する。
本発明の一態様によれば、固定手段を有するスタッドを有する時計は、テンプ・ゼンマイ組立体を有し、前記終端湾曲は、前記スタッドに、前記終端湾曲の相補的固定手段とスタッドの固定手段との間の共働作用により取り付けられる。
本発明の一態様によれば、（Ａ）テンプ・ゼンマイ組立体を取り付けるスタッドと、前記スタッドは、固定手段を有し、（Ｂ）テンプ・ゼンマイ組立体と、を有する。前記終端湾曲は、前記スタッドの固定手段を取り付ける相補的固定手段を有する。

かくして、ウエハにそれぞれ形成された複数のサブ・コンポーネットを、互いに直交して組立てることにより、湾曲した構成要素、或いは従来の技術に適合可能な寸法の構成要素を、一体に成形できる。これ等は、１００−３００ｍｍの対角線寸法を有するウエハに限定される。
特に本発明により、平坦なシリコン製ひげゼンマイをスタッドに取り付け可能となる。このスタッドは、ひげゼンマイの面より遙かに高い場所にあり、ひげゼンマイの面への突起部分は、前記ひげゼンマイの外側にある。
本発明により、様々な結晶方向のウエハから得られたサブ・コンポーネットの組み立てが可能となり、これにより適切な弾性特性を確保できる。

本発明の第１実施例による時計のテンプ・ゼンマイ組立体の斜視図。 図１のテンプ・ゼンマイ組立体の平面図。 本発明の第２実施例による時計のテンプ・ゼンマイ組立体が時計のスタッドに取り付けられた斜視図。 図３のテンプ・ゼンマイ組立体の平面図。

図１において、このテンプ・ゼンマイ組立体１は、テンプ・ゼンマイの面に直交する終端湾曲４を有する。この終端湾曲４がスタッド５にピン留めされている。スタッド５は、テンプ・ゼンマイの面から離れた場所にある。前記終端湾曲４の最小断面の最小寸法は、終端湾曲４が作られたウエハの最小寸法に対応する。特に、本発明の技術分野は、シリコンを使用する微細加工技術の分野であり、特にシリコンを使用する微細加工技術から構成される時計の分野である。

本発明は、シリコンを使用して行われる微細加工技術により形成されるテンプ・ゼンマイ組立体１を例に説明する。テンプ・ゼンマイ組立体１は、終端湾曲４を有する。この終端湾曲４は、時計１０のスタッド５に取り付けられる。スタッド５は、ひげゼンマイ２の面に対しずれており、これによりテンプ・ゼンマイ組立体１を、スタッド５にピンで留めることができる。

本発明は、シリコンを使用して行われる微細加工技術で且つ三次元で時計を組み立てる方法に関する。本明細書に於いて「三次元」とは次のことを意味する。組み立て体は深さと、構成要素の交差する面に直交するラインを有する。この組み立て体は、従来の平面的な機械加工或いはシェーピングでは得ることができない。従来の平面的な機械加工は、面に直交する方向に部品を外形を形成する或いは内部を機械加工することが出来るだけである。
本発明によれば、従来の検討段階の後、サブ・コンポーネットを製造しその後最終構成部品を組み立てる段階が行われる。

