JP5819859B2 - Non-contact transfer device - Google Patents
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Description
本発明は、非接触搬送装置に関し、特に大型の液晶ディスプレイ(LCD)やプラズマディスプレイ(PDP)等のFPD(フラットパネルディスプレイ)や太陽電池パネル(ソーラーパネル)等の生産に用いられる非接触搬送装置に関する。 The present invention relates to a non-contact conveyance device, and in particular, a non-contact conveyance device used for production of FPD (flat panel display) such as a large liquid crystal display (LCD) or plasma display (PDP), a solar cell panel (solar panel), and the like. About.
従来、FPDや太陽電池パネル等の生産に際し、1枚のパネルを大型化することで生産効率を上げる方法が採用されている。例えば、液晶パネルの場合には、第10世代で2850×3050×0.7mmの大きさとなる。そのため、従来のように、複数個並べられたローラの上に液晶ガラスを載せて転がり搬送すると、ローラを支持するシャフトの撓みやローラ高さの寸法のバラツキにより液晶ガラスに局部的に強い力が働き、当該液晶ガラスを傷つける虞がある。 Conventionally, in the production of FPDs, solar battery panels, etc., a method of increasing production efficiency by enlarging one panel has been adopted. For example, in the case of a liquid crystal panel, the size is 2850 × 3050 × 0.7 mm in the tenth generation. Therefore, when liquid crystal glass is placed on a plurality of rollers and rolled and conveyed as in the past, a strong force is locally applied to the liquid crystal glass due to deflection of the shaft supporting the rollers and variations in the roller height. There is a risk of damaging the liquid crystal glass.
上記ローラによる転がり搬送装置は、該装置とパネルとが非接触であることが要求される、例えばFPDのプロセス工程では採用することができず、近年においては、空気浮上の搬送装置が採用され始めている。非接触搬送装置として、板状の搬送用レールの一部に多孔質材料(多孔質焼結金属等)を用い、空気供給経路と連通させて給気することで、噴出空気によりFPDを浮上搬送させる装置が存在する。しかし、この非接触搬送装置を用いると、FPDが上下方向に動きながら浮遊するような状態となるため、搬送工程に用いることは可能であるが、例えば30〜50μmの高精度の浮上高さが要求されるプロセス工程には到底採用することはできない。 The above-described rolling conveyance device using rollers cannot be employed in, for example, an FPD process process in which the device and the panel are required to be in non-contact. In recent years, an air levitation conveyance device has begun to be employed. Yes. As a non-contact transfer device, a porous material (porous sintered metal, etc.) is used for a part of the plate-shaped transfer rail, and air is supplied in communication with the air supply path. There is a device to let you. However, when this non-contact transfer device is used, the FPD floats while moving in the vertical direction. Therefore, it can be used in the transfer process, but has a high flying height of, for example, 30 to 50 μm. It cannot be used for the required process steps.
また、上記多孔質材料を用いた板状の搬送用レールに浮上量を高精度に維持する目的で真空引き用の孔を設けると、装置の構成が複雑になると共に装置自体が高額になり、また、浮上高さを高精度に維持するために給気圧を高くすると、高剛性空気の圧縮性に係る自励振動が発生し、浮上高さを高精度に保つことができないという問題があった。 Also, if a hole for vacuuming is provided in the plate-shaped transport rail using the porous material for the purpose of maintaining the flying height with high accuracy, the structure of the apparatus becomes complicated and the apparatus itself becomes expensive, In addition, when the air supply pressure is increased to maintain the flying height with high accuracy, self-excited vibration related to the compressibility of high-rigid air occurs, and the flying height cannot be maintained with high accuracy. .
さらに、多孔質材料の代わりにオリフィス(小径の孔)を真空引き用の孔と交互に穿設した装置も存在するが、オリフィスからの強い噴出空気で静電気を発生したり、クリーンルームの環境を乱したり、消費電流が大きくなって運転コストが高騰するという問題があった。 In addition, there are devices in which orifices (small-diameter holes) are alternately drilled with evacuation holes instead of porous materials. However, strong blown air from the orifices generates static electricity and disturbs the clean room environment. However, there is a problem that the operation cost increases due to an increase in current consumption.
そこで、特許文献1には、流体流量及びエネルギ消費量が少なく、浮上高さを高精度に維持できる非接触搬送装置として、流体噴出口から流体を噴出させることにより、リング状部材の表面側に該表面側から離れる方向へ向かう旋回流を生じさせるとともに、リング状部材の表面側の開口部近傍に裏面方向への流体流れを生じさせる旋回流形成体を、搬送用レールの搬送面に2個以上備える非接触搬送装置が提案されている。 Therefore, in
上記特許文献1に記載された非接触搬送装置は、リング状部材の表面側に該表面側から離れる方向へ向かう旋回流を生じさせて搬送物(パネル等)を浮上させるものであるが、旋回流の中心部は負圧が発生し、搬送物の浮き上がり過ぎを防止できる効果を有する反面、搬送物の端部は振幅が大きくなるという欠点と、プロセス工程における旋回流による負圧と真空引きの負圧が重なると旋回流による浮上機能がなくなり、局部的に搬送用レールに接触するという不具合が見出された。 The non-contact conveyance device described in
また、真空引き用の孔を連通する1つの連続した吸引経路で結び、該吸引経路に結合した1つの真空吸引口を開閉状態とすることにより真空圧力が変化し、被搬送物の浮上量の変動が大きくなるという問題も見出された。 Further, the vacuum pressure is changed by connecting the vacuum suction holes through one continuous suction path and opening and closing one vacuum suction port connected to the suction path, thereby increasing the floating amount of the conveyed object. The problem of increased fluctuations was also found.
本発明は上記諸点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、負圧の発生を防ぎ、搬送される被搬送物の端部の振幅を小さくできると共に浮上量を大きくすることができ、真空吸引口の開閉操作によっても被搬送物の浮上量の変動を極力小さくすることができる非接触搬送装置を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above-described points, and the object of the present invention is to prevent the generation of negative pressure, to reduce the amplitude of the end of the conveyed object and to increase the flying height. Another object of the present invention is to provide a non-contact conveying apparatus that can minimize the variation in the flying height of the conveyed object even by opening and closing the vacuum suction port.
