JP5821739B2 - ダイヤフラム装置 - Google Patents

Description

本発明は、ダイヤフラム装置に関するものである。

［従来の技術］
過給機（ターボチャージャ）を備えた内燃機関（エンジン）において、減速時にスロットルバルブが急激に閉弁されると、吸気慣性およびコンプレッサの回転慣性によってスロットルバルブの上流側圧力が一時的に急上昇する。この圧力の上昇は、コンプレッサで過給された過給吸気（エア）がスロットルバルブで跳ね返りにより起こる。これにより、コンプレッサ側に逆流するサージングが発生し、コンプレッサからサージ音（脈動音）を発生させる。
このサージ音が発生するのを抑制するという目的で、スロットルバルブよりも上流側において、コンプレッサの下流側の吸気通路と上流側の吸気通路とを連通するバイパス通路を設け、このバイパス通路の途中にダイヤフラム式のエアバイパスバルブ（ＡＢＶ）を配設した過給圧制御システムが知られている。

ここで、図６は、従来のエアバイパスバルブを示した図である。
従来のエアバイパスバルブ（ＡＢＶ）は、軸線方向に往復移動可能な弁体１０１と、この弁体１０１を駆動するダイヤフラムアクチュエータ１０２を備え、減速時、過給されたエアがスロットルバルブで跳ね返りサージ音が発生する状況になった時に、エアバイパスバルブ用電磁負圧制御弁（ＡＢＶ−ＶＳＶ）を通電制御して、エアバイパスバルブの弁体１０１を開き、過給圧をリリーフする過給圧制御システムに組み込まれている。
ダイヤフラムアクチュエータ１０２は、弁体１０１を一体移動可能に連結した環状のダイヤフラム１０３と、このダイヤフラム１０３に対して、弁体１０１を閉弁方向に付勢するリターンスプリング１０４と、ダイヤフラム１０３の周縁部を挟持するカバー１０５およびケース１０６とを備えている。

ダイヤフラム１０３は、カバー１０５とケース１０６との間に形成されるダイヤフラム室を２つの第１、第２圧力室１０７、１０８に区画形成している。また、ダイヤフラム１０３は、弁体１０１を保持する環状の中間部よりも周縁部側（半径方向外方側）に、弁体１０１の閉弁時に第１圧力室側に突出する（凸となる）ように湾曲した環状の撓み変形部１０９を有している。
カバー１０５には、ＡＢＶ−ＶＳＶを介して、第１圧力室１０７とコンプレッサの下流側の吸気通路またはスロットルバルブの下流側の吸気通路とを接続する圧力導入管１１１が形成されている。
ケース１０６には、第２圧力室１０８を介して、コンプレッサの下流側の吸気通路と上流側の吸気通路とを連通するバイパス通路１１２〜１１４が形成されている。

［従来の技術の不具合］
ところで、ターボチャージャを備えたエンジンにおいては、ターボチャージャのコンプレッサやエンジンの吸気弁の作動に起因する吸気の圧力脈動（吸気脈動の圧力波）が吸気管の吸気通路内を伝播している。
ここで、ターボチャージャの作動時におけるエアバイパスバルブの各第１、第２圧力室１０７、１０８の圧力脈動を圧力センサによって測定し、この結果を図７のグラフに示した。
コンプレッサが過給動作を行い、スロットルバルブが開弁している場合には、エアバイパスバルブの各第１、第２圧力室１０７、１０８に導入される吸気圧力（単位時間当たりの平均圧力）が同一である。この場合、リターンスプリング１０４の付勢力（閉弁力）によって、弁体１０１が弁座１１５に着座し、閉弁（全閉）状態となる。
このとき、第２圧力室１０８に導入される吸気の圧力脈動の振幅（圧力変動幅）は、バイパス通路１１２の流路断面積が広いので、大きくなっている。

ところが、第１圧力室１０７に導入される吸気の圧力脈動の振幅（圧力変動幅）は、圧力導入管１１１等の圧力導入流路の流路断面積がバイパス通路１１２よりも狭く、ＡＢＶ−ＶＳＶを介して第１圧力室１０７に導入されるため、吸気の圧力脈動がなまされて、第２圧力室１０８よりも小さくなっている。
したがって、各第１、第２圧力室１０７、１０８に導入される平均圧力（吸気通路内の過給圧）が同じであっても、瞬間的に、第１圧力室１０７の内部圧力が第２圧力室１０８の内部圧力よりも大きくなる領域が存在する。
そのため、第１圧力室１０７の内部圧力が第２圧力室１０８の内部圧力よりも大きい場合には、ダイヤフラム１０３の撓み変形部１０９の撓み方向が、図６（ｂ）に示すような上に凸となる方向に対して、図６（ｃ）に示すような下に凸となる方向に反転することがある。このような撓み変形部１０９の反転現象が繰り返されると、撓み変形部１０９に亀裂（クラック）が入り、ダイヤフラム１０３の耐久性を低下させるという問題がある。

そこで、ダイヤフラムの撓み変形部の反転現象を防止するという目的で、２つの第１、第２圧力室を区画形成するダイヤフラムの上下両面に常に同じ方向に圧力がかかるように構成して、ダイヤフラムの撓み変形部が反転することなく、常に同じ方向に撓ませておくことが可能なダイヤフラム式圧縮機が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
従来のダイヤフラム式圧縮機は、ダイヤフラムとの間に第２圧力室を形成するハウジングを備えている。このハウジングには、第２圧力室と外部とを連通する開放穴、および第２圧力室から外部へ空気を排出させる時にのみ開く空気放出弁が設けられている。
ところが、従来のダイヤフラム式圧縮機において、第１圧力室の圧力が第２圧力室の圧力よりも大きくなる領域と、第１圧力室の圧力が第２圧力室の圧力よりも小さくなる領域とが交互に繰り返された場合には、ダイヤフラムの撓み変形部の反転現象を無くすことができず、ダイヤフラムの耐久性を低下させるという問題がある。

特開平１１−０３７０５１号公報

本発明の目的は、ダイヤフラムの撓み変形部の反転現象を確実に防止することで、ダイヤフラムの耐久性を向上させることのできるダイヤフラム装置を提供することにある。

請求項１及び７に記載の発明によれば、吸気通路を形成する吸気管、コンプレッサを有する過給機、バイパス通路の途中に設置されたバイパスバルブ、スロットルバルブおよび経路切替手段を備えている。この経路切替手段が、スロットル開度に応じて負圧導入経路から過給圧導入経路に切り替えると、第１室内に過給圧が導入される。また、経路切替手段が、スロットル開度に応じて過給圧導入経路から負圧導入経路に切り替えると、第１室内に吸気負圧が導入される。
そして、ダイヤフラムが往復移動可能に設置されるハウジングに反転規制部を設けたことにより、第１室内の圧力が第２室内の圧力よりも大きくなった場合でも、ダイヤフラムの撓み変形部が、ダイヤフラム室内において第２室側に突出する（凸となる）ように湾曲する撓み変形を規制することが可能となる。
これによって、第１室内の圧力が第２室内の圧力よりも大きくなった場合でも、ダイヤフラムの撓み変形部の反転現象を確実に防止することができるので、ダイヤフラムの反転圧によるクラックの発生をなくすことができる。これにより、ダイヤフラムの耐久性を向上させることができる。

