JP5784406B2 - Inspection method for processed products - Google Patents

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本発明は、加工によって発生するバリや加工品に載っている異物を検出する加工品の検査方法およびその関連技術に関する。   The present invention relates to a method for inspecting a processed product for detecting burrs generated by processing and foreign matters placed on the processed product, and related techniques.

加工品の検査方法の一つに、加工品を撮影し、画像解析によってバリ等の加工欠陥を検出する方法がある(特許文献1、2参照)。   As one of inspection methods for processed products, there is a method of photographing processed products and detecting processing defects such as burrs by image analysis (see Patent Documents 1 and 2).

特許文献1に記載されているのは加工端面に発生するバリ等の突起物を検査する方法であり、面加工端面を異なる角度から複数台のカメラで撮影してこれらの画像比較によって突起物の有無を検出するというものである。   Patent Document 1 describes a method for inspecting protrusions such as burrs generated on a processed end face. The surface processed end face is photographed by a plurality of cameras from different angles, and the projections are compared by comparing these images. The presence or absence is detected.

特許文献2に記載されているのは、検査対象位置であるガラス製カラーフィルターにエアを吹き当て、吹き当て前と後の画像を比較してダストと溶着した異物とを識別する検査方法である。この検査方法によれば、エア吹き当て前の画像で検出した異物候補のうち、エア吹き当て後の存在しないものはエアによって吹き飛ばされたダストであって異物ではないと判定され、エア吹き当て後にも存在するものが溶着した異物であると判定される。   Patent Document 2 describes an inspection method in which air is blown onto a glass color filter which is a position to be inspected, and before and after the image is compared, dust and welded foreign matter are identified. . According to this inspection method, among the foreign matter candidates detected in the image before air blowing, those that do not exist after air blowing are determined to be dust blown off by air and not foreign matter, and after air blowing Also, it is determined that the existing foreign matter is a deposited foreign matter.

特開平9−218952号公報Japanese Patent Laid-Open No. 9-218952 特開平10−246705号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-246705

しかしながら、金属加工品の表面には欠陥ではない微小凹凸が存在し、さらにヘアライン加工等の表面加工による微小凹凸がある。また、検査面にビス穴等の加工を施した加工品では段差部分が明暗差として画像に現れ、あるは加工による変色が色調差として現れる。このため、微小凹凸や明暗差を背景とする画像に基づいた画像解析においては、バリのように細長い欠陥の検出が難しく誤判定が発生することがあった。   However, there are minute irregularities that are not defects on the surface of the metal workpiece, and there are also minute irregularities due to surface processing such as hairline processing. Further, in a processed product obtained by processing a screw hole or the like on the inspection surface, a stepped portion appears in the image as a light / dark difference, or discoloration due to processing appears as a color tone difference. For this reason, in an image analysis based on an image having minute unevenness or a contrast of light and dark as a background, it is difficult to detect a long and narrow defect such as a burr, and erroneous determination may occur.

本発明は上述した技術背景に鑑み、表面に微小凹凸を有する加工品においても、バリ等の欠陥を正確に識別できる検査方法の提供を目的とする。   In view of the above-described technical background, an object of the present invention is to provide an inspection method capable of accurately identifying defects such as burrs even in a processed product having minute irregularities on the surface.

即ち、本発明は下記[1]〜[7]に記載の構成を有する。   That is, this invention has the structure as described in following [1]-[7].

[1]加工品にエアを吹き付けながら撮影したエアブロー中画像と、前記加工品にエアを吹き付けずに撮影したエア無し画像とを比較し、エア吹き付けによる形態変化に基づいて欠陥を検出することを特徴とする加工品の検査方法。   [1] Comparing an in-air-blow image captured while air is blown to a processed product and an airless image captured without blowing air onto the processed product, and detecting a defect based on a form change caused by air blowing A method for inspecting processed products.

[2]前記エア無し画像が、エアを吹き付ける前に撮影したエアブロー前画像およびエアを吹き付けた後に撮影したエアブロー後画像の一方または両方である前項1に記載の加工品の検査方法。   [2] The method for inspecting a processed product as recited in the aforementioned Item 1, wherein the airless image is one or both of an image before air blow taken before air is blown and an image after air blow taken after air is blown.

[3]前記エアブロー中画像とエア無し画像との階調差により欠陥の形態変化を検出する前項1または2に記載の加工品の検査方法。   [3] The method for inspecting a processed product according to item 1 or 2, wherein a change in the form of a defect is detected based on a gradation difference between the image during air blowing and an image without air.

[4]前記エアブロー中画像およびエア無し画像において隣接する画素のデータが急激に変化する部分を検出してその変化の境界を抽出し、2つの画像から抽出した境界を比較することにより欠陥の形態変化を検出する前項1または2に記載の加工品の検査方法。   [4] Form of defects by detecting a portion where the data of adjacent pixels in the air-blowing image and air-free image change rapidly, extracting the boundary of the change, and comparing the boundary extracted from the two images 3. The method for inspecting a processed product according to 1 or 2 above, wherein a change is detected.

[5]前記エアブロー中画像とエア無し画像とパターンマッチングにより欠陥の形態変化を検出する前項1または2に記載の加工品の検査方法。   [5] The method for inspecting a processed product according to the item 1 or 2, wherein a defect shape change is detected by pattern matching between the image during air blowing and the image without air.

[6]前記加工品は加工部としてのネジ穴を有する前項1〜5のいずれかに記載の加工品の検査方法。   [6] The method for inspecting a processed product according to any one of items 1 to 5, wherein the processed product has a screw hole as a processed part.

[7]加工品にエアを吹き付けるエアブロー装置と、
前記加工品にエアを吹き付けながらエアブロー中画像を撮影し、かつ前記加工品にエアを吹き付けずにエア無し画像を撮影するCCDカメラと、
前記エアブロー中画像とエア無し画像とを比較し、エア吹き付けによる形態変化に基づいて欠陥を検出する画像解析装置と
を備えることを特徴とする加工品の検査装置。
[7] An air blowing device that blows air on a processed product;
A CCD camera that shoots an image during air blowing while blowing air to the processed product, and shoots an airless image without blowing air to the processed product;
An apparatus for inspecting a processed product, comprising: an image analysis device that compares the image during air blowing with an image without air and detects a defect based on a change in form caused by air blowing.