上記目的を達成するため、本発明は、非接触搬送装置であって、上面に開口する平面視円形の開口部を有する円筒壁面部と該円筒壁面部と環状肩部を介して拡径すると共に下面に開口する拡径円筒壁面部を有する収容孔部と、該収容孔部に隣接して穿設され、上、下面に開口する吸引孔を長手方向及び幅方向に沿って交互に複数個備えた上板と、上面に開口し、前記上板の各収容孔部に連通する連続した空気供給経路と、一方の端部が該空気供給経路に開口し、他方の端部が下面に開口する連通孔と、該連通孔に隣接し、一方の端部が前記上板の吸引孔に連通し、他方の端部が下面に開口する貫通孔を備えた中板と、該中板の連通孔に結合された1つの空気供給口と、上面に開口すると共に前記中板の貫通孔に連通する空気吸引経路と該空気吸引経路に結合された真空吸引口を備えた下板とからなる搬送レールと、内面に円筒内壁面を有する有底の円筒状基体部と、該円筒状基体部の開口部の周縁に径方向外方に張り出す環状鍔部と、該環状鍔部の外周縁の円周方向に沿い、かつ径方向に相対向して下方に延びる複数個の係合垂下部と、該係合垂下部の下端に外方に突出する係合突起部と、前記円筒状基体部の外周面から円筒内壁面に開口すると共に、先端部が該円筒状基体部の中心に向かう少なくとも1つの流体噴出孔とを備え、前記搬送レールの上板の収容孔部に、前記環状鍔部の外周面を該収容孔部の円筒壁面部に圧入嵌合させ、前記係合垂下部の係合突起部を前記環状肩部に係合させて装着された上昇流形成体とからなり、前記下板に形成された空気吸引経路は、長手方向に沿って少なくとも2つ以上のブロックに分割され、各ブロックの空気吸引経路にはそれぞれ1つの真空吸引口が結合されることを特徴とする。 In order to achieve the above object, the present invention is a non-contact conveyance device, and has a cylindrical wall surface portion having a circular opening in a plan view opened on an upper surface, and the diameter is increased through the cylindrical wall surface portion and an annular shoulder portion. A housing hole portion having an enlarged cylindrical wall surface portion opened on the lower surface and a plurality of suction holes formed adjacent to the housing hole portion and opened on the upper and lower surfaces along the longitudinal direction and the width direction are provided alternately. An upper plate, a continuous air supply path that opens to the upper surface and communicates with each housing hole of the upper plate, one end opens to the air supply path, and the other end opens to the lower surface. A communication hole, a middle plate adjacent to the communication hole, having one end portion communicating with the suction hole of the upper plate and the other end portion opening in the lower surface, and a communication hole of the middle plate One air supply port coupled to the air passage, an air suction path that opens to the upper surface and communicates with the through hole of the intermediate plate, and the air A transport rail comprising a lower plate having a vacuum suction port coupled to引経path, a cylindrical base portion having a bottom with a cylindrical inner wall surface to the inner surface, radially to the periphery of the opening of the cylindrical body portion An annular flange projecting outward, a plurality of engagement hanging portions extending in the circumferential direction of the outer peripheral edge of the annular flange and facing each other in the radial direction, and the engagement hanging portions An engaging protrusion projecting outward at the lower end, and at least one fluid ejection hole that opens from the outer peripheral surface of the cylindrical base body to the inner wall surface of the cylinder and whose tip is directed to the center of the cylindrical base body. provided, the receiving bore of the upper plate of the transfer rail, wherein the outer peripheral surface of the annular flange portion is fitted pressed into the cylindrical wall portion of the receiving bore, the engaging projections of the engaging suspended portion the annular shoulder engaged with the part composed of a rising stream former which is mounted an air suction passage formed in the lower plate, the longitudinal Along been divided into at least two blocks, characterized in that each of the air suction passage one vacuum suction port of each block is coupled.
本発明の非接触搬送装置によれば、真空引き用の空気吸引経路は、長手方向(被搬送物の搬送方向)に沿って少なくとも2つ以上のブロックに分割され、各ブロックに空気吸引経路にそれぞれ1つの真空吸引口が結合されているため、真空吸引口の開閉操作により空気吸引経路が全開あるいは全閉されることはなく、搬送方向に沿ってブロック毎に真空吸引口の開閉操作が行われるので、被搬送物の浮上量の変動を極力小さくすることができる。 According to the non-contact conveyance device of the present invention, the air suction path for vacuuming is divided into at least two or more blocks along the longitudinal direction (conveyance direction of the object to be transported), and each block has an air suction path. Since each vacuum suction port is connected, the opening and closing operation of the vacuum suction port does not fully open or close the air suction path, and the vacuum suction port is opened or closed for each block along the transport direction. Therefore, the fluctuation of the flying height of the conveyed object can be minimized.
上記作用効果を発揮する本発明の非接触搬送装置は、上面に開口する平面視円形の開口部を有する円筒壁面部と該円筒壁面部と環状肩部を介して拡径すると共に下面に開口する拡径円筒壁面部を有する収容孔部と、該収容孔部に隣接して穿設され、上、下面に開口する吸引孔を長手方向及び幅方向に沿って交互に複数個備えた上板と、上面に開口し前記上板の収容孔部に連通する連続した空気供給経路と、一方の端部が該空気供給経路に開口し、他方の端部が下面に開口する1つの連通孔と、一方の端部が前記上板の吸引孔に開口し、他方の端部が下面に開口する空気吸引経路に開口する連通孔を備えた中板と、該中板の前記1つの連通孔に開口する空気供給口と、前記中板の空気吸引経路に結合された真空吸引口を備えた下板とからなる搬送レールと、内面に円筒内壁面を有する有底の円筒状基体部と、該円筒状基体部の開口部の周縁に径方向外方に張り出す環状鍔部と、該環状鍔部の外周縁の円周方向に沿い、かつ径方向に相対向して下方に延びる複数個の係合垂下部と、該係合垂下部の下端に外方に突出する係合突起部と、前記円筒状基体部の外周面から円筒内壁面に開口すると共に、先端部が該円筒状基体部の中心に向かう少なくとも1つの流体噴出孔とを備え、前記搬送レールの上板の収容孔部に、前記環状鍔部の外周面を該収容孔部の円筒壁面部に圧入嵌合させ、前記係合垂下部の係合突起部を前記環状肩部に係合させて装着された上昇流形成体とからなり、前記中板に形成された空気吸引経路は、長手方向に沿って少なくとも2つ以上のブロックに分割され、各ブロックの空気吸引経路にはそれぞれ1つの真空吸引口が結合されている構成であってもよい。 The non-contact conveying apparatus of the present invention that exhibits the above-described effects is a cylindrical wall surface portion having a circular opening in a plan view that opens on the upper surface, and expands through the cylindrical wall surface portion and the annular shoulder portion, and opens on the lower surface. A housing hole portion having an enlarged cylindrical wall surface portion, and an upper plate provided with a plurality of suction holes which are formed adjacent to the housing hole portion and open on the upper and lower surfaces along the longitudinal direction and the width direction. A continuous air supply path that opens to the upper surface and communicates with the accommodation hole portion of the upper plate, and one communication hole that has one end opening to the air supply path and the other end opening to the lower surface; one end opened to the suction holes of the upper plate, a middle plate and the other end is provided with a communication hole that opens to the air suction passage which is open to the lower surface, the opening in said one communication hole of the middle plate And a lower plate having a vacuum suction port coupled to the air suction path of the middle plate. Rail and a cylindrical base portion having a bottom with a cylindrical inner wall surface to the inner surface, an annular flange portion projecting radially outward on the periphery of the opening of the cylindrical body portion, the outer peripheral edge of the annular flange portion A plurality of engaging hanging portions extending in a circumferential direction and facing downward in the radial direction; an engaging projection projecting outwardly at a lower end of the engaging hanging portion; and the cylindrical base portion At least one fluid ejection hole that opens from the outer peripheral surface to the inner wall surface of the cylinder and has a distal end directed toward the center of the cylindrical base body. An upward flow forming body mounted by press-fitting the outer peripheral surface of the housing into the cylindrical wall surface of the housing hole, and engaging the engagement protrusion of the engagement hanging portion with the annular shoulder , The air suction path formed in the intermediate plate is divided into at least two or more blocks along the longitudinal direction. Each of the air suction passage of the click one vacuum suction port may be configured coupled.
本発明の非接触搬送装置において、搬送レールを上板、中板及び下板の3層構造とした上で、空気供給経路を中板の上面に、空気吸引経路を下板の上面に設けることにより、あるいは空気供給経路及び空気吸引経路を中板の上、下面に設けることにより、空気供給経路及び空気吸引経路の作製が容易となり、製造コストをより低減させることができる。そして、上記構成からなる被接触搬送装置は、特に搬送工程の高精度な平面度を必要とするプロセス工程に使用されて好適である。 In the non-contact conveyance device of the present invention, the conveyance rail has a three-layer structure of an upper plate, an intermediate plate and a lower plate, and an air supply path is provided on the upper surface of the intermediate plate and an air suction path is provided on the upper surface of the lower plate Alternatively, by providing the air supply path and the air suction path on the upper and lower surfaces of the intermediate plate, the air supply path and the air suction path can be easily manufactured, and the manufacturing cost can be further reduced. And the to-be-contacted conveying apparatus which consists of the said structure is used especially for the process process which requires the highly accurate flatness of a conveyance process, and is suitable.
上記した上昇流形成体により生じる噴出空気は、噴霧状に分散して上昇流を形成するので、被搬送物(パネル等)にストレスを与えることがなく、被搬送物の振幅を小さくでき、さらには負圧の発生がないので被搬送物の浮上量を大きくすることができる。 The jet air generated by the above-described upward flow forming body is dispersed in a spray form to form an upward flow, so that no stress is applied to the transported object (panel, etc.), and the amplitude of the transported object can be reduced. Since no negative pressure is generated, the flying height of the conveyed object can be increased.
上記上昇流形成体は、熱可塑性合成樹脂を射出成形することによって形成されるのが好ましく、熱可塑性合成樹脂としては、ポリフェニレンサルファイド樹脂(PPS)が挙げられる。 The upward flow forming body is preferably formed by injection molding a thermoplastic synthetic resin, and examples of the thermoplastic synthetic resin include polyphenylene sulfide resin (PPS).
以上のように、本発明によれば、被搬送物にストレスを与えることがなく、被搬送物の振幅を小さくでき、さらには負圧の発生がないので被搬送物の浮上量を大きくすることができる非接触搬送装置を提供することができる。 As described above, according to the present invention, it is possible to reduce the amplitude of the conveyed object without applying stress to the conveyed object, and further to increase the flying height of the conveyed object because no negative pressure is generated. It is possible to provide a non-contact conveyance device capable of
次に、本発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。尚、以下の説明においては、搬送用流体として空気を用い、被搬送物として液晶ガラス(以下「ガラス」と略称する。)を搬送する場合を例にとって説明する。 Next, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the following description, an example will be described in which air is used as the transporting fluid and liquid crystal glass (hereinafter abbreviated as “glass”) is transported as an object to be transported.