本発明は繰り返しのデザインプロセスを含む。
時計のテンプ・ゼンマイ組立体１を、微少機械加工可能材料或いはシリコンで製造する方法において、
前記微少機械加工可能材料或いはシリコンは、以下「シリコン」と総称する
前記テンプ・ゼンマイ組立体１は、所定の結晶方向を有するシリコン製のウエハで形成された第１構成要素であるひげゼンマイ２と第２構成要素である終端湾曲４を有し、
前記第１構成要素は、ベース面Ｐから、前記テンプ・ゼンマイ組立体１の面に伸び、
＊前記テンプ・ゼンマイ組立体１は、複数の基礎的部分に分割され、
前記各基礎的部分は、パラレルパイプの基礎プリズムに刻まれ、
前記基礎プリズムは、接合領域で互いに対で交差し、
前記基礎的部分は、互いに直交して同一数のサブ・コンポーネットを構成し、
前記各サブ・コンポーネットは、第１構成要素であるひげゼンマイ２と第２構成要素である終端湾曲４であり、前記ウエハの厚さと結晶方向により決定されるシリコンのウエハ内に形成され、前記ウエハはウエハの面に並行に伸び、
＊前記終端湾曲４は、前記ひげゼンマイ２に結合し、
前記終端湾曲４の前記ベース面（Ｐ）に当たる部分は、前記ひげゼンマイ２の外側にあり、
前記終端湾曲４は、前記ひげゼンマイ２の面に直交する面にあり、
＊前記サブ・コンポーネットは、接合領域３で、組み立て手段により組み立てられる。
＊各基礎プリズムに対しサブ・コンポーネットが形成される。このサブ・コンポーネットは、隣接するプリズムとの接続領域に接続手段を有する。この接続手段は、隣接するプリズムに形成された隣接するサブ・コンポーネット内に含まれる対応する相補接合手段と共働する。
＊これ等サブ・コンポーネットの接合領域の組み立て体により形成されるサブ・コンポーネットの形状は、計算でチェック可能である。
＊組み立て方法は、各接合領域に対し、各サブ・コンポーネットに対し特定の結晶方向が、選択され、最終構成要素に必要とされる機械的特性と弾性特性が得られたか否かをチェックするための計算が行われる。

サブ・コンポーネットの製造段階の間、各サブ・コンポーネットは、ウエハで製造されるが、このウエハの結晶方向は、そのサブ・コンポーネットに対し選択された結晶方向に対応する。パラレルパイプ形状のプリズム（特に矩形のプリズム）の概念は、設計段階のみで使用される。その理由は、製造段階は、利用可能なウエハの形状（通常ディスク形状）に適合しなければならないからである。
最終組立体を組み立てる段階の間、最終組立体は、対となるサブ・コンポーネットを、各接合領域用に選択された組み立て方法に従って組立てることにより、組立てられる。
本発明の方法を実施するには、全ての基礎プリズムは互いに直交する。
一実施例に於いては、サブ・コンポーネットの数は、繰り返し設計段階において、最小にする。
他の実施例に於いては、サブ・コンポーネットの厚さは、繰り返し設計段階において最小にする。
更に他の実施例においては、製造コストは、シミュレーションでの累積コストが最小となるよう選択して、繰り返し設計段階において最小にされる。その間サブ・コンポーネットの数と厚さを、変化させる。
接合領域における組み立ては、シリコンを使用して行われる微細加工技術と適合する手段で行われる。

時計のテンプ・ゼンマイ組立体を、微少機械加工可能材料或いはシリコンで製造する方法において、
前記テンプ・ゼンマイ組立体は、所定の結晶方向を有するシリコン製のウエハで形成された第１構成要素であるひげゼンマイと第２構成要素である終端湾曲を有し、
前記第１構成要素は、ベース面（Ｐ）から、前記テンプ・ゼンマイ組立体の面に伸び、
＊この組立体を複数のサブ・コンポーネットに分割する。各サブ・コンポーネットは、シリコンを使用する微細加工技術で且つ所定の結晶方向を有するウエハに形成される。各ウエハはウエハの面に並行に伸びる。
＊接合領域。接合領域においてこれ等のサブ・コンポーネットが対で組み立てられる。接合領域の両側において、各サブ・コンポーネットが形成されるウエハの面の法線は、互いに斜め或いは直交する。
＊複数のサブ・コンポーネットの少なくとも１つは、第２構成要素を構成する。この第２構成要素は、第１の平坦な構成要素に所定の場所で結合され、前記ベース面に入り、前記第１の構成要素の外側にある。
＊これ等のサブ・コンポーネットは、接合領域で、組み立て手段により組み立てられる。