上記[1]に記載の発明によれば、エアブロー中画像とエア無し画像とを比較することにより、エアを吹き付けても動かず形態が変化しない加工品表面の微小凹凸に対し、エアの吹き付けによって形態が変化するバリや異物といった欠陥を識別することができ、加工品におけるこれらの欠陥の有無を検査することができる。   According to the invention described in [1] above, by comparing the air-in-air image with the air-free image, air is blown against minute irregularities on the surface of the processed product that does not move even when air is blown and does not change in form. It is possible to identify defects such as burrs and foreign matters whose shapes change, and to inspect the presence or absence of these defects in a processed product.

上記[2]に記載の発明によれば、エア無し画像としてエアブロー前画像およびエア吹き付けた後に撮影したエアブロー後画像の一方または両方をエアブロー中画像と比較することにより上記効果を得ることができる。   According to the invention described in [2] above, the above-described effect can be obtained by comparing one or both of the pre-air blow image and the post-air blow image taken after air blowing as an airless image with the air blowing image.

上記[3]に記載の発明によれば、前記エアブロー中画像とエア無し画像との階調差により欠陥の形態変化を検出し、上記効果を得ることができる。   According to the invention described in [3] above, it is possible to detect a change in the form of a defect based on a gradation difference between the image during air blowing and the image without air, and obtain the above-described effect.

上記[4]に記載の発明によれば、前記エアブロー中画像およびエア無し画像において隣接する画素のデータが急激に変化する部分を検出してその変化の境界を抽出し、2つの画像から抽出した境界を比較することにより欠陥の形態変化を検出し、上記効果を得ることができる。   According to the invention described in [4] above, in the air blowing image and the airless image, a portion where the data of adjacent pixels changes rapidly is detected, the boundary of the change is extracted, and extracted from two images. By comparing the boundaries, a change in the shape of the defect can be detected, and the above effect can be obtained.

上記[5]に記載の発明によれば、前記エアブロー中画像とエア無し画像のパターンマッチングにより欠陥の形態変化を検出し、上記効果を得ることができる。   According to the invention described in [5] above, it is possible to detect a change in the form of a defect by pattern matching between the image during air blowing and the image without air, and obtain the above-described effect.

上記[6]に記載の発明によれば、ネジ穴のようにネジ山による段差が縞状に形成される加工部に対しても背景と欠陥との識別が可能であることから、ネジ穴の加工時に発生するバリの検査においても正確な欠陥検出が可能である。   According to the invention described in [6] above, since it is possible to distinguish the background and the defect even in a processed portion in which a step due to a screw thread is formed in a stripe shape like a screw hole, Accurate defect detection is possible even in the inspection of burrs generated during processing.

上記[7]に記載の加工品の検査装置によれば、[1]〜[6]に記載の検査方法を実施して正確な欠陥の検査を行うことができる。   According to the workpiece inspection apparatus described in [7] above, the inspection method described in [1] to [6] can be performed to accurately inspect defects.

本発明の加工品の検査方法を実施する検査装置の概略を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the outline of the inspection apparatus which enforces the inspection method of the workpiece of this invention. 被検査体のネジ穴とその近傍の画像である。It is the image of the screw hole of a to-be-inspected object, and its vicinity. 撮影画像1におけるエアブロー前画像である。It is an image before air blow in the photographed image 1. 撮影画像1におけるエアブロー中画像である。It is an air blowing image in the photographed image 1. 撮影画像1におけるエアブロー後画像である。It is an image after air blow in the photographed image 1. 撮影画像2におけるエアブロー前画像である。It is an image before air blow in the photographed image 2. 撮影画像2におけるエアブロー中画像である。It is an air blowing image in the photographed image 2. 他の被検査体のネジ穴とその近傍の画像である。It is the image of the screw hole of other to-be-inspected objects, and its vicinity. 撮影画像3におけるエアブロー前画像である。It is an image before air blow in the photographed image 3. 撮影画像3におけるエアブロー中画像である。It is an air blowing image in the photographed image 3. 撮影画像3におけるエアブロー後画像である。It is the image after air blow in the picked-up image 3. 検査例1において図3Aと図3Bの階調差を示す図である。FIG. 4 is a diagram illustrating a gradation difference between FIG. 3A and FIG. 3B in inspection example 1; 検査例2において図3Bと図3Cの階調差を示す図である。It is a figure which shows the gradation difference of FIG. 3B and FIG. 3C in the test example 2. FIG. 検査例3において図4Aと図4Bの階調差を示す図である。4A and 4B are diagrams illustrating a gradation difference between FIGS. 4A and 4B in Inspection Example 3. FIG. 検査例4において図5Aと図5Bの階調差を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing a gradation difference between FIG. 5A and FIG. 5B in inspection example 4; 検査例4において図5Bと図5Cの階調差を示す図である。FIG. 5B is a diagram showing the gradation difference between FIG. 5B and FIG. 5C in Inspection Example 4. 検査例4において図5Aと図5Cの階調差を示す図である。FIG. 5B is a diagram showing the gradation difference between FIG. 5A and FIG. 5C in Inspection Example 4.

図1は本発明にかかる加工品の検査方法を実施するための検査装置の概略を示す斜視図である。   FIG. 1 is a perspective view showing an outline of an inspection apparatus for carrying out a workpiece inspection method according to the present invention.

検査装置(1)は、検査台(図示省略)上に固定された被検査体(10)を撮影するCCDカメラ(2)、CCDカメラ(2)で撮影した画像を取り込んで記憶し、記憶した画像を解析する画像解析装置(3)、CCDカメラ(2)の同軸上に配置された落斜照明(4)、被検査体(10)にエアを吹き付けるエアブロー装置(5)を有している。前記エアブロー装置(5)はエアを吹き出すノズル(5a)のみが図示され、ノズル(5a)の位置の変更によりエアの吹き付け方向を自在に変更することができる。なお、照明は図示した同軸の落斜照明に限定されるものではなく、リング照明や一般的な反射照明等の任意の照明を用いることができる。   The inspection device (1) captures and stores the images taken by the CCD camera (2) and the CCD camera (2) for photographing the object (10) fixed on the examination table (not shown). It has an image analysis device (3) for analyzing the image, an oblique illumination (4) arranged on the same axis as the CCD camera (2), and an air blowing device (5) for blowing air to the object to be inspected (10) . In the air blower (5), only a nozzle (5a) that blows out air is illustrated, and the direction of blowing air can be freely changed by changing the position of the nozzle (5a). The illumination is not limited to the coaxial down-tilt illumination shown in the drawing, and any illumination such as ring illumination or general reflection illumination can be used.