請求項２及び８に記載の発明によれば、ダイヤフラムの撓み変形部の被係止部は、撓み変形部の撓み形状に対応した形状（撓み変形部の撓み形状に沿った形状）の係止部（反転規制部に設けられる係止部）に接触して係止される。この場合、少なくとも第１室内の圧力が第２室内の圧力よりも大きい時に、ダイヤフラムの撓み変形部の被係止部に反転規制部の係止部が接触するように構成すると、第１室内の圧力が第２室内の圧力よりも大きくなった場合でも、撓み変形部の被係止部が反転規制部の係止部に接触しているので、撓み変形部の反転現象が発生することはない。

請求項３及び９に記載の発明によれば、エア、ガス、液体等の流体が流通可能な貫通孔を反転規制部に設けたことにより、仮にダイヤフラムの撓み変形部と反転規制部とが隙間無く密着していたとしても、第２室内の圧力をダイヤフラムの撓み変形部に容易に作用させることができる。これにより、ダイヤフラムの動作不良を抑制することができる。
請求項４及び１０に記載の発明によれば、反転規制部は、ハウジングに対して別体部品で構成されている。そして、ハウジング（とダイヤフラムとの間）に圧入固定される環状の周縁部を反転規制部に設けている。これによって、ダイヤフラムの形状、特に撓み変形部の撓み形状に合わせて容易に反転規制部（反転規制部材）を組み替えることができる。

請求項５及び１１に記載の発明によれば、反転規制部は、ハウジングに対して別体部品で構成されている。そして、カバーの第１結合部とケースの第２結合部との間に挟み込まれて固定される環状の周縁部を反転規制部に設けている。これによって、ダイヤフラムの形状、特に撓み変形部の撓み形状に合わせて容易に反転規制部（反転規制部材）を組み替えることができる。
請求項７に記載の発明によれば、バイパスバルブの弁体は、バイパス通路の途中に設置れて、ダイヤフラムと一体移動可能に連結している。
請求項１２に記載の発明によれば、バイパスバルブの弁体またはこの弁体を保持する保持部材を往復摺動可能にガイドする筒状の支持部を、反転規制部に設けたことにより、支持部が弁体のガイドになる。これにより、ハウジングの弁座に対する弁体の芯ズレを防止できるので、バイパスバルブの閉弁動作時に、ハウジングの弁座にダイヤフラムに連結した弁体が確実に着座することができる。

エンジン制御システムの概略構成を示した模式図である（実施例１）。 エンジン制御システムの概略構成を示した模式図である（実施例１）。 エアバイパスバルブを示した断面図である（実施例１）。 エアバイパスバルブを示した断面図である（実施例１）。 ダイヤフラム式圧縮機を示した断面図である（実施例２）。 （ａ）はエアバイパスバルブを示した断面図で、（ｂ）、（ｃ）はダイヤフラムの撓み変形部の撓み状態を示した拡大図である（従来例）。 ２つの第１、第２圧力室の各圧力波形を示したタイミングチャートである（従来例）。

以下、本発明の実施の形態を、図面に基づいて詳細に説明する。

［実施例１の構成］
図１ないし図４は、本発明のダイヤフラム装置を適用したエアバイパスバルブを備えた過給圧制御システム（実施例１）を示したものである。

本実施例の内燃機関の制御装置（エンジン制御システム）は、複数の気筒を有する内燃機関（エンジン）の排気ガス（排気）の圧力を利用して、エアクリーナ（図示せず）を通過した吸入空気（吸気）を過給（圧縮）するターボチャージャを有する過給システム（内燃機関の過給装置）を備え、ターボチャージャの過給圧を制御する過給圧制御システム（内燃機関の過給圧制御装置）として使用される。
エンジンは、エアクリーナ（内燃機関のエアクリーナ）で濾過された清浄な空気とインジェクタ（内燃機関の燃料噴射弁）より噴射された燃料との混合気を燃焼室内で燃焼させて得られる熱エネルギーにより出力を発生するものである。
エンジンには、内部に吸気通路が形成される吸気管、および内部に排気通路が形成される排気管が接続されている。

本実施例の過給圧制御システムは、ターボチャージャのコンプレッサの下流側とコンプレッサの上流側とを連通するバイパス配管、このバイパス配管の途中に設置されたエアバイパスバルブ（以下ＡＢＶ）、このＡＢＶの開閉動作を制御するエアバイパスバルブ用電磁負圧制御弁（以下ＡＢＶ−ＶＳＶ）、およびこのＡＢＶ−ＶＳＶを通電制御するエンジン制御モジュール（電子制御装置：以下ＥＣＭ）等を備えている。
ＡＢＶは、バイパス配管内に形成されるバイパス流路（後述する）を開閉する弁体（バルブ）１と、このバルブ１を駆動するダイヤフラムアクチュエータ（以下アクチュエータ）２とを備えている。

アクチュエータ２は、バルブ１を往復移動可能に収容するハウジング（カバー３、バルブボディ４）と、このバルブボディ４に一体的に形成されたバルブシート５と、カバー３とバルブボディ４との間に形成されるダイヤフラム室内に往復移動可能に設置されたダイヤフラム６と、このダイヤフラム６の撓み変形部（可撓部）７の撓み変形を規制するアタッチメント８と、ダイヤフラム６をその移動方向の一方側（バルブ１を閉じる側）に付勢するリターンスプリング９とを備えている。
ダイヤフラム６は、可撓性の薄膜状弾性部材（仕切り部材）であって、カバー３とバルブボディ４との間に形成されるダイヤフラム室を、図示上下２つの上下室（以下第１、第２圧力室）１１、１２に気密的に区画形成している。
なお、本実施例の過給圧制御システムの詳細は、後述する。

吸気管は、エアクリーナの下流側に設置されたコンプレッサ、このコンプレッサの下流側に設置されたインタークーラ１３、エンジンの燃焼室内に供給するエアの流量を調整する電子スロットル、およびこの電子スロットルの下流側に接続されるインテークマニホールド等により構成されて、エンジンの各気筒毎の吸気ポートに接続されている。
排気管は、ターボチャージャのタービン、排気浄化装置（三元触媒等）およびマフラー等により構成されて、エンジンの各気筒毎の排気ポートに接続されている。

ターボチャージャは、吸気通路の途中に設けられたコンプレッサと、排気通路の途中に設けられたタービンとを備え、吸気通路を流れる吸気をコンプレッサで圧縮し、圧縮されたエアをエンジンの各気筒毎の燃焼室へ送り込むターボ過給機である。
このターボチャージャは、タービンのホイール（タービンホイール）１４が排気ガスにより回転駆動されると、ホイール１４と一体回転可能に連結したシャフト１５およびコンプレッサのインペラ（コンプレッサインペラ）１６が回転し、このインペラ１６が吸気を圧縮する。