一実施例においては、あるサブ・コンポーネットのウエハの面は互いに直交する。
一実施例においては、第２構成要素のウエハの面は、第１構成要素のウエハの面に直交する。

一実施例においては、時計のテンプ・ゼンマイ組立体１を、微少機械加工可能材料或いはシリコンで製造する方法において、
前記微少機械加工可能材料或いはシリコンは、以下「シリコン」と総称する
前記テンプ・ゼンマイ組立体１は、所定の結晶方向を有するシリコン製のウエハで形成された第１構成要素であるひげゼンマイ２と第２構成要素である終端湾曲４を有し、
前記第１構成要素は、ベース面（Ｐ）から、前記テンプ・ゼンマイ組立体１の面に伸び、
（ａ）前記テンプ・ゼンマイ組立体１は、複数の基礎的部分に分割され、
前記各基礎的部分は、パラレルパイプの基礎プリズムに刻まれ、
前記基礎プリズムは、接合領域で互いに対で交差し、
前記基礎的部分は、互いに直交して同一数のサブ・コンポーネットを構成し、
前記各サブ・コンポーネットは、第１構成要素であるひげゼンマイ２と第２構成要素である終端湾曲４であり、前記ウエハの厚さと結晶方向により決定されるシリコンのウエハ内に形成され、前記ウエハはウエハの面に並行に伸び、
（ｂ）前記終端湾曲４は、前記ひげゼンマイ２に結合し、
前記終端湾曲４の前記ベース面（Ｐ）に当たる部分は、前記ひげゼンマイ２の外側にあり、
前記終端湾曲４は、前記ひげゼンマイ２の面に直交する面にあり、
（ｃ）前記サブ・コンポーネットは、接合領域３で、組み立て手段により組み立てられる
ことを特徴とする時計テンプ・ゼンマイ組立体を微少機械加工可能材料或いはシリコンで製造する方法。

結合、取付の様々な問題を解決するために、第２構成要素（特に終端湾曲４）は、カーブを形成する。このカーブは、ウエハに最も近い２つの並行な面の間にある面内に湾曲部分を有する。その湾曲部分の中心は、２つの並行な面の間にある。

図１において、終端湾曲４は、スタッド５にひげゼンマイ２を結合する。このスタッド５は、ベース面Ｐ内に伸び且つひげゼンマイ２の外側にある。

第１変形例において、前記終端湾曲の最小断面の最小寸法は、前記終端湾曲が形成されるウエハの最小寸法に対応する。

第２変形例において、前記終端湾曲の最小断面の最大寸法は、前記終端湾曲が形成されるウエハの最大寸法に対応する。

幾つかある組み立て方法の中で、以下に説明する組み立て方法が最も好ましい。これ等の方法は、接合領域の場所と応力に応じて自然と異なる。
＊第１の組み立て方法は、あるサブ・コンポーネットの結合手段を隣接するサブ・コンポーネットの相補的結合手段に結合することである。この結合手段と相補的結合手段は、接合に適した組み立てクリアランスを具備する。
＊他の組み立て方法は、あるサブ・コンポーネットの結合手段を隣接するサブ・コンポーネットの相補的結合手段にクランプすることである。結合手段と相補的結合手段は、弾性要素を含み、これにより相補的結合手段又は結合手段をそれぞれ固定する。結合手段と相補的結合手段は弾性要素を含んでもよい。

組み立てを容易にするため、特に組み立てられた構成要素から別の構成要素への完全な再現性を確保するために、接合領域は、第１固定手段と第１相補的固定手段とを含む。第１固定手段は、ある構成要素の結合手段内に含まれる。第１相補的固定手段は、隣接するサブ・コンポーネットに属する相補的結合手段に含まれる。第１固定手段は、第１相補的固定手段と共働する。

一実施例においては、この第１の固定手段と第１相補的固定手段は、第２固定手段で実現できる。この第２固定手段は、サブ・コンポーネットと隣接するサブ・コンポーネットとを固定する。