本発明の加工品の検査方法は、被検査体である加工品にエアを吹き付けながら撮影したエアブロー中画像と、エアを吹き付けずに撮影したエア無し画像とを比較することにより欠陥を検出する。前記エア無し画像とは、エア吹き付け前に撮影したエアブロー前画像とエア吹き付け後に撮影したエアブロー後画像の両方を含み、少なくとも一方のエア無し画像をエアブロー中画像とを比較する。検出対象となる欠陥は、被検査体(10)に繋がっている突起状物であるバリ、および被検査体(10)とは繋がっておらず被検査体上に載っているにすぎない切粉や埃等の異物である。   In the method for inspecting a processed product according to the present invention, a defect is detected by comparing an in-air-blow image captured while air is blown onto a processed product that is an object to be inspected and an airless image captured without blowing air. The airless image includes both the pre-air blow image taken before air blowing and the post-air blow image taken after air blowing, and at least one of the airless images is compared with the air blowing image. Defects to be detected include burrs that are protrusions connected to the object to be inspected (10), and chips that are not connected to the object to be inspected (10) and are placed on the object to be inspected. Or foreign matter such as dust.

バリにエアを吹き付けると、吹き付け中のバリは、振動し、あるいはバリの根元または長さ方向の中間で撓んで方向や形態を変え、あるいは撓んで方向や形態を変えた状態で振動する等何らかの動きがあり、エアを吹き付ける前とは位置や形態が変化する。これらの変化はエアの吹き付けを止めると吹き付け前の位置や形態に戻るので、エア吹き付け中のバリはエア吹き付け前または後の状態とは異なっている。   When air is blown to the burr, the burr being blown vibrates, or bends at the root or middle of the burr and changes direction or form, or bends and vibrates in a changed direction or form. There is movement, and the position and form change before air is blown. Since these changes return to the position and form before the air blowing when the air blowing is stopped, the burr during the air blowing is different from the state before or after the air blowing.

撮影した画像においてバリは背景との明暗差や色調差(以下、「明暗差等」と略する)として現れ、明暗差等の現れる位置や明暗差等によって形成される形態がエアブロー中画像とエア無し画像とで異なっている。即ち、根元または長さ方向の中間で撓んでいるバリは、エア無し画像におけるバリの位置や形態とは明らかに異なっている。振動中のバリはその振動領域が撮影されるので、無振動のバリを撮影したエア無し画像とは背景との明暗差が現れる領域も階調も異なっている。   In the photographed image, the burr appears as a light / dark difference or color difference (hereinafter abbreviated as “light / dark difference”) with respect to the background, and the form formed by the position where the light / dark difference appears or the light / dark difference, etc. There are no images and different. That is, the burr that is bent at the base or in the middle of the length direction is clearly different from the position and form of the burr in the airless image. Since the vibration area of the burrs being vibrated is photographed, the area and gradation in which the contrast between the background and the airless image obtained by photographing the non-vibration burrs are different.

一方、金属加工品特有の表面の微小凹凸、へアライン加工等の表面加工による微小凹凸、タップ加工や穴明け加工によって生じた凹凸はエアを吹き付けても動かず、位置や形態は変化しない。これらの凹凸もバリと同じく画像において明暗差等として現れるが、その明暗差等はエアの吹き付けの有無によって位置も形態も変化しない。従って、エアブロー中画像とエア無し画像とを比較することにより、明暗差等として現れるもののうち、位置や形態に変化のあるものだけをバリとして識別することができる。また、変化が現れる面積からバリのおおよその大きさも検出できる。   On the other hand, micro unevenness on the surface peculiar to metal processed products, micro unevenness due to surface processing such as hair alignment processing, and unevenness caused by tapping and drilling do not move even when air is blown, and the position and form do not change. These irregularities also appear as light and dark differences in the image like burrs, but the position and form of the light and dark differences do not change depending on whether air is blown or not. Therefore, by comparing the image during air blowing and the image without air, it is possible to identify only those having a change in position or form as burrs among those appearing as light and dark differences. In addition, the approximate size of the burr can be detected from the area where the change appears.

また、切粉や埃といった被検査体上に載っているに過ぎない異物は、エアを吹き付けると吹き飛ばされて被検査体から除去され、あるいは異物全体の位置が変わるので、根元の位置が変わらないバリとは区別することができる。   In addition, foreign matters that are merely placed on the object to be inspected, such as chips and dust, are blown away when air is blown off, or are removed from the object to be inspected, or the position of the entire foreign material changes, so the position of the base does not change. It can be distinguished from Bali.

なお、前記異物は検査後の被検査体には存在していないものであるから、検査前に異物が存在していたという判定を必要としない場合は検査前にエアを吹き付けて除去しておくことが好ましい。判定する必要のない異物を予め除去しておくことで、画像解析が簡単になってより正確な検査が可能となる。しかも、検査装置はエアの吹き付け装置を備えているので、装置の追加も必要としない。   Since the foreign matter is not present in the inspected object after the inspection, if it is not necessary to determine that the foreign matter was present before the inspection, it is removed by blowing air before the inspection. It is preferable. By removing foreign matters that do not need to be determined in advance, image analysis is simplified and more accurate inspection is possible. Moreover, since the inspection device includes an air blowing device, no additional device is required.

本発明の検査方法は、金属、樹脂、セラミック等、加工品の材料を問わず適用できる。本発明の検査方法は表面に微細凹凸や明暗差や色調差を有する材質の加工品でも正確な欠陥検出が可能であることから、上記の材料の加工品なかでも金属加工品の検査に適用する意義が大きい。また、加工品の加工方法も限定されないが、ネジ穴のようにネジ山による段差が縞状に形成される加工部に対しても背景と欠陥との識別が可能であることから、ネジ穴の加工時に発生するバリの検査においても正確な欠陥検出が可能である。ネジ穴は有底穴でも貫通穴でも欠陥の検出が可能である。貫通穴の場合は被検査体を載せる検査台が被検査体とともに撮影されるが、エアブロー中画像とエア無し画像との比較において検査台は形態が変化しないので欠陥ではないと判定される。   The inspection method of the present invention can be applied to any processed material such as metal, resin, ceramic, and the like. Since the inspection method of the present invention can accurately detect defects even in a processed product having a fine unevenness, brightness difference, or color difference on the surface, it can be applied to an inspection of a metal processed product among the processed products of the above materials. Significant. Also, the processing method of the processed product is not limited, but the background and the defect can be identified even in the processed part where the step due to the screw thread is formed in a stripe shape like the screw hole. Accurate defect detection is possible even in the inspection of burrs generated during processing. The screw hole can detect a defect with a bottomed hole or a through hole. In the case of the through hole, the inspection table on which the inspection object is placed is photographed together with the inspection object. However, since the shape of the inspection table does not change in the comparison between the image during air blowing and the image without air, it is determined that there is no defect.

