JP5776340B2 - 液体搬送装置及び該搬送装置を用いた半導体冷却装置 - Google Patents
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Description
第1の形態は、液戻り管の内部に少なくとも1つ片持ち支持され、本体部が液戻り管の下流側に延伸された軸と、本体部に所定間隔で複数取り付けられ、本体部から枝分かれして先端部が液戻り管の内部で放射状に広がる複数の線状の振動子を備える振動子束と、液戻り管の本体部に対応する外周部に取り付けられ、自己の発生する振動を液戻り管を振動させて振動子束の各個に伝える駆動源とを備える作動液体搬送機構であり、駆動源の振動によって振動子束の振動子に揺動運動を行わせて作動液体を搬送することを特徴としている。
第2の形態は、一端が前記液戻り管の内壁面に固定され、液戻り管の中央部辺りで直角に折り曲げられて液戻り管に平行に所定長さ延伸された取付軸と、取付軸の他端に取り付けられ、磁界により回転運動を行うプロペラ状の回転子と、回転子に対向する部位の液戻り管の外周部に取り付けられ、回転子に回転磁界を印加する移動磁界発生装置とを備える作動液体搬送機構であり、移動磁界発生装置は、液戻り管の所定位置の外周部に所定間隔で周回して取り付けられた複数個のコイルであることを特徴としている。
前記液戻り管の所定位置の内部に、前記液戻り管の外部にある駆動源によって駆動される作動液体搬送機構を設けたことを特徴とする循環型液体搬送装置。
(付記2)前記作動液体搬送機構は、前記液戻り管の内部に少なくとも1つ片持ち支持された軸と該軸から枝分かれする複数の振動子とを備えた羽根状体であり、
前記羽根状体の駆動源は、前記液戻り管の外周部に取り付けられ、
前記駆動源は駆動源自体が発生する振動を、前記液戻り管を振動させて前記羽根状体に伝え、
前記羽根状体は前記振動によって揺動運動を行って前記作動液体を搬送することを特徴とする付記1に記載の循環型液体搬送装置。
(付記3)前記駆動源は、クランパによって前記液戻り管の所定位置の外周部に固定されていることを特徴とする付記1又は2に記載の循環型液体搬送装置。
(付記4)前記駆動源は、結束バンドによって前記液戻り管の所定位置に固定されていることを特徴とする付記1又は2に記載の循環型液体搬送装置。
(付記5)前記駆動源は、熱収縮チューブによって前記液戻り管の所定位置に固定されていることを特徴とする付記1又は2に記載の循環型液体搬送装置。
(付記7)前記作動液体搬送機構は、前記液戻り管に固定された取付アームと、前記取付アームに固定された圧電素子と、前記液戻り管内を前記作動液体の流れの下流側に延伸されたブレードとを備え、
前記圧電素子は、前記駆動源から印加される交番電圧によって前記ブレードに揺動運動を行わせて前記作動液体を搬送することを特徴とする付記1に記載の循環型液体搬送装置。
(付記8)前記作動液体搬送機構は、前記液戻り管の所定位置の内部で磁界により回転運動を行う回転子と、前記回転子に磁界を印加する移動磁界発生装置とから構成され、
前記移動磁界発生装置は、前記液戻り管の所定位置の外周部に所定間隔で周回して取り付けられた複数個のコイルであることを特徴とする付記1に記載の循環型液体搬送装置。
(付記9)前記回転子が永久磁石で構成されていることを特徴とする付記8に記載の循環型液体搬送装置。
(付記10)付記1から9の何れかに記載の循環型液体搬送装置を用いた半導体冷却装置であって、
前記蒸発部に取付可能な回路基板と、前記回路基板上に実装された半導体素子と、前記回路基板の上部にその一面を前記半導体素子に接触させて取り付けられるヒートスプレッダとを備え、
前記回路基板が取り付け手段によって、前記蒸発部に取り付けられ、
この状態で前記ヒートスプレッダの他の面が前記蒸発部に接触していることを特徴とする液体搬送装置を用いた半導体冷却装置。
2 凝縮器
3 蒸気管
4 液戻り管
5 ウィック
6 作動液体
7 作動液体の蒸気
10 従来の液体搬送装置(循環型ヒートパイプ)
11 軸
12、22 振動子
13、23 駆動源
16 ブラシ
20、30、40 本出願の液体搬送装置
21 取付アーム
31 取付軸
32 回転子(プロペラ)
33 移動磁界発生装置(駆動源)
34 制御装置
41 クランパ
44 結束バンド
48 熱収縮チューブ
49 接着剤
50 半導体冷却装置
51 ヒートスプレッダ
52 回路基板
53 半導体素子
Claims (5)
- 外部から加熱される蒸発部と、外部に熱を放散する凝縮部と、前記蒸発部から前記凝縮部に作動液体の蒸気を送る蒸気管と、前記凝縮部から前記蒸発部に作動液体を送る液戻り管とを備え、前記液戻り管の所定位置に作動液体搬送機構を設けた循環型液体搬送装置において、
前記作動液体搬送機構は、
前記液戻り管の内部に少なくとも1つ片持ち支持され、本体部が前記液戻り管の下流側に延伸された軸と、
前記本体部に所定間隔で複数取り付けられ、前記本体部から枝分かれして先端部が前記液戻り管の内部で放射状に広がる複数の線状の振動子を備える振動子束と、
前記液戻り管の前記本体部に対応する外周部に取り付けられ、自己の発生する振動を前記液戻り管を振動させて前記振動子束の各個に伝える駆動源とを備え、
前記駆動源の振動によって前記振動子束の振動子に揺動運動を行わせて前記作動液体を搬送することを特徴とする循環型液体搬送装置。 - 外部から加熱される蒸発部と、外部に熱を放散する凝縮部と、前記蒸発部から前記凝縮部に作動液体の蒸気を送る蒸気管と、前記凝縮部から前記蒸発部に作動液体を送る液戻り管とを備え、前記液戻り管の所定位置に作動液体搬送機構を設けた循環型液体搬送装置において、
前記作動液体搬送機構は、
一端が前記液戻り管の内壁面に固定され、前記液戻り管の中央部辺りで直角に折り曲げられて前記液戻り管に平行に所定長さ延伸された取付軸と、
前記取付軸の他端に取り付けられ、磁界により回転運動を行うプロペラ状の回転子と、
前記回転子に対向する部位の前記液戻り管の外周部に取り付けられ、前記回転子に回転磁界を印加する移動磁界発生装置とを備え、
前記移動磁界発生装置は、前記液戻り管の所定位置の外周部に所定間隔で周回して取り付けられた複数個のコイルであることを特徴とする循環型液体搬送装置。 - 前記駆動源は、クランパによって前記液戻り管の所定位置の外周部に固定されていることを特徴とする請求項1に記載の循環型液体搬送装置。
- 前記回転子が永久磁石で構成されていることを特徴とする請求項2に記載の循環型液体搬送装置。
- 請求項1から4の何れか1項に記載の循環型液体搬送装置を用いた半導体冷却装置であって、
前記蒸発部に取付可能な回路基板と、前記回路基板上に実装された半導体素子と、前記回路基板の上部にその一面を前記半導体素子に接触させて取り付けられるヒートスプレッダとを備え、
前記回路基板が取り付け手段によって、前記蒸発部に取り付けられ、
この状態で前記ヒートスプレッダの他の面が前記蒸発部に接触していることを特徴とする液体搬送装置を用いた半導体冷却装置。
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