シリコンの弾性特性により、第２固定手段は弾性要素を有するのが好ましい。この弾性要素により、あるサブ・コンポーネットと隣接するサブ・コンポーネットの組み立てが可能となり、それらが分離するのを阻止できる。例えば、アイレットを具備する接合領域においては、サブ・コンポーネットの１つ（例、平坦なひげゼンマイ）は、アイレット３を有する。このアイレット３の中に他のサブ・コンポーネット（例、終端湾曲の端部）が挿入される。この端部は、固定手段（図示せず）を有する。この固定手段は、第１の固定手段を形成する。第１の固定手段が、アイレットの表面により形成された第１の相補的固定手段と共働する。更に弾性片（図示せず）を有する。この弾性片が、アイレットへの挿入のステップの間、終端湾曲内の対応するハウジング内にクリップで入れられ、アイレットの裏側の停止位置に戻る。これにより、自由端で共働する。これにより組み立て精度と確実さの両方が確保できる。
好ましくは、組立体の全ての構成要素はシリコン製である。

本発明は、時計１０用のテンプ・ゼンマイ組立体１をシリコンで製造する方法を改善する。このテンプ・ゼンマイ組立体１は、シリコン製のひげゼンマイ２で形成される第１構成要素を有する。この第１構成要素は、所定の結晶方向を有するシリコンのウエハから形成される。このひげゼンマイ２はベース面Ｐから１つの側に伸びる。このひげゼンマイ２は、その内側のひげゼンマイ２とコレット（１２）で共働する、或いはその内側のひげゼンマイ２の端部にあるコレット（１２）を含む。本発明のテンプ・ゼンマイ組立体１は、ひげゼンマイ２をスタッド５に間接的に取り付ける手段を有する。このスタッド５は、時計１０に取り付けられる。

本発明によれば、テンプ・ゼンマイ組立体１は、複数のサブ・コンポーネットに分解される。このサブ・コンポーネットは、所定の結晶方向のシリコンウエハで形成される。各ウエハは、ウエハに特有な面に並行に伸びる。
結合領域３が形成される。その場所ではこれ等のサブ・コンポーネットが対となって組み立てられ、接合領域の両側に２つのサブ・コンポーネットが組み立てられサブ・コンポーネットが形成されるウエハの方線は互いに傾斜する或いは直交する。これ等サブ・コンポーネットの１つは、この種の第２構成要素を形成する。この第２構成要素は終端湾曲を有し、この終端湾曲はひげゼンマイをスタッドに結合する。スタッドは前記ベース面から突起しひげゼンマイの外側にあり且つカバーされた領域の外部にある。
これ等のサブ・コンポーネットは接合領域で組み立て手段により組み立てられる。

本発明を実施するために或る前記サブ・コンポーネットのウエハの面は互いに直交する。一実施例においてはそれ等の全ては直交する対である。一実施例においては終端湾曲４のウエハの面はひげゼンマイ２の面即ちベース面に直交する。

２つの実施例を図に示す。これ等の実施例は、スタッド５とひげゼンマイ２の相対的位置が異なる。
図１，２において、終端湾曲４は、ひげゼンマイ２に対し接線方向に伸び、スタッド５は、ひげゼンマイ２の最外巻回８の接線面にある。
図３，４においては、スタッド５は、最外巻回８の端部９に対し半径方向にあり、終端湾曲４は、最外巻回８に対し直交して伸びる。終端湾曲４の形態をスタッド５の位置に応じて調整することは可能である。

図１，２に示すように、第１変形例において、前記終端湾曲の最小断面の最小寸法は、前記終端湾曲が形成されるウエハの最小寸法に対応する。
図３，４に示すように、第２変形例において、前記終端湾曲の最小断面の最大寸法は、前記終端湾曲が形成されるウエハの最大寸法に対応する。
これ等の２つの実施例は、図から判るように、終端湾曲４は、終端湾曲４が形成されたウエハに最も近い２つの面の間にある面に１つの湾曲を有する。この湾曲の中心は、これ等並行な面の間にある。

スタッド５は、テンプ・ゼンマイ組立体を組み込んだ時計の一部を構成するが、前記テンプ・ゼンマイ組み立て体を取り付ける固定手段６を有する。終端湾曲４は、ひげゼンマイ２に向かい合った第２端１１に、相補的固定手段７を有する。相補的固定手段７は、前記終端湾曲４のカーブをスタッド５の固定手段６に組み立て取り付ける。
相補的固定手段７は、スタッド５の固定手段６の形状に填り込む或いは接合されることにより共働する相補型の形状を有する。例えば、スタッド５の固定手段６はノッチであり、相補的固定手段７はノッチに填るキャッチである。上記に類似した第１と第２の固定手段は、この特定の接合部に適合することもできる。

この種のテンプ・ゼンマイに関し、本発明を実行することにより、ひげゼンマイ２の１２はコレット側に配置される。特に同一製造方法によって、ひげゼンマイ２は、内側コイル側に配置され、サブ・コンポーネットが内側のGrossmann curve を構成する。
ひげゼンマイ２は、内側コイル側に組み立てられ、サブ・コンポーネットは、ひげゼンマイ２よりも厚いコレットを形成することもできる。
サブ・コンポーネットは、クリップ、ボンディング、溶接、半田を用いて結合してもよく、或いはそれらを用いずに嵌め込みにより結合することもできる。これ等の組み立て方法は組み合わせて用いることも出来る。

組み立てられたテンプ・ゼンマイ組立体１は、同一のウエハから生成されたひげゼンマイ２と終端湾曲４で形成される。他の実施例に於いては、或るサブ・コンポーネットは、特定の方向に対しその弾性特性を最適に利用する為に、特定の結晶方向を有するのが好ましい場合がある。
好ましくは、テンプ・ゼンマイ組立体１の全ての構成要素はシリコン製である。

本発明は、ひげゼンマイ２と終端湾曲４を有するテンプ・ゼンマイ組立体１に関する。この組立体１は、本発明により組み立てられ、時計のスタッド５の或る点に取り付けられる。このスタッド５は固定手段６を有する。テンプ・ゼンマイ組立体１は、ベース面Ｐに、第１構成要素即ちひげゼンマイ２を有する。その結果、ベース面Ｐへのスタッド５の突起点は、ひげゼンマイ２の外側にある。この構成は、テンプ・ゼンマイ組立体１をスタッド５に取り付ける終端湾曲４を有する。

終端湾曲４は、相補的固定手段７を有する。これにより終端湾曲４を取付点であるスタッド５の固定手段６に組み立て固定する。
終端湾曲４とひげゼンマイ２は、シリコン製で、結合領域３で組み立てられ（連結され）て、その接合面は互いに傾斜している或いは直交している。一実施例においては、テンプ・ゼンマイ組立体１の全ての構成要素はシリコン製である。

本発明は、取付点であるスタッド５を含む時計に関する。このスタッド５は固定手段６を含む。本発明によれば、時計１０はテンプ・ゼンマイ組立体１を有し、これは上記の方法で形成される。本発明の他の実施例によれば、本発明は、第１構成要素即ちひげゼンマイ２と第構成要素即ち終端湾曲４とを有する。第２構成要素である終端湾曲４は、テンプ・ゼンマイ組立体１をスタッド５に取り付け組み立てる。第２構成要素である終端湾曲４は、相補的固定手段７を有し、終端湾曲４をスタッド５の固定手段６に組み立て固定する。

本発明は、テンプ・ゼンマイを取り付けるスタッド５を有する時計１０に関する。スタッド５は固定手段６を有する。時計１０は、上記の方法で形成されたテンプ・ゼンマイ組立体１を有し、更にひげゼンマイ２と終端湾曲４を有する。これ等は、シリコンで形成される。終端湾曲４は更に相補的固定手段７を有し、終端湾曲４をスタッド５の固定手段６に組み立て固定する。

以上の説明は、本発明の一実施例に関するもので、この技術分野の当業者であれば、本発明の種々の変形例を考え得るが、それらはいずれも本発明の技術的範囲に包含される。特許請求の範囲の構成要素の後に記載した括弧内の番号は、図面の部品番号に対応し、発明の容易なる理解の為に付したものであり、発明を限定的に解釈するために用いてはならない。また、同一番号でも明細書と特許請求の範囲の部品名は必ずしも同一ではない。これは上記した理由による。用語「又は」に関して、例えば「Ａ又はＢ」は、「Ａのみ」、「Ｂのみ」ならず、「ＡとＢの両方」を選択することも含む。特に記載のない限り、装置又は手段の数は、単数か複数かを問わない。

１ テンプ・ゼンマイ組立体
２ ひげゼンマイ
４ 終端湾曲
５ スタッド
６ 固定手段
７ 相補的固定手段
８ 最外巻回
９ 端部
１０ 時計
１１ 第２端

Claims (4)

1. 時計のテンプ・ゼンマイ組立体（１）を、微少機械加工可能材料或いはシリコン（以下「シリコン系材料」と総称する）で製造する方法において、
   前記テンプ・ゼンマイ組立体（１）は、所定の結晶方向を有するシリコン系材料製ウエハ製の第１と第２と第３の構成要素から構成され、
   （Ａ）前記第１構成要素をひげゼンマイ（２）として形成するステップと、
   前記ひげゼンマイ（２）は前記ウエハのベース面（Ｐ）に並行に形成され、
   （Ｂ）前記第２構成要素を終端湾曲（４）として形成するステップと、
   （Ｃ）前記第３構成要素を時計に取り付けられべきるスタッド（５）として形成するステップと、
   （Ｄ）前記終端湾曲（４）の一端を前記ひげゼンマイ（２）に、他端を前記スタッド（５）に結合するステップと
   を有し、
   前記ステップ（Ｄ）は、前記終端湾曲（４）は前記ひげゼンマイ（２）のベース面（Ｐ）から直立し、前記終端湾曲（４）と前記スタッド（５）とは前記ひげゼンマイ（２）の最終巻回（８）の外側にあるように行われる
   ことを特徴とする時計テンプ・ゼンマイ組立体をシリコン系材料で製造する方法。
2. 時計のテンプ・ゼンマイ組立体（１）を、微少機械加工可能材料或いはシリコン（以下「シリコン系材料」と総称する）で製造する方法において、
   前記テンプ・ゼンマイ組立体（１）は、所定の結晶方向を有するシリコン系材料製ウエハ製の第１と第２と第３の構成要素から構成され、
   （Ａ）前記第１構成要素をひげゼンマイ（２）として形成するステップと、
   前記ひげゼンマイ（２）は前記ウエハのベース面（Ｐ）に並行に形成され、
   （Ｂ）前記第２構成要素を終端湾曲（４）として形成するステップと、
   （Ｃ）前記第３構成要素を時計に取り付けられべきるスタッド（５）として形成するステップと、
   （Ｄ）前記終端湾曲（４）に相補的固定手段（７）を具備させ、前記相補的固定手段（７）を前記スタッド（５）の固定手段（６）に組み立て固定するステップと、
   を有し、
   前記ステップ（Ｄ）は、前記終端湾曲（４）は前記ひげゼンマイ（２）のベース面（Ｐ）から直立し、前記終端湾曲（４）と前記スタッド（５）とは前記ひげゼンマイ（２）の最終巻回（８）の外側にあるように行われる
   ことを特徴とする時計テンプ・ゼンマイ組立体をシリコン系材料で製造する方法。
3. 前記ひげゼンマイ（２）の最内側の巻回にコレット（１２）が連結されている
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の方法。
4. 所定の結晶方向を有する微少機械加工可能材料或いはシリコン（以下「シリコン系材料」と総称する）製ウエハから形成される第１と第２と第３の構成要素から構成される時計のテンプ・ゼンマイ組立体（１）において、
   前記第１構成要素はひげゼンマイ（２）であり、前記第２構成要素は終端湾曲（４）であり、前記第３構成要素は時計に取り付けられべきるスタッド（５）であり、前記終端湾曲（４）の一端は前記ひげゼンマイ（２）に、他端は前記スタッド（５）に結合されており、前記ひげゼンマイ（２）は前記ウエハのベース面（Ｐ）に並行に形成され、前記終端湾曲（４）は前記ひげゼンマイ（２）のベース面（Ｐ）から直立し、前記終端湾曲（４）と前記スタッド（５）とは前記ひげゼンマイ（２）の最終巻回（８）の外側にある
   ことを特徴とする時計テンプ・ゼンマイ組立体。

Images