JP3741513B2 - Lead frame inspection equipment - Google Patents

Lead frame inspection equipment Download PDF

Info

Publication number
JP3741513B2
JP3741513B2 JP9560697A JP9560697A JP3741513B2 JP 3741513 B2 JP3741513 B2 JP 3741513B2 JP 9560697 A JP9560697 A JP 9560697A JP 9560697 A JP9560697 A JP 9560697A JP 3741513 B2 JP3741513 B2 JP 3741513B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lead frame
air nozzle
air
nozzle group
inspection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP9560697A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH10288586A (en
Inventor
晴久 牧野
年明 舟田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Apic Yamada Corp
Original Assignee
Apic Yamada Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Apic Yamada Corp filed Critical Apic Yamada Corp
Priority to JP9560697A priority Critical patent/JP3741513B2/en
Publication of JPH10288586A publication Critical patent/JPH10288586A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3741513B2 publication Critical patent/JP3741513B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

Landscapes

  • Punching Or Piercing (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は打ち抜き加工後のリードフレームの表面に生ずる打痕や傷や変色等の異常を検出することが可能なリードフレームの検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、リードフレーム材をプレス装置で打ち抜いてリードフレームを形成した際に、プレス工程でリードフレームに生じることがある打痕やバリ等の異常は、画像処理を用いた検査装置を用い、リードフレームの検査面側の画像を撮像カメラで入力し、入力画像の輝度を解析することで自動検査を行っている。
ところが、プレス工程を終了した直後のリードフレームの表面にはプレス工程の際に加工油が付着していることがあり、検査装置では実際には異物ではない加工油を異物として検出し、リードフレームに異常が有ると判断してしまう場合がある。
このため、この誤検出を防止すべく、従来はプレス装置と検査装置との間に洗浄槽を用いた洗浄装置を配置し、プレス加工の終了後にリードフレームを洗浄液で洗浄して付着した加工油を除去し、その後に検査装置にかけてリードフレームの打痕やバリ等の異常を検出するようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、プレス工程後にリードフレームの洗浄を行う洗浄装置を検査装置の一部として若しくはリードフレーム製造装置の一部として設置すると、検査装置、リードフレーム製造装置のいずれの場合にも装置システム全体が大規模化して設置場所確保が困難になる。また、洗浄液は管理が難しい。また、洗浄液の交換等にコストがかかるという課題がある。
【０００４】
従って、本発明は上記課題を解決すべくなされ、その目的とするところは、洗浄液を用いてリードフレームを洗浄しなくても、リードフレームに生じることがある打痕やバリ等の異常を正確に検出することができるリードフレームの検査装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記目的を達成するため次の構成を備える。
すなわち、帯状に連続するリードフレームがプレス加工を経てＵ字状に垂れ下がった状態から鉛直上方へ向けて搬送するための搬送手段と、前記搬送手段により鉛直上方へ搬送されるリードフレームの画像を撮像カメラで入力し、入力画像の輝度を解析することで該リードフレームの異常を検出する検査手段を有するリードフレームの検査装置において、前記リードフレームの検査面に向けて該リードフレームの搬送経路の下流側から上流側へ斜めにエアを吹き付けるエアーブロワを検査位置より搬送方向上流側に具備し、該エアーブロワはリードフレームの検査面に向けてエアを吹き出す複数のエアノズルが、頂点部分が搬送経路の上流側に位置するＶ字状に配列された第１エアノズル群を備え、第１エアノズル群の下流側にリードフレームの幅方向に沿って直線的に配列された第２エアノズル群を備えていることを特徴とする。
この構成により、洗浄液を用いてリードフレームを洗浄しなくても、プレス加工工程等においてリードフレームに付着した加工油等の異物をエアで吹き飛ばすことが可能となり、撮像カメラを用いてリードフレームに生じることがある打痕やバリ等の異常を正確に検出することができる。第１エアノズル群によりリードフレームに付着した加工油等の異物をリードフレームの中央部分から幅方向の両端部へかき分けるようにして効率よく吹き飛ばすことが可能となる。第２エアノズル群により、第１エアノズル群で吹き飛ばされなかった異物を吹き飛ばすことも可能となり、リードフレームに付着した異物の除去が一層確実に行える。
【０００９】
また、前記第１エアノズル群を構成する各エアノズルの向きは頂点部分を中心にリードフレームの幅方向の両端側に向かうように振り分けられており、第２エアノズル群を構成する各エアノズルの向きはリードフレームの搬送方向に平行に設定され若しくは当該第２エアノズル群の中央部分を中心にリードフレームの幅方向の両端側に向かうように振り分けられていることを特徴とする。
この構成によれば、リードフレームの中央部分を中心として距離の短い幅方向へ異物を吹き飛ばすため、加工油等の粘着性のある異物でも移動距離が短いためにリードフレームから吹き払い易い。また、吹き払った異物がリードフレームの上流側に付着することを抑制できる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るリードフレームの検査装置の好適な実施例を添付図面に基づいて詳細に説明する。
（第１の実施の形態）
まず、図１を用いてリードフレームの検査装置を含むリードフレーム製造装置の全体構成について説明する。
１，２は帯状に連続するリードフレーム３を繰り出し，巻き取り用のリールである。本実施例では図面左側の繰り出し用リール１よりリードフレーム３を繰り出し、図面右側に配置された巻き取り用リール２に巻き取るように構成されている。なお、リードフレーム３はＸ方向に搬送される（以下同様）。
４はレベラーであり、繰り出し用リール１より繰り出されたリードフレーム３を一定の高さを保って搬送するものである。５は上型５ａ，下型５ｂを装備してプレスによりリードを形成するプレス装置である。
【００１１】
６はリードフレームの検査装置であり、プレス装置５に対してリードフレーム３の搬送経路の下流側に設けられ、プレス装置５により打ち抜かれたリードフレーム３の表面状態に打痕，傷，変色等の異常がないかどうかを検査するものである。上記検査装置６には、搬送手段の一部を構成する搬送ローラ６ａ、照明手段としてのリング状照明６ｂ、撮像カメラの一例としてのＣＣＤ（電荷結合素子）カメラ６ｃ、リング状照明６ｂやＣＣＤカメラ６ｃが位置決めされた状態で一体に搭載されたテーブル６ｄ、リードフレーム３の検査面３ａにエアを吹き付けるエアーブロワ１７等を装備している。撮像カメラは撮像管を用いたカメラでも良い。
７は層間紙であり、巻き取り用リール２に巻き取られるリードフレーム３間に介在させて巻き取らせ、リードフレーム相互間の摺擦より保護をしている。
【００１２】
次に、リードフレームの検査装置６の全体構成について図２を参照して説明する。
エアーブロワ１７は、ＣＣＤカメラ６ｃに対してリードフレーム３の搬送経路の上流側に設けられ、リードフレーム３の検査面３ａに向けて搬送経路の下流側から上流側へ斜めにエア１８を吹き付け、検査面３ａに付着した加工油やゴミ等の異物を除去するものである。エアーブロワ１７の作動／停止は、エアーブロワ１７に独立したスイッチを設けて行うようにしても良いし、後述する制御部で制御するようにしても良い。
【００１３】
検査手段の一部を構成するリング状照明６ｂは、エアーブロワ１７に対してリードフレーム３の搬送経路の下流側に設けられ、リードフレーム３の検査面３ａの所定領域に光照射する機能を有している。本実施の形態では、一例としてリング状照明６ｂは１段であるが、多段に設ける場合もある。リング状照明６ｂには、一例として光ファイバ（不図示）等を介して光源９から光が導かれている。なお、リードフレーム３の検査面３ａに均等に光が照射されるものであれば、照明はリング状照明に限定されない。
本実施の形態では、リードフレーム３の表面に生ずる打痕等を検出するため、リング状照明６ｂはリードフレーム３に対してＣＣＤカメラ６ｃと同じ側に配され、ＣＣＤカメラ６ｃにはリードフレーム３の散乱光（反射光）が取り込まれる構成となっているが、リードフレーム３のエッジ部分のバリ等を検査する場合にはリング状照明６ｂをリードフレーム３に対してＣＣＤカメラ６ｃと反対側に配し、透過光を用いたＣＣＤカメラ６ｃの画像処理が行われる場合もある。
検査手段の一部を構成するＣＣＤカメラ６ｃは、リング状照明６ｂを挟んでリードフレーム３と反対側に設けられ、リング状照明６ｂにより照明されたリードフレーム３の検査面３ａの所定領域の画像を入力する。
【００１４】
検査手段の一部を構成する制御部８は、図２に示すように制御プログラムにしたがって検査装置全体の動作を制御するＣＰＵ８ａ、外部より入力されたデータの一時保存を行ったり、ＣＰＵ８ａのワーキングエリアとして使用されるＲＡＭやＣＰＵ８ａの制御プログラムを記憶したＲＯＭ等を備えた記憶部８ｂ、データの入出力を行う入出力部（Ｉ／Ｏ部）８ｃ、光源９の照度を制御する照度コントローラ８ｄ、ＣＣＤカメラ６ｃにより撮影した画像にマスク処理を施す画像処理ボード８ｅ等を装備している。
ＣＰＵ８ａは、照度コントローラ８ｄにより光源９の照度を制御してリング状照明６ｂによりＣＣＤカメラ６ｃにより撮影されるリードフレーム３の所定の領域内をほぼ同一明度となるように光照射する。そして、ほぼ同一明度となる領域内の画像をＣＣＤカメラ６ｃにより撮影して画像処理ボード８ｅを介して輝度データとして取り込み、取り込んだ輝度データを解析し、得られた解析値と記憶部８ｂに記憶させた記憶値と比較する。
なお、比較の基準となる記憶値を記憶部８ｂに記憶させる場合には、検査面側に、打痕や傷、変色等の異常のない標準のリードフレームの画像をＣＣＤカメラ６ｃにより撮影して画像処理ボード８ｅを介して輝度データとして取り込むようにする（ティーチィング）。
【００１５】
搬送手段の一部を構成するコントローラ１０は、リードフレーム３を搬送する搬送ローラ６ａを駆動させる駆動モータ（図示せず）を作動／停止させるドライバー回路を有する。コントローラ１０は、Ｉ／Ｏ部８ｃを介してＣＰＵ８ａにより制御される。具体的には、ＣＰＵ８ａにはＩ／Ｏ部８ｃを介してリードフレーム３の搬送量を検出するためのフレーム搬送センサ１１からの検出信号が入力され、ＣＰＵ８ａはこの検出信号に基づいてＩ／Ｏ部８ｃを介してコントローラ１０を制御し、搬送ローラ６ａを作動させて搬送動作を行ったり、また搬送ローラ６ａを停止させて搬送動作を停止させる。また、エアーブロワ１７やプレス装置５を作動／停止させる制御信号も出力される。
【００１６】
次に図３を参照してリードフレームの検査装置６の具体的な装置構成について説明する。以下、プレス後のリードフレーム３の搬送経路にしたがって説明する。
リードフレーム３は図面左側より下方にＵ字状に垂れ下がって検査装置６に進入し、搬送手段の一部を構成するフレームガイド１２に沿って鉛直上方に向かって搬送される。リードフレーム３は搬送中はＡの位置にあり、搬送動作を停止すると慣性により若干移動してＢ或いはＣの位置に垂れ下がって停止する。
なお、本実施の形態ではエアーブロワ１７から搬送ローラ６ａにかけての搬送経路は上記のように鉛直方向に延びる構造となっているため、前述したＣＣＤカメラ６ｃに対してリードフレーム３の搬送経路の上流側とは、ＣＣＤカメラ６ｃの下方側にあたり、同じく下流側とはＣＣＤカメラ６ｃの上方側にあたる。
【００１７】
また、リードフレーム３がＵ字状に垂れ下がった後に鉛直上方に向けて搬送される位置には、エアーブロワ１７が設けられている。エアーブロワ１７からは上述したようにリードフレーム３の検査面３ａに向けて搬送経路の下流側から上流側へ斜めにエア１８が吹き出されている。
これにより、プレス加工時にリードフレーム３の検査面３ａに付着した加工油をリードフレーム３上から下方へ吹き飛ばすか若しくは少なくとも検査面３ａの背面側に移動させることができ、搬送経路の下流側に設けられたＣＣＤカメラ６ｃにおいて加工油やゴミ等の異物が付着しないリードフレーム３の検査面３ａの綺麗な画像が取り込めるようになる。また、エア１８が当たってリードフレーム３が揺れないように、エア１８が当たる箇所のリードフレーム３の検査面３ａの背面側には支持ローラ１９が設けられている。
