JP5796639B2 - 弾性境界波装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
2…第1の電極層
3…第1の誘電体層
4…第2の電極層
5…第2の誘電体層
6…弾性境界波装置
Claims (2)
- 圧電体と、
前記圧電体上に形成されており少なくともIDT電極を形成している第1の電極層と、
前記第1の電極層上に部分的に積層された第2の電極層とを備え、
前記第1の電極層が、IDT電極構成部分と、前記IDT電極構成部分に連なる配線電極構成部分に至るように形成されており、前記第2の電極層が前記配線電極構成部分において前記第1の電極層に積層されており、
前記IDT電極を覆い、前記配線電極構成部分を覆わないように設けられている第1の誘電体層と、
前記第1の誘電体層上に積層された第2の誘電体層とをさらに備え、
前記第2の電極層が、前記配線電極構成部分から該配線電極構成部分に近い側の前記第1の誘電体層の端部の上面に至るように形成されており、
前記IDT電極が、第1及び第2のバスバーと、第1のバスバーに接続された複数本の第1の電極指と、第2のバスバーに接続されている複数本の第2の電極指とを有し、複数本の第1の電極指と複数本の第2の電極指とが互いに間挿し合っている部分が電極指交叉部を構成しており、
前記第2の電極層の前記第1の誘電体層上に至っている部分が、前記IDT電極の前記電極指交叉部の上方には至らず、前記第1または第2のバスバーの上方部分に至っている、弾性境界波装置。 - 請求項1に記載の弾性境界波装置の製造方法であって、
上面にIDT電極構成部分と配線電極構成部分とを含む領域において第1の電極層が形成されている圧電体を用意する工程と、
前記第1の電極層上に、IDT電極構成部分の上方に第1の誘電体層を形成する工程と、
前記第1の誘電体層の形成後に、第2の電極層を、前記配線電極構成部分から前記第1の誘電体層の上面の一部に至るように形成する工程と、
前記第1の誘電体層をエッチングすることにより周波数調整を行う工程と、
前記周波数調整後に、前記第1の誘電体層を覆うように第2の誘電体層を形成する工程とを備え、
前記IDT電極が、第1,第2のバスバーと、第1のバスバーに接続されている複数本の電極指と、第2のバスバーに接続されている複数本の電極指とを有し、複数本の第1の電極指と複数本の第2の電極指とが互いに間挿し合っている電極指交叉部を有するようにIDT電極が形成されており、前記第2の電極層の形成に際し、前記第2の電極層の前記第1の誘電体層上に至っている部分が、前記電極指交叉部の上方には至らず、前記第1または第2のバスバーの上方に至るように前記第2の電極層を形成する、弾性境界波装置の製造方法。
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