タービンは、ホイール１４およびタービンハウジング１７を備えている。このホイール１４は、円周方向に複数のタービンブレード（翼）を有し、エンジンの排気圧力により回転駆動される。
タービンハウジング１７には、エキゾーストマニホールドの集合部から流入した排気ガスを、ホイール１４より迂回（バイパス）させる排気バイパス流路（ウェイストゲート流路）１８が形成されている。また、タービンハウジング１７には、ウェイストゲート流路１８を流れる排気ガスの流量を開閉動作により制御するウェイストゲートバルブ（図示せず）が搭載されている。

コンプレッサは、インペラ１６およびコンプレッサハウジング１９を備えている。このインペラ１６は、円周方向に複数のインペラブレード（翼）を有し、シャフト１５を介して、ホイール１４に連結して回転駆動（直結駆動）される。
ここで、エアクリーナとコンプレッサハウジング１９の入口端とを接続する吸気管内には、コンプレッサの上流側の吸気通路（インペラ１６よりも上流側に設けられる吸気通路）２１が形成されている。
また、コンプレッサハウジング１９の出口端とインタークーラ１３の入口端とを接続する吸気管内には、コンプレッサの下流側の吸気通路（インペラ１６よりも下流側に設けられる吸気通路）２２が形成されている。

インタークーラ１３は、コンプレッサのインペラ１６で過給された過給吸気（過給エア）を冷却媒体である冷却水（または冷却風）と熱交換させて冷却するクーラコア２３を有している。
インタークーラ１３の出口端は、クーラコア２３を通過したエアが流れる吸気通路２４を介して、電子スロットルのスロットルボディ２５に接続している。

電子スロットルは、吸気管の一部を構成するスロットルボディ２５、このスロットルボディ２５の内部に回転可能に収容されて、吸気の流量を調整するスロットルバルブ２６、このスロットルバルブ２６を開閉動作させる電動アクチュエータ（図示せず）、およびスロットルバルブ２６の開度（スロットル開度）を検出するスロットル開度センサ（図示せず）を備えている。
電動アクチュエータは、電力の供給を受けるとスロットルバルブ２６を駆動する動力（トルク）を発生するモータ、およびこのモータの回転を減速してシャフトに伝達する減速機構等により構成される。
なお、モータは、ＥＣＭによって電子制御されるモータ駆動回路を介して、自動車等の車両に搭載されたバッテリに電気的に接続されている。

インテークマニホールドは、スロットルボディ２５の出口端より流入した吸気（エア）の圧力変動を低減するサージタンク２７、このサージタンク２７の複数（各気筒毎）の吸気出口にそれぞれ接続する複数（各気筒毎）の吸気分岐管２８等を有している。
サージタンク２７は、エアを一旦貯蔵すると共に、エンジンの各気筒毎の燃焼室および吸気ポートに接続する複数の吸気分岐管２８にエアを分配供給するためのサージタンク室を有している。
吸気分岐管２８は、エンジンの各気筒毎の燃焼室および吸気ポートに独立して接続され、サージタンク室より気筒数分だけ分岐している。各吸気分岐管２８の内部には、各気筒毎の吸気ポートへエアを導くための吸気分岐流路が形成されている。

次に、本実施例の過給圧制御システムの詳細を図１ないし図４に基づいて説明する。
過給圧制御システムは、バイパス配管、ＡＢＶ、ＡＢＶ−ＶＳＶおよびＥＣＭ等によって構成されている。
バイパス配管は、吸気管の分岐部と合流部とを連通する連通部（連通管）である。
吸気管の分岐部には、吸気通路２２で開口した分岐ポート３１が形成されている。
吸気管の合流部には、吸気通路２１で開口した合流ポート３２が形成されている。
バイパス配管の内部には、コンプレッサのインペラ１６によって過給された過給エアの一部を、分岐ポート３１からＡＢＶを経由して合流ポート３２へ導くためのバイパス流路３３が形成されている。

ＡＢＶは、バイパス流路３３と連通するバイパス流路（流路孔）３４〜３６を開閉するバルブ１と、このバルブ１を駆動するアクチュエータ２とを備えている。
アクチュエータ２は、カバー３、バルブボディ４、バルブシート５、ダイヤフラム６、アタッチメント８およびリターンスプリング９を備えている。
カバー３は、第１〜第３圧力導入管を介して、吸気管の吸気通路２２およびサージタンク２７（または各吸気分岐管２８）と連通している。

第１圧力導入管は、吸気管の第１分岐部とＡＢＶ−ＶＳＶの第１入口ポートとを連通する第１連通部（連通管）である。
第１分岐部には、分岐ポート３１よりも下流側の吸気通路２２で開口した第１分岐ポート３７が形成されている。
第２圧力導入管は、吸気管の第２分岐部とＡＢＶ−ＶＳＶの第２入口ポートとを連通する第２連通部（連通管）である。
第２分岐部には、サージタンク２７（または各吸気分岐管２８）で開口した第２分岐ポート３８が形成されている。

第１圧力導入管の内部には、過給エアの一部を、第１分岐ポート３７から第１入口ポートへ導くための第１圧力導入路４１が形成されている。
第２圧力導入管の内部には、スロットルバルブ２６を全閉することで得られる吸気負圧を、第２分岐ポート３８から第２入口ポートへ導くための第２圧力導入路４２が形成されている。
第３圧力導入管は、ＡＢＶ−ＶＳＶの出口ポートとＡＢＶの第１圧力室１１とを連通する第３連通部（連通管）である。
第３圧力導入管の内部には、エアを出口ポートから第１圧力室１１へ導くための第３圧力導入路４３が形成されている。
なお、ＡＢＶの詳細は、後述する。

ＡＢＶ−ＶＳＶは、ＡＢＶ制御用の電磁三方切替弁（バキューム・スイッチング・バルブ）である。このＡＢＶ−ＶＳＶは、コンプレッサの下流側の吸気通路２２とＡＢＶの第１圧力室１１とを連通する過給圧導入経路（第１、第３圧力導入路４１、４３）と、スロットルバルブ２６の下流側のサージタンク２７とＡＢＶの第１圧力室１１とを連通する負圧導入経路（第２、第３圧力導入路４２、４３）とを切り替える経路切替手段を構成している。

ＡＢＶ−ＶＳＶは、ハウジング（バルブボディ）に一体的に形成された２つの第１、第２バルブシート４４、４５と、２つの第１、第２入口ポートを選択的に開閉するバルブ（弁体）４６と、このバルブ４６をその移動方向の一方側へ付勢するスプリング４７と、バルブ４６を駆動する電磁アクチュエータとを備えている。
第１バルブシート４４の内部には、第１入口ポートが形成されている。また、第１バルブシート４４の開口周縁には、バルブ４６が着座可能な第１弁座が設けられている。
第２バルブシート４５の内部には、第２入口ポートが形成されている。また、第２バルブシート４５の開口周縁には、バルブ４６が着座可能な第２弁座が設けられている。

