JP5810445B2 - 多孔質体および濾過フィルタの製造方法 - Google Patents
多孔質体および濾過フィルタの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5810445B2 JP5810445B2 JP2011192410A JP2011192410A JP5810445B2 JP 5810445 B2 JP5810445 B2 JP 5810445B2 JP 2011192410 A JP2011192410 A JP 2011192410A JP 2011192410 A JP2011192410 A JP 2011192410A JP 5810445 B2 JP5810445 B2 JP 5810445B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oxide film
- film
- porous body
- filtration
- micropores
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Description
図1に、本発明に係る濾過フィルタを製造する際に使用する多孔質体を示す。後で詳細に説明するが、本発明に係る濾過フィルタは、図1(A)〜(C)に示されているいずれかの多孔質体に酸化膜を成膜することにより製造される。
続いて図2を参照しつつ、多孔質体として図1(A)に示すチューブ型の円柱状濾過膜1Aを用いる場合の、本発明に係る濾過フィルタの製造方法および酸化膜を成膜する際に使用する成膜装置10Aについて説明する。
図5に、チューブ型の円柱状濾過膜1Aに酸化膜を成膜してなる濾過フィルタ3を用いた濾過装置4を示す。本発明に係る濾過装置4は、光照射手段5を備えている点において従来から存在している濾過装置2Aと異なっている(図8(A)参照)。光照射手段5は、例えば、紫外波長の光を照射可能な発光ダイオードからなる。光照射手段5は、濾過フィルタ3の方に向けられ、少なくとも酸化膜が成膜されている面に紫外光を照射する。
図6は、成膜装置10Cを用いてメソポーラス基板1Cの一表面にミストCVD法により酸化ガリウム膜を成膜させた結果を示すSEM画像である。同図(A)に示すように、酸化ガリウム膜を成膜する前の微細孔の径は約200nmであったが、酸化ガリウム膜を成膜した後においては、同図(B)に示すように、微細孔の径が一様に小さくなっていた。つまり、ミストCVD法のような成膜技術を用いて酸化膜を成膜することにより、図7に示すように、成膜前の微細孔の開口形状および面内分布を維持しながら、径を一様に小さくすることが確認できた。
1C メソポーラス基板(多孔質体)
2A、2B 濾過装置
3 濾過フィルタ
4 濾過装置
5 光照射手段
10A、10B、10C 成膜装置
11 空気源
12 流量調節弁
13 ミスト発生源
14 容器
15 超音波振動子
16 成膜室
17 ヒータ
18 ミスト導入機構
19 排気機構
Claims (8)
- 複数の微細孔を有する多孔質体を製造する方法において、酸化膜を、成膜室を減圧したり、または成膜室を不活性ガスで満たしたりせずに、ミストCVD法で成膜し、前記酸化膜により、前記微細孔の開口形状および面内分布を維持しながら、前記微細孔の径を一様に小さくすることを特徴とする多孔質体の製造方法。
- 複数の微細孔を有する多孔質体と、酸化膜とを備えた濾過フィルタを製造する方法であって、前記酸化膜を、成膜室を減圧したり、または成膜室を不活性ガスで満たしたりせずに、ミストCVD法で成膜し、前記酸化膜により、前記微細孔の開口形状および面内分布を維持しながら、前記微細孔の径を一様に小さくすることを特徴とする濾過フィルタの製造方法。
- 前記酸化膜が、チタン、ガリウム、鉄、クロム、アルミニウム、マグネシウム、ジルコニウム、インジウム、スズ、バナジウムまたはシリコンの単一組成酸化膜またはこれらの混晶酸化膜であることを特徴とする請求項2記載の濾過フィルタの製造方法。
- 前記多孔質体が、軸方向に貫通する少なくとも1つの中空空間を有する円柱状フィルタであることを特徴とする請求項2または3に記載の濾過フィルタの製造方法。
- 前記多孔質体が、厚さ方向に貫通する前記微細孔が面内に配列されたメソポーラス基板であることを特徴とする請求項2または3に記載の濾過フィルタの製造方法。
- 複数の微細孔を有する多孔質体が配置された成膜室を昇温する昇温工程と、
溶液を振動させてミストを発生させるミスト発生工程と、
前記ミストを昇温後の前記成膜室内に導入し、成膜室を減圧したり、または成膜室を不活性ガスで満たしたりせずに、前記多孔質体においてCVD反応を起こさせ、前記多孔質体に酸化膜を成膜する成膜工程と、
を含むことを特徴とする濾過フィルタの製造方法。 - 前記酸化膜が、チタン、ガリウム、鉄、クロム、アルミニウム、マグネシウム、ジルコニウム、インジウム、スズ、バナジウムまたはシリコンの単一組成酸化膜またはこれらの混晶酸化膜であることを特徴とする請求項6に記載の製造方法。
- 前記多孔質体が、軸方向に貫通する少なくとも1つの中空空間を有する円柱状フィルタであることを特徴とする請求項6または7に記載の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011192410A JP5810445B2 (ja) | 2010-09-03 | 2011-09-05 | 多孔質体および濾過フィルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010197442 | 2010-09-03 | ||
JP2010197442 | 2010-09-03 | ||
JP2011192410A JP5810445B2 (ja) | 2010-09-03 | 2011-09-05 | 多孔質体および濾過フィルタの製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012071301A JP2012071301A (ja) | 2012-04-12 |
JP2012071301A5 JP2012071301A5 (ja) | 2014-10-23 |
JP5810445B2 true JP5810445B2 (ja) | 2015-11-11 |
Family
ID=46167684
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011192410A Active JP5810445B2 (ja) | 2010-09-03 | 2011-09-05 | 多孔質体および濾過フィルタの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5810445B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10927430B2 (en) | 2014-12-26 | 2021-02-23 | Jfe Steel Corporation | Material for laminated iron core, and method of manufacturing laminated iron core |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5397794B1 (ja) | 2013-06-04 | 2014-01-22 | Roca株式会社 | 酸化物結晶薄膜の製造方法 |
JP6233959B2 (ja) * | 2013-10-10 | 2017-11-22 | 株式会社Flosfia | 酸化物結晶薄膜の製造方法 |