非接触搬送装置1は、図1に示すように、ガラスGを非接触で搬送するために使用され、2つの搬送工程2及び3用の非接触搬送装置2a及び3aと、これら搬送工程2及び3に挟まれたプロセス工程4用の非接触搬送装置4aとから構成される。 As shown in FIG. 1, the
搬送工程2及び3用の非接触搬送装置2a及び3aは、後述する上昇流形成体6を、搬送レール5に2列にわたって、図1の紙面上で上、下方向に配置して構成され、図1の搬送工程2及び3では、非接触搬送装置2a及び3aをそれぞれ並列に3基配置している。 The non-contact conveyance devices 2a and 3a for the conveyance steps 2 and 3 are configured by arranging the upward
非接触搬送装置1のプロセス工程4用の非接触搬送装置4aは、図2(a)、(b)に示すように、空気の上昇流を発生させる上昇流形成体6と、空気を吸い込む真空吸引用の直径1〜2mm程度の吸引孔7とが搬送レール8の長手方向及び幅方向に沿って交互に複数個配置されて形成されている。 As shown in FIGS. 2A and 2B, the non-contact conveyance device 4a for the
搬送レール8は、図2(b)に示すように、上板9と中板10と下板11からなる3層構造を有している。 As shown in FIG. 2B, the
上板9は、図3(a)に示すように、搬送面としての上面9aに穿設され、該上面9aに開口する平面視円形の開口部9bを有する円筒内壁面部9cと、該円筒内壁面部9cと環状肩部9dを介して拡径し、該上板9の下面9eに開口する拡径円筒内壁面部9fを有する収容孔部9gと、該収容孔部9gと隣接して上板9の上面9aから下面9eに向けて貫通して形成された吸引孔7を、図2に示すように、該上板9の長手方向X及び幅方向Yに沿って交互に複数個備えている。 As shown in FIG. 3 (a), the
図3に戻り、該上板9の収容孔部9gには、例えばポリフェニレンサルファイド樹脂(PPS)等の熱可塑性合成樹脂から形成された上昇流形成体6が装着される。上昇流形成体6は、図9(a)乃至(d)に示すように、上面に開口する平面視円形の開口部6aを有すると共に、該開口部6aに連通する円筒内壁面6bを有する有底の円筒状基体部6cと、該円筒状基体部6cの開口部6aの周縁に径方向外方に張り出す環状鍔部6dと、該環状鍔部6dの外周面6eに該外周面6eの円周方向に沿い、かつ径方向に相対向して下方に伸びる複数個(本実施の形態では4個)の係合垂下部6fと、該係合垂下部6fの下端に外方に突出する係合突起部6gと、円筒状基体部6cの外周面6hから円筒内壁面6bに開口すると共に、先端部6iが該円筒状基体部6cの中心Oに向かう少なくとも1つ(本実施の形態では1つ)の流体噴出孔6jを備えている。 Returning to FIG. 3, the upward
該上昇流形成体6は、図3(b)に示すように、環状鍔部6dの外周面6eを該上板9の収容孔部9gの円筒内壁面部9cに圧入嵌合し、係合垂下部6fの係合突起部6gを該収容孔部9gの環状肩部9dに係合させると共に、該環状鍔部6dの上面6kを該上板9の上面9aと面一にして該収容孔部9gに装着されている。 As shown in FIG. 3 (b), the upward
この上昇流形成体6は、図10(a)及び(b)に示すように、流体噴出孔6jから噴出した空気を円筒状基体部6cの円筒内壁面6bに衝突させ、該空気に円筒内壁面6bの開口部6aの上方に噴霧状に分散する上昇流(図10(a)及び(b)中の矢印)を生じさせ、該上昇流によってガラスGを非接触で搬送する。 As shown in FIGS. 10 (a) and 10 (b), the upward
この上昇流形成体6においては、負圧を生じないので被搬送物であるガラスGの搬送時の浮上量を大きくすることができ、また流体噴出孔6jから噴出した空気は、円筒状基体部6cの円筒内壁面6bに衝突することにより空気の噴出速度が低下せしめられると共に、噴霧状に分散する上昇流となるので、ガラスGにストレスを与えることを極力抑えることができる。 In this upward
中板10は、図4及び図7に示すように、中板10の上面10aに前記上板9に形成された複数個の収容孔部9gにそれぞれ連通する1つの連続した断面半円状の空気供給経路としての空気供給凹溝10bと、一方の端部が該空気供給凹溝10bに開口し、他方の端部が該中板10の下面10cに開口する1つの連通孔10dと、一方の端部が前記上板9に形成された吸引孔7に開口し、他方の端部が該中板10の下面10cに開口する複数個の貫通孔10eとを備えている。 As shown in FIGS. 4 and 7, the
下板11は、図5、図6及び図8に示すように、該下板11の上面11aに前記中板10に形成された複数個の貫通孔10e・・10eの中板10の下面10c側の開口部を長手方向に沿って4つのブロック11b1、11b2、11b3及び11b4に分割(図7及び図8参照)し、分割された各ブロック11b1、11b2、11b3及び11b4に位置する貫通孔10e1、10e2、10e3、10e4の開口部にそれぞれ連通する連続した四つの断面半円状の空気吸引経路としての空気吸引凹溝11c1、11c2、11c3及び11c4と、各ブロック11b1、11b2、11b3及び11b4の空気吸引凹溝11c1、11c2、11c3及び11c4にそれぞれ結合された真空吸引口11d1、11d2、11d3及び11d4と、前記中板10に形成された1つの連通孔10dに結合された空気給気口11eを備えている。 As shown in FIGS. 5, 6 and 8, the
そして、図2(b)に示すように、上板9に形成された複数個の収容孔部9gを中板10の上面10aに開口する1つの連続した断面半円状の空気供給凹溝10bに連通させ、複数個の吸引孔7を中板10の上面10aに開口する複数個の貫通孔10eに連通させて、該上板9を中板10の上面10aに位置せしめ、中板10の下面10cに開口する連通孔10dに下板11に設けられた空気給気口11eを結合させると共に、中板10の下面10cに開口する各ブロック11b1、11b2、11b3及び11b4の貫通孔10e1、10e2、10e3及び10e4に断面半円状の空気吸引凹溝11c1、11c2、11c3及び11c4を連通させると共に、空気吸引凹溝11c1、11c2、11c3及び11c4に真空吸引口11d1、11d2、11d3及び11d4を結合させて、中板10を下板11の上面11aに位置させることにより搬送レール8が形成される。該搬送レール8は、上板9、中板10及び下板11をボルト等の固定手段により締結固定されて形成される。 Then, as shown in FIG. 2B, one continuous cross-sectional semicircular
上記構成からなるプロセス工程4用の非接触搬送装置4aを示す図11において、搬送レール8の空気給気口11eに供給された圧縮空気は、空気給気口11eに連通する連通孔10dを介して搬送レール8の中板10の上面10aに形成された1つの連続した空気供給凹溝10bに供給される。空気供給凹溝10bに供給された圧縮空気は、搬送レール8の上板9に形成された複数個の収容孔部9gに供給され、該収容孔部9gに装着された上昇流形成体6の流体噴出孔6jからそれぞれ噴出して円筒状基体部6c(図3(b)参照)の円筒内壁面6bに衝突し、該円筒内壁面6bの開口部6aの上方に噴霧状に分散する上昇流となり、該上昇流によりガラスGを浮上させると同時に、搬送レール8の上板9の上面9aに開口する吸引孔7において、図8に示すように、各ブロック11b1、11b2、11b3及び11b4の給気吸引凹溝11c1、11c2、11c3及び11c4に結合された真空吸引口11d1、11d2、11d3及び11d4からの吸引が行われ、該上昇流による浮上力と吸引孔における吸引力とのバランスにより、該ガラスGは高精度な平面度を形成して非接触で搬送される。 In FIG. 11 showing the non-contact transfer device 4a for the
上述のように、上記非接触搬送装置4aにおいては、空気吸引経路としての空気吸引凹溝11cは、長手方向Xに沿ってブロック11b1、11b2、11b3及び11b4の4つのブロックに分割され、各ブロック11b1、11b2、11b3及び11b4の空気吸引凹溝11c1、11c2、11c3及び11c4にそれぞれ1つの真空吸引口11d1、11d2、11d3及び11d4が結合されているため、真空吸引口11d1、11d2、11d3及び11d4の開閉操作を空気吸引凹溝11c1、11c2、11c3及び11c4毎に行われるので、真空吸引力が低下することがなく、搬送方向に沿ってブロック毎に真空吸引口11d1、11d2、11d3及び11d4の開閉操作が行われるので、ガラスGの浮上量の変動を極力小さくすることができる。 As described above, in the non-contact transfer device 4a, the air suction groove 11c as the air suction path is divided along the longitudinal direction X into four blocks 11b1, 11b2, 11b3, and 11b4. Since the vacuum suction ports 11d1, 11d2, 11d3, and 11d4 are coupled to the air suction grooves 11c1, 11c2, 11c3, and 11c4 of 11b1, 11b2, 11b3, and 11b4, respectively, the vacuum suction ports 11d1, 11d2, 11d3, and 11d4 Is performed for each of the air suction grooves 11c1, 11c2, 11c3, and 11c4, so that the vacuum suction force is not reduced, and the vacuum suction ports 11d1, 11d2, 11d3, and 11d4 of each block are moved along the transport direction. Since the opening and closing operation is performed, the floating amount of the glass G changes It can be reduced as much as possible.
また、上記非接触搬送装置4aにおける上昇流形成体6においては、負圧を生じないのでガラスGの搬送時の浮上量を大きくすることができ、また流体噴出孔6jから噴出した空気は、円筒状基体部6cの円筒内壁面6bに衝突することにより空気の噴出速度が低下せしめられると共に、噴霧状に分散する上昇流となるので、ガラスGにストレスを与えることを極力抑えることができる。 Further, in the upward
図12(a)、(b)は、上昇流形成体6の他の実施の形態を示すもので、上昇流形成体60は、上面に開口する平面視円形の開口部60aを有すると共に、該開口部60aに連通する円筒内壁面60bを有する有底の円筒状基体部60cと、該円筒状基体部60cの開口部60aに周縁に径方向外方に張り出す環状鍔部60dと、該環状鍔部60dの外周面60eに該外周面60eの円周方向に沿い、かつ径方向に相対向して下方に伸びる複数個(本実施の形態においては4個)の係合垂下部60fと、該係合垂下部60fの下端に外方に突出する係合突起部60gと、該円筒状基体部60cの外周面60hから円筒内壁面60bに開口すると共に、先端部60iを該円筒状基体部60cの中心Oに向かって相対向する2つの流体噴出孔60j及び60jを備えている。 12 (a) and 12 (b) show another embodiment of the
該上昇流形成体60は、図示しないが前記図2(b)あるいは図(b)に示した上昇流形成体6の収容孔部9gへの装着と同様に、環状鍔部60dの外周面60eを該収容孔部9gの円筒内壁面部9cに圧入嵌合し、係合垂下部60fの係合突起部60gを該収容孔部9gの環状肩部9dに係合させると共に、該環状鍔部60dの上面60kを該上板9の上面9aと面一にして該収容孔部9gに装着される。 Although not shown, the upward
この上昇流形成体60は、図12及び図13(a)、(b)に示すように、流体噴出孔60j、60jから噴出した空気を円筒状基体部60cの外周面60hから円筒内壁面60bに開口すると共に、先端部60i、60iが該円筒状基体部60cの中心Oに向かって相対向する流体噴出孔60j、60jから噴出して空気同志を衝突させ、該空気に円筒内壁面60bの開口部60aの上方に噴霧状に分散する上昇流を生じさせるものであり、当該上昇流によってガラスGを非接触で搬送する。 As shown in FIGS. 12 and 13 (a) and 13 (b), the upward
この上昇流形成体60においても、前記した上昇流形成体6と同様に、負圧を発生しないので搬送時のガラスGの浮上量を大きくすることができ、また流体噴出孔60j、60jから噴出した空気は、空気同志が衝突することにより空気の噴出速度を低下させると共に、噴霧状に分散する上昇流となるので、ガラスGにストレスを与えることを極力抑えることができる。 Similarly to the above-described upward
図14(a)、(b)は、前記図1に示す非接触搬送装置1のプロセス工程4用の非接触搬送装置4aにおける搬送レール8の他の実施の形態を示すもので、搬送レール80は、前記搬送レール8と同様、上板90、中板100及び下板110とからなる3層構造を有している。 FIGS. 14A and 14B show another embodiment of the
搬送レール80の上板90は、図15(a)、(b)に示すように、前記搬送レール8の上板9と同様、搬送面としての上面90aに穿設され、該上面90aに開口する平面視円形の開口部90bを有する円筒内壁面部90cと、該円筒内壁面部90cと環状肩部90dを介して拡径し、上板90の下面90eに開口する拡径円筒内壁面部90fを有する収容孔部90gと、該収容孔部90gに隣接して該上板90の上面90aから下面90eに向けて貫通して形成された吸引孔70を、図14に示すように、該上板90の長手方向X及び幅方向Yに沿って交互に複数個備えている。 As shown in FIGS. 15A and 15B, the
該上板90の収容孔部90gには、前記上昇流形成体6が環状鍔部6dの外周面6eを該収容孔部90gの円筒内壁面部90cに圧入嵌合し、係合垂下部6fの係合突起部6gを該収容孔部90gの環状肩部90dに係合させると共に、該環状鍔部6dの上面6kを該上板90の上面90aと面一にして該収容孔部90gに装着される。 In the
中板100は、図16(a)、(b)に示すように、中板100の上面100aに形成された上方に開口する断面半円状の空気供給経路としての空気供給凹溝100bと、該中板100の下面100cに形成された下方に開口する断面半円状の空気吸引経路としての空気吸引凹溝100dを備えている。 As shown in FIGS. 16A and 16B, the
空気供給凹溝100bは、図17に示すように、上昇流形成体6の配置(図14(a))に合わせ、平面視菱形格子状に形成される。空気供給凹溝100bの底部には、図16(b)に示すように、中板100の下面100cに開口する連通孔100eが連通して設けられ、この連通孔100eは、図17に示すように、中板100の全体を通して1つのみが設けられる。空気供給凹溝100bは、図14(b)に示すように、上板90、中板100及び下板110を積層させた際に、上板90の収容孔部90gのそれぞれと連通している。 As shown in FIG. 17, the air supply
空気吸引凹溝100d1、100d2は、図14(b)、図16(a)、(b)、図17及び図18に示すように、上板90に形成された吸引孔70と同径で、一方の端部が中板100の上面100aに開口して形成された複数個の連通孔100fの他方の端部の開口部を該中板100の長手方向に沿って2つのブロック100g、100hに分割し、分割された各ブロック100g、100hに位置する複数個の連通孔100f1・・100f1、・・100f2の開口部をそれぞれ連通して形成されている。 The air suction grooves 100d1, 100d2 have the same diameter as the suction holes 70 formed in the
下板110は、図14(b)に示すように、下板110の上面110aに開口し、かつ前記中板100の空気供給凹溝100bに連通する連通孔100eに開口すると共に、下板110の下面110bに開口する1つの空気給気口110cと、下板110の上面110aに開口し、かつ前記中板100の下面100cに開口して形成された各ブロック100g、100hの空気吸引凹溝100d1、100d2に連通すると共に、下板110の下面110bに開口する真空吸引口110d1(不図示)、110d2を備えている。 As shown in FIG. 14B, the
そして、図14(b)に示すように、上板90に該上板90の長手方向X及び幅方向Yに沿って複数個形成された収容孔部90gのそれぞれに中板100の上面100aに開口する連続した1つの空気供給凹溝100bを連通させ、吸引孔70を中板100の上面100aに開口する複数個の連通孔100fに連通させて該上板90を中板100の上面100aに位置せしめ、中板100に形成された空気供給凹溝100bに連通すると共に、該中板100の下面100cに開口する1つの連通孔100eに下板110に形成された空気給気口110cを結合させ、中板100の下面100cに分割して形成された2つのブロック100g、100hからなる空気吸引凹溝100d1、100d2の各ブロック100g、100hに位置する連通孔100f1、100f2に下板110に形成された真空吸引口110dを結合させて該中板100を下板110の上面110aに位置させることにより搬送レール80が形成される。搬送レール80は、上板90、中板100及び下板110をボルト等の固定手段により締結固定されて形成される。 As shown in FIG. 14B, the
上記構成からなるプロセス工程4用の非接触搬送装置4aを示す図19において、搬送レール80の下板110に設けられた空気給気口110cに供給された圧縮空気は、空気給気口110cに連通する連通孔100eを介して搬送レール80の中板100の上面100aに形成された1つの連続した空気供給経路としての断面半円状の空気供給凹溝100bに供給される。空気供給凹溝100bに供給された圧縮空気は、搬送レール80の上板90に形成された複数個の収容孔部90gに供給され、該収容孔部90gに装着された上昇流形成体6の流体噴出孔6jから噴出し、該流体噴出孔6jから噴出した空気は、図10に示すように、円筒状基体部6cの円筒内壁面6bに衝突して円筒内壁面6bの開口部6aの上方に噴霧状に分散する上昇流を生じ、この上昇流によりガラスGを浮上させると同時に、搬送レール80の上板90の上面90aに開口する吸引孔70において、図18に示すように、搬送レール80の中板100の下面100cに形成された各ブロック100g及び100hの空気吸引凹溝100d1、100d2に結合された真空吸引口110d1(不図示)、110d2からの吸引が行われ、該上昇流形成体6において生じる上昇流による浮上力と吸引孔における吸引力とのバランスにより、ガラスGは高精度な平面度を形成して非接触で搬送される。 In FIG. 19 which shows the non-contact conveyance apparatus 4a for
上記非接触搬送装置4aにおいては、空気吸引凹溝100dは、長手方向Xに沿ってブロック100g、100hの2つのブロックに分割され、各ブロック100g、100hの空気吸引凹溝100d1、100d2にそれぞれ1つの真空吸引口110d1、110d2が結合されているため、真空吸引口110d1、110d2の開閉操作を空気吸引凹溝100d1、100d2毎に行われるので、真空吸引力が低下することがなく、搬送方向に沿ってブロック毎に真空吸引口110d1、110d2の開閉操作が行われるので、ガラスGの浮上量の変動を極力小さくすることができる。 In the non-contact conveying device 4a, the
また、上記非接触搬送装置4aにおける上昇流形成体6においては、負圧を生じないのでガラスGの搬送時の浮上量を大きくすることができ、また流体噴出孔6jから噴出した空気は、円筒状基体部6cの円筒内壁面6bに衝突することにより空気の噴出速度が低下せしめられると共に、噴霧状に分散する上昇流となるので、ガラスGにストレスを与えることを極力抑えることができる。尚、上昇流形成体6として、上昇流形成体60を使用しても同様の作用効果を得ることができる。 Further, in the upward
上述したプロセス工程4に搬送されたガラスGは、上昇流形成体6又は60によって生じる上方に噴霧状に分散する上昇流によって浮上すると共に、各上昇流形成体6又は60間に位置せしめられた吸引孔7又は70で周囲の空気を真空吸引することで、30〜50μmの浮上高さに高精度に制御される。このプロセス工程4では、ガラスGに対する各種検査や加工が行われる。検査や加工が終了したガラスGは、搬送工程3に搬送され、その後、浮上した状態で次工程へ搬送される。 The glass G conveyed to the
以上説明したように、本発明の非接触搬送装置は、搬送レールの搬送面に該搬送レールの長手方向及び幅方向に沿って交互に設けられた複数個の上昇流形成体と吸引孔と、各上昇流形成体に連通する1つの連続した空気供給経路としての空気供給凹溝と該空気供給凹溝に結合された空気給気口と、搬送面に開口する吸引孔の他方の端部の開口部を該搬送レールの長手方向に沿って少なくとも2つのブロックに分割し、分割した各ブロックに位置する吸引孔の開口部にそれぞれ連通する連続した1つの空気供給経路としての空気供給凹溝と該空気吸引凹溝に結合された真空吸引口を備え、空気給気口から供給された圧縮空気は空気供給凹溝を通って上昇流形成体に供給され、上昇流形成体において該上昇流形成体の開口部の上方に噴霧状に分散する上昇流を生じさせ、この上昇流によって被搬送物を浮上させると共に、吸引孔において、空気吸引凹溝を介して真空吸引口からの吸引が行われ、該上昇流形成体において生じる浮上力と吸引孔における吸引力とのバランスにより、被搬送物を高精度な平面度をもって非接触で搬送するものである。 As described above, the non-contact conveyance device of the present invention includes a plurality of upward flow forming bodies and suction holes provided alternately on the conveyance surface of the conveyance rail along the longitudinal direction and the width direction of the conveyance rail, An air supply groove as one continuous air supply path that communicates with each of the upward flow forming bodies, an air supply port coupled to the air supply groove, and the other end of the suction hole that opens to the conveying surface An air supply groove as one continuous air supply path that divides the opening into at least two blocks along the longitudinal direction of the transport rail and communicates with the openings of the suction holes located in each of the divided blocks; A vacuum suction port coupled to the air suction groove is provided, and the compressed air supplied from the air supply port is supplied to the upward flow forming body through the air supply groove, and the upward flow formation in the upward flow formation body Dispersed in spray form above the body opening A rising flow is generated, and the conveyed object is lifted by the rising flow, and suction from the vacuum suction port is performed in the suction hole via the air suction groove, Due to the balance with the suction force in the suction holes, the object to be transported is transported in a non-contact manner with a high degree of flatness.
上記構成からなる本発明の非接触搬送装置によれば、空気吸引凹溝は、長手方向に沿って少なくとも2つのブロックに分割され、各ブロックの空気吸引凹溝にそれぞれ1つの真空吸引口が結合されているため、真空吸引口の開閉操作を空気吸引凹溝毎に行われるので、真空吸引力が低下することがなく、被搬送物の浮上量の変動を極力小さくすることができる。 According to the non-contact conveyance device of the present invention having the above-described configuration, the air suction groove is divided into at least two blocks along the longitudinal direction, and one vacuum suction port is coupled to each of the air suction grooves of each block. Therefore, since the opening / closing operation of the vacuum suction port is performed for each air suction groove, the vacuum suction force is not reduced, and the variation in the floating amount of the conveyed object can be minimized.
また、上記非接触搬送装置における上昇流形成体においては、負圧を生じないので被搬送物の搬送時の浮上量を大きくすることができ、また流体噴出孔から噴出した空気は、空気の噴出速度を低下させると共に、噴霧状に分散する上昇流となるので、被搬送物にストレスを与えることを極力抑えることができる。 Further, in the upward flow forming body in the non-contact conveying device, since no negative pressure is generated, the floating amount during conveyance of the object to be conveyed can be increased, and the air ejected from the fluid ejection hole is a jet of air. Since the speed is reduced and the upward flow is dispersed in a spray state, it is possible to suppress stress on the conveyed object as much as possible.
1 非接触搬送装置
2、3 搬送工程
4 プロセス工程
4a プロセス工程用の非接触搬送装置
6、60 上昇流形成体
7、70 吸引孔
8、80 搬送レール
9、90 上板
10、100 中板
11、110 下板
10b、100b 空気供給凹溝
10e 貫通孔
11c1、11c2、11c3、11c4 空気吸引凹溝DESCRIPTION OF
Claims (3)
上面に開口し、前記上板の各収容孔部に連通する連続した空気供給経路と、一方の端部が該空気供給経路に開口し、他方の端部が下面に開口する連通孔と、該連通孔に隣接し、一方の端部が前記上板の吸引孔に連通し、他方の端部が下面に開口する貫通孔を備えた中板と、
該中板の連通孔に結合された1つの空気供給口と、
上面に開口すると共に前記中板の貫通孔に連通する空気吸引経路と該空気吸引経路に結合された真空吸引口を備えた下板とからなる搬送レールと、
内面に円筒内壁面を有する有底の円筒状基体部と、該円筒状基体部の開口部の周縁に径方向外方に張り出す環状鍔部と、該環状鍔部の外周縁の円周方向に沿い、かつ径方向に相対向して下方に延びる複数個の係合垂下部と、該係合垂下部の下端に外方に突出する係合突起部と、前記円筒状基体部の外周面から円筒内壁面に開口すると共に、先端部が該円筒状基体部の中心に向かう少なくとも1つの流体噴出孔とを備え、前記搬送レールの上板の収容孔部に、前記環状鍔部の外周面を該収容孔部の円筒壁面部に圧入嵌合させ、前記係合垂下部の係合突起部を前記環状肩部に係合させて装着された上昇流形成体とからなり、
前記下板に形成された空気吸引経路は、長手方向に沿って少なくとも2つ以上のブロックに分割され、各ブロックの空気吸引経路にはそれぞれ1つの真空吸引口が結合されることを特徴とする非接触搬送装置。 A cylindrical wall surface portion having a circular opening in a plan view opened on the upper surface, a housing hole portion having a diameter-enlarged cylindrical wall surface portion that expands through the cylindrical wall surface portion and the annular shoulder portion and opens on the lower surface, and the housing hole An upper plate provided with a plurality of suction holes which are formed adjacent to the portion and open in the upper and lower surfaces along the longitudinal direction and the width direction; and
A continuous air supply path that opens to the upper surface and communicates with each accommodation hole of the upper plate, a communication hole that opens at one end to the air supply path, and opens at the other end to the lower surface; An intermediate plate having a through hole adjacent to the communication hole, one end portion communicating with the suction hole of the upper plate, and the other end portion opening on the lower surface;
One air supply port coupled to the communication hole of the intermediate plate;
A transport rail comprising an air suction path that opens to the upper surface and communicates with the through hole of the intermediate plate, and a lower plate that includes a vacuum suction port coupled to the air suction path;
A bottomed cylindrical base portion having a cylindrical inner wall surface on the inner surface, an annular flange projecting radially outward at the peripheral edge of the opening of the cylindrical base portion, and a circumferential direction of the outer peripheral edge of the annular flange portion And a plurality of engaging hanging portions extending downward in opposition to each other in the radial direction, engaging protrusions projecting outward at the lower ends of the engaging hanging portions, and an outer peripheral surface of the cylindrical base portion And at least one fluid ejection hole whose opening is directed to the center of the cylindrical base body, and the outer peripheral surface of the annular flange is formed in the accommodation hole of the upper plate of the transport rail. And an upward flow forming body mounted by engaging the engagement protrusion of the engagement hanging portion with the annular shoulder ,
The air suction path formed in the lower plate is divided into at least two blocks along the longitudinal direction, and one vacuum suction port is coupled to the air suction path of each block. Non-contact transfer device.
上面に開口し前記上板の収容孔部に連通する連続した空気供給経路と、一方の端部が該空気供給経路に開口し、他方の端部が下面に開口する1つの連通孔と、一方の端部が前記上板の吸引孔に開口し、他方の端部が下面に開口する空気吸引経路に開口する連通孔を備えた中板と、
該中板の前記1つの連通孔に開口する空気供給口と、前記中板の空気吸引経路に結合された真空吸引口を備えた下板とからなる搬送レールと、
内面に円筒内壁面を有する有底の円筒状基体部と、該円筒状基体部の開口部の周縁に径方向外方に張り出す環状鍔部と、該環状鍔部の外周縁の円周方向に沿い、かつ径方向に相対向して下方に延びる複数個の係合垂下部と、該係合垂下部の下端に外方に突出する係合突起部と、前記円筒状基体部の外周面から円筒内壁面に開口すると共に、先端部が該円筒状基体部の中心に向かう少なくとも1つの流体噴出孔とを備え、前記搬送レールの上板の収容孔部に、前記環状鍔部の外周面を該収容孔部の円筒壁面部に圧入嵌合させ、前記係合垂下部の係合突起部を前記環状肩部に係合させて装着された上昇流形成体とからなり、
前記中板に形成された空気吸引経路は、長手方向に沿って少なくとも2つ以上のブロックに分割され、各ブロックの空気吸引経路にはそれぞれ1つの真空吸引口が結合されていることを特徴とする非接触搬送装置。 A cylindrical wall surface portion having a circular opening in a plan view opened on the upper surface, a housing hole portion having a diameter-enlarged cylindrical wall surface portion that expands through the cylindrical wall surface portion and the annular shoulder portion and opens on the lower surface, and the housing hole An upper plate provided with a plurality of suction holes which are formed adjacent to the portion and open in the upper and lower surfaces along the longitudinal direction and the width direction; and
A continuous air supply path that opens to the upper surface and communicates with the accommodation hole portion of the upper plate, and one communication hole that opens to the air supply path at one end and opens to the lower surface at the other end; An intermediate plate provided with a communication hole that opens to the suction hole of the upper plate and the other end portion opens to the air suction path that opens to the lower surface;
A transport rail comprising an air supply port that opens to the one communication hole of the intermediate plate, and a lower plate that includes a vacuum suction port coupled to an air suction path of the intermediate plate;
A bottomed cylindrical base portion having a cylindrical inner wall surface on the inner surface, an annular flange projecting radially outward at the peripheral edge of the opening of the cylindrical base portion, and a circumferential direction of the outer peripheral edge of the annular flange portion And a plurality of engaging hanging portions extending downward in opposition to each other in the radial direction, engaging protrusions projecting outward at the lower ends of the engaging hanging portions, and an outer peripheral surface of the cylindrical base portion And at least one fluid ejection hole whose opening is directed to the center of the cylindrical base body, and the outer peripheral surface of the annular flange is formed in the accommodation hole of the upper plate of the transport rail. And an upward flow forming body mounted by engaging the engagement protrusion of the engagement hanging portion with the annular shoulder ,
The air suction path formed in the intermediate plate is divided into at least two or more blocks along the longitudinal direction, and one vacuum suction port is coupled to the air suction path of each block. Non-contact transfer device.
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