本発明の検査方法による検査結果はバリの有無あるいはバリの大きさに応じて加工品の合格・不合格の判定材料として用いることができ、さらには検査後のバリ除去作業の要否判定等に用いることができる。   The inspection result by the inspection method of the present invention can be used as a pass / fail judgment material for a processed product according to the presence or absence of burrs or the size of burrs, and further for determining whether or not burrs must be removed after inspection. Can be used.

以下に、撮影した画像を例示して本発明の加工品の検査方法について説明する。   Below, the image | photographed image is illustrated and the inspection method of the processed goods of this invention is demonstrated.

図1に示した被検査体(10)は平板部(11)からなるアルミニウム製金属板加工品であり、平板部(11)の一方の面が検査面(11a)である。検査面(11a)は全体にヘアライン加工が施され、複数個の有底のネジ穴(13)が形成されている。前記ネジ穴(13)はタップ加工によって形成されたものであり、加工部分にはバリが発生している可能性がある。また、検査面(11a)には加工時に発生した切粉や埃等の異物が付着している可能性がある。これらの異物は被検査体(10)とは繋がっておらず、載っているにすぎない。   The object to be inspected (10) shown in FIG. 1 is an aluminum metal plate processed product comprising a flat plate portion (11), and one surface of the flat plate portion (11) is an inspection surface (11a). The entire inspection surface (11a) is subjected to hairline processing, and a plurality of bottomed screw holes (13) are formed. The screw hole (13) is formed by tapping, and there is a possibility that burrs are generated in the processed portion. Further, there is a possibility that foreign matters such as chips and dust generated during the processing are attached to the inspection surface (11a). These foreign matters are not connected to the object to be inspected (10), but are merely placed.

エア無し画像とエアブロー画像は同一領域を同一方向から撮影する。図1はエアブロー中画像撮影時の装置配置を示すものであり、被検査体(10)の検査面(11a)にエアブロー装置(5)のノズル(5a)から噴出するエアを吹き付け、エアを吹き付けた領域を撮影する。エア無し画像はエアブロー中画像の撮影前または撮影後のどちらか一方、あるいは両方に撮影する。撮影した画像は画像解析装置(3)に送られ、所定の画像解析を行って欠陥を検出する。   The airless image and the air blow image are taken from the same direction in the same area. FIG. 1 shows the arrangement of the apparatus during image taking during air blowing. Air blown from the nozzle (5a) of the air blowing device (5) is blown onto the inspection surface (11a) of the object to be inspected (10). Shoot the area. The airless image is taken either before or after the air blown image is taken, or both. The photographed image is sent to the image analysis device (3), and a predetermined image analysis is performed to detect a defect.

なお、図1に示したノズル(5a)の位置およびエアの吹き付け方向は、これらの一例を示しているに過ぎず、以下の検査例におけるノズル(5a)の位置およびエアの吹き付け方向を示すものではない。   Note that the position of the nozzle (5a) and the air blowing direction shown in FIG. 1 are merely examples of these, and indicate the position of the nozzle (5a) and the air blowing direction in the following inspection examples. is not.

[撮影画像1]
図2は一つのネジ穴(13)を含む撮影領域を示し、この撮影領域を複数の領域に分割し、分割した領域毎に画像解析を行う。図2の画像中の実線で囲まれた部分が分割された一つの解析領域(A)である。図3Aはエアブロー前画像(30)における解析領域(A)の拡大図、図3Bはエアブロー中画像(31)における解析領域(A)の拡大図、図3Cはエアブロー後画像(32)における解析領域(A)の拡大図である。各画像において、背景のヘアライン加工部(12)、ネジ穴(13)およびそのタップ加工部(14)、細長い欠陥候補(20)が各画素の階調値としてその位置および形態が現れている。
[Photographed image 1]
FIG. 2 shows an imaging region including one screw hole (13). This imaging region is divided into a plurality of regions, and image analysis is performed for each of the divided regions. A portion surrounded by a solid line in the image of FIG. 2 is one analysis region (A) divided. 3A is an enlarged view of the analysis region (A) in the image before air blow (30), FIG. 3B is an enlarged view of the analysis region (A) in the image during air blow (31), and FIG. 3C is an analysis region in the image after air blow (32). It is an enlarged view of (A). In each image, the position and form of the background hairline processing part (12), the screw hole (13) and its tapping part (14), and the elongated defect candidate (20) appear as gradation values of each pixel.

[撮影画像2]
撮影画像1と同じ解析領域(A)に対しエアの吹き付け条件(エアの吹き付け速度、吹き付け方向)を変えて撮影した。
[Photographed image 2]
The same analysis area (A) as the photographed image 1 was photographed by changing the air blowing conditions (air blowing speed, blowing direction).

図4Aはエアブロー前画像(33)であり、図3Aと同一条件で撮影した画像である。図4Bはエアブロー中画像(34)である。   FIG. 4A is a pre-air blow image (33), which is an image taken under the same conditions as in FIG. 3A. FIG. 4B is an air blowing image (34).

[撮影画像3]
図5は他のネジ穴(13)を含む撮影領域を示し、この撮影領域を複数の領域に分割し、分割した領域毎に画像解析を行う。図5の画像中の実線で囲まれた部分が分割された一つの解析領域(B)である。図6Aはエアブロー前画像(35)における解析領域(B)の拡大図、図6Bはエアブロー中画像(36)における解析領域(B)の拡大図、図6Cはエアブロー後画像(37)における解析領域(B)の拡大図である。各画像において、背景のヘアライン加工部(12)、ネジ穴(13)およびそのタップ加工部(14)、細長い第1欠陥候補(21)、塊状の第2欠陥候補(22)が各画素の階調値としてその位置および形態が現れている。
[Photograph 3]
FIG. 5 shows an imaging region including another screw hole (13). This imaging region is divided into a plurality of regions, and image analysis is performed for each of the divided regions. A portion surrounded by a solid line in the image of FIG. 5 is one analysis region (B) divided. 6A is an enlarged view of the analysis region (B) in the image before air blowing (35), FIG. 6B is an enlarged view of the analysis region (B) in the image during air blowing (36), and FIG. 6C is an analysis region in the image after air blowing (37). It is an enlarged view of (B). In each image, the background hairline processing part (12), the screw hole (13) and its tapping part (14), the elongated first defect candidate (21), and the massive second defect candidate (22) are the floors of each pixel. Its position and form appear as a key value.

[検査例1]
前記撮影画像1のうち、図3Aのエアブロー前画像(30)および図3Bのエアブロー中画像(31)に基づいて検査を行った。
[Inspection Example 1]
Inspection was performed based on the pre-air blow image (30) in FIG. 3A and the in-air blow image (31) in FIG.

図7は、エアブロー前画像(30)の各画素の階調値からエアブロー中画像(31)の対応する画素の階調値を差し引いた階調差を所定の閾値で2値化し、各画素における2値を濃淡で図示したものである。図中、濃色で表されている部分は2つの画像(30)(31)で階調値に差があった画素を示し、淡色で表されている部分は2つの画像(30)(31)で階調値に差が無かった画素を示している。換言すると、濃色は2つの画像(30)(31)で階調値が変化した部分を示し、淡色は階調値に変化が無かった部分を示している。図7によれば、ヘアライン加工部(12)、ネジ穴(13)、タップ加工部(14)は淡色であるからエアを吹き付けても動かないものであることを示している。一方、欠陥候補(20)は濃色であるからエアの吹き付けによって動くものであり、欠陥候補(20)は「バリ」であると判定される。   In FIG. 7, the gradation difference obtained by subtracting the gradation value of the corresponding pixel of the image during air blowing (31) from the gradation value of each pixel of the pre-air-blowing image (30) is binarized with a predetermined threshold value. The binary values are shown in shades. In the drawing, a dark color portion indicates a pixel having a difference in tone value between two images (30) and (31), and a light color portion indicates two images (30) and (31). ) Shows pixels in which there is no difference in gradation values. In other words, the dark color indicates a portion where the gradation value has changed in the two images (30) and (31), and the light color indicates a portion where the gradation value has not changed. According to FIG. 7, since the hairline process part (12), the screw hole (13), and the tap process part (14) are light colors, it has shown that it does not move even if it blows air. On the other hand, since the defect candidate (20) is dark in color, it moves when air is blown, and the defect candidate (20) is determined to be “burr”.

ここで、図3Aおよび図3Bの2つの画像(30)(31)を観察すると、欠陥候補(20)は長手方向が右上から左下に斜め延びる細長い形態として現れている。そして、2つの画像における欠陥候補(20)はエアを吹き付けても右上部分は位置の変化がなく、左下部分の位置が上方に移動していることがわかる。従って、前記欠陥候補(20)は右上部分で検査対象(10)と繋がり、エアの吹き付けによって左下部分が上方に吹き上げられたバリであると判断できる。   Here, when the two images (30) and (31) in FIGS. 3A and 3B are observed, the defect candidate (20) appears as an elongated form in which the longitudinal direction obliquely extends from the upper right to the lower left. Then, it can be seen that the defect candidate (20) in the two images has no change in position in the upper right portion even when air is blown, and the position of the lower left portion has moved upward. Therefore, it can be determined that the defect candidate (20) is a burr that is connected to the inspection object (10) in the upper right portion and the lower left portion is blown upward by the blowing of air.

なお、階調差は2値化することなくバリの検出に用いることも可能であるが、2値化することによって処理を単純化することができる。また、比較する2つの画像の階調値を2値化した後に差を求めてもバリを検出することができる。   Note that the gradation difference can be used to detect burrs without being binarized, but the process can be simplified by binarizing. Also, burrs can be detected by obtaining the difference after binarizing the gradation values of two images to be compared.

[検査例2]
前記撮影画像1のうち、図3Bのエアブロー中画像(31)および図3Cのエアブロー後画像(32)に基づいて検査を行った。
[Inspection Example 2]
In the photographed image 1, an inspection was performed based on the air blowing image (31) in FIG. 3B and the air blown image (32) in FIG. 3C.

図8は、エアブロー中画像(31)の各画素の階調値からエアブロー後画像(32)の対応する画素の階調値を差し引いた階調差を所定の閾値で2値化し、各画素における2値を濃淡で図示したものである。図中、濃色で表されている部分は2つの画像(31)(32)で階調値に差があった画素を示し、淡色で表されている部分は2つの画像(31)(32)で階調値に差が無かった画素を示している。換言すると、濃色は2つの画像(31)(32)で階調値が変化した部分を示し、淡色は階調値に変化が無かった部分を示している。図8によれば、ヘアライン加工部(12)、ネジ穴(13)、タップ加工部(14)は淡色であるからエアを吹き付けても動かないものであることを示している。一方、欠陥候補(20)は濃色であるからエアの吹き付けによって動くものであり、欠陥候補(20)は「バリ」であると判定される。   In FIG. 8, the gradation difference obtained by subtracting the gradation value of the corresponding pixel of the image after air blowing (32) from the gradation value of each pixel of the image during air blowing (31) is binarized with a predetermined threshold value. The binary values are shown in shades. In the drawing, the dark color portion indicates a pixel having a difference in tone value between the two images (31) and (32), and the light color portion indicates the two images (31) and (32). ) Shows pixels in which there is no difference in gradation values. In other words, the dark color indicates a portion where the gradation value has changed in the two images (31) and (32), and the light color indicates a portion where the gradation value has not changed. According to FIG. 8, since the hairline process part (12), the screw hole (13), and the tap process part (14) are light colors, it has shown that it does not move even if it blows air. On the other hand, since the defect candidate (20) is dark in color, it moves when air is blown, and the defect candidate (20) is determined to be “burr”.

ここで、図3Bおよび図3Cの2つの画像(31)(32)を観察すると、欠陥候補(20)は長手方向が右上から左下に斜め延びる細長い形態として現れている。そして、2つの画像における欠陥候補(20)はエアの吹き付けを止めると、右上部分の位置の変化がなく、左下部分の位置が下方に移動していることがわかる。従って、前記欠陥候補(20)は右上部分で検査対象(10)と繋がり、エアの吹き付けによって左下部分が上方に吹き上げられていたバリであると判断できる。   Here, when the two images (31) and (32) in FIG. 3B and FIG. 3C are observed, the defect candidate (20) appears as an elongated form whose longitudinal direction obliquely extends from the upper right to the lower left. Then, it can be seen that the defect candidate (20) in the two images has no change in the position of the upper right portion when the air blowing is stopped, and the position of the lower left portion has moved downward. Therefore, it can be determined that the defect candidate (20) is a burr that is connected to the inspection target (10) in the upper right portion and the lower left portion is blown upward by the blowing of air.

検査例1および検査例2に示したように、エアブロー中画像(31)は、エアブロー前画像(30)またはエアブロー後画像(32)のどちらか一方と比較することによってバリを検出することができる。   As shown in Test Example 1 and Test Example 2, the image during air blowing (31) can detect burrs by comparing with either the pre-air blow image (30) or the post-air blow image (32). .

[検査例3]
前記撮影画像2の図4Aのエアブロー前画像(33)および図4Bのエアブロー中画像(34)に基づいて検査を行った。
[Inspection Example 3]
Inspection was performed based on the pre-air blow image (33) of FIG. 4A and the in-air blow image (34) of FIG.

図9はエアブロー前画像(33)の各画素の階調値からエアブロー中画像(34)の対応する画素の階調値を差し引いた階調差を所定の閾値で2値化し、各画素における2値を濃淡で図示したものである。図9において、濃色は2つの画像(33)(34)で階調値が変化した部分を示し、淡色は階調値に変化が無かった部分を示している。   In FIG. 9, the gradation difference obtained by subtracting the gradation value of the corresponding pixel of the image during air blowing (34) from the gradation value of each pixel of the pre-air-blowing image (33) is binarized with a predetermined threshold value. Values are shown in shades. In FIG. 9, the dark color indicates a portion where the gradation value has changed in the two images (33) and (34), and the light color indicates a portion where the gradation value has not changed.

図9によれば、検査例1,2と同じく、ヘアライン加工部(12)、ネジ穴(13)、タップ加工部(14)は淡色であるからエアを吹き付けても動かないものであることを示している。一方、欠陥候補(20)は濃色であるからエアの吹き付けによって動くものであり、欠陥候補は「バリ」であると判定される。   According to FIG. 9, the hairline processed part (12), the screw hole (13), and the tapped processed part (14) are light-colored as in the case of inspection examples 1 and 2, so that they do not move even when air is blown. Show. On the other hand, since the defect candidate (20) is dark in color, it moves when air is blown, and it is determined that the defect candidate is “burr”.

ここで、図4Aおよび図4Bの2つの画像(33)(34)を観察すると、どちらの画像においても欠陥候補(20)は長手方向が右上から左下方向に斜め延びる細長い形態として現れている。しかしながら、エアブロー中画像(34)において欠陥候補(20)として現れる部分の面積がエアブロー前画像(33)における欠陥候補(20)の面積よりも大きい。これは、エアの吹き付けによってバリが振動し、振動によってバリが実際の面積よりも大きく撮影されたためである。   Here, when the two images (33) and (34) in FIGS. 4A and 4B are observed, the defect candidate (20) appears as an elongated form in which the longitudinal direction obliquely extends from the upper right to the lower left in both images. However, the area of the portion appearing as the defect candidate (20) in the air blowing image (34) is larger than the area of the defect candidate (20) in the pre-air blowing image (33). This is because the burr vibrates due to the blowing of air, and the burr was photographed larger than the actual area by the vibration.

[検査例4]
前記撮影画像3の図6Aのエアブロー前画像(35)、図6Bのエアブロー中画像(36)および図6Cのエアブロー後画像(37)に基づいて検査を行った。
[Inspection Example 4]
Inspection was performed based on the pre-air blow image (35) of FIG. 6A, the in-air blow image (36) of FIG. 6B and the post-air blow image (37) of FIG.

まず、図6Aのエアブロー前画像(35)と図6Bのエアブロー中画像(36)を比較する。図10はエアブロー前画像(35)の各画素の階調値からエアブロー中画像(36)の対応する画素の階調値を差し引いた階調差を所定の閾値で2値化し、各画素における2値を濃淡で図示したものである。図10において、濃色は2つの画像(35)(36)で階調値が変化した部分を示し、淡色は階調値に変化が無かった部分を示している。   First, the image before air blowing (35) in FIG. 6A and the image during air blowing (36) in FIG. 6B are compared. In FIG. 10, the gradation difference obtained by subtracting the gradation value of the corresponding pixel of the image during air blowing (36) from the gradation value of each pixel of the pre-air-blowing image (35) is binarized with a predetermined threshold value. Values are shown in shades. In FIG. 10, the dark color indicates a portion where the gradation value has changed in the two images (35) and (36), and the light color indicates a portion where the gradation value has not changed.

図10によれば、検査例1〜3と同じく、ヘアライン加工部(12)、ネジ穴(13)、タップ加工部(14)は淡色であるからエアを吹き付けても動かないものであることを示している。一方、第1欠陥候補(21)および第2欠陥候補(22)は濃色であるからエアの吹き付けによって動くものであり、欠陥候補は「バリ」であると仮判定される。   According to FIG. 10, since the hairline processing part (12), the screw hole (13), and the tap processing part (14) are light colors as in the inspection examples 1 to 3, they are not moved even if air is blown. Show. On the other hand, since the first defect candidate (21) and the second defect candidate (22) are dark in color, they are moved by air blowing, and the defect candidate is provisionally determined to be “burr”.

次に、図6Bのエアブロー中画像(36)と図6Cのエアブロー後画像(37)とを比較する。図11はエアブロー中画像(36)の各画素の階調値からエアブロー後画像(37)の対応する画素の階調値を差し引いた階調差を所定の閾値で2値化し、各画素における2値を濃淡で図示したものである。図11において、濃色は2つの画像(36)(37)で階調値が変化した部分を示し、淡色は階調値に変化が無かった部分を示している。   Next, the in-air-blowing image (36) in FIG. 6B and the after-air-blowing image (37) in FIG. 6C are compared. In FIG. 11, the gradation difference obtained by subtracting the gradation value of the corresponding pixel in the post-air-blowing image (37) from the gradation value of each pixel in the air-blowing image (36) is binarized with a predetermined threshold value. Values are shown in shades. In FIG. 11, the dark color indicates a portion where the gradation value has changed in the two images (36) and (37), and the light color indicates a portion where the gradation value has not changed.

図11によれば、図10に基づいてバリであると仮判定した2つの欠陥候補(21)(22)のうち、第1欠陥候補(21)は濃色で表されていることから、エアの吹き付けを止めると形態を変化させて存在するバリであると判定される。一方、第2欠陥候補(22)は淡色で表されていることから、エアの吹き付けを止めても変化がなくバリではない可能性を示している。そして、図10で示したエアブロー前画像(35)とエアブロー中画像(36)との差を加味すると、エアを吹き付けることによって変化が生じ、かつエアを止めてもその変化が継続していると判断でき、第2欠陥候補(22)は切粉や埃といった被検査体(10)上に載っているに過ぎない異物であると考えられる。さらに、図12に示すエアブロー前画像(35)とエアブロー後画像(37)との階調差において第2欠陥候補(22)が濃色で表され、かつその形態が図10における第2欠陥候補(22)と同一であるから、第2欠陥候補(22)がエアの吹き付けによって除去された異物であると判断できる。また、図12において第1欠陥候補(21)が淡色で表されているから、第1欠陥候補(21)がバリでありエアの吹き付けを止めることによって元の形態に戻ったことを裏付けている。   According to FIG. 11, since the first defect candidate (21) is expressed in dark color among the two defect candidates (21) and (22) tentatively determined to be burr based on FIG. When the spraying is stopped, it is determined that the burrs exist by changing the form. On the other hand, since the second defect candidate (22) is represented in a light color, it indicates that there is no change and no burr even when the air blowing is stopped. Then, taking into account the difference between the pre-air-blowing image (35) and the air-blowing image (36) shown in FIG. 10, the change is caused by blowing air, and the change continues even if the air is stopped. It can be judged that the second defect candidate (22) is a foreign substance that is merely placed on the object to be inspected (10) such as chips and dust. Furthermore, the second defect candidate (22) is represented by a dark color in the gradation difference between the image before air blow (35) and the image after air blow (37) shown in FIG. 12, and the form is the second defect candidate in FIG. Since it is the same as (22), it can be determined that the second defect candidate (22) is a foreign matter removed by air blowing. In addition, since the first defect candidate (21) is shown in light color in FIG. 12, it confirms that the first defect candidate (21) is a burr and has returned to its original form by stopping the blowing of air. .

上述した検査方法において、背景による明暗差からバリを確実に検出し、かつバリと被検査体上に載っているに過ぎない異物とを確実に区別するためには、バリの形態を変化させ、かつ異物を撮影領域外に吹き飛ばせるようにエアの吹き付け速度や吹き付け時間を設定する。また、エアの吹き付け開始直後は異物が吹き飛ばされていない可能性があるので、エアブロー中画像の撮影はエア吹き付けの終了直前に行うことが好ましい。なお、バリの繋がり状態によってはエアの吹き付けによって被検査体から千切れて吹き飛ばされるものもあるが、このようなバリは異物として検出される。   In the inspection method described above, in order to reliably detect burrs from the difference in brightness due to the background, and to reliably distinguish burrs from foreign objects that are merely placed on the object to be inspected, change the form of burrs, In addition, the air blowing speed and the blowing time are set so that the foreign matter can be blown out of the imaging region. Further, since there is a possibility that foreign matter is not blown off immediately after the start of air blowing, it is preferable to take an image during air blowing immediately before the end of air blowing. Note that, depending on the connection state of the burrs, there are some that are blown off from the object to be inspected by blowing air, but such burrs are detected as foreign matters.

本発明の検査方法において、エアブロー中画像とエア無し画像との比較手法は上述した各画素の階調値を比較する手法に限定するものではなく、周知の画像解析手法を適宜用いることができる。他の比較手法として、エッジ抽出法やパターンマッチングを例示できる。エッジ抽出法とは画像において隣接する画素のデータが急激に変化する部分を検出し、その変化の境界(エッジ)を抽出し、2つの画像から抽出した境界を比較することにより欠陥の形態変化を検出する方法である。前記画素のデータとしては明暗を表す階調値や色調を表す色調値を適宜用いることができる。パターンマッチングとは2つの画像を重ね合わせることで両者が一致しているかどうかを調べ、不一致部分を欠陥として検出する方法である。   In the inspection method of the present invention, the method for comparing the image during air blowing and the image without air is not limited to the above-described method for comparing the gradation values of the respective pixels, and a known image analysis method can be used as appropriate. Examples of other comparison methods include an edge extraction method and pattern matching. The edge extraction method detects a part where the data of adjacent pixels in the image changes abruptly, extracts the boundary (edge) of the change, and compares the boundary extracted from the two images to detect the shape change of the defect. It is a method of detection. As the pixel data, tone values representing light and dark and tone values representing color tone can be used as appropriate. Pattern matching is a method in which two images are overlapped to check whether or not they match, and a mismatched portion is detected as a defect.

上述した検査例1〜4においては、撮影した画像を複数の領域に分割し、分割した領域の1つの検査例を示したものである。分割した全領域を同様の方法で解析することにより、撮影した画像の全領域においてバリおよび異物を検査することができる。   In the above-described inspection examples 1 to 4, the captured image is divided into a plurality of regions, and one inspection example of the divided regions is shown. By analyzing the entire divided area by the same method, burrs and foreign matters can be inspected in the entire area of the photographed image.