JP7011119B2 (ja) * | 2017-02-21 | 2022-02-10 | 株式会社 京都モノテック | モノリスフィルタとそれを利用した固体分離装置、および、そのモノリスフィルタ製造方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59102403A (ja) * | 1982-12-01 | 1984-06-13 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 多孔質隔膜の製造方法 |
JP2002066278A (ja) * | 2000-08-31 | 2002-03-05 | Japan Science & Technology Corp | 二酸化チタン多孔性膜とそれを用いた水処理方法および水処理装置 |
JP2007203241A (ja) * | 2006-02-03 | 2007-08-16 | Tottori Univ | 分離膜及びその製造方法並びに物質の分離方法 |
JP4371427B2 (ja) * | 2007-03-29 | 2009-11-25 | 株式会社ノリタケカンパニーリミテド | 水素ガス分離材製造方法 |
US20090107330A1 (en) * | 2007-10-30 | 2009-04-30 | Yunfeng Gu | Amorphous silica hybrid membrane structure |
-
2011
- 2011-09-05 JP JP2011192410A patent/JP5810445B2/ja active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10927430B2 (en) | 2014-12-26 | 2021-02-23 | Jfe Steel Corporation | Material for laminated iron core, and method of manufacturing laminated iron core |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012071301A (ja) | 2012-04-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5810445B2 (ja) | 多孔質体および濾過フィルタの製造方法 | |
JP6523516B2 (ja) | ゼオライト膜の再生方法 | |
EP3007808B1 (fr) | Procédé de fabrication de membranes de filtration par technique additive et membranes obtenues | |
US10124299B2 (en) | Membrane based on graphene and method of manufacturing same | |
EP2061597B1 (en) | Method and apparatus for membrane deposition | |
KR101749941B1 (ko) | 소결 결합된 다공성 금속 코팅 | |
TW201113223A (en) | Water treatment apparatus and water treatment method | |
US20150196879A1 (en) | Porous metal membrane produced by means of noble gas ion bombardment | |
Singha et al. | Structures, properties, and performances—Relationships of polymeric membranes for pervaporative desalination | |
JP2006239663A (ja) | 水素ガス分離膜の製造方法 | |
Mostafavi et al. | Advances in surface modification and functionalization for tailoring the characteristics of thin films and membranes via chemical vapor deposition techniques | |
JP2004532095A (ja) | フィルタ体 | |
Teow et al. | Principles of nanofiltration membrane processes | |
KR20140006188A (ko) | 이산화티타늄 나노구조체가 결합된 분리막 및 그 제조방법 | |
WO2020052679A1 (en) | Gravity-driven chitosan-enhanced melamine sponge for stable ultrafast filtration | |
KR101993448B1 (ko) | 수처리용 다공성 세라믹 분리막 및 이의 제조방법 | |
US20100038809A1 (en) | Apparatus and method of producing porous membranes | |
JP6294107B2 (ja) | 多孔性光触媒体の製造方法および多孔性光触媒体 | |
JP2012036061A (ja) | ナノカーボン膜の製造方法及びナノカーボン膜 | |
KR101244695B1 (ko) | 초임계 유체를 이용한 금속 나노 입자가 코팅된 분리막의 제조방법 | |
CN110719808B (zh) | 脱水方法及脱水装置 | |
RU2411069C1 (ru) | Способ модификации пористой структуры неорганической мембраны углеродным наноматериалом | |
JP2005015261A (ja) | 自己発熱型無機多孔質膜 | |
KR101328830B1 (ko) | 다공성 금속 중공사 여과재 | |
JP2010017606A (ja) | ゼオライト分離膜の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20140806 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140904 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140904 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150430 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150526 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150715 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150825 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150827 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5810445 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |