JP5781782B2 - 信号処理装置、信号処理方法、信号処理プログラム、及び記憶媒体 - Google Patents

Description

本発明は、信号処理の技術に関し、例えば半導体製造装置等の機器の状態を検出するセンサによって得られた信号データを処理する技術に関する。

例えば半導体デバイスの製造プロセスに関して、開発期間短縮、コスト削減などのため、ＦＤＣ（Fault Detection and Classification）と呼ばれるシステムが導入されることがある（例えば下記特許文献１参照）。ＦＤＣシステムは、半導体製造装置の装置状態（圧力、温度、流量、電圧等）を検出する複数のセンサからリアルタイムの信号データを取得し、プロセス障害の検出等を行なう。

特開２００４−３５６５１０号公報

上記のように複数のセンサから取得した信号データを、コンピュータ等を用いた管理システムにおいて処理、記録、管理等する場合、センサの種類や数が不明であったり、センサの種類や名称、数が変更されたりすると、例えば信号データの記録（保存）形式等に改変の必要性が生じる等、システム設計上の影響が大きい。

そこで、本発明の目的の一つは、センサの種類や数に依存しないで、センサで得られた信号データの記録、管理を柔軟に行なえるようにすることにある。

なお、前記目的に限らず、後述する発明を実施するための形態に示す各構成により導かれる作用効果であって、従来の技術によっては得られない作用効果を奏することも本発明の他の目的の一つとして位置付けることができる。

本発明の信号処理装置の一態様は、機器の状態を検出する複数のセンサのそれぞれで検出された信号データを処理する信号処理装置であって、前記機器の状態を検出すべき期間に関する期間情報を記憶する記憶部と、前記期間において１又は複数の前記センサで検出された信号データを一定周期でサンプリングし、各サンプリングデータを前記センサ別に前記期間情報と関連付けて前記記憶部に記憶する制御部と、を備える。

ここで、前記関連付けは、前記記憶部において、前記期間情報を含むデータファイルと、前記期間情報に関連付けられるデータを含む前記センサ別のデータファイルと、を同じデータフォルダに格納することに相当する記憶領域の管理を含んでよい。

また、前記記憶領域の管理は、前記サンプリングデータに関する演算方法を定義したデータファイルを、前記データフォルダに格納することに相当する記憶領域の管理を更に含んでよい。

さらに、前記記憶領域の管理は、前記演算方法での演算結果を含むデータファイルを、前記データフォルダに格納することに相当する記憶領域の管理を更に含んでよい。

また、前記制御部は、いずれかの前記データファイルを暗号化する暗号化部と、暗号化された前記データファイルを復号化する復号化部と、を備えてもよい。

さらに、前記制御部は、いずれかの前記データファイルを圧縮する圧縮部と、圧縮された前記データファイルを復元する復元部と、を備えてもよい。

また、前記期間情報は、前記機器である半導体製造装置による特定の製造プロセスの実施期間に相当する情報でもよい。

さらに、本発明の信号処理方法の一態様は、機器の状態を検出する複数のセンサのそれぞれで検出された信号データを処理する信号処理方法であって、前記機器の状態を検出すべき期間に関する期間情報を記憶部に記憶する処理と、前記期間において１又は複数の前記センサで検出された信号データを一定周期でサンプリングし、各サンプリングデータを前記センサ別に前記期間情報と関連付けて前記記憶部に記憶する処理と、を含む。

また、本発明の信号処理プログラムの一態様は、機器の状態を検出する複数のセンサのそれぞれで検出された信号データを処理する信号処理装置としてコンピュータを機能させる信号処理プログラムであって、前記機器の状態を検出すべき期間に関する期間情報を記憶部に記憶させる処理と、前記期間において１又は複数の前記センサで検出された信号データを一定周期でサンプリングし、各サンプリングデータを前記センサ別に前記期間情報と関連付けて前記記憶部に記憶させる処理と、を前記コンピュータに実行させる。

さらに、本発明の記憶媒体の一態様は、機器の状態を検出する複数のセンサのそれぞれで検出された信号データを処理するコンピュータに読み出し及び書き込みされる記憶媒体であって、前記機器の状態を検出すべき期間に関する期間情報と、前記期間情報を読み取った前記コンピュータが前記期間において１又は複数の前記センサで検出された信号データを一定周期でサンプリングして得られた各サンプリングデータであって、前記センサ別に前記期間情報と関連付けて書き込まれるサンプリングデータと、を記憶する。

本実施形態に係る信号処理装置の構成例を示すブロック図である。 図１に例示する信号処理装置の機能ブロック図である。 図１及び図２に例示する信号処理装置におけるデータ記録形式の一例を示す図である。 図１及び図２に例示する信号処理装置におけるデータ記録形式の一例を示す図である。 図１及び図２に例示する信号処理装置におけるデータ記録形式の変形例を示す図である。 本実施形態との比較例を説明するための表形式データの一例を示す図である。 本実施形態との比較例を説明するための表形式データの一例を示す図である。 本実施形態との比較例を説明するための表形式データの一例を示す図である。

以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。ただし、以下に説明する実施形態は、あくまでも例示であり、以下に明示しない種々の変形や技術の適用を排除する意図はない。即ち、本発明は、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変形（各実施例を組み合わせる等）して実施することができる。また、以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付して表している。図面は模式的なものであり、必ずしも実際の寸法や比率等とは一致しない。図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることがある。

〔１〕一実施形態
図１は、本実施形態に係る信号処理装置の構成例を示すブロック図である。図１に示す信号処理装置３は、例示的に、１又は複数のセンサ１−１〜１−Ｎ（Ｎは１以上の整数）とフィールドバス等の通信ネットワーク５を介して通信可能に接続される。

センサ１−ｉ（ｉ＝１〜Ｎのいずれか）は、例示的に、半導体製造装置等の機器に取り付けられ、当該機器の状態を示す信号データを検出する。機器の状態を示す信号データの一例としては、圧力、温度、流量、電圧等の物理量データが挙げられる。センサ１−ｉが検出した信号データは、通信ネットワーク５経由で信号処理装置３に提供することができる。

信号処理装置３は、通信ネットワーク５経由で受信したセンサ信号を処理する。信号処理装置３は、通信ネットワーク５に有線あるいは無線で固定的に接続された固定端末でもよいし、通信ネットワーク５に有線あるいは無線で一時的にアクセス可能な移動端末でもよい。あるいは、信号処理装置３は、半導体製造装置等の機器に備えられた通信インターフェース（図示省略）に接続可能な端末であり、センサ信号を、当該通信インターフェースを介して（通信ネットワーク５を介さずに）受信できるようにしてもよい。

信号処理装置３は、例示的に、ＣＰＵ（Central Processing Unit）３１、ＲＡＭ（Random Access Memory）３２、ＲＯＭ（Read Only Memory）３３、ハードディスク等の記憶装置３４、１又は複数のインターフェース（Ｉ／Ｆ）３５Ａ〜３５Ｄ、ディスプレイ３６、キーボード３７、マウス等のポインティングデバイス３８を備える。

キーボード３７及びポインティングデバイス３８は、半導体製造装置等の機器の管理者が信号処理装置３に情報を入力するために用いられる入力デバイスの一例である。

ディスプレイ３６は、液晶ディスプレイ、ＰＤＰ（プラズマ・ディスプレイ・パネル）、ＨＭＤ（ヘッドマウントディスプレイ）等の表示装置であり、例えばＣＰＵ３１による表示制御の下、ＲＡＭ３２やＲＯＭ３３、記憶装置３４に記憶されているデータ（既述のセンサ信号も含まれる）を表示する。なお、ディスプレイ３６は、タッチパネル等の情報入力が可能なデバイスを備えていてもよい。

インターフェース３５Ａ〜３５Ｃは、それぞれディスプレイ３６、キーボード３７及びポインティングデバイス３８等の周辺機器（ペリフェラル）を接続するために用いられるインターフェースである。当該インターフェースには、例示的に、ＵＳＢ、ＩＥＥＥ１３９４、シリアル、パラレル、赤外線、無線等のインターフェースを用いることができる。インターフェース３５Ｄは、信号処理装置３を通信ネットワーク５に接続する通信インターフェースである。