また、エアーブロワ１７はリードフレーム３が上方に向けて搬送される位置に設置されているが、これはリードフレーム３の表面に付着した加工油が重力で下方に垂れることを利用し、よりエア１８で加工油を吹き飛ばしやすくするためである。
【００１８】
さらに鉛直上方に搬送されるリードフレーム３は、エアーブロワ１７の搬送経路の下流側に設けられたフレームガイド１２により幅方向の両端部分がスライド自在に保持されて幅方向及び厚さ方向の位置決めをなされる。一例として、フレームガイド１２のユニットのリードフレーム３の幅方向の両端には、断面コ字状のガイド溝（不図示）が開口部分が向き合うようにリードフレーム３の幅に合わせて配されており、ガイド溝間でリードフレーム３の両端を保持する構成となっている。
このフレームガイド１２の側方には、光軸がリードフレーム３の検査面３ａに対して直交するようにリードフレーム３を挟んでフレームガイド１２のユニットと反対側にＣＣＤカメラ６ｃがテーブル６ｄに取り付けて配されている。また、リードフレーム３とＣＣＤカメラ６ｃとの間にリング状照明６ｂが同じくテーブル６ｄに取り付けられて配されている。
これにより、リードフレーム３の検査面３ａに対して直角方向から検査面３ａの所定の領域に光が照射され、この検査面３ａの画像はＣＣＤカメラ６ｃにより取り込まれる。
【００１９】
さらにリードフレーム３の搬送経路の下流側には、搬送ローラ６ａが配され、図示しない駆動モータにより回転駆動されてリードフレーム３をその円弧面の一部に巻きつけて搬送する。搬送ローラ６ａの回転は、フレームガイド１２と搬送ローラ６ａとの間に配されたフレーム搬送センサ１１の検出信号に基づいてＣＰＵ８ａが制御し、リードフレーム３の搬送・停止が行われる。
リードフレーム３は搬送ローラ６ａに巻付けられて逆Ｕ字状に曲げられ、斜め下方へ搬送される。
そして搬送ローラ６ａの搬送経路の下流側には搬送手段の一部を構成する搬送ガイド１３が配され、リードフレーム３の搬送は引き続きこの搬送ガイド１３によりガイドされる。搬送ガイド１３の搬送路には、リードフレーム３の上下一方或いは双方に当接して従動回転する複数の補助ローラ１４が設けられている。上記搬送ガイド１３を経たリードフレーム３は装置外へ導かれ、巻き取り側に搬送される。
【００２０】
なお、装置下部には、制御部８や電源部等を配置した制御パネル１５が配置されている。また、装置上部には制御データコントロール用の制御用モニター１６ａ、ＣＣＤカメラ６ｃより取り込んだ画像をリアルタイムで表示するための表示用モニター１６ｂが装備されている。
【００２１】
続いて、本発明の特徴点であるエアーブロワ１７の詳細な構成について図４〜図７を用いて説明する。
エアーブロワ１７は、第１エアノズル群２０、第２エアノズル群２１および各エアノズル群２０、２１に圧縮したエアを送るコンプレッサ２２とから構成される。
第１エアノズル群２０は図５に示すように、リードフレーム３の検査面３ａに向けて複数のエアノズル２０ａがＶ字状に配列されると共に、Ｖ字の頂点部分が搬送経路の上流側に位置する構成となっている。
また、第２エアノズル群２１は図６に示すように、リードフレーム３の検査面３ａに向けて複数のエアノズル２１ａがリードフレーム３の幅方向に沿って直線的に配列された構成となっている。また、第２エアノズル群２１は第１エアノズル群２０に対して搬送経路の下流側に配置されている。なお、第２エアノズル群２１と第１エアノズル群２０の搬送経路に沿った配置を上下逆にすることも可能である。
【００２２】
また、本実施の形態では第１エアノズル群２０を構成する各エアノズル２０ａの向き（エア１８の吹き出し方向と同じ。以下同様）は、第１エアノズル群２０の頂点部分を中心にリードフレーム３の幅方向の両端側に向かうように振り分けられており、一方第２エアノズル群２１を構成する各エアノズル２１ａの向きは、リードフレーム３の搬送方向Ｘと平行になるように設定されているが、例えば第２エアノズル群２１を構成する各エアノズル２１ａの向きも、第１エアノズル群２０のエアノズル２０ａと同様に図７に示すごとく、第２エアノズル群２１の中央部分を中心にリードフレーム３の幅方向の両端側に向かうように振り分ける構成としても良い。
上記のように、第１エアノズル群２０や第２エアノズル群２１の各エアノズル２０ａ、２１ａの向きを、第１エアノズル群２０の場合にはその頂点部分、また第２エアノズル群２１の場合にはその中央部分を中心にリードフレーム３の幅方向の両端側に向かうように振り分けておくと、リードフレーム３の中央部分を中心として距離の短いリードフレーム３の幅方向へ異物を吹き飛ばすことができるため、加工油等の粘着性のある異物でも移動距離が短くリードフレーム３から吹き払い易い。また、吹き払った異物がリードフレーム３の上流側に付着することを抑制することもできる。
【００２３】
次に、上述した検査装置６の検査動作について説明する。
プレス装置５を経て連続的に加工され搬送されるリードフレーム３が検査装置６に進入すると、まずエアーブロワ１７によりリードフレーム３の検査面３ａ側の加工油等の異物が除去され、検査面３ａがクリーニングされる。
その後、クリーニングされたリードフレーム３の検査面３ａにリング状照明６ｂから光が略均一に照射され、この検査面３ａが照明される。続いて、ＣＣＤカメラ６ｃでは照明されたリードフレーム３の検査面３ａの所定領域の画像を入力する。
ＣＰＵ８ａでは、ＣＣＤカメラ６ｃと画像処理ボード８ｅを介して画像の取り込みを行い、取り込んだ画像を所定の解析手順に従い解析し、そのデータ（解析値）と記憶部８ｂに記憶されているティーチングデータ（記憶値）とを比較し、リードフレーム３の検査面の異常の有無を判断する。
【００２４】
本検査装置６では、ＣＣＤカメラ６ｃによるリードフレーム３の検査面３ａの画像入力の前に、エアーブロワ１７により予めプレス加工の際にリードフレーム３に付着する加工油やゴミ等の異物を除去してあるために、実際には異物ではない加工油を異物若しくは検査面３ａに生じた打痕や傷と誤って検出することを有効に防止できるため、リードフレーム３にある打痕や傷を高い精度で検出することが可能となる。
また、従来例のように洗浄液を用いてリードフレーム３を洗浄する方法と比べると、洗浄液の交換等の作業がなく管理が簡単であり、また管理に必要な人手や洗浄液代が省け、製造コストを低減できる。また、洗浄槽をプレス装置５と検査装置６との間に設ける必要がなくなるために、検査装置を含めたリードフレーム製造装置全体がコンパクトにすることが可能となる。
【００２５】
（第２の実施の形態）
上記実施の形態で説明したリードフレームの検査装置６は、リードフレーム３の片側の面を検査面３ａとし、この検査面３ａの画像をＣＣＤカメラ６ｃで取り込んで検査するものであるため、エアーブロワ１７は検査面３ａのみにエアを吹きつける構成としてあったが、リードフレーム３の両面を検査面３ａとし、両面の画像を、リードフレーム３の両側に配された２台のＣＣＤカメラ６ｃで取り込んで検査するリードフレームの検査装置の場合には、図８に示すようにエアーブロワ１７をリードフレーム３の両側に配置するようにする。
この構成においては、エアーブロワ１７の搬送経路の下流側と上流側の各々に、リードフレーム３を挟み付ける一対のローラ２３をそれぞれ設けてリードフレーム３をピンと張った状態とし、エアが吹きつけられたリードフレーム３の揺れを防止する。
【００２６】
なお、リードフレーム３の片側の面を検査面３ａとするリードフレームの検査装置６の場合でも、検査面３ａ側に付着した例えば加工油等の粘着性の高いものはリードフレーム３上から吹き飛ばされずに検査面３ａの背面側に移動する。そして、ＣＣＤカメラ６ｃで画像を取り込むまで背面側に隠れた状態を維持していれば、エアーブロワ１７は検査面３ａ側のみでよいが、検査面３ａのＣＣＤカメラ６ｃによる画像取り込みが終了する前に、背面側で垂れてリードフレーム３のプレス加工されたエッジ部分まで移動するような場合には、エアーブロワ１７を背面側にも設けるようにして、加工油をリードフレーム３から下方へ落とすようにすることも可能である。
【００２７】
以上、本発明の好適な実施例について種々述べてきたが、本発明はこの実施例に限定されるものではなく、エアノズル群の数、各エアノズル群のエアノズルの数や配列、エアノズルのエア吹き出し方向等は、リードフレームの幅や搬送速度に合わせて適宜変更しても良い等、発明の精神を逸脱しない範囲内でさらに多くの改変を施し得るのはもちろんのことである。
【００２８】
【発明の効果】
本発明に係るリードフレームの検査装置では、エアーブロワが設けられているため、洗浄液を用いてリードフレームを洗浄しなくても、プレス加工工程等においてリードフレームの検査面に付着した加工油等の異物をエアで吹き飛ばすことが可能となり、撮像カメラを用いてリードフレームに生じることがある打痕やバリ等の異常を正確に検出することができる。これによって、ユーザーに提供するリードフレームの信頼性，品質向上を実現することができる。
また、洗浄液を交換したりする手間や洗浄液代が省け、生産コストの低減が図れる。また、洗浄槽を使用しないために、リードフレーム製造装置全体をコンパクトにすることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかるリードフレームの検査装置を含むリードフレーム製造装置の全体構成を示す説明図である。
【図２】リードフレームの検査装置の構成を示すブロック説明図である。
【図３】リードフレームの検査装置の断面説明図である。
【図４】エアーブロワの構成を示す説明図である。
【図５】図４の第１エアノズル群のエアノズル配置を示すリードフレーム方向から見た説明図である。
【図６】図４の第２エアノズル群のエアノズル配置を示すリードフレーム方向から見た説明図である。
【図７】図４の第２エアノズル群の他のエアノズル配置を示すリードフレーム方向から見た説明図である。
【図８】エアーブロワの他の構成を示す説明図である。
【符号の説明】
３ リードフレーム
３ａ 検査面
６ 検査装置
６ａ 搬送ローラ
６ｂ リング状照明
６ｃ ＣＣＤカメラ
９ 光源
１１ フレーム搬送センサ
１２ フレームガイド
１３ 搬送ガイド
１４ 補助ローラ
１５ 制御パネル
１７ エアーブロワ
１９ 支持ローラ
２０ 第１エアノズル群
２１ 第２エアノズル群[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a lead frame inspection apparatus capable of detecting abnormalities such as dents, scratches and discoloration generated on the surface of a lead frame after punching.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, when forming a lead frame by punching a lead frame material with a press device, abnormalities such as dents and burrs that may occur in the lead frame in the press process are detected using an inspection device using image processing. The image on the inspection surface side is input with an imaging camera, and the luminance of the input image is analyzed to perform automatic inspection.
However, processing oil may adhere to the surface of the lead frame immediately after the pressing process during the pressing process, and the inspection apparatus detects processing oil that is not actually a foreign substance as a foreign substance. May be determined to have an abnormality.
For this reason, in order to prevent this erroneous detection, conventionally, a cleaning device using a cleaning tank is disposed between the press device and the inspection device, and the processing oil adhered by washing the lead frame with the cleaning liquid after the press processing is completed. Then, it is applied to an inspection device to detect abnormalities such as dents and burrs in the lead frame.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
However, if a cleaning device for cleaning the lead frame after the pressing process is installed as a part of the inspection device or as a part of the lead frame manufacturing device, the entire device system is large in both cases of the inspection device and the lead frame manufacturing device. Increased scale makes it difficult to secure the installation location. Also, the cleaning liquid is difficult to manage. In addition, there is a problem that the replacement of the cleaning liquid is costly.