電磁アクチュエータは、通電されると磁力を発生するコイル４８を有するソレノイド等により構成されている。
ここで、ＡＢＶ−ＶＳＶのバルブ４６は、ソレノイドのコイル４８への通電が停止（ＯＦＦ）されている時、スプリング４７の付勢力によって、第２弁座に着座する。これにより、第１バルブシート４４の先端で開口した第１入口ポートが開放（全開）され、第２バルブシート４５の先端で開口した第２入口ポートが閉鎖（全閉）される。よって、過給圧導入経路（第１制御モード）となるので、ＡＢＶは閉弁状態となる。
また、バルブ４６は、ソレノイドのコイル４８が通電（ＯＮ）されると、第２バルブシート側から第１バルブシート側へ移動して第１弁座に着座する。これにより、第１入口ポートが閉鎖（全閉）され、第２入口ポートが開放（全開）される。よって、負圧導入経路（第２制御モード）となるので、ＡＢＶは開弁状態となる。

ここで、ＡＢＶ−ＶＳＶのコイル４８は、ＥＣＭによって電子制御される電磁三方弁駆動回路を介して、自動車等の車両に搭載されたバッテリに電気的に接続されている。
ＥＣＭには、制御処理や演算処理を行うＣＰＵ、制御プログラムまたは制御ロジックや各種データを保存する記憶装置（ＲＡＭ、ＲＯＭ等のメモリ）、タイマー等の機能を含んで構成される周知の構造のマイクロコンピュータが設けられている。このＥＣＭは、エアフロメータ、クランク角度センサ、アクセル開度センサ、スロットル開度センサ、ＥＧＲＶセンサ、吸気温センサ、冷却水温センサおよび排気ガスセンサ（空燃比センサ、酸素濃度センサ）等の各種センサからのセンサ出力信号が、Ａ／Ｄ変換回路によってＡ／Ｄ変換された後に、マイクロコンピュータに入力されるように構成されている。

ＥＣＭのマイクロコンピュータは、スロットル開度センサより出力される電気信号（スロットル開度信号）に基づいて、スロットルバルブ２６のバルブ開度に相当するスロットル開度を計測（算出）し、この算出したスロットル開度に基づいてＡＢＶ−ＶＳＶのコイル４８への通電制御（減速時過給圧制御）を実施する。
これは、スロットルバルブ２６を閉じる減速時に、過給されたエアがスロットルバルブ２６で跳ね返り、サージ音が発生するのを抑制するため、ＡＢＶ−ＶＳＶのコイル４８をＯＮしてＡＢＶを開弁し、過給圧をリリーフする過給圧制御である。

また、マイクロコンピュータは、冷却水温センサより出力される電気信号（冷却水温信号）に基づいて、エンジンを循環するエンジン冷却水の温度（冷却水温）を計測（算出）し、この算出した冷却水温に基づいてＡＢＶ−ＶＳＶのコイル４８への通電制御（低水温時過給圧制御）を実施する。
これは、エンジンが冷機状態（低水温時）で、且つアイドル時に、過給圧によるアイドル回転速度の異常な上昇を抑制するため、ＡＢＶ−ＶＳＶのコイル４８をＯＮしてＡＢＶを開弁し、過給圧をリリーフする過給圧制御である。

次に、本実施例のＡＢＶの詳細を図１ないし図４に基づいて簡単に説明する。
ＡＢＶは、ダイヤフラム一体型のバルブ１と、カバー３との間にダイヤフラム室を形成するバルブボディ４と、このバルブボディ４の内部に設けられるバルブシート５と、バルブ１を一体移動可能に連結したダイヤフラム６と、このダイヤフラム６に一体的に設けられた撓み変形部７と、この撓み変形部７の反転現象を規制するアタッチメント８と、ダイヤフラム６に対して、バルブ１を閉弁方向に付勢するリターンスプリング９とを備えている。

バルブ１は、例えば金属または合成ゴムまたは合成樹脂によって円環板形状に一体的に形成されている。このバルブ１は、バルブシート５の弁座４９に対して着座、離脱して流路孔（弁孔）３５を閉鎖、開放する弁体（ＡＢＶの弁体）である。バルブ１は、このバルブ１を保持するバルブホルダー（保持部材）５１と共に、リベット５２等を用いてダイヤフラム６と一体移動可能に連結している。
バルブホルダー５１は、バルブ１のダイヤフラム側面に密着した円環部、およびバルブ１の周囲を円周方向に取り囲む円筒部を有している。円筒部の外周面は、アタッチメント８と往復摺動可能となっている。

カバー３は、例えば金属または合成樹脂によって有底（天）円筒状に一体的に形成されている。このカバー３には、第３圧力導入路４３に連通する圧力導入路５３を有する圧力導入管５４が一体的に形成されている。
カバー３の天井部には、リターンスプリング９の一端を保持するスプリング座５５が設けられている。カバー３の開口側には、半径方向の外方側へ拡がる結合フランジ（第１結合部）５６が一体的に形成されている。
結合フランジ５６の外周部には、バルブボディ４の開口端部の周囲を円周方向に取り囲む円筒状の突条部（凸部）５７が設けられている。
カバー３には、バルブ１の全開時に全開ストッパとしての機能を有する段差部５８が設けられている。段差部５８は、バルブ１およびダイヤフラム６の軸線方向の動作範囲を規制する規制面として利用されている。これにより、バルブ１が全開した際にダイヤフラム６の軸線方向の他方側（開弁方向）への動作が規制される。

バルブボディ４は、例えば金属または合成樹脂によって所定の形状に一体的に形成されている。このバルブボディ４には、バルブシート５、円管状の入口パイプ６１および円管状の出口パイプ６２が一体的に形成されている。
入口パイプ６１は、バルブシート５よりも上流側に設けられている。この入口パイプ６１の上流端で開口した入口ポートは、バイパス配管を介して、吸気通路２２で開口した分岐ポート３１と連通している。また、入口パイプ６１内には、流路孔３５の形成方向（図示上下方向）に対して垂直な方向（図示左右方向）に延びる流路孔３４が形成されている。

出口パイプ６２は、バルブシート５の下流側に連続して設けられている。この出口パイプ６２の下流端で開口した出口ポートは、吸気通路２１で開口した合流ポート３２と連通している。また、出口パイプ６２内には、流路孔３５の形成方向（図示上下方向）に対して垂直な方向（図示左右方向）に延びる流路孔３６が形成されている。
ここで、出口パイプ６２の先端部は、吸気管の合流部に向けて突出している。出口パイプ６２には、吸気管の合流部に差し込まれて保持される円筒状の嵌合部６３が設けられている。この嵌合部６３の外周には、吸気管の合流部に設けられる嵌合穴との間の隙間を密閉するためのＯリング６４を装着する円環状のリング溝が形成されている。

