JP5785197B2 - 合焦対物レンズの可動な重量相殺サスペンションのための装置を具備するレーザシステム - Google Patents
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Description
好ましくはパルスレーザ照射のレーザ照射源と、
光軸を有し、レーザ照射の焦点を合わせるための合焦対物レンズと、
レーザ照射を用いた作業が行われる対象上に設置されるためのレーザ照射に透明な接触部を備え、合焦対物レンズの照射口側に配置され、好ましくは分離可能に連結されたインターフェースユニットと、
合焦対物レンズの可動な重量相殺サスペンションのための、特に、上記タイプのサスペンション装置とを具備し、該装置は、2つのロッカーアームを有し、レーザシステムのロッカー軸まわりに旋回されることができるようにハウジング部材に支持されたロッカーを備え、合焦対物レンズは、ロッカー軸に平行な回転軸まわりに、ロッカーに対して回転可能なようにロッカーアームの一方に支持され、他方のロッカーアームには、合焦対物レンズの重量の少なくとも主な部分を相殺する反力成分を生じる釣り合いおもりが取り付けられ、前記装置は、さらに合焦対物レンズをその光軸に沿って直線的に移動誘導する誘導装置を備えたものである。
Claims (12)
- レーザシステム(10)であって、
レーザ照射の照射源と、
光軸(O)を有し、前記レーザ照射の焦点を合わせるための合焦対物レンズ(12)と、
前記レーザ照射を用いた作業が行われる対象上に設置されるための前記レーザ照射に透明な接触部を備え、前記合焦対物レンズの照射口側に配置されたインターフェースユニットと、
前記合焦対物レンズの可動な重量相殺サスペンションのための装置とを具備し、該装置は、2つのロッカーアームを有し、ロッカー軸(X)まわりに旋回されることができるように前記レーザシステムの支持部に支持されたロッカーと、前記合焦対物レンズの重量を相殺する反力成分を発生するための力発生装置とを備え、前記合焦対物レンズは、前記ロッカー軸に平行な回転軸まわりに前記ロッカーに対して回転可能なように、前記ロッカーアームの一つに支持され、前記力発生装置は、前記合焦対物レンズの重量の少なくとも主な部分を相殺するために質量が用いられる釣り合いおもり(16)を含み、他方の前記ロッカーアームで作用し、前記合焦対物レンズの可動な重量相殺サスペンションのための装置は、さらに前記合焦対物レンズをその前記光軸に沿って直線的に移動誘導する誘導装置を備え、該誘導装置は、前記合焦対物レンズの上下方向への補償動作を行う際に、前記合焦対物レンズの前記光軸が、空間におけるその向き及びその位置を維持するように前記合焦対物レンズを誘導するものであることを特徴とするレーザシステム。 - 前記レーザ照射がパルスレーザ照射であることを特徴とする請求項1に記載のレーザシステム。
- 前記インターフェースユニットは、前記合焦対物レンズに分離可能に連結されたものであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のレーザシステム。
- 前記他方のロッカーアームにおける前記力発生装置の少なくとも一つの着力点が、前記ロッカー軸からの距離について調節されることができるものであることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のレーザシステム。
- 前記力発生装置は、前記釣り合いおもりに加えて、少なくとも一つの弾性部材を含むものであることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のレーザシステム。
- 前記釣り合いおもりは、単一の、不可分の釣り合いおもり部材からなるものであることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載のレーザシステム。
- 前記釣り合いおもりは、少なくとも二つの、独立した釣り合いおもり部材からなるものであることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載のレーザシステム。
- 複数の独立した前記釣り合いおもり部材は、変更可能な数で前記他方のロッカーアームに連結することができるものであることを特徴とする請求項7に記載のレーザシステム。
- 複数の独立した前記釣り合いおもり部材は、お互いに対して変更可能な位置で、他方の前記ロッカーアームに連結できるものであることを特徴とする請求項7又は請求項8に記載のレーザシステム。
- 複数の独立した前記釣り合いおもり部材は、全体として一つのおもりに結合されることができるものであることを特徴とする請求項7から請求項9のいずれか1項に記載のレーザシステム。
- 前記合焦対物レンズは、前記ロッカー軸からの距離を変化させることができるように、前記ロッカーに支持されるものであることを特徴とする請求項1から請求項10のいずれか1項に記載のレーザシステム。
- 前記誘導装置が、前記合焦対物レンズの上下方向への前記補償動作の際に、前記合焦対物レンズが前記光軸に対して横方向に移動することを防ぐ誘導構造を有するものであることを特徴とする請求項1から請求項11のいずれか1項に記載のレーザシステム。
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