記憶装置３４は、例えばセンサ信号を処理する信号処理プログラムを記憶する。信号処理プログラムは、コンピュータ読取可能な記録媒体に記録された形態で提供することができる。記録媒体には、例えば、ハードディスク、磁気ディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ（Compact Disk Read Only Memory）、ＤＶＤ（Digital Versatile Disk）、ＢＤ（Blue-ray Disk）、ＲＯＭカートリッジ、バッテリバックアップ付きＲＡＭカートリッジ、フラッシュメモリカートリッジ、不揮発性ＲＡＭカートリッジ等が含まれる。コンピュータの一例である信号処理装置３は当該記録媒体から信号処理プログラムを読み取って記憶装置３４やＲＡＭ３２に転送し格納して用いる。また、信号処理プログラムは、例えば通信ネットワーク５を介して信号処理装置３に提供することもできる。

なお、「コンピュータ」とは、例示的に、ハードウェアとオペレーティングシステム（ＯＳ）とを含む概念であり、ＯＳの制御の下で動作するハードウェアを意味することがある。また、ＯＳが不要でプログラム単独でハードウェアを動作させることが可能な場合には、そのハードウェアがコンピュータに相当すると位置付けることができる。ハードウェアは、ＣＰＵ等の演算装置と、記録媒体に記録されたプログラムを読み取り可能な読み取り装置とを含むことができる。

信号処理プログラムは、上述のようなコンピュータに、信号処理装置３としての機能を実現させるプログラムコードを含んでいる。その機能の一部はプログラムではなくＯＳによって実現されてもよい。

ＲＯＭ３３は、不揮発性記憶媒体の一例であり、例えば、信号処理装置３が起動する際に、ＣＰＵ３１にマイクロコードを設定したり、各部を初期化したり、記憶装置３４からＯＳ等を起動し、プログラムが実行されるような指示を行なったりするためのプログラムやデータを記憶する。

ＲＡＭ３２は、揮発性記憶媒体の一例であり、ＣＰＵ３１の作業領域（ワークメモリ）を提供する。

ＣＰＵ３１は、演算処理能力を備えたプロセッサの一例である。ＣＰＵ３１は、ＲＯＭ３３や記憶装置３４に記憶されたプログラムやデータ、インターフェース３５Ａ〜３５Ｃを通じて与えられる各種入力情報を作業領域であるＲＡＭ３２に展開し、展開したプログラム等に従って動作することにより、コンピュータを信号処理装置３として機能させる。なお、ＣＰＵ３１の代わりに、ＭＰＵ（Micro Processing Unit）や、ＤＳＰ（Digital Signal Processor）、ＡＳＩＣ（Application Specific Processor）を用いてもよい。

次に、図２に信号処理装置３の機能ブロック図を示す。図２に示す信号処理装置３は、上述したようにＣＰＵ３１がＲＡＭ３２、ＲＯＭ３３及び記憶装置３４と協働して信号処理プログラムを実行することよって、例示的に、制御部３１０としての機能を有する。制御部３１０は、更にサンプリング処理部３１１及び記憶制御部３１２としての機能を具備してよい。なお、図２において点線でそれぞれ示す暗号化／復号化部３１３及び圧縮／復元部３１４としての機能はオプション機能であり、詳細については後述する。

サンプリング処理部３１１は、受信したセンサ信号をサンプリングする。サンプリングの期間及び周期は、例えば記憶制御部３１２から与えられる。例示的に、サンプリング期間は、半導体製造装置等の機器の状態（使用状況）を検出（測定）すべき期間であり、例えば当該機器が特定の処理を実施する期間に相当する。特定の処理の一例としては、機器が半導体製造装置であれば、ウエハーの製造工程における露光処理等の各種製造プロセスが挙げられる。

サンプリング周期は、当該サンプリング期間においてセンサ信号をサンプリングする時間間隔を規定する。本実施形態において当該サンプリング周期は複数のセンサ１−ｉについて共通とすることができる。すなわち、サンプリング処理部３１１は、センサ１−ｉの種類の異同に関わらず、いずれか２以上のセンサ１−ｉのセンサ信号を或るサンプリング期間において同じサンプリング周期でサンプリングすることができる。

記憶制御部３１２は、記憶装置３４の記憶領域を管理し、例えば、サンプリング処理部３１１でサンプリングされた信号データ（以下「サンプリングデータ」ともいう。）の記憶装置３４に対するデータの書き込み及び読み出しを制御する。当該制御には、例示的に、記憶装置３４において、データフォルダやデータファイルを生成、更新、及び／又は削除する処理が含まれる。当該制御は、例えばＯＳの一機能として備えられるファイルシステム（ＦＳ）を利用して実現することができる。

ＦＳは、例示的に、フォルダ制御部３１２ａとファイル制御部３１２ｂとを有する。データファイルは、ファイル制御部３１２ｂによってセンサ１−ｉの別に生成することができ、それぞれに対応するサンプリングデータが含められる。なお、サンプリングデータのデータファイルを以下「サンプリングデータファイル」と称する。

データフォルダは、フォルダ制御部３１２ａによって、既述のサンプリング期間（例えば、特定の製造プロセスの実施期間）の別に生成することができる。データフォルダには、当該期間において同じサンプリング周期でサンプリングされたセンサ信号についての１又は複数のサンプリングデータファイルを格納することができる。

このような記憶装置３４におけるデータ記録形式の一例を図３及び図４に示す。図３には、記憶装置３４に、１又は複数のデータフォルダ３４０−１〜３４０−ｎ（ｎは１以上の整数）が記録、保存される様子を例示している。そして、１つのデータフォルダ３４０−ｊ（ｊ＝１〜ｎのいずれか）には、例示的に、コンテキストデータファイル４０１と、１又は複数のサンプリングデータファイル４０２−ｉを格納することができる。

コンテキストデータファイル４０１は、例示的に、コンテキストデータセット４００（図４参照）を成すコンテキストデータ群の１つが記録されたデータファイルである。コンテキストデータは、例えば半導体製造装置等の機器の使用状況を表わすデータである。コンテキストデータによって、どの機器でどのようなプロセスがどの期間にわたって実施されるかを識別することができる。コンテキストデータは、例えば当該機器の制御装置（図示省略）から取得することができる。

例示的に、図３及び図４に示すコンテキストデータは、半導体製造プロセスで用いられるデータ例であり、「機器名（Equipment Name）」、「レシピ名（Recipe Name）」、「チャンバー名（Chamber Name）」、「開始時刻（Start Time）」及び「終了時刻（End Time）」等に関する情報を含む。

「機器名」には、半導体製造装置の名称を表わすデータがセットされ、「レシピ名」には、半導体製造装置に対する命令、設定及びパラメータ等を含むデータセットの名称を表わすデータがセットされ、「チャンバー名」には、当該半導体製造プロセスで用いられるチャンバー（反応処理等を実施する処理槽）の名称を表わすデータがセットされる。「開始時刻」及び「終了時刻」には、例えば「機器名」、「レシピ名」及び「チャンバー名」の各データで特定される半導体製造プロセスの開始時刻及び終了時刻を表わすデータがそれぞれセットされる。

したがって、コンテキストデータは、「機器名」、「レシピ名」及び「チャンバー名」で特定される製造プロセスが「開始時刻」及び「終了時刻」で特定される期間にわたって実施されることを示す。本実施形態では、当該期間が、機器の状態を検出（あるいは測定）すべきサンプリング期間（以下「測定期間」ともいう。）の一例に相当する。なお、同じ「機器名」、「レシピ名」及び「チャンバー名」を含むコンテキストデータであっても、測定期間が異なれば、それらは異なるコンテキストデータとして扱ってよい。別言すると、測定期間毎にコンテキストデータが生成されてよい。

ここで、コンテキストデータには、図３及び図４中に例示するように、機器に取り付けられているセンサ１−ｉに関する情報（以下「センサ情報」と称する。）４１０と、測定期間におけるサンプリング周期を指定する情報（以下「サンプリング周期情報」と称する。）４１１と、を含めることができる。センサ情報４１０の一例としては、センサ１−ｉの種類や名称、数等の情報が挙げられる。既述のサンプリング処理部３１１（図２参照）は、当該コンテキストデータを参照することで、測定期間においてサンプリング周期情報４１１が示す一定周期で、センサ情報４１０によって識別される１又は複数のセンサ１−ｉについてのセンサ信号のサンプリングを実施することができる。