バルブボディ４は、結合フランジ５６との間に、ダイヤフラム６の外周端部およびアタッチメント８の外周端部を挟み込んで気密的に保持する結合フランジ（第２結合部）６５を有している。
バルブボディ４は、吸気管の合流部の取付面に結合される取付フランジ６６を有している。この取付フランジ６６には、図示しない締結ボルトが貫通する挿通孔が形成されている。この挿通孔の内部には、締結ボルトが挿通可能な補強用の金属カラー６７が嵌め込まれている。

バルブシート５は、バルブボディ４の底部および出口パイプ６２に一体的に形成されている。このバルブシート５の内部には、第２圧力室１２と流路孔３６とを連通する流路孔３５が形成されている。バルブシート５の開口周縁には、バルブ１のシール面が密着して着座可能な円環状の弁座（シール部）４９が設けられている。そして、弁座４９は、バルブ１およびダイヤフラム６の軸線方向の動作範囲を規制する規制面として利用されている。これにより、バルブ１のシール面が弁座４９に着座した際にダイヤフラム６の軸線方向の一方側（閉弁方向）への動作が規制される。
流路孔３５は、第２圧力室１２に臨むように開口している。これにより、流路孔３５は、第２圧力室１２を介して流路孔３４と連通している。また、流路孔３５は、流路孔３６と直接連通している。

ダイヤフラム６は、例えば金属または合成ゴムまたは合成樹脂によって円環板形状に一体的に形成されている。このダイヤフラム６は、リターンスプリング９の荷重を受け止めるスプリングシート７１と共に、リベット５２等を用いてバルブ１およびバルブホルダー５１と連結されている。
スプリングシート７１には、リターンスプリング９の他端を保持する円環板状のスプリング座７２が設けられている。また、スプリングシート７１の外周部には、バルブ１の開弁時に、カバー３の段差部５８に係止される鍔部７３が設けられている。鍔部７３には、第１圧力室１１内のエアの流動を容易にするための複数の貫通孔７４が形成されている。

ダイヤフラム６は、バルブ１が弁座４９に着座している時、特に第１圧力室１１の内部圧力が第２圧力室１２の内部圧力以下の時に、第１圧力室１１側に突出する（凸となる）ように所定の曲率で湾曲した撓み変形部７を備えている。この撓み変形部７には、アタッチメント８に接触して係止される被係止部７５が設けられている。
ダイヤフラム６は、撓み変形部７よりも外周側に円環状の周縁部７６を有している。この周縁部７６は、２つの結合フランジ５６、６５間に挟み込まれて固定される。この周縁部７６の最外周部には、２つの結合フランジ５６、６５間の隙間をシールするシール部（肉厚部）７７が設けられている。
ダイヤフラム６は、撓み変形部７よりも内周側に円環状の中央部（平板部）を有している。中央部は、バルブホルダー５１とスプリング座７２との間に挟み込まれて保持されている。

アタッチメント８は、ハウジング（カバー３、バルブボディ４）に対して別体部品で構成された反転規制部材であって、例えば金属または合成樹脂によって円環板形状に一体的に形成されている。このアタッチメント８は、第１圧力室１１の内部圧力が第２圧力室１２の内部圧力よりも大きい時に、撓み変形部７が、第２圧力室１２側に突出する（凸となる）ように湾曲する撓み変形を規制する反転規制部である。
アタッチメント８は、撓み変形部７の撓み形状に対応した湾曲形状の係止部８１を備えている。この係止部８１は、被係止部７５を係止する。また、係止部８１には、エアが板厚方向に流通可能な貫通孔が形成されている。なお、貫通孔の代わりに、メッシュまたは格子またはスリットまたは小穴を係止部８１に設けても良い。

アタッチメント８は、係止部８１よりも外周側に円環状の周縁部８２を有している。この周縁部８２は、周縁部７６と共に、２つの結合フランジ５６、６５間に挟み込まれて固定される。また、アタッチメント８の周縁部８２は、結合フランジ６５と周縁部７６との間に圧入固定されている。
アタッチメント８は、係止部８１よりも外周側で周縁部８２から分岐するように円筒状の係合部８３を有している。この係合部８３は、バルブボディ４の開口部の内周面に係合するように円周方向に連続して設けられている。
アタッチメント８は、係止部８１よりも内周側に円筒状の支持部（バルブガイド）８４を有している。このアタッチメント８の内部には、バルブ１およびバルブホルダー５１がその軸線方向に移動可能な貫通孔８５が形成されている。
バルブガイド８４は、バルブ１およびバルブホルダー５１を、その軸線方向に往復摺動可能にガイドしている。これにより、バルブ１は、初期位置である弁座４９より離脱してリフトする開弁動作時、および所定の開弁位置から弁座４９側に移動する閉弁動作時に、バルブホルダー５１の側面がバルブガイド８４と摺動することにより、流路孔３５および弁座４９の中心軸線（軸芯）上を往復移動することになる。

［実施例１の作用］
次に、本実施例の過給圧制御システムの作動を図１ないし図４に基づいて簡単に説明する。

ＥＣＭは、エンジン回転速度、スロットル開度およびエンジン冷却水温の状態により、ＡＢＶ−ＶＳＶの電磁アクチュエータのコイル４８をＯＮ／ＯＦＦ制御するように構成されている。
ＡＢＶ−ＶＳＶのコイル４８への通電が停止（ＯＦＦ）している場合、バルブ４６はリターンスプリング４７の付勢力（スプリング力）によって第２バルブシート４５の第２弁座に押し付けられて、バルブ４６が第２弁座に着座している。このとき、ＡＢＶ−ＶＳＶの第１入口ポートが開放され、第２入口ポートが閉鎖される。これにより、第１入口ポートと出口ポートとが連通状態となる。

したがって、コンプレッサのインペラ１６で過給された過給エアは、図１に示したように、第１分岐ポート３７から第１圧力導入路４１→ＡＢＶ−ＶＳＶ→第３圧力導入路４３→圧力導入路５３を経由して、ＡＢＶの第１圧力室１１へ導かれている。
また、エアは、分岐ポート３１からバイパス流路３３、流路孔３４を経由してＡＢＶの第２圧力室１２へ導かれている。
すなわち、ＡＢＶ−ＶＳＶのコイル４８をＯＦＦしている間は、第１圧力室１１内に過給圧（大気圧よりも高い正圧）が導入され、また、第２圧力室１２内には常に過給圧が導入されており、第１圧力室１１内の圧力と第２圧力室１２内の圧力との間には、圧力差が無い状態となる。

これにより、２つの第１、第２圧力室１１、１２を気密的に仕切るダイヤフラム６の図示上面および図示下面に共に同一の過給圧がかかる。このため、ＡＢＶのバルブ１は、図３に示したように、ダイヤフラム６等と共に、スプリング９の付勢力（スプリング力）によって弁座４９に押し付けられて、バルブ１のシート面が弁座４９に着座している。このとき、ＡＢＶは、流路孔３４および第２圧力室１２と流路孔３５、３６との連通状態、つまり流路孔３４および第２圧力室１２から流路孔３５、３６へのエアの流通が遮断される。つまりＡＢＶは、閉弁状態となる。