画像解析は、撮影画像(図2、5の画像)を分割することなく全領域を解析対象とすることもできるが、上記検査例のように画像を分割して小面積の領域毎に画像解析を行うことによって、欠陥を照明のちらつきや被検査体の振動による位置ずれ等のノイズ成分から区別することができ、誤判定を防いで正確で安定した検査を行うことができる。また、小面積で解析することによって特徴抽出も必要ないので、比較的安価な装置で検査できる。分割した解析領域の一辺の大きさは、検出したい欠陥の最小の大きさからその数倍の大きさの範囲が好ましい。解析領域が小さくなりすぎると、ノイズ成分を欠陥と誤判定する可能性が大きくなるからである。また、隣接する画素の階調値との合算値または平均値をそれらの画素の階調値とする等の周知のノイズ成分除去手法を適宜採用することも好ましい。   Image analysis can be performed on the entire area without dividing the captured image (images in FIGS. 2 and 5), but the image is divided into small areas for image analysis as in the above inspection example. By performing the above, it is possible to distinguish a defect from noise components such as a flickering of illumination and a positional shift caused by vibration of an inspection object, and it is possible to perform an accurate and stable inspection while preventing erroneous determination. Moreover, since feature extraction is not required by analyzing with a small area, it can be inspected with a relatively inexpensive apparatus. The size of one side of the divided analysis region is preferably in the range from the minimum size of the defect to be detected to several times its size. This is because if the analysis region becomes too small, the possibility of erroneously determining a noise component as a defect increases. It is also preferable to appropriately employ a known noise component removal method such as setting the sum or average value of the gradation values of adjacent pixels as the gradation value of those pixels.

また、欠陥が分割した複数の領域に跨っている場合は、それぞれの解析領域において実際よりも小さい欠陥が存在すると判定される。このような場合は、周知の画像解析手法を用いることによって、より正確な判定を行うことができる。例えば、撮影画像を解析領域よりもさらに小さいエリアに分割し、分割した小エリアをずらしながら所定サイズの解析領域を形成し、それらの解析領域でエアブロー中画像とエア無し画像を比較する方法を例示できる。   In addition, when a defect extends over a plurality of divided areas, it is determined that there is a defect smaller than the actual in each analysis area. In such a case, more accurate determination can be performed by using a known image analysis method. For example, a method of dividing a captured image into smaller areas than the analysis area, forming an analysis area of a predetermined size while shifting the divided small areas, and comparing the air blowing image and the no air image in those analysis areas it can.

本発明は加工によってバリが発生する加工品の検査に好適に利用できる。   The present invention can be suitably used for inspection of a processed product in which burrs are generated by processing.

1…検査装置
2…CCDカメラ
3…画像解析装置
4…落斜照明
5…エアブロー装置
5a…ノズル
10…金属板加工品(被検査体、加工品)
11…平板部
11a…検査面
12…ヘアライン加工部
13…ネジ穴
14…タップ加工部
20、21、22…欠陥候補
30、33、35…エアブロー前画像(エア無し画像)
31、34、36…エアブロー中画像
32、37…エアブロー後画像(エア無し画像)
1 ... Inspection device
2 ... CCD camera
3 ... Image analyzer
4 ... Slope illumination
5… Air blow device
5a… Nozzle
10 ... Metal plate processed product (inspected object, processed product)
11: Flat plate
11a ... Inspection surface
12 ... Hairline processing department
13 ... Screw hole
14 ... Tapping part
20, 21, 22 ... defect candidates
30, 33, 35 ... Image before air blow (image without air)
31, 34, 36 ... Air blow image
32, 37 ... Image after air blow (image without air)

Claims (6)

加工品にエアを吹き付ける前にエアを吹き付けずに撮影したエア無し画像であるエアブロー前画像と、前記加工品にエアを吹き付けながら撮影したエアブロー中画像と、前記加工品にエアを吹き付けた後にエアを吹き付けずに撮影したエア無し画像であるエアブロー後画像とを比較し、エア吹き付けによる形態変化に基づいて、欠陥としての、加工品に繋がっている突起状物であるバリおよび加工品とは繋がっておらず載っているに過ぎない異物を検出することを特徴とする加工品の検査方法。 And air blow before the image is an air without images taken without blowing air before blowing air into the workpiece, the air blow in an image photographed while blowing air into the workpiece, the air after blowing air to the workpiece Compared with the image after air blowing, which is an image without air taken without spraying, and based on the shape change due to air blowing, it is connected to the burr and the processed product as defects that are connected to the processed product as defects. A method for inspecting a processed product, characterized by detecting a foreign object that is merely placed and not placed . 前記エアブロー中画像とエア無し画像との階調差により欠陥の形態変化を検出する請求項に記載の加工品の検査方法。 The method for inspecting a processed product according to claim 1 , wherein a change in the form of a defect is detected based on a gradation difference between the image during air blowing and an image without air. 前記エアブロー中画像およびエア無し画像において隣接する画素のデータが急激に変化する部分を検出してその変化の境界を抽出し、2つの画像から抽出した境界を比較することにより欠陥の形態変化を検出する請求項に記載の加工品の検査方法。 In the air-blowing image and the air-free image, a portion where the data of adjacent pixels changes rapidly is detected, the boundary of the change is extracted, and the defect shape change is detected by comparing the boundary extracted from the two images. The method for inspecting a processed product according to claim 1 . 前記エアブロー中画像とエア無し画像とパターンマッチングにより欠陥の形態変化を検出する請求項に記載の加工品の検査方法。 The method for inspecting a processed product according to claim 1 , wherein a form change of a defect is detected by pattern matching between the air blowing image and the airless image. 前記加工品は加工部としてのネジ穴を有する請求項1〜のいずれかに記載の加工品の検査方法。 The workpiece inspection method of the workpiece according to any one of claims 1 to 4 having a threaded bore as a processing unit. 加工品にエアを吹き付けるエアブロー装置と、
前記加工品にエアを吹き付けながらエアブロー中画像を撮影し、かつ前記加工品にエアを吹き付ける前と吹き付けた後にエアを吹き付けずにエアブロー前画像およびエアブロー後画像のエア無し画像を撮影するCCDカメラと、
前記エアブロー中画像とエア無し画像とを比較し、エア吹き付けによる形態変化に基づいて、欠陥としての、加工品に繋がっている突起状物であるバリおよび加工品とは繋がっておらず載っているに過ぎない異物を検出する画像解析装置と
を備えることを特徴とする加工品の検査装置。
An air blowing device that blows air onto the workpiece;
A CCD camera wherein while blowing air to the workpiece capturing images in air blow, and to shoot the air without images air blow before image and an air blow after image without blowing air after spraying and prior to blowing air into said workpiece ,
Comparing the image during air blowing and the image without air, and based on the form change caused by air blowing , the burr that is a projection connected to the processed product as a defect and the processed product are not connected An apparatus for inspecting a processed product, comprising: an image analysis device that detects only foreign matter .
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