なお、機器が備えるセンサ１−ｉの種類や名称、数に変更があった場合、当該機器は、例えば既述の制御装置へ変更後のセンサ１−ｉに関する情報を与えることができる。これにより、当該変更以後のコンテキストデータには、制御装置において、最新のセンサ情報４１０をセットすることが可能となる。

また、サンプリング周期情報４１１は、必ずしもコンテキストデータの情報要素でなくても構わない。サンプリング処理部３１１がセンサ信号のサンプリングにあたって参照可能な形態で記憶装置３４等に記憶されていれば足りる。また、例えばセンサ１−ｉの異同やコンテキストデータの異同に関わらず同じサンプリング周期をサンプリング処理部３１１に設定して構わない場合には、サンプリング周期情報４１１の設定、管理を不要にすることもできる。

データフォルダ３４０−ｊは、上述したようなコンテキストデータ毎に生成され、当該コンテキストデータをコンテキストデータファイル４０１の形態で格納する。そして、当該コンテキストデータが示す測定期間においてサンプリング周期情報４１１が示す一定周期でサンプリングされたセンサ１−ｉ別のサンプリングデータファイル４０２−ｉが、当該コンテキストデータファイル４０１の格納フォルダと同じデータフォルダ３４０−ｊに格納される。

別言すると、記憶制御部３１２は、複数のセンサ１−ｉ別のサンプリングデータファイル４０２−ｉをコンテキストデータファイル４０１と関連付けて（論理的にリンクして）記憶装置３４に記憶する。当該「関連付け」は、記憶装置３４において、コンテキストデータファイル４０１と、当該ファイル４０１に関連付けられるセンサ１−ｉ別のサンプリングデータファイル４０２−ｉと、を同じデータフォルダ３４０−ｊに格納することに相当する記憶領域の管理を記憶制御部３１２が実施することで実現できる。

なお、図４には、いずれの測定期間においてもセンサ１−ｉの数に変化がなく、各データフォルダ３４０−ｊに格納されるサンプリングデータファイル４０２−ｉの数も同じである様子を例示している。或る測定期間の開始時刻の時点でコンテキストデータのセンサ情報４１０が更新されていれば、当該コンテキストデータに対応して生成されたデータフォルダ３４０−ｊ内には更新後のセンサ情報４１０に基づいてセンサ１−ｉ別のサンプリングデータファイル４０２−ｉが格納（生成）されることになる。

記憶装置３４の残り容量が或る閾値未満になった場合、記憶制御部３１２は、例えば測定期間が古いコンテキストデータに対応するデータフォルダ３４０−ｊから順に自動削除（あるいは後述する圧縮／復元部３１４を利用してデータ圧縮）することができる。その際、別の記憶装置等に削除対象フォルダ３４０−ｊのバックアップをとるようにしてもよい。

以上のような記憶装置３４に対する記憶制御（管理）によって、本実施形態の信号処理装置３では、センサ１−ｉの名称や、種類、数等の変更があっても、その変更に応じてデータフォルダ３４０−ｊにおけるサンプリングデータファイル４０２−ｉが増減する。したがって、センサ信号のサンプリングデータの記録形式を改変等しなくても、柔軟な対応が可能である。

また、センサ１−ｉによる測定対象の機器毎に測定すべき項目が異なる（これはコンテキストデータの相違につながる）場合についても、コンテキストデータ毎にデータフォルダ３４０−ｊを生成できるので、柔軟に対応することができる。

別言すると、本実施形態の信号処理装置３では、機器の測定期間毎にセンサ信号についてのサンプリング周期を一定とし、実時間情報をインデックスとしてサンプリングデータを記憶、管理しない。したがって、センサ１−ｉの種類や数の変化、測定項目の変化等に柔軟に対応することができる。

結果として、センサ１−ｉによって取得される機器の使用状況に関する情報量が非常に膨大で、また、機器毎に測定項目が異なるような場合でも、データ記録形式を改変する等のデータベース設計に大きなインパクトを与えることがない。よって、センサ信号の保存、管理の低コスト化を図ることができる。