一方、ＥＣＭは、エンジンの減速時、例えばスロットルバルブ２６が急激に閉じられた時に、ＡＢＶ−ＶＳＶの電磁アクチュエータのコイル４８を所定時間が経過する間、オン（ＯＮ）するように構成されている。
また、ＥＣＭは、エンジン冷却水温が所定値以下（エンジン冷機状態）で、且つエンジン回転速度が所定値以下の時（アイドル運転時）に、ＡＢＶ−ＶＳＶの電磁アクチュエータのコイル４８をオン（ＯＮ）するように構成されている。

ＡＢＶ−ＶＳＶのコイル４８へ駆動信号が印加されて、コイル４８に電流が流れると、バルブ４６を第１バルブシート４４の第１弁座側に引き寄せる力である磁気吸引力（磁力）が発生する。
そして、磁力によってバルブ４６が第１弁座に向かって移動すると、バルブ４６が第２バルブシート４５の第２弁座から離脱（離座）して第１バルブシート４４の第１弁座に着座する。このとき、ＡＢＶ−ＶＳＶの第１入口ポートが閉鎖され、第２入口ポートが開放される。これにより、第２入口ポートと出口ポートとが連通状態となる。

このとき、スロットルバルブ２６は閉じられているので、スロットルバルブ２６の下流側の吸気圧力は、大気圧よりも低い負圧となっている。したがって、スロットルバルブ２６の下流側のエア（負圧エア）は、図２に示したように、第２分岐ポート３８から第２圧力導入路４２→ＡＢＶ−ＶＳＶ→第３圧力導入路４３→圧力導入路５３を経由して、ＡＢＶの第１圧力室１１へ導かれている。
一方、上述したように、過給エアは、常時、分岐ポート３１からバイパス流路３３、流路孔３４を経由してＡＢＶの第２圧力室１２へ導かれている。
すなわち、ＡＢＶ−ＶＳＶのコイル４８をＯＮした場合には、第１圧力室１１内に吸気負圧が導入され、また、第２圧力室１２内に過給圧が導入される。これにより、第１圧力室１１内の圧力よりも、第２圧力室１２内の圧力が大きい状態となる。

これにより、ダイヤフラム６の図示上面に吸気負圧（インテークマニホールド内と同等の圧力）がかかり、ダイヤフラム６の図示下面に吸気負圧よりも大きい過給圧がかかる。このため、ＡＢＶのバルブ１は、図４に示したように、第２圧力室１２にかかる過給圧がリターンスプリング９を押し縮め、ダイヤフラム６等と共に図示上方に移動し、バルブ１のシート面が弁座４９から離脱（離座）する。このとき、ＡＢＶは、流路孔３４および第２圧力室１２と流路孔３５、３６との連通状態、つまり流路孔３４および第２圧力室１２から流路孔３５、３６へのエアの流通が許可される。つまりＡＢＶは、開弁状態となり、過給圧が、コンプレッサの上流側の吸気通路２１にリリーフされる。
したがって、減速時においては、過給エアがスロットルバルブ２６で跳ね返りサージ音が発生するのを抑制することができる。あるいは低水温時においては、過給圧によるアイドル回転速度の異常な上昇を抑制することができる。

［実施例１の効果］
以上のように、本実施例の過給圧制御システムにおいては、スロットルバルブ２６を閉弁する減速直後およびアイドル運転時は、スロットルバルブ２６の閉弁によりスロットルバルブ２６の下流は負圧となるので、ＡＢＶの第１圧力室１１に負圧が導かれ、ＡＢＶのバルブ１が開弁される。これにより、インペラ１６の下流側とスロットルバルブ２６の上流側の吸気通路２２内の過給エアは、バイパス流路３３、流路孔３４、第２圧力室１２、流路孔３５、３６を経由してコンプレッサの上流側の吸気通路２１に戻される。

ここで、ＡＢＶ−ＶＳＶのコイル４８をＯＦＦしている間は、第１圧力室１１内に過給圧（大気圧よりも高い正圧）が導入され、また、第２圧力室１２内には常に過給圧が導入されており、第１圧力室１１内の圧力と第２圧力室１２内の圧力との間には、圧力差が無い状態となっている。
しかし、ターボチャージャを備えたエンジンにおいては、ターボチャージャのコンプレッサやエンジンの吸気弁の作動に起因する吸気の圧力脈動（吸気脈動の圧力波）が吸気管の吸気通路内を伝播している。

そして、吸気脈動の圧力波は、ＡＢＶ−ＶＳＶを介することにより、なまされて第１圧力室１１内の圧力が第２圧力室１２内の圧力よりも大きくなる領域が存在する。
そのため、ダイヤフラム６の撓み変形部７に反転現象が発生することがある。
すなわち、第１圧力室１１内の圧力が第２圧力室１２内の圧力よりも大きい場合には、ダイヤフラム６の撓み変形部７の撓み方向が、図６（ｂ）に示すような上に凸となる方向に対して、図６（ｃ）に示すような下に凸となる方向に反転することがある。このような撓み変形部７の反転現象が繰り返されると、撓み変形部７にクラックが入り、ダイヤフラムバルブとしてのＡＢＶの耐久性を低下させるという問題がある。

そこで、ダイヤフラム６の撓み変形部７の反転現象を防止するという目的で、本実施例のＡＢＶにおいては、カバー３の結合フランジ５６とバルブボディ４の結合フランジ６５との間に、撓み変形部７の撓み形状に対応した形状のアタッチメント８の周縁部８２を挟み込んで固定している。
ここで、撓み変形部７には、常時、アタッチメント８の係止部８１に接触して係止される被係止部７５が設けられている。
これによって、第１圧力室１１内の圧力が第２圧力室１２内の圧力よりも大きくなった場合でも、ダイヤフラム６の撓み変形部７が、ダイヤフラム室内において第２圧力室１２側に突出する（凸となる）ように湾曲する撓み変形を規制することが可能となる。
したがって、ダイヤフラム６の撓み変形部７の反転現象を確実に防止することができるので、ダイヤフラム６の反転圧によるクラックの発生をなくすことができる。これにより、ダイヤフラムバルブとしてのＡＢＶの耐久性を向上させることができる。

また、本実施例のＡＢＶにおいては、アタッチメント８を、カバー３およびバルブボディ４に対して別体部品で構成し、且つアタッチメント８の周縁部８２を、カバー３の結合フランジ５６とバルブボディ４の結合フランジ６５との間に挟み込んで固定している。また、アタッチメント８の周縁部８２は、結合フランジ６５とダイヤフラム６の周縁部７６との間に圧入固定されている。これによって、ダイヤフラム６の形状、特に撓み変形部７の撓み形状に合わせて容易にアタッチメント８を組み替えることができる。
また、本実施例のアタッチメント８には、バルブ１およびバルブホルダー５１を、往復摺動可能にガイドする円筒状のバルブガイド８４が一体的に設けられている。これにより、バルブシート５の弁座４９に対するバルブ１の芯ズレを防止できるので、ＡＢＶの閉弁動作時に、弁座４９にバルブ１が確実に着座することができる。したがって、ＡＢＶの閉弁時に、過給エアが洩れるのを防止することができる。

