JP5795520B2 - 金属薄膜材料および金属薄膜の成膜方法 - Google Patents
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特に、半導体デバイスの配線では、バリア層、ライナー層、シード層といった様々な金属薄膜の多層膜が導入されるようになり、これらの金属薄膜はスパッタリングを用いた物理的成膜手法によって形成されてきた。
したがって、段差被覆性に劣るスパッタリングを用いて、高アスペクト比のトレンチやビア等に薄膜を形成すると、ボイド形成やバリア膜破れなどが所持手、信頼性劣化に繋がるという問題が生じていた。
すなわち、請求項1に係る発明は、下記化学式(1)で示される環状炭化水素を含み、炭素、窒素、水素ならびに金属元素のみからなり、酸素を含まない構造であることを特徴とする金属薄膜材料である。
本実施形態の金属薄膜材料は、上記化学式(1)で示される環状炭化水素を含み、炭素、窒素、水素ならびに金属元素のみからなり、酸素を含まない構造となっている。ただし、上記化学式(1)において、mは2以上の整数であり、R1およびR2は、いずれも水素またはCnH2n+1(nは自然数)で表される炭化水素である。
なお、金属薄膜材料は酸素を含むと、低効率が増大するとともに、下層の膜ならびに上層の膜との密着性が悪くなるといった弊害が生じることから、本実施形態の金属薄膜材料は、酸素を含まないように構成となっている。
また、本実施形態の金属薄膜材料は、含有炭素原子数を減少させることができ、蒸気圧を向上させることができる。これにより、単位時間当たりの有機金属の供給量を増大させるとともに、配管へ吸着した原料を効率よくパージすることができ、単位時間当たりの成膜量を増大させることができる。
加えて、配管内への吸着による配管の閉塞ならびにパージ時のデガスを防ぐことができる。
次に、上記した金属薄膜材料を用いた金属薄膜の成膜方法について説明する。
本実施形態の金属薄膜の成膜方法に用いる成膜装置1は、減圧可能な真空チャンバー2と、有機金属化合物である金属薄膜材料を搬送可能な原料搬送手段3と、反応性ガスを搬送可能な反応性ガス搬送手段4と、を有している。
また、真空チャンバー2には、ガス噴出部8が設けられており、このガス噴出部8に、原料搬送手段3と反応性ガス搬送手段4が接続されている。
そして、配管10を介してヘリウムなどの不活性ガスや水素を原料貯液槽9に導入すると、金属薄膜材料が同伴されて配管21から導出される。
本実施形態の金属薄膜の成膜方法は、原料搬送工程と、反応性ガス搬送工程とを有しており、まずこれらについて説明する。
金属薄膜材料は、常温で気体状であればそのまま用いることができ、液体状のものであれば、ヘリウムなどの不活性ガスを用いたバブリングによる気化、気化器による気化、または加熱による気化によってガス化して用いればよい。また、ヘリウムなどをキャリアガスとして、金属薄膜材料と併せて用いてもよい。
そして、真空チャンバー2内に導入された金属薄膜材料は、図示略のヒーターによって加熱された基板6上に搬送される。
以上のようにして、金属薄膜材料は、真空チャンバー2内に載置された基板6上に搬送される。
反応性ガスとしては、種々のものを用いることができるが、炭素原子、窒素原子、水素原子、ケイ素原子、リン原子、ホウ素原子および金属原子から選択される1または2以上の原子のみからなることが好ましい。このような材料を選択することで、成膜された金属薄膜にハロゲンや酸素が含まれるのを防止することができ、膜質の低下を防止することができる。
なお、反応性ガスは、他の不活性ガスを用いて希釈させることもできる。
そして、真空チャンバー2内に導入された反応性ガスは、図示略のヒーターによって加熱された基板6上に搬送される。
本実施形態の金属薄膜の成膜方法は、ALD法による成膜方法である。したがって、ヒーターによって加熱された基板6上に金属薄膜材料を搬送し、基板6上において金属薄膜材料を飽和吸着させた状態で、金属薄膜材料の供給を止め、その後基板6上に反応性ガスを供給することで、金属薄膜材料を基板6上に成膜する。この工程を1サイクルとして、基板6上に所望の膜厚の金属薄膜が成膜されるまで、当該サイクルを複数回行う。
このようなパージ工程を有することで、より精度よく金属薄膜を成膜することができる。
以上のようにして、原料搬送工程と反応性ガス搬送工程を交互に行うことで、基板6上に金属薄膜が成膜される。
このような減圧下で成膜することによって、成膜された金属薄膜の段差被覆性がよりよくなる。
たとえば上記実施形態では、ALD法による金属薄膜の成膜方法について説明したが、これに限定されず、一般的なCVD法によって成膜しても構わない。その際は、金属薄膜材料と同時に反応ガスを供給するようにしても構わない。
実施例1では、図1に示した金属薄膜の成膜装置を用い、金属薄膜材料として下記化学式(2)に示すものを用い、パージ材料としてヘリウムを用いて、金属薄膜を成膜した。
そして、金属薄膜材料を基板表面に吸着させた後、ヘリウムをパージ材料として1秒間流通させ、その後、100sccmのアンモニアを基板表面に1秒間搬送した。
このようにして、金属薄膜材料の搬送、パージ材料の流通、アンモニアの搬送、パージ材料の流通の工程を1サイクルとして、2000サイクル、時間にして133分間繰り返してコバルト膜からなる金属薄膜を成膜した。
実施例2でも同様に、図1に示した金属薄膜の成膜装置を用い、金属薄膜材料として下記化学式(3)に示すものを用い、パージ材料としてヘリウムを用いて、金属薄膜を成膜した。
そして、金属薄膜材料を基板表面に吸着させた後、ヘリウムをパージ材料として1秒間流通させ、その後、100sccmのアンモニアを基板表面に1秒間搬送した。
このようにして、金属薄膜材料の搬送、パージ材料の流通、アンモニアの搬送、パージ材料の流通の工程を1サイクルとして、2000サイクル、時間にして133分間繰り返してコバルト膜からなる金属薄膜を成膜した。
比較例では、実施例と同様な装置を用い、金属薄膜材料として下記化学式(4)に示すものを用い、パージ材料としてヘリウムを用いて、金属薄膜を成膜した。
そして、金属薄膜材料を基板表面に吸着させた後、ヘリウムをパージ材料として5秒間流通させ、その後、100sccmのアンモニアを基板表面に1秒間搬送した。
このようにして、金属薄膜材料の搬送、パージ材料の流通、アンモニアの搬送、パージ材料の流通の工程を1サイクルとして、2000サイクル、時間にして400分間繰繰り返してコバルト膜からなる金属薄膜を成膜した。
Claims (3)
- 請求項1に記載の金属薄膜材料の蒸気を基板表面に搬送し、
窒素を含有する反応性ガスを、前記金属薄膜材料の蒸気と同時または順次に基板表面に供給することを特徴とする金属薄膜の成膜方法。 - 前記反応性ガスが、アンモニア、ヒドラジン、モノメチルヒドラジン、ジメチルヒドラジン、ジフェニルヒドラジンのうち、少なくとも一つを含むガスであることを特徴とする請求項2に記載の金属薄膜の成膜方法。
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