JP5793723B2 - 薄膜蛍光体及びその成膜方法 - Google Patents
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しかしながら、粉末状の蛍光体を用いて薄膜を得ようとすると、粉末をペースト状にして結着剤を添加し、基板に塗布して薄膜とする必要があった。従って、この方法によって形成された薄膜は、密着性に欠けるため剥離し易いという問題があった。
しかし、酸化亜鉛結晶を微細化するために成膜時の投入電力を高め、且つ成膜条件を最適化する必要があり、微細な結晶を得ることは容易ではなかった。そのため、高輝度且つ高い発光効率を有する薄膜蛍光体を得ることは困難であった。
請求項2に係る発明は、前記酸化亜鉛結晶からなる基本結晶に四価イオン原子、三価イオン原子、二価イオン原子、一価イオン原子、リンから選択される少なくとも1種を添加することを特徴とする請求項1記載の薄膜蛍光体に関する。
請求項3に係る発明は、前記還元性雰囲気は水素及び窒素の混合気体であることを特徴とする請求項1又は2記載の薄膜蛍光体に関する。
本発明に係る成膜方法は、ZnO、Y2O3、SrTiO3等の酸化物系、ZnS、SrGa2S4等の硫化物系、Y2O2S等の酸硫化物系、CaSiAlON等の酸窒化物系、AlN等の窒化物系等の蛍光体の薄膜を形成することができる。
また溶液法により薄膜を形成する場合、蛍光体となる化合物をペースト状あるいは水溶液として基板に塗布することで成膜される。
成膜装置(1)は、成膜室(2)を備えており、成膜室(2)内には薄膜が形成される基板(3)と、この基板を保持する基板支持台(4)が配設されており、基板支持台(4)には基板(3)を加熱するためのヒーター(5)が内蔵されている。更に基板(3)に対向してターゲット(6)が設置される。基板支持台(4)には、マッチングボックス(7)を介して高周波電源(8)が連結されており、またターゲット(6)を支持する電極(9)にもマッチングボックス(7)を介して高周波電源(8)が連結されている。
また、スパッタガスを成膜室(2)内に導入するための気体導入路(10)が連結されており、この気体導入路(10)にはスパッタガスの流量を計測する流量計(図示せず)が備えられている。
成膜時に成膜室(2)内の圧力をするために、圧力調整バルブ(11)を介してターボ分子ポンプ(12)とロータリーポンプ(13)とが成膜室(2)と連結されている。
尚、成膜室(2)内に導入される原料ガスの流量は適宜調節される。
四価イオン原子としてはケイ素等、三価イオン原子としてはランタノイド、セリウム、アルミニウム、ガリウム、インジウム、ホウ素等、二価イオン原子としてはユーロピウム、カルシウム、マグネシウム等、一価イオン原子としては水素、リチウム、ナトリウム、カリウム等が例示でき、いずれの元素を添加しても効果的に発光色を変化させることができる。
例えば、酸化亜鉛の場合、5%の水素及び窒素の混合気体中において、550℃を超えて熱処理を施すと、薄膜がエッチングされる虞があるため、この場合の薄膜がエッチングされない温度は550℃以下となる。
酸化亜鉛のような酸化物を還元雰囲気で熱処理する場合、水素及び窒素の混合気体を用いることが好ましいが、硫化物、窒化物等の場合は、その化合物に応じて気体を選択して還元雰囲気とすることが望ましい。
これによって、薄膜蛍光体の発光効率が向上し、輝度が増加することとなる。
例えば、薄膜を形成する結晶が酸化亜鉛である場合、六角柱形状もしくは六角柱以上の多角柱形状(例えば十二角柱形状)、あるいはこれらが混在したものとなる。成膜時の圧力が高い場合、六角柱形状と六角柱以上の多角柱形状が混在した結晶からなる薄膜となる。
但し、本発明は下記実施例には限定されない。
成膜時の圧力を、ベース真空度(2×10−5Pa)(表1参照)に対して1、2、3、7、10Paの圧力条件において、図1に示す装置を使用して、下記(表1)に示す条件で、高周波マグネトロンスパッタ法を用いて夫々成膜し、特性評価を行った。尚、成膜速度を1Paにおいては10nm/min、2、3、7Paにおいては5nm/min、10Paにおいては3nm/minとし、膜厚は500nmとした。
熱処理した薄膜の発光特性を測定するために、フォトルミネッセンス測定(以下、PL測定)を行った。He−Cdレーザーを励起レーザーとし、照度127mW/cm2、照射時間0.2秒とした。
熱処理した薄膜の発光特性を測定するために、カソードルミネッセンス測定(以下、CL測定)を行った。励起条件を10kV、電流密度1mA/cm2とした。
図3において、500nm付近に見られるピークは青−緑の色(波長域)である。夫々の膜において、500nm付近の青−緑に由来するピークが顕著であることがわかる。(図3参照)。
また、発光強度が増加し、18100Cd/m2という高い輝度を有することが確認された(図4及び図5参照)。
2 成膜室
3 基板
4 基板支持台
5 ヒーター
6 ターゲット
7 マッチングボックス
8 高周波電源
9 電極
10 気体導入路
11 圧力調整バルブ
12 ターボ分子ポンプ
13 ロータリーポンプ
Claims (5)
- 酸化亜鉛結晶を基本結晶とする薄膜と、
前記薄膜に還元性雰囲気のもと、この膜がエッチングされない温度で加熱することにより、前記薄膜上に結晶を再成長させた自己触媒性の多角柱状ナノ構造体を有することを特徴とする薄膜蛍光体。 - 前記酸化亜鉛結晶からなる基本結晶に四価イオン原子、三価イオン原子、二価イオン原子、一価イオン原子、リンから選択される少なくとも1種を添加することを特徴とする請求項1記載の薄膜蛍光体。
- 前記還元性雰囲気は水素及び窒素の混合気体であることを特徴とする請求項1又は2記載の薄膜蛍光体。
- 物理気相成長法、化学気相成長法、溶液法のいずれかの方法により酸化亜鉛結晶を基本とする薄膜を形成する工程と、
前記薄膜に対し、還元性雰囲気においてこの膜がエッチングされない温度で熱処理を施す工程と、を備えることを特徴とする薄膜蛍光体の成膜方法。 - 前記酸化亜鉛結晶からなる基本結晶に四価イオン原子、三価イオン原子、二価イオン原子、一価イオン原子、リンから選択される少なくとも1種を添加することを特徴とする請求項4記載の成膜方法。
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