同等のセンサ信号の保存、管理を、既存のリレーショナルデータベース（以下「ＲＤＢ」と略称することがある。）を利用して実現しようとすると、コスト面等で非常に困難を伴う。また、ＲＤＢを用いたシステムでは、センサ１−ｉの数の変化に柔軟に対応できない場合がある。

（比較例）
例えば図６に例示するように、行方向インデックスを実時間とし、かつ、列方向インデックスを異なるセンサ＃１〜＃３とする表形式フォーマットで各センサ＃１〜＃３の値を記録すると、センサの種類や名称、数の変更に応じてフォーマットの改変が必要になる。仮に、図７及び図８に例示するように、列方向インデックスを「センサ名」及び「値」に改変すれば、センサ数の増減に対応することが可能となるが、例えばセンサ毎のトレンドグラフ等を得るためにデータ集計等の処理を実施しようとすると、インデックス検索等に時間を要し、性能の低下につながるおそれがある。

これに対し、本実施形態の信号処理装置３では、ＣＰＵ３１がデータフォルダ３４０−ｊにセンサ１−ｉ別に生成されたサンプリングデータファイル４０２−ｉを単純に読み込むだけで、センサ１−ｉ毎のトレンドグラフ等を容易に、また、高速に生成することができる。別言すると、サンプリングデータの可視化を高速に行なえる。

また、データフォルダ３４０−ｊ、データファイル４０１及び４０２−ｉによる記憶、管理のため、ＣＰＵ３１は、ファイル単位あるいはフォルダ単位での暗号化／復号化や圧縮／復元も容易に実施することができる。

すなわち、図２において、暗号化／復号化部３１３は、ファイルあるいはフォルダ単位でデータの暗号化及び／又は復号化を行なう。当該暗号化／復号化部３１３によって、データフォルダ３４０−ｊ内のデータファイル４０１及び４０２−ｉのいずれかを個別に暗号化し、当該暗号化されたファイルを個別に復号化することができる。また、データフォルダ３４０−ｊ自体を暗号化及び／又は復号化することもできる。

したがって、ファイルあるいはフォルダ単位でデータセキュリティの向上を図ることができる。なお、暗号化／復号化アルゴリズムには、共通鍵方式、公開鍵方式等の公知のアルゴリズムを適用してよい。ファイルやフォルダにパスワードを設定することも暗号化の一種である。

圧縮／復元部３１４は、ファイルあるいはフォルダ単位でデータの圧縮及び／又は復元を行なう。当該圧縮／復元部３１４によって、データフォルダ３４０−ｊ内のデータファイル４０１及び４０２−ｉのいずれかを個別に圧縮し、当該圧縮されたファイルを個別に復元することができる。また、データフォルダ３４０−ｊ自体を圧縮及び／又は復元することもできる。したがって、記憶装置３４の記憶容量の有効利用を図ることができる。当該圧縮／復元は、記憶装置３４の残り容量に応じて自動的に実施してもよい。

なお、圧縮／復元アルゴリズムには、ＺＩＰやＬＺＨ、ＲＡＲ等の公知のアルゴリズムを適用してよい。また、１つのデータファイルあるいはデータフォルダに対して暗号化と圧縮（復号化と復元）との双方を適用してもよい。さらに、暗号化／復号化部３１３及び圧縮／復元部３１４の一方又は双方は備えないこととしてもよい。

（変形例）
図５に例示するように、データフォルダ３４０−ｊには、上述したデータファイル４０１及び４０２−ｉに加えて、当該データフォルダ３４０−ｊ内のサンプリングデータ（ファイル４０２−ｉ）に適用する演算方法を定義したデータファイル（以下「演算方法定義ファイル」と称する。）４０３を格納してもよい。

別言すると、信号処理装置３の例えばＦＳは、演算方法定義ファイル４０３をコンテキストデータ（ファイル）４０１と関連付けて記憶装置３４に記憶することで、記憶装置３４において演算方法定義ファイル４０３をデータフォルダ３４０−ｊに格納することに相当する記憶領域の管理を実施してもよい。演算の一例としては、サンプリングデータの特徴量、代表値、平均値、最大値、最小値、平均値、及び標準偏差等の演算が挙げられる。

これにより、ＣＰＵ３１は、いずれかのデータフォルダ３４０−ｊを参照するだけで、演算方法定義ファイル４０３で定義された演算を同じフォルダ３４０−ｊ内のサンプリングデータに適用することができる。したがって、サンプリングデータについての所望の演算結果を容易に、また、迅速に生成することができる。その結果、演算結果のチャート化等の可視化も高速に行なうことが可能となる。

なお、当該演算結果も、例えばデータファイル（以下「演算結果ファイル」と称する。）４０４の形態で同じデータフォルダ３４０−ｊ内に格納してよい。別言すると、信号処理装置３の例えばＦＳは、演算結果ファイル４０４をコンテキストデータファイル４０１と関連付けて記憶装置３４に記憶することで、記憶装置３４において演算結果ファイル４０４をデータフォルダ３４０−ｊに格納することに相当する記憶領域の管理を実施してもよい。

これにより、ＣＰＵ３１は、任意のタイミングで演算結果ファイル４０４を読み出すだけで、上記チャート化等の可視化を高速に行なうことができる。また、演算結果あるいは可視化結果を基にコンテキストデータを逆引きすることも容易になるので、データ解析の易化を図ることもできる。

（適用例）
半導体製造プロセスでは歩留まりの改善と装置稼働率の向上が大きな課題となっている。諸問題の解決手段としてＥＥＳ（Equipment Engineering System：装置エンジニアリングシステム）が存在する。ＥＥＳにより装置の稼働率改善につながる装置特性が可視化される。このＥＥＳシステムの中核のデータ管理方法に、本実施形態の信号処理装置３を適用できる。

また、化学工場等のバッチプラントにおける複雑なバッチ処理工程の組み合わせにより、製造ラインが構築される生産プロセスにおいて膨大なプロセスデータを管理・分析を行ない、品質改善を目的とする品質管理システムのデータ管理方法に、本実施形態の信号処理装置３を適用することも可能である。

１−１〜１−Ｎ…センサ、３…信号処理装置、５…通信ネットワーク、３１…ＣＰＵ、３２…ＲＡＭ、３３…ＲＯＭ、３４…記憶装置、３５Ａ〜３５Ｄ…インターフェース（Ｉ／Ｆ）、３６…ディスプレイ、３７…キーボード、３８…ポインティングデバイス、３１０…制御部、３１１…サンプリング処理部、３１２…記憶制御部、３１２ａ…フォルダ制御部、３１２ｂ…ファイル制御部、３１３…暗号化／復号化部、３１４…圧縮／復元部、３４０−１〜３４０−ｎ…データフォルダ、４００…コンテキストデータセット、４０１…コンテキストデータファイル、４０２…サンプリングデータファイル、４０３…演算方法定義ファイル、４０４…演算結果ファイル、４１０…センサ数情報、４１１…サンプリング周期情報

Claims (7)

1. 機器の状態を検出する複数のセンサのそれぞれで検出された信号データを処理する信号処理装置であって、
   前記機器の状態を検出すべき期間及び周期に関するサンプリング情報を記憶する記憶部と、
   前記サンプリング情報の前記期間の開始時刻に至ったときに、当該開始時刻に至った前記サンプリング情報が共通して付与されている前記センサで検出された信号データを、前記サンプリング情報の前記期間及び前記周期でサンプリングし、各サンプリングデータを前記センサ別に前記サンプリング情報と関連付けて前記記憶部に記憶する制御部と、を備え、
   前記関連付けは、前記記憶部において、前記サンプリング情報を含むデータファイルと、前記サンプリング情報に関連付けられるデータを含む前記センサ別のデータファイルと、を同じデータフォルダに格納することに相当する記憶領域の管理を含み、
   前記記憶領域の管理は、前記サンプリングデータに関する演算方法を定義したデータファイルを、前記データフォルダに格納することに相当する記憶領域の管理と、前記演算方法での演算結果を含むデータファイルを、前記データフォルダに格納することに相当する記憶領域の管理とを更に含む、
   信号処理装置。
2. 前記制御部は、
   いずれかの前記データファイルを暗号化する暗号化部と、
   暗号化された前記データファイルを復号化する復号化部と、
   を備えた、請求項１に記載の信号処理装置。
3. 前記制御部は、
   いずれかの前記データファイルを圧縮する圧縮部と、
   圧縮された前記データファイルを復元する復元部と、
   を備えた、請求項１又は２に記載の信号処理装置。
4. 前記期間情報は、前記機器である半導体製造装置による特定の製造プロセスの実施期間に相当する情報である、請求項１〜３のいずれか１項に記載の信号処理装置。
5. 機器の状態を検出する複数のセンサのそれぞれで検出された信号データを処理する信号処理方法であって、
   前記機器の状態を検出すべき期間及び周期に関するサンプリング情報を記憶部に記憶する処理と、
   前記サンプリング情報の前記期間の開始時刻に至ったときに、当該開始時刻に至った前記サンプリング情報が共通して付与されている前記センサで検出された信号データを、前記サンプリング情報の前記期間及び前記周期でサンプリングし、各サンプリングデータを前記センサ別に前記サンプリング情報と関連付けて前記記憶部に記憶する処理と、を含み、
   前記関連付けは、前記記憶部において、前記サンプリング情報を含むデータファイルと、前記サンプリング情報に関連付けられるデータを含む前記センサ別のデータファイルと、を同じデータフォルダに格納することに相当する記憶領域の管理を含み、
   前記記憶領域の管理は、前記サンプリングデータに関する演算方法を定義したデータファイルを、前記データフォルダに格納することに相当する記憶領域の管理と、前記演算方法での演算結果を含むデータファイルを、前記データフォルダに格納することに相当する記憶領域の管理とを更に含む、
   信号処理方法。
6. 機器の状態を検出する複数のセンサのそれぞれで検出された信号データを処理する信号処理装置としてコンピュータを機能させる信号処理プログラムであって、
   前記機器の状態を検出すべき期間及び周期に関するサンプリング情報を記憶部に記憶させる処理と、
   前記サンプリング情報の前記期間の開始時刻に至ったときに、当該開始時刻に至った前記サンプリング情報が共通して付与されている前記センサで検出された信号データを、前記サンプリング情報の前記期間及び前記周期でサンプリングし、各サンプリングデータを前記センサ別に前記サンプリング情報と関連付けて前記記憶部に記憶させる処理と、
   を前記コンピュータに実行させ、
   前記関連付けは、前記記憶部において、前記サンプリング情報を含むデータファイルと、前記サンプリング情報に関連付けられるデータを含む前記センサ別のデータファイルと、を同じデータフォルダに格納することに相当する記憶領域の管理を含み、
   前記記憶領域の管理は、前記サンプリングデータに関する演算方法を定義したデータファイルを、前記データフォルダに格納することに相当する記憶領域の管理と、前記演算方法での演算結果を含むデータファイルを、前記データフォルダに格納することに相当する記憶領域の管理とを更に含む、
   信号処理プログラム。
7. 機器の状態を検出する複数のセンサのそれぞれで検出された信号データを処理するコンピュータに読み出し及び書き込みされる記憶媒体であって、
   前記機器の状態を検出すべき期間及び周期に関するサンプリング情報と、
   前記サンプリング情報を読み取った前記コンピュータが、前記サンプリング情報の前記期間の開始時刻に至ったときに、当該開始時刻に至った前記サンプリング情報が共通して付与されている前記センサで検出された信号データを、前記サンプリング情報の前記期間及び前記周期でサンプリングして得られた各サンプリングデータであって、前記センサ別に前記サンプリング情報と関連付けて書き込まれるサンプリングデータと、を記憶し、
   前記関連付けは、前記記憶部において、前記サンプリング情報を含むデータファイルと、前記サンプリング情報に関連付けられるデータを含む前記センサ別のデータファイルと、を同じデータフォルダに格納することに相当する記憶領域の管理を含み、
   前記記憶領域の管理は、前記サンプリングデータに関する演算方法を定義したデータファイルを、前記データフォルダに格納することに相当する記憶領域の管理と、前記演算方法での演算結果を含むデータファイルを、前記データフォルダに格納することに相当する記憶領域の管理とを更に含む、
   記憶媒体。

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