[0004]
Accordingly, the present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and the object of the present invention is to accurately detect abnormalities such as dents and burrs that may occur in the lead frame without cleaning the lead frame using a cleaning liquid. An object of the present invention is to provide an inspection apparatus for a lead frame that can be detected.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the present invention comprises the following arrangement.
That is, an image of the lead frame that is transported vertically upward from the state in which the lead frame continuous in a belt shape is pressed into a U shape after being pressed, and an image of the lead frame that is transported vertically upward by the transport unit is captured. In a lead frame inspection apparatus having inspection means for detecting an abnormality of the lead frame by inputting with a camera and analyzing the luminance of the input image, downstream of the lead frame conveyance path toward the inspection surface of the lead frame An air blower that blows air diagonally from the upstream side to the upstream side is provided on the upstream side in the transport direction from the inspection position, and the air blower has a plurality of air nozzles that blow air toward the inspection surface of the lead frame, and the apex portion of the transport path A first air nozzle group arranged in a V shape located on the upstream side is provided, and a lead frame is provided downstream of the first air nozzle group. Characterized in that along the width direction and a second air nozzle group which are linearly arranged.
With this configuration, foreign substances such as processing oil adhering to the lead frame can be blown off with air in the press working process without cleaning the lead frame using a cleaning liquid, and the lead frame is generated using an imaging camera. It is possible to accurately detect abnormalities such as dents and burrs. By the first air nozzle group, foreign matters such as processing oil adhering to the lead frame can be efficiently blown away from the central portion of the lead frame to both ends in the width direction. With the second air nozzle group, it is also possible to blow away the foreign matter that has not been blown off by the first air nozzle group, and the foreign matter attached to the lead frame can be more reliably removed.
[0009]
In addition, the direction of each air nozzle constituting the first air nozzle group is distributed so as to go to both ends in the width direction of the lead frame around the apex portion, and the direction of each air nozzle constituting the second air nozzle group is the lead It is set parallel to the frame conveyance direction, or is distributed so as to be directed to both ends in the width direction of the lead frame with the central portion of the second air nozzle group as the center.
According to this configuration, since the foreign matter is blown off in the width direction with a short distance around the center portion of the lead frame, even a sticky foreign matter such as processing oil has a short moving distance and is easily blown off from the lead frame. Further, it is possible to suppress the blown-out foreign matter from adhering to the upstream side of the lead frame.
[0010]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Preferred embodiments of a lead frame inspection apparatus according to the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings.
(First embodiment)
First, the overall configuration of a lead frame manufacturing apparatus including a lead frame inspection apparatus will be described with reference to FIG.
Reference numerals 1 and 2 denote reels for taking out and winding the lead frame 3 which is continuous in a strip shape. In this embodiment, the lead frame 3 is fed out from the feeding reel 1 on the left side of the drawing, and is wound around the winding reel 2 arranged on the right side of the drawing. The lead frame 3 is transported in the X direction (the same applies hereinafter).
Reference numeral 4 denotes a leveler which conveys the lead frame 3 fed from the feeding reel 1 while maintaining a certain height. Reference numeral 5 denotes a press device that is equipped with an upper die 5a and a lower die 5b to form leads by pressing.
[0011]
A lead frame inspection device 6 is provided on the downstream side of the transport path of the lead frame 3 with respect to the press device 5, and the surface state of the lead frame 3 punched out by the press device 5 is dented, scratched, discolored, etc. This is to check whether there is any abnormality. The inspection apparatus 6 includes a conveyance roller 6a constituting a part of the conveyance unit, a ring-shaped illumination 6b as an illumination unit, a CCD (charge coupled device) camera 6c as an example of an imaging camera, a ring-shaped illumination 6b, and a CCD camera. A table 6d that is integrally mounted with the position 6c positioned, an air blower 17 that blows air onto the inspection surface 3a of the lead frame 3, and the like are provided. The imaging camera may be a camera using an imaging tube.
Reference numeral 7 denotes an interlayer paper, which is interposed between the lead frames 3 wound around the winding reel 2 to be wound up, and is protected from rubbing between the lead frames.
[0012]
Next, the overall configuration of the lead frame inspection apparatus 6 will be described with reference to FIG.
The air blower 17 is provided on the upstream side of the conveyance path of the lead frame 3 with respect to the CCD camera 6c, and blows air 18 obliquely from the downstream side to the upstream side of the conveyance path toward the inspection surface 3a of the lead frame 3. Foreign matter such as processing oil and dust adhering to the inspection surface 3a is removed. The operation / stop of the air blower 17 may be performed by providing an independent switch for the air blower 17 or may be controlled by a control unit described later.
[0013]
The ring-shaped illumination 6b that constitutes a part of the inspection means is provided downstream of the air blower 17 in the conveyance path of the lead frame 3, and has a function of irradiating a predetermined region of the inspection surface 3a of the lead frame 3 with light. is doing. In the present embodiment, the ring-shaped illumination 6b has one stage as an example, but may be provided in multiple stages. As an example, light is guided from the light source 9 to the ring-shaped illumination 6b via an optical fiber (not shown) or the like. Note that the illumination is not limited to the ring illumination as long as the test surface 3a of the lead frame 3 is evenly irradiated with light.
In the present embodiment, in order to detect a dent or the like generated on the surface of the lead frame 3, the ring-shaped illumination 6b is arranged on the same side as the CCD camera 6c with respect to the lead frame 3, and the lead frame 3 is disposed on the CCD camera 6c. The scattered illumination light (reflected light) is taken in. However, when inspecting burrs and the like of the edge portion of the lead frame 3, the ring illumination 6b is placed on the opposite side of the lead frame 3 from the CCD camera 6c. In some cases, image processing of the CCD camera 6c using transmitted light is performed.
The CCD camera 6c constituting a part of the inspection means is provided on the opposite side of the lead frame 3 with the ring-shaped illumination 6b interposed therebetween, and an image of a predetermined region of the inspection surface 3a of the lead frame 3 illuminated by the ring-shaped illumination 6b. Enter.
[0014]
As shown in FIG. 2, the control unit 8 constituting a part of the inspection means includes a CPU 8a for controlling the operation of the entire inspection apparatus according to a control program, temporarily storing data input from the outside, and a working area for the CPU 8a. A storage unit 8b having a RAM and a ROM storing a control program for the CPU 8a, an input / output unit (I / O unit) 8c for inputting / outputting data, an illuminance controller 8d for controlling the illuminance of the light source 9, An image processing board 8e for performing mask processing on an image photographed by the CCD camera 6c is provided.
The CPU 8a controls the illuminance of the light source 9 by the illuminance controller 8d, and irradiates light within a predetermined area of the lead frame 3 photographed by the CCD camera 6c by the ring-shaped illumination 6b so as to have almost the same brightness. Then, an image in an area having almost the same brightness is photographed by the CCD camera 6c, taken in as luminance data via the image processing board 8e, the fetched luminance data is analyzed, and the obtained analysis value is stored in the storage unit 8b. Compare with the stored value.
In the case where the storage value serving as a reference for comparison is stored in the storage unit 8b, a standard lead frame image having no abnormality such as dents, scratches, and discoloration is taken by the CCD camera 6c on the inspection surface side. The luminance data is taken in via the image processing board 8e (teaching).
[0015]
The controller 10 that constitutes a part of the conveying means has a driver circuit that operates / stops a drive motor (not shown) that drives the conveying roller 6 a that conveys the lead frame 3. The controller 10 is controlled by the CPU 8a via the I / O unit 8c. Specifically, a detection signal from the frame conveyance sensor 11 for detecting the conveyance amount of the lead frame 3 is input to the CPU 8a via the I / O unit 8c, and the CPU 8a performs I / O based on this detection signal. The controller 10 is controlled via the section 8c to operate the transport roller 6a to perform a transport operation, or stop the transport roller 6a to stop the transport operation. Further, a control signal for operating / stopping the air blower 17 and the press device 5 is also output.
[0016]
Next, a specific apparatus configuration of the lead frame inspection apparatus 6 will be described with reference to FIG. Hereinafter, description will be given according to the transport path of the lead frame 3 after pressing.
The lead frame 3 hangs down in a U shape downward from the left side of the drawing and enters the inspection apparatus 6 and is conveyed vertically upward along a frame guide 12 constituting a part of the conveying means. The lead frame 3 is in the position A during conveyance. When the conveyance operation is stopped, the lead frame 3 moves slightly due to inertia and hangs down to the position B or C and stops.
In the present embodiment, since the transport path from the air blower 17 to the transport roller 6a extends in the vertical direction as described above, the upstream of the transport path of the lead frame 3 with respect to the CCD camera 6c described above. The side corresponds to the lower side of the CCD camera 6c, and the downstream side corresponds to the upper side of the CCD camera 6c.
[0017]
In addition, an air blower 17 is provided at a position where the lead frame 3 is conveyed vertically upward after it hangs down in a U-shape. As described above, air 18 is blown obliquely from the air blower 17 toward the inspection surface 3a of the lead frame 3 from the downstream side to the upstream side of the transport path.
As a result, the processing oil adhering to the inspection surface 3a of the lead frame 3 during press working can be blown down from the top of the lead frame 3, or at least moved to the back side of the inspection surface 3a. The CCD camera 6c can capture a beautiful image of the inspection surface 3a of the lead frame 3 to which foreign matters such as processing oil and dust do not adhere. In addition, a support roller 19 is provided on the back side of the inspection surface 3a of the lead frame 3 where the air 18 hits so that the air 18 does not shake when the air 18 hits.
The air blower 17 is installed at a position where the lead frame 3 is transported upward. This is because the working oil adhering to the surface of the lead frame 3 hangs down due to gravity, and more air This is because the processing oil can be easily blown away at 18.
[0018]
Further, the lead frame 3 transported vertically upward is slidably held at both ends in the width direction by the frame guide 12 provided on the downstream side of the transport path of the air blower 17 and positioned in the width direction and the thickness direction. Made. As an example, guide grooves (not shown) having a U-shaped cross section are arranged at both ends in the width direction of the lead frame 3 of the unit of the frame guide 12 according to the width of the lead frame 3 so that the opening portions face each other. Further, both ends of the lead frame 3 are held between the guide grooves.
At the side of the frame guide 12, a CCD camera 6c is attached to the table 6d on the opposite side of the unit of the frame guide 12 with the lead frame 3 sandwiched so that the optical axis is orthogonal to the inspection surface 3a of the lead frame 3. Are arranged. Further, a ring-shaped illumination 6b is also mounted on the table 6d between the lead frame 3 and the CCD camera 6c.
As a result, light is irradiated onto a predetermined region of the inspection surface 3a from a direction perpendicular to the inspection surface 3a of the lead frame 3, and an image of the inspection surface 3a is captured by the CCD camera 6c.
[0019]
Further, a conveyance roller 6a is disposed on the downstream side of the conveyance path of the lead frame 3, and is rotated by a drive motor (not shown) to convey the lead frame 3 around a part of its arc surface. The rotation of the conveyance roller 6a is controlled by the CPU 8a based on the detection signal of the frame conveyance sensor 11 disposed between the frame guide 12 and the conveyance roller 6a, and the lead frame 3 is conveyed and stopped.
The lead frame 3 is wound around the transport roller 6a, bent in an inverted U shape, and transported obliquely downward.
A conveyance guide 13 constituting a part of the conveyance means is disposed on the downstream side of the conveyance path of the conveyance roller 6a, and conveyance of the lead frame 3 is continuously guided by the conveyance guide 13. In the conveyance path of the conveyance guide 13, there are provided a plurality of auxiliary rollers 14 that rotate in contact with one or both of the upper and lower sides of the lead frame 3. The lead frame 3 that has passed through the transport guide 13 is guided out of the apparatus and transported to the winding side.
[0020]
A control panel 15 having a control unit 8, a power supply unit, and the like is disposed at the lower part of the apparatus. Further, a control monitor 16a for controlling control data and a display monitor 16b for displaying an image captured from the CCD camera 6c in real time are provided on the upper part of the apparatus.
[0021]
Subsequently, a detailed configuration of the air blower 17 which is a feature of the present invention will be described with reference to FIGS.
The air blower 17 includes a first air nozzle group 20, a second air nozzle group 21, and a compressor 22 that sends compressed air to the air nozzle groups 20, 21.
As shown in FIG. 5, the first air nozzle group 20 has a plurality of air nozzles 20a arranged in a V shape toward the inspection surface 3a of the lead frame 3, and the apex portion of the V shape is located on the upstream side of the transport path. It is the composition to do.
Further, as shown in FIG. 6, the second air nozzle group 21 has a configuration in which a plurality of air nozzles 21 a are linearly arranged along the width direction of the lead frame 3 toward the inspection surface 3 a of the lead frame 3. . Further, the second air nozzle group 21 is disposed on the downstream side of the transport path with respect to the first air nozzle group 20. Note that the arrangement of the second air nozzle group 21 and the first air nozzle group 20 along the transport path can be turned upside down.
[0022]
In the present embodiment, the direction of each air nozzle 20a constituting the first air nozzle group 20 (same as the blowing direction of the air 18; the same applies hereinafter) is the width of the lead frame 3 with the apex portion of the first air nozzle group 20 as the center. The direction of each air nozzle 21a constituting the second air nozzle group 21 is set so as to be parallel to the transport direction X of the lead frame 3, for example, Similarly to the air nozzle 20a of the first air nozzle group 20, the directions of the air nozzles 21a constituting the two air nozzle group 21 are both ends in the width direction of the lead frame 3 with the central portion of the second air nozzle group 21 as the center, as shown in FIG. It is good also as a structure which distributes so that it may go to the side.
As described above, the orientation of the air nozzles 20a, 21a of the first air nozzle group 20 and the second air nozzle group 21 is the apex portion in the case of the first air nozzle group 20, and the direction in the case of the second air nozzle group 21. Since the foreign matter can be blown off in the width direction of the lead frame 3 having a short distance around the central portion of the lead frame 3 when the distribution is performed so as to go to both ends in the width direction of the lead frame 3 around the central portion. Even sticky foreign substances such as processing oil have a short moving distance and are easily blown off from the lead frame 3. Further, it is possible to suppress the blown-out foreign matter from adhering to the upstream side of the lead frame 3.
[0023]
Next, the inspection operation of the above-described inspection apparatus 6 will be described.
When the lead frame 3 continuously processed and conveyed through the press device 5 enters the inspection device 6, first, foreign matter such as processing oil on the inspection surface 3a side of the lead frame 3 is removed by the air blower 17, and the inspection surface 3a. Is cleaned.
Thereafter, the inspection surface 3a of the cleaned lead frame 3 is irradiated with light from the ring-shaped illumination 6b substantially uniformly, and the inspection surface 3a is illuminated. Subsequently, the CCD camera 6c inputs an image of a predetermined area of the illuminated inspection surface 3a of the lead frame 3.