［実施例２］
図５は、本発明のダイヤフラム装置を適用したダイヤフラム式圧縮機（実施例２）を示したものである。

本実施例のダイヤフラム式圧縮機は、内部にダイヤフラム室を形成するハウジング（第１〜第３ハウジング２０１〜２０３）と、ダイヤフラム室を２つの第１、第２室２０４、２０５に区画形成するダイヤフラム２０６と、ダイヤフラム２０６の撓み変形部２０７の撓み変形を規制するアタッチメント２０８と、ダイヤフラム２０６と一体移動可能に連結したロッド２０９と、このロッド２０９を介して、ダイヤフラム２０６をその軸線方向に往復移動させるカムシャフト２１０とを備えている。

ダイヤフラム２０６の中央部は、固定具２１１、２１２によって挟み込まれている。ダイヤフラム２０６の周端部は、第１ハウジング２０１と第２ハウジング２０２とによって挟み込まれて保持されている。ダイヤフラム２０６の撓み変形部２０７は、ダイヤフラム２０６の図示下側の第１室２０４内の圧力が、ダイヤフラム２０６の図示上側の第２室２０５内の圧力以下の時に、第１室２０４側に突出する（凸となる）ように所定の曲率で湾曲した可撓部（弛み部）である。

第１室２０４は、第２ハウジング２０２とダイヤフラム２０６との間に形成される空間部である。
第２室２０５は、第１ハウジング２０１とダイヤフラム２０６との間に形成される吸入・圧縮室である。
第１ハウジング２０１の第２室２０５に臨む部分には、吸入用チェックバルブ２１３と吐出用チェックバルブ２１４が形成されている。また、吸入用チェックバルブ２１３は、吸入口２１５と連通しており、また、吐出用チェックバルブ２１４は、吐出口２１６と連通している。
第１室２０４に臨む第２ハウジング２０２には、第１室２０４と外部とを連通させる複数の連通孔２１７が形成されている。
これらの連通孔２１７には、第１室２０４内の空気が外部に排出される時にのみ開弁する空気放出弁２１８が形成されている。

アタッチメント２０８は、ハウジング（第１ハウジング２０１、第２ハウジング２０２）に対して別体部品で構成されている。このアタッチメント２０８の外周部には、ハウジング（第１ハウジング２０１）の内周に圧入固定される環状の周縁部２１９が設けられている。また、アタッチメント２０８には、撓み変形部２０７の撓み形状に対応した形状の係止部２２０が設けられている。この係止部２２０には、空気が流通可能な複数の貫通孔が形成されている。
撓み変形部２０７には、係止部２２０に接触して係止される被係止部２２１が設けられている。

ロッド２０９の軸方向の一端は、第２ハウジング２０２の中央部に設置された筒状のブッシュ２２２の摺動孔を通って、第１ハウジング２０１と第２ハウジング２０２との間に形成されるダイヤフラム室に突き出して、ダイヤフラム２０６に連結されている。
ロッド２０９の軸方向の他端と第２ハウジング２０２との間には、ロッド２０９をカムシャフト２１０のカム部２２３へ押し当てる側に付勢するコイルスプリング２２４が設置されている。
第３ハウジング２０３の中心軸孔には、カムシャフト２１０が挿入されている。カムシャフト２１０の一端は、ベアリングにより支持され、第３ハウジング２０３より外部へ突出してモータ、エンジン等の駆動装置に結合されている。また、カムシャフト２１０の他端は、ベアリングにより支持されている。

カムシャフト２１０のカム部２２３は、回転運動をロッド２０９の往復運動に転換するカム形状に形成されている。
なお、第３ハウジング２０３の内部には、オイルまたはグリース等の潤滑剤が満たされており、カム部２２３とロッド２０９との間の潤滑を行っている。
以上のように、本実施例のアクチュエータにおいては、ダイヤフラム２０６の撓み変形部２０７の撓み方向が図示下方のため、第１ハウジング２０１側にアタッチメント２０８を取り付けている。これにより、実施例１と同様な効果を達成することができる。

［変形例］
本実施例では、本発明のダイヤフラム装置を、アクチュエータ２を備えたダイヤフラムバルブとしてのＡＢＶまたはダイヤフラム式圧縮機に適用しているが、本発明のダイヤフラム装置を、ダイヤフラムアクチュエータを備えたその他のダイヤフラムバルブに適用しても良い。
なお、過給機として、ターボチャージャを用いたが、スーパーチャージャや、電動コンプレッサを用いても良い。
また、ダイヤフラム室に導入する流体としては、エア（吸気）だけでなく、蒸発燃料、気相冷媒、水蒸気やガス等の気体、あるいは水、燃料、オイルや液相冷媒等の液体、あるいは気液二相状態の流体を使用することができる。

１ バルブ（弁体）
２ アクチュエータ（ダイヤフラムアクチュエータ）
３ カバー（ハウジング）
４ バルブボディ（ハウジング）
５ バルブシート（ハウジング）
６ ダイヤフラム
７ 撓み変形部
８ アタッチメント（反転規制部）
１１ 第１圧力室（第１室）
１２ 第２圧力室（第２室）

Claims (12)

1. （ａ）内部にダイヤフラム室（１１、１２、２０４、２０５）が形成されたハウジング（３、４、５、２０１、２０２）と、
   （ｂ）前記ダイヤフラム室（１１、１２、２０４、２０５）内に往復移動可能に設置されて、前記ダイヤフラム室（１１、１２、２０４、２０５）を２つの第１、第２室（１１、１２、２０４、２０５）に区画形成するダイヤフラム（６、２０６）と
   を備えたダイヤフラム装置において、
   エアクリーナを通過した吸気が流れる吸気通路（２１、２２）を形成する吸気管と、
   前記吸気通路（２１、２２）の途中に設置されたコンプレッサ（１６）を有する過給機と、
   前記コンプレッサ（１６）の下流側と上流側とを連通するバイパス通路（３３）と、
   このバイパス通路（３３）の途中に設置されたバイパスバルブと、
   前記コンプレッサ（１６）の下流側に設置されて、吸気の流量を調整するスロットルバルブ（２６）と、
   前記コンプレッサ（１６）の下流側と前記第１室（１１）とを連通する過給圧導入経路（４１、４３）と、
   前記スロットルバルブ（２６）の下流側と前記第１室（１１）とを連通する負圧導入経路（４２、４３）と、
   前記スロットルバルブ（２６）の開度に応じて前記過給圧導入経路（４１、４３）と前記負圧導入経路（４２、４３）とを切り替える経路切替手段（４４〜４７）と
   を備え、
   前記ダイヤフラム（６、２０６）は、前記第１室（１１、２０４）内の圧力が前記第２室（１２、２０５）内の圧力以下の時に、前記第１室（１１、２０４）側に突出するように湾曲した撓み変形部（７、２０７）を有し、
   前記ハウジング（３、４、５、２０１、２０２）は、前記第１室（１１、２０４）内の圧力が前記第２室（１２、２０５）内の圧力よりも大きい時に、前記撓み変形部（７、２０７）が前記第２室（１２、２０５）側に突出するように湾曲する撓み変形を規制する反転規制部（８、２０８）を有していることを特徴とするダイヤフラム装置。
2. 請求項１に記載のダイヤフラム装置において、
   前記反転規制部（８、２０８）は、前記撓み変形部（７、２０７）の撓み形状に対応した形状の係止部（８１、２２０）を有し、
   前記撓み変形部（７、２０７）は、前記係止部（８１、２２０）に接触して係止される被係止部（７５、２２１）を有していることを特徴とするダイヤフラム装置。
3. 請求項１または請求項２に記載のダイヤフラム装置において、
   前記反転規制部（８、２０８）は、流体が流通可能な貫通孔を有していることを特徴とするダイヤフラム装置。
4. 請求項１ないし請求項３のうちのいずれか１つに記載のダイヤフラム装置において、
   前記反転規制部（８、２０８）は、前記ハウジング（３、４、２０１、２０２）に対して別体部品で構成されて、前記ハウジング（３、４、２０１、２０２）に圧入固定される環状の周縁部（８２、２１９）を有していることを特徴とするダイヤフラム装置。
5. 請求項１ないし請求項４のうちのいずれか１つに記載のダイヤフラム装置において、
   前記ハウジングは、前記ダイヤフラム（６）との間に前記第１室（１１）を形成するカバー（３）、および前記ダイヤフラム（６）との間に前記第２室（１２）を形成するケース（４、５）を有し、
   前記カバー（３）は、前記ダイヤフラム（６）の周囲を周方向に取り囲む環状の第１結合部（５６）を有し、
   前記ケース（４、５）は、前記第１結合部（５６）に対向して配置されて、前記第１結合部（５６）に着脱自在に結合される環状の第２結合部（６５）を有し、
   前記反転規制部（８）は、前記ハウジング（３、４、５）に対して別体部品で構成されて、前記第１結合部（５６）と前記第２結合部（６５）との間に挟み込まれて固定される環状の周縁部（８２）を有していることを特徴とするダイヤフラム装置。
6. 請求項１ないし請求項５のうちのいずれか１つに記載のダイヤフラム装置において、
   前記ダイヤフラム（２０６）と一体移動可能に連結したロッド（２０９）と、
   このロッド（２０９）を介して前記ダイヤフラム（２０６）を往復移動させるカムシャフト（２１０）と
   を備えていることを特徴とするダイヤフラム装置。
7. （ａ）内部にダイヤフラム室（１１、１２）が形成されたハウジング（３、４、５）と、
   （ｂ）前記ダイヤフラム室（１１、１２）内に往復移動可能に設置されて、前記ダイヤフラム室（１１、１２）を２つの第１、第２室（１１、１２）に区画形成するダイヤフラム（６）と
   を備えたダイヤフラム装置において、
   エアクリーナを通過した吸気が流れる吸気通路（２１、２２）を形成する吸気管と、
   前記吸気通路（２１、２２）の途中に設置されたコンプレッサ（１６）を有する過給機と、
   前記コンプレッサ（１６）の下流側と上流側とを連通するバイパス通路（３３）と、
   このバイパス通路（３３）の途中に設置されたバイパスバルブと、
   前記コンプレッサ（１６）の下流側に設置されて、吸気の流量を調整するスロットルバルブ（２６）と、
   前記コンプレッサ（１６）の下流側と前記第１室（１１）とを連通する過給圧導入経路（４１、４３）と、
   前記スロットルバルブ（２６）の下流側と前記第１室（１１）とを連通する負圧導入経路（４２、４３）と、
   前記スロットルバルブ（２６）の開度に応じて前記過給圧導入経路（４１、４３）と前記負圧導入経路（４２、４３）とを切り替える経路切替手段（４４〜４７）と
   を備え、
   前記ダイヤフラム（６）は、前記第１室（１１）内の圧力が前記第２室（１２）内の圧力以下の時に、前記第１室（１１）側に突出するように湾曲した撓み変形部（７）を有し、
   前記ハウジング（３、４、５）は、前記第１室（１１）内の圧力が前記第２室（１２）内の圧力よりも大きい時に、前記撓み変形部（７）が前記第２室（１２）側に突出するように湾曲する撓み変形を規制する反転規制部（８）を有し、
   前記バイパスバルブは、前記ダイヤフラム（６）と一体移動可能に連結した弁体（１）を有していることを特徴とするダイヤフラム装置。
8. 請求項７に記載のダイヤフラム装置において、
   前記反転規制部（８）は、前記撓み変形部（７）の撓み形状に対応した形状の係止部（８１）を有し、
   前記撓み変形部（７）は、前記係止部（８１）に接触して係止される被係止部（７５）を有していることを特徴とするダイヤフラム装置。
9. 請求項７または請求項８に記載のダイヤフラム装置において、
   前記反転規制部（８）は、流体が流通可能な貫通孔を有していることを特徴とするダイヤフラム装置。
10. 請求項７ないし請求項９のうちのいずれか１つに記載のダイヤフラム装置において、
    前記反転規制部（８）は、前記ハウジング（３、４）に対して別体部品で構成されて、前記ハウジング（３、４）に圧入固定される環状の周縁部（８２）を有していることを特徴とするダイヤフラム装置。
11. 請求項７ないし請求項１０のうちのいずれか１つに記載のダイヤフラム装置において、 前記ハウジングは、前記ダイヤフラム（６）との間に前記第１室（１１）を形成するカバー（３）、および前記ダイヤフラム（６）との間に前記第２室（１２）を形成するケース（４、５）を有し、
    前記カバー（３）は、前記ダイヤフラム（６）の周囲を周方向に取り囲む環状の第１結合部（５６）を有し、
    前記ケース（４、５）は、前記第１結合部（５６）に対向して配置されて、前記第１結合部（５６）に着脱自在に結合される環状の第２結合部（６５）を有し、
    前記反転規制部（８）は、前記ハウジング（３、４、５）に対して別体部品で構成されて、前記第１結合部（５６）と前記第２結合部（６５）との間に挟み込まれて固定される環状の周縁部（８２）を有していることを特徴とするダイヤフラム装置。
12. 請求項７ないし請求項１１のうちのいずれか１つに記載のダイヤフラム装置において、 前記反転規制部（８）は、前記弁体（１）またはこの弁体（１）を保持する保持部材（５１）を、往復摺動可能にガイドする筒状の支持部（８４）を有していることを特徴とするダイヤフラム装置。

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