The CPU 8a captures an image via the CCD camera 6c and the image processing board 8e, analyzes the captured image in accordance with a predetermined analysis procedure, and analyzes the data (analyzed value) and teaching data (stored in the storage unit 8b). The stored value is compared to determine whether there is an abnormality in the inspection surface of the lead frame 3.
[0024]
In this inspection apparatus 6, before the image input of the inspection surface 3a of the lead frame 3 by the CCD camera 6c, foreign substances such as processing oil and dust adhering to the lead frame 3 at the time of press working are previously removed by the air blower 17. Therefore, it is possible to effectively prevent processing oil that is not actually foreign matter from being erroneously detected as foreign matter or dents or scratches generated on the inspection surface 3a, so that the dents or scratches on the lead frame 3 are high. It becomes possible to detect with accuracy.
Compared with the method of cleaning the lead frame 3 using a cleaning liquid as in the conventional example, there is no work such as replacement of the cleaning liquid, management is simple, and manpower and cleaning liquid costs necessary for management are omitted, and the manufacturing cost is reduced. Can be reduced. Further, since it is not necessary to provide a cleaning tank between the press device 5 and the inspection device 6, the entire lead frame manufacturing apparatus including the inspection device can be made compact.
[0025]
(Second Embodiment)
In the lead frame inspection apparatus 6 described in the above embodiment, the one surface of the lead frame 3 is used as the inspection surface 3a, and an image of the inspection surface 3a is captured and inspected by the CCD camera 6c. 17 is configured to blow air only on the inspection surface 3a, but both surfaces of the lead frame 3 are used as the inspection surface 3a, and images on both surfaces are captured by two CCD cameras 6c arranged on both sides of the lead frame 3. In the case of the lead frame inspection apparatus inspected in step 1, air blowers 17 are arranged on both sides of the lead frame 3 as shown in FIG.
In this configuration, a pair of rollers 23 that sandwich the lead frame 3 are provided on each of the downstream side and the upstream side of the conveyance path of the air blower 17 so that the lead frame 3 is stretched and air is blown. This prevents the lead frame 3 from shaking.
[0026]
Even in the case of the lead frame inspection apparatus 6 in which the one side surface of the lead frame 3 is the inspection surface 3a, a highly adhesive material such as processing oil attached to the inspection surface 3a side is not blown off from the lead frame 3. To the back side of the inspection surface 3a. If the state hidden on the back side is maintained until the image is captured by the CCD camera 6c, the air blower 17 may be only on the inspection surface 3a side, but before the image capturing by the CCD camera 6c on the inspection surface 3a is completed. In addition, in the case of moving to the pressed edge portion of the lead frame 3 depending on the back side, the air blower 17 is also provided on the back side so that the processing oil is dropped downward from the lead frame 3. It is also possible to make it.
[0027]
As described above, various preferred embodiments of the present invention have been described. However, the present invention is not limited to this embodiment, and the number of air nozzle groups, the number and arrangement of air nozzles in each air nozzle group, and the air blowing direction of the air nozzles Of course, more modifications can be made within a range not departing from the spirit of the invention, for example, it may be changed as appropriate according to the width of the lead frame and the conveyance speed.
[0028]
【The invention's effect】
In the lead frame inspection apparatus according to the present invention, since the air blower is provided, the processing oil or the like adhering to the inspection surface of the lead frame in a press working process or the like can be obtained without cleaning the lead frame using a cleaning liquid. Foreign matter can be blown off with air, and abnormalities such as dents and burrs that may occur in the lead frame can be accurately detected using an imaging camera. As a result, the reliability and quality of the lead frame provided to the user can be improved.
In addition, the labor for replacing the cleaning liquid and the cost for the cleaning liquid can be saved, and the production cost can be reduced. In addition, since the cleaning tank is not used, the entire lead frame manufacturing apparatus can be made compact.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an explanatory diagram showing an overall configuration of a lead frame manufacturing apparatus including a lead frame inspection apparatus according to the present invention.
FIG. 2 is a block diagram illustrating a configuration of a lead frame inspection apparatus;
FIG. 3 is a cross-sectional explanatory view of a lead frame inspection apparatus;
FIG. 4 is an explanatory diagram showing a configuration of an air blower.
FIG. 5 is an explanatory diagram viewed from the lead frame direction showing the air nozzle arrangement of the first air nozzle group in FIG. 4;
6 is an explanatory diagram viewed from the lead frame direction showing the air nozzle arrangement of the second air nozzle group of FIG. 4; FIG.
7 is an explanatory diagram viewed from the lead frame direction showing another air nozzle arrangement of the second air nozzle group of FIG. 4; FIG.
FIG. 8 is an explanatory view showing another configuration of the air blower.
[Explanation of symbols]
3 Lead frame 3a Inspection surface 6 Inspection device 6a Transport roller 6b Ring illumination 6c CCD camera 9 Light source 11 Frame transport sensor 12 Frame guide 13 Transport guide 14 Auxiliary roller 15 Control panel 17 Air blower 19 Support roller 20 First air nozzle group 21 First 2 air nozzle group

Claims (2)

帯状に連続するリードフレームがプレス加工を経てＵ字状に垂れ下がった状態から鉛直上方へ向けて搬送するための搬送手段と、
前記搬送手段により鉛直上方へ搬送されるリードフレームの画像を撮像カメラで入力し、入力画像の輝度を解析することで該リードフレームの異常を検出する検査手段を有するリードフレームの検査装置において、
前記リードフレームの検査面に向けて該リードフレームの搬送経路の下流側から上流側へ斜めにエアを吹き付けるエアーブロワを検査位置より搬送方向上流側に具備し、該エアーブロワはリードフレームの検査面に向けてエアを吹き出す複数のエアノズルが、頂点部分が搬送経路の上流側に位置するＶ字状に配列された第１エアノズル群を備え、第１エアノズル群の下流側にリードフレームの幅方向に沿って直線的に配列された第２エアノズル群を備えていることを特徴とするリードフレームの検査装置。Conveying means for conveying the lead frame that is continuous in a strip shape vertically downward from the state where the lead frame hangs down in a U-shape after pressing ,
In the testing apparatus of the lead frame having a test means for vertical images of the lead frame to be conveyed upward and enter the imaging camera to detect the abnormality of the lead frame by analyzing the brightness of the input image by said conveying means,
An air blower that blows air obliquely from the downstream side to the upstream side of the lead frame conveyance path toward the inspection surface of the lead frame is provided upstream of the inspection position in the conveyance direction, and the air blower is provided on the inspection surface of the lead frame. A plurality of air nozzles that blow out air toward the head include a first air nozzle group arranged in a V shape with the apex portion positioned on the upstream side of the transport path, and in the width direction of the lead frame on the downstream side of the first air nozzle group An inspection apparatus for a lead frame , comprising a second air nozzle group arranged linearly along . 前記第１エアノズル群を構成する各エアノズルの向きは頂点部分を中心にリードフレームの幅方向の両端側に向かうように振り分けられており、第２エアノズル群を構成する各エアノズルの向きはリードフレームの搬送方向に平行に設定され若しくは当該第２エアノズル群の中央部分を中心にリードフレームの幅方向の両端側に向かうように振り分けられていることを特徴とする請求項１記載のリードフレームの検査装置。The direction of each air nozzle constituting the first air nozzle group is distributed so as to go to both ends in the width direction of the lead frame around the apex portion, and the direction of each air nozzle constituting the second air nozzle group is the direction of the lead frame. 2. The lead frame inspection apparatus according to claim 1, wherein the lead frame inspection apparatus is set in parallel with the transport direction or is distributed so as to be directed toward both ends in the width direction of the lead frame with the central portion of the second air nozzle group as a center. .
JP9560697A 1997-04-14 1997-04-14 Lead frame inspection equipment Expired - Fee Related JP3741513B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9560697A JP3741513B2 (en) 1997-04-14 1997-04-14 Lead frame inspection equipment

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9560697A JP3741513B2 (en) 1997-04-14 1997-04-14 Lead frame inspection equipment

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH10288586A JPH10288586A (en) 1998-10-27
JP3741513B2 true JP3741513B2 (en) 2006-02-01

Family

ID=14142221

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9560697A Expired - Fee Related JP3741513B2 (en) 1997-04-14 1997-04-14 Lead frame inspection equipment

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3741513B2 (en)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005315767A (en) 2004-04-30 2005-11-10 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd Method and device for inspecting insulation film for film carrier tape for mounting electronic component, punching work device for film, and control method for work device
KR100697559B1 (en) * 2004-08-31 2007-03-21 주식회사 에이디피엔지니어링 Apparatus for testing substrate
JP2011508234A (en) * 2007-12-28 2011-03-10 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング Method and apparatus for inspecting ring components manufactured in or for a drive belt manufacturing process
JP5784406B2 (en) * 2011-08-03 2015-09-24 昭和電工株式会社 Inspection method for processed products
KR101932204B1 (en) * 2014-10-31 2018-12-24 한화에어로스페이스 주식회사 Line scan apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
JPH10288586A (en) 1998-10-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20140066551A (en) Reel-to-reel inspection apparatus and inspection method using the same
EP0477536A2 (en) Optical sheet inspection system
JP5833413B2 (en) Container inspection equipment
JPS63249768A (en) Fabric inspecting method and apparatus
JP3741513B2 (en) Lead frame inspection equipment
JP2005233730A (en) Component inspection device
JP2001232765A (en) Apparatus for inspecting printed matter in corrugated board box manufacturing machine
CN111257344A (en) Detection equipment for tape-type work piece
KR100533704B1 (en) System for inspecting appearance of tape carrier package and method thereby
JP3886205B2 (en) Lead frame inspection equipment
JP2002365227A (en) Apparatus for inspecting pressed product
CN112730420A (en) Appearance flaw detection station
JP4272299B2 (en) Lead frame flutter prevention mechanism and lead frame inspection device
JP3590162B2 (en) Lead frame inspection equipment
JP2000227401A (en) Tape carrier defect inspection device, and tape carrier conveying method in the same device
JP4099294B2 (en) Lead frame inspection equipment
KR0141196B1 (en) Panel inspection apparatus of cathode ray tube
JPH11248643A (en) Detection device for foreign matter in transparent film
CN113640311A (en) Visual detection device for paper extraction and detection machine comprising same
JPH10293018A (en) Device for inspecting lead frame
JP2789606B2 (en) Tablet appearance defect detection method and device
TW201111773A (en) Optical system correction method of an in-line substrate inspection device as well as in-line substrate inspection device
JP2586781Y2 (en) Fiber end face inspection equipment
JP3847425B2 (en) Lead frame inspection equipment
JP4146971B2 (en) Lead frame inspection equipment

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Effective date: 20040412

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20040412

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20050519

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050719

A521 Written amendment

Effective date: 20050914

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20051101

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20051108

R150 Certificate of patent (=grant) or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees