JP2014143417A - 一体化した薄膜蒸発式熱拡散器および平面ヒートパイプヒートシンク - Google Patents
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Abstract
【課題】放熱装置および放熱法が、熱発生体のための熱拡散および熱冷却を提供する。
【解決手段】熱発生体と熱連通している薄膜蒸発器が、作動流体を用いて熱発生体から熱を除去する。薄膜蒸発器と一体化しており、薄膜蒸発器から延びているヒートパイプが、薄膜蒸発器が除去した熱を放熱装置の外部環境に放散する。ポンプ要素が、1)薄膜蒸発器に作動流体を送り込むことと、2)薄膜蒸発器への作動流体の移動を増大させることと、のうちの少なくとも1つを行う。
【選択図】なし
【解決手段】熱発生体と熱連通している薄膜蒸発器が、作動流体を用いて熱発生体から熱を除去する。薄膜蒸発器と一体化しており、薄膜蒸発器から延びているヒートパイプが、薄膜蒸発器が除去した熱を放熱装置の外部環境に放散する。ポンプ要素が、1)薄膜蒸発器に作動流体を送り込むことと、2)薄膜蒸発器への作動流体の移動を増大させることと、のうちの少なくとも1つを行う。
【選択図】なし
Description
本願は、一般に、温度管理に関する。本願は、集積回路などの熱発生体の冷却と関連して特定の応用があり、それに特に関連して説明する。しかしながら、本願が他の類似の応用にも適していることを理解すべきである。
電子回路実装用の温度管理は、高出力密度および3次元(3D)集積回路(IC)アーキテクチャに対する需要の高まりを考慮して、研究の活発な領域である。図1を参照すると、3DのICのための典型的な電子回路パッケージを示している。図に示すように、電子回路パッケージは温度管理のために受動ヒートシンクに依存している。
電子回路の気体作動流体の温度管理に対する取り組みのほとんどが、裏面の温度管理に焦点を当てている。このような取り組みの例が、Mok他の米国特許公報第2005/0280162号に記載されており、この米国特許公報は、ICの裏面上の組み込み型の蒸気室熱インタポーザについて記載している。しかしながら、3Dアーキテクチャ(例えば、熱流束が1平方センチメートルあたり100ワット(W/cm2)に迫っている)により、この方法は次第に不十分になりつつある。
3D金型スタックが、層のそれぞれの上のホットスポットに関連する深刻な問題を有している。この熱を拡散することは大きな課題であり、その理由は、はんだくずと、(比較的)低熱伝導性の充てん材と、銅が詰まったスルー・シリコン・ビア(TSV)との典型的な組み合わせが、十分に伝導性のある熱経路を提供しないためである。さらに、熱を拡散することは部分的にしか問題を解決しておらず、熱はさらに環境に放散する必要がある。
提案された1つの解決法が、SRI−JAYANTHA他の米国特許公報第2010/0044856号に記載されている。SRI−JAYANTHA他は、裏面上の追加の拡散器層または非常に複雑なマイクロチャネル冷却器を利用する組み込み型の熱インタポーザを用いて3DのICから離れる方向の熱伝達を改善するために、活性面または側面熱経路を変更している。この前者の具現化は、かなり控えめな熱的改善を示しており、他方、後者は流体密封および流体ポンピングの面でかなりの複雑さを伴う。
提案された他の解決法が、熱電的な熱バンプを使用することであり、熱電的な熱バンプの例を図1に示している。しかしながら、熱電的な熱バンプは、熱電材料の典型的な欠点、すなわち、効率の悪さおよび高コストに悩まされる。
提案された、さらに他の解決法が、薄膜蒸発である。薄膜蒸発は、沸騰などの相変化過程を使用するが、沸騰のよく知られた欠点のいくつかを軽減する。具体的には、薄膜蒸発は、沸騰を開始するのに必要な過熱量を軽減し、沸騰核形成部位の予測不可能性を軽減し、(流動システム内での)沸騰後の混合した気液流の取り扱いを軽減し、および熱流束が高すぎる場合、熱面が完全に乾く限界熱流束(CHF)を軽減する。
上記は、Ohadi他著の“Ultra−Thin Film Evaporation(UTF)−Application to Emerging Technologies in Cooling of Microelectronics”,Microscale Heat Transfer Fundametals and Applications(2005年発行)の321〜338ページに記載されている。
極薄膜(UTF)蒸発は、おそらく、高熱流束表面から熱を除去する最も効果的な方法の1つであり、その理由は、
1.流体の薄層の表面における蒸発により熱を除去するには少量の流体を必要とすることと、
2.薄い液体層を横切る熱抵抗を最小化することにより、非常に高い熱伝達率が得られることと、
3.表面を湿らせるのに十分な量の流体を供給している限り、表面温度は作動流体の飽和温度よりもほんの少し高くなる程度であることと、
4.薄膜蒸発器の間の圧力損失がないおかげで、作動流体を循環させるのに必要なエネルギーが最小量で済むことと、
5.複雑な一連のパラメータがシステムの安定性を決定する核沸騰とは異なり、UTFは非常に薄い膜のいたる所で事実上伝導であることと、
6.冷却性能の上限が、比較的低いCHFではなく、むしろ自由界面における均一核形成温度および/または蒸気形成の動力学により制限されることと、による。
1.流体の薄層の表面における蒸発により熱を除去するには少量の流体を必要とすることと、
2.薄い液体層を横切る熱抵抗を最小化することにより、非常に高い熱伝達率が得られることと、
3.表面を湿らせるのに十分な量の流体を供給している限り、表面温度は作動流体の飽和温度よりもほんの少し高くなる程度であることと、
4.薄膜蒸発器の間の圧力損失がないおかげで、作動流体を循環させるのに必要なエネルギーが最小量で済むことと、
5.複雑な一連のパラメータがシステムの安定性を決定する核沸騰とは異なり、UTFは非常に薄い膜のいたる所で事実上伝導であることと、
6.冷却性能の上限が、比較的低いCHFではなく、むしろ自由界面における均一核形成温度および/または蒸気形成の動力学により制限されることと、による。
運ばれた熱と熱抵抗と温度降下の関係と、熱伝達率の定義と、を用いて第2の理由を明らかにできる。熱伝達率RはQ*R=DTにより定義でき、ここで、Qはワット(W)で表した伝わった熱、Rは1ワットあたりの摂氏温度(C/W)、DTは摂氏温度で表した温度降下(C)である。高い熱抵抗は、より少ない熱が伝達され、関連する材料の間で大きな温度勾配があることを意味する。伝導に対するR=L/(kA)の関係が熱抵抗と熱伝達率Rとを関係付けており、ここで、Lは伝導経路長、Aは伝熱面積、kは熱伝導率である。
蒸発による追加の放熱が、薄膜蒸発を特に強力なものにしている。気液界面で除去できる熱量QはQ=m(ΔHv)であり、ここで、mは蒸発する液体の質量流量、(ΔHv)は冷媒の蒸発潜熱である。集積回路パッケージの典型として2センチメートル(cm)×2cmダイを取り、25W/cm2の熱密度を取ると、伝達する予定の熱は100Wになる。熱伝導流体として水を用いると、潜熱は1グラムあたり2260ジュール(J/g)であるため、質量流束の量は25/2260=毎秒0.01グラム(g/s)であり、すなわち、この多くの熱を放散するには毎秒10マイクロリットル(μL/s)の流体を蒸発させる必要がある。
したがって、大きな伝熱面積Aおよび小さな伝導経路長Lが、薄膜を通る小さい伝導抵抗を与えることは明らかであり、この小さい伝導抵抗は相変化界面に運ばれる熱量を増やす。薄膜蒸発器の設計における課題は、高熱流束の蒸発速度に適合する十分な量の材料を薄膜に供給することである。1つの解決法が、熱面に沿って誘電液体の薄膜を引き出すのに電気流体力学(EHD)分極ポンピングを使用することである。しかしながら、この解決法は方向依存性に悩まされ、結果として得られる膜は特に薄くはない。それでも、この解決法は、最大40W/cm2の熱流束を運ぶことができることを示している。
ヒートパイプの蒸発部分内の熱伝達のかなりの割合が、伝導損失が低く蒸発速度が最も大きい薄膜領域内で起こっていることは、ヒートパイプ業界では周知である。したがって、薄膜領域を最大化するために吸湿発散構造(wicking structures)を使用することに関する重要な仕事があった。このような仕事の具現化は、積極的にポンプで送り込むマイクロチャネル冷却器の応用と、蒸発用の多孔質膜とを組み合わせる。熱伝達をさらに向上させるために、エアジェット衝突で蒸発速度を増大させる。この具現化は、500W/cm2の熱流束を放散する能力を示している。しかしながら、この具現化には、ポンピング用の外部インフラと、比較的大きな薄膜とが必要である。熱伝達の約85%が、マイクロチャネル内の強制対流によるものである。
本願は、上述の課題を克服する新たな改良された方法およびシステムを提供する。
本願の一態様に基づいて、熱発生体の熱拡散および熱冷却を提供するための放熱装置を提供する。熱発生体と熱連通している薄膜蒸発器が、作動流体を用いて熱発生体から熱を除去する。薄膜蒸発器と一体化しており、薄膜蒸発器から延びているヒートパイプが、薄膜蒸発器が除去した熱を放熱装置の外部環境に放散する。ポンプ要素が、1)薄膜蒸発器に作動流体を送り込むことと、2)薄膜蒸発器への作動流体の移動を増大させることと、のうちの少なくとも1つを行う。
本願の他の態様に基づいて、熱発生体の熱拡散および熱冷却を提供するための放熱法を提供する。熱発生体と熱連通している薄膜蒸発器により、作動流体を用いて熱発生体からの熱を除去する。薄膜蒸発器と一体化しており、薄膜蒸発器から延びているヒートパイプにより、薄膜蒸発器が除去した熱を放熱装置の外部環境に放散する。ポンプ要素により、1)薄膜蒸発器に作動流体を送り込むことと、2)薄膜蒸発器への作動流体の移動を増大させることと、のうちの少なくとも1つを行う。
本願の他の態様に基づいて、熱発生体の熱拡散および熱冷却を提供するための放熱装置を提供する。密閉型ハウジングが、液相の作動流体の流体容器と、蒸気室とを含み、密閉型ハウジングの外部表面に熱発生体を熱的に連結している。薄膜蒸発器が、密閉型ハウジングの中にあり、外部表面と隣接する密閉型ハウジングの内部表面と熱連通している。薄膜蒸発器は、流体容器から液相の作動流体を受け取り、受け取った作動流体を熱発生装置からの熱を用いて蒸発させて気相の作動流体にする。密閉型ハウジングの中のヒートパイプが、気相の作動流体を薄膜蒸発器から離れる方向に移動させて、気相の作動流体を液相に凝縮して、凝縮した作動流体を流体容器に戻す。ポンプ要素が、1)薄膜蒸発器に作動流体を送り込むことと、2)薄膜蒸発器への作動流体の移動を増大させることと、のうちの少なくとも1つを行う。
本願は、熱を拡散させるための能動的に駆動される薄膜蒸発器と、ヒートシンク用の一体化した平面ヒートパイプ拡大表面とを組み合わせる。
薄膜蒸発器はホットスポットを除去するための高い熱除去速度を可能にして、一体化した平面ヒートパイプは熱を薄膜蒸発器から拡大表面へ運び、環境に放散したり、またはインタポーザ層に吸収させたりする。
薄膜蒸発器はホットスポットを除去するための高い熱除去速度を可能にして、一体化した平面ヒートパイプは熱を薄膜蒸発器から拡大表面へ運び、環境に放散したり、またはインタポーザ層に吸収させたりする。
図2を参照すると、本願の放熱装置10の斜視図を提供している。放熱装置10は、集積回路(IC)パッケージ(図示)などの関連する熱発生体12に熱拡散および熱冷却を提供する。必ずしもそうとは限らないが、通常、ICパッケージは3次元(3D)である。図に示すように、放熱装置10は、1平方センチメートルあたり10〜1000ワット(W/cm2)以上の熱流束、例えば、100W/cm2など、を管理する能力がある。
この放熱装置10は密閉型ハウジング14を含み、この密閉型ハウジング14は熱伝導材料で構成されている。熱伝導材料は、例えば、銅、銅箔、銅合金、アルミニウム、アルミニウム合金、ポリイミド材料、金属、およびその種の他のもののうちの1つ以上を含むことができる。密閉型ハウジング14は、柔らかい可能性があり、後述するように、熱発生装置12から離れる方向に熱を運ぶために作動流体16を閉じ込めている(図3Aおよび図3B)。密閉型ハウジング14が柔らかいと、熱発生体12用に放熱装置10を取り付けるときに、製造後に密閉型ハウジング14を成形できることが有利である。
密閉型ハウジング14のインタフェース部分20の外部表面18が、熱発生体12と熱的に接触している。例えば、外部表面18は熱発生体12と直接接触できる。他の例では、その上に熱発生体12が載っている基板を介して、外部表面18と熱発生体12とが間接的に接触する可能性があり、または熱界面材料が熱発生体12と外部表面18との間に介在する可能性がある。通常、インタフェース部分20は、銅、銅箔、銅合金、アルミニウム、またはアルミニウム合金で形成されるが、しかしながら他の材料も想定される。
インタフェース部分20から離れて延びるように、密閉型ハウジング14は、1つ以上の拡大部分またはフィン22(図示では2枚)をさらに含んでいる。後述するように、通常、対流により熱を外部環境に伝えるために、またはインタポーザ層に熱を吸収させるために、拡大部分22を使用する。拡大部分22は、製造後に拡大部分22を望ましい形状因子に成形できるように、柔らかいポリイミドまたは金属基板で通常形成されるが、しかしながら他の材料も想定される。
図3Aおよび図3Bを参照すると、密閉型ハウジング14の中で、放熱装置10は蒸気室24と流体容器26とを含んでいる。蒸気室24は、インタフェース部分20の外部部分18に隣接するインタフェース部分20の内部表面28を含んでいる。さらに、蒸気室24は、密閉型ハウジング14の拡大部分22のそれぞれの中に延びており、通常、拡大部分22の末端部30まで延びている。流体容器26は、拡大部分22の中心となる密閉型ハウジング14のインタフェース部分20内に通常配置されている。
流体容器26は液相の作動流体16(すなわち、液体の作動流体32)を保持しており、蒸気室24は気相の作動流体16(すなわち、蒸気室24内に矢印で示す気体の作動流体34)を保持している。作動流体16は、例えば、水、フロン、アセトン、アルコール、およびその種の他のものを含むことができる。後述するように、薄膜蒸発を用いて密閉型ハウジング14の中を通って熱発生体12から離れる方向に熱を運ぶのに作動流体16を使用し、拡大部分22はヒートパイプとして働く。このような方法で、1平方センチメートルあたり10〜1000ワット(W/cm2)以上の熱流束を管理できる。
放熱装置10は、熱発生体12からの熱を用いて流体容器26からの液体の作動流体32を蒸発させて気体の作動流体34にするための薄膜蒸発器36を含んでいる。上述のように、熱発生体12を冷却するのに十分な量の作動流体16の移送を確保するために薄膜蒸発器36を通常能動的に駆動するが、しかしながらまた、受動的である可能性もある。例えば、薄膜蒸発器36は、熱発生体12が所定の閾値を超える熱を発生している場合には能動的に駆動でき、熱発生体12が所定の閾値よりも少ない熱を発生している場合には受動的に駆動できる。
薄膜蒸発器36は、密閉型ハウジング14のインタフェース部分20の内部表面28と熱的に接触しており、蒸気室24の中にある蒸発器ウィック(evaporator wick)38を含んでいる。通常、内部表面28と接触している蒸発器ウィック38の表面積は、外部表面18と接触している熱発生装置12の表面積とほぼ(すなわち、+/−5%)等しいか、またはそれよりも広い。蒸発器ウィック38は、流体容器26から液体の作動流体32を受け取り、密閉型ハウジング14のインタフェース部分20の内部表面28上に液体の作動流体32を実質的に均一に分散させて液体の作動流体32の薄層40を形成する。毛細管吸湿発散性の程度と、薄層40の面積とを最大化するように蒸発器ウィック38を設計することが適切である。
放熱装置10、特に、熱発生体12との熱的結合が、液体の作動流体32の薄層40へ熱が十分に移動することにより熱発生体12を冷却できるように設計されている。伝導に対する熱伝達率Rにより、熱発生体12から液体の作動流体32の薄層40に伝達される熱を表すと、R=L/(kA)であり、Lは伝導経路長、Aは伝熱面積、kは熱伝導率である。熱伝達率Rが大きいほど、熱の移動が少ない。したがって、液体の作動流体32の薄層40の面積と、熱発生体12と液体の作動流体32の薄層40との中間にある材料の熱伝導率とが大きいほど、熱移動が大きくなる。同様に、伝導経路長が短いほど、熱移動が大きくなる。
液体の作動流体32を流体容器26から蒸発器ウィック38に供給するために、密閉型ハウジング14の供給導管42が流体容器26と蒸発器ウィック38の間に延びている。蒸発器ウィック38は、毛細管作用を用いて流体容器26から供給導管42を経由して液体の作動流体32を引き込む。また、この毛細管作用は、密閉型ハウジング14のインタフェース部分20の内部表面28上に液体の作動流体32を分散させる働きをする。液体の作動流体32の分散が大きいほど、熱発生体12からの熱の移動が大きくなる。また、液体の作動流体32の蒸発器ウィック38への移動を向上させるために、追加の供給経路も想定される。
密閉型ハウジング14の中の1つ以上のシンセティックジェット44(図示では2つ)を使用して、蒸気室24から気体の作動流体34を除去して、蒸発器ウィック38を冷却して蒸発の前に液体の作動流体32をより大きく分散させることができるようにすることで、液体の作動流体32の気体の作動流体34への移動を向上させることができる。通常、シンセティックジェット44は、蒸発器ウィック38の全体を冷却するために、および/または蒸発器ウィック38の全体から気体の作動流体34を除去するために、グリッドまたは他の2次元配列に配置した複数のシンセティックジェットを含んでいる。電力は、対応する電線46および電源48を経由してシンセティックジェット44に供給する。
シンセティックジェット44は、対応するオリフィス50および対応する振動アクチュエータ52を用いて、蒸気室24内に気体の作動流体34の一連の渦輪を作り出す。渦輪の軸は内部表面28に対して垂直であることが適切である。振動アクチュエータ52は圧電アクチュエータ(図示)が適切であるが、しかしながら他の振動アクチュエータも想定される。シンセティックジェット44の任意の構成を想定しているが、シンセティックジェット44の振動アクチュエータ52は、対応するダイヤフラムを渦輪の軸に沿って通常振動させる。振動アクチュエータ52は、図示のように、ダイヤフラム(例えば、圧電ダイヤフラムなど)である可能性があり、または対応するダイヤフラムを単に振動させるだけである可能性もある。
オリフィス50は対応する開口端54を通常含み、この開口端54を通って渦輪がオリフィス50から蒸気室24に入る。振動アクチュエータ52は、例えば、オリフィス50の中に位置しており、オリフィス50の中の蒸気を開口端54から押し出すことができる。オリフィス50は、その中を通って渦輪がオリフィス50から蒸気室24に入る開口端54の反対側に、追加の対応する開口端56をさらに含むことができる。その後、振動アクチュエータ52は、例えば、追加の開口端54に位置しており、例えば、追加の開口端54の範囲に広がるダイヤフラムなどを用いて渦輪を作り出すことができる。
また、振動アクチュエータ52を使用して、供給導管42を経由して蒸発器ウィック38に液体の作動流体32を送り込み、液体の作動流体32の薄層40の乾燥を防ぐのに十分な量の液体の作動流体32を蒸発器ウィック38に供給することを確保できる。通常、振動アクチュエータ52は面外(すなわち、液体の作動流体32の方向の流れに垂直な方向に振動する)である。このような場合には、液体の作動流体32が、供給導管42の方向にだけ流れることができることを確保することが重要である。また、液体の作動流体32を送り込む他の方法も使用できる。
振動アクチュエータ52を用いて液体の作動流体32を送り込む1つの方法が、振動アクチュエータ52に対応するダイヤフラムを使用することである。上述のように、振動アクチュエータ52はダイヤフラム(図示)である可能性があり、または対応するダイヤフラムを単に振動させるだけである可能性もある。このような方法では、ダイヤフラムは、流体容器26の壁を部分的に規定して、流体容器26から出たり入ったりして振動する。通常、振動は薄膜蒸発器36と液体の作動流体32の流れとに対して垂直である。ダイヤフラムが流体容器26の中に移動するとき、ダイヤフラムは液体の作動流体32を吸い込む。ダイヤフラムが流体容器26から外に移動するとき、ダイヤフラムは上述の渦輪を作り出す。
図3Bを特に参照すると、供給導管42を用いて液体の作動流体32を蒸発器ウィック38に供給することに加えて、またはその代わりに、シンセティックジェット44が液体の作動流体32を、または他の何らかの流体を、流体容器26から蒸発器ウィック38上に実質的に均一に吹き付けることができる。図3Bに示すように、シンセティックジェット44は、対応する供給ウィックまたは供給導管58から液体の作動流体32を受け取り、これらの対応する供給ウィックまたは供給導管58は流体容器26からオリフィス50への液体の作動流体32の流れを制御する。これにより、密閉型ハウジング14のインタフェース部分20の内部表面28上に液体の作動流体32を分散させて、液体の作動流体32の薄層40を形成するのを促進できる。
薄膜蒸発器36は液体の作動流体32を受け取って分散させるのに蒸発器ウィック38を使用しているが、液体の作動流体32を受け取って分散させるための他の方法も使用できる。例えば、ウィックのない方法を使用したり、または導電性ウィックと組み合わせて電気流体力学(EHD)分極ポンピングを使用したりすることができる。他の例として、シンセティックジェット44が、上述のように、内部表面28上に液体の作動流体32を吹き付けて、蒸発器ウィック38を用いずに、液体の作動流体32の薄層40を作り出すことができる。他の例として、シンセティックジェット44を用いずに、上述のように、液体の作動流体32を送り出す振動アクチュエータ52を必要に応じて用いながら、薄膜蒸発器36がうまく働くことができる。
薄膜蒸発器36および/またはシンセティックジェット44は、熱発生体12が液体の作動流体32の薄層40に運んだ熱を除去するのに十分な量の液体の作動流体32を運んで分散させるように設計しなければならない。液体の作動流体32の薄層40において除去できる熱量QがQ=m(ΔHv)であり、ここで、mは蒸発する液体の作動流体32の流量、(ΔHv)は作動流体16の蒸発潜熱である。したがって、薄膜蒸発器36およびシンセティックジェット44は、この方程式に基づいて設計している。
液体の作動流体32の薄層40が蒸発するときには、気体の作動流体34を、蒸気室24を経由して、拡大部分22の通常末端部30まで運ぶ。シンセティックジェット44は、気体の作動流体34を拡大部分22の方へ押すことにより、気体の作動流体34を拡大部分22まで運ぶのを促進する。拡大部分22の中で、気体の作動流体34は放散して凝縮して液体の作動流体32に戻る。
蒸気室24に隣接して、各拡大部分22は、対応する末端部30から流体容器26まで少なくとも延びており、拡大部分22を通常満たしている戻りウィック60を含んでいる。戻りウィック60は、作動流体16が凝縮して液体に戻るときに作動流体16を捕捉して、通常、毛細管作用を用いて、作動流体16を流体容器26に戻す。このように、拡大部分22は、平面ヒートパイプと見なすことができる。
放熱装置10がうまく動作するには、戻りウィック60の設計が重要である。戻りウィック60を通る作動流体16の流量が、作動流体再循環ループ(矢印で示す)を完成するのに十分な量である必要がある。戻りウィック60は、工学的疎水性凝縮面と、液体の作動流体32を流体容器26に戻す供給経路の副層と、を有する多層ウィックである。図4を参照すると、気体の作動流体34が供給経路に流れ込んで流体容器26に運ばれる前に、供給経路66のうちの1つの先端64で球62のように凝縮している。さらに、異なる倍率(画像A〜Dに対応)の戻りウィック60の実施例を提供している。
また、液体の作動流体32を流体容器26に戻す異なる方法も使用できる。例えば、ウィックのない方法を使用したり、または導電性ウィックと組み合わせて電気流体力学(EHD)分極ポンピングを使用したりすることができる。
薄膜蒸発器にヒートパイプを結合することが、上述のように、熱界面材料(図1を参照すること)を介してヒートシンクを拡散器に連結している従来のサーマルパッケージ配置と対比できる。これらの追加の層のそれぞれは熱抵抗をもたらし、ホットスポットの可能性を増大させる。活性面上では、熱を放散することは簡単ではない。本願は、拡大部分またはフィンを熱経路に連結することによりこの問題を是正する。これらの拡大部分は、伝導性ウィックライニング(conductive wick lining)を有する平面ヒートパイプと見なすことができる。
図5を参照すると、放熱装置10の他の実施形態を示している。図5は、放熱装置10の拡大部分22に重点を置いた切断図を示している。また、拡大部分22は、図2、図3A、および図3Bのようには上方に曲がっていない。上述のように、放熱装置10は製造後に必要に応じて成形できる。この実施形態の放熱装置10は、図2の実施形態に関連して説明したように動作する。したがって、図2の放熱装置10の実施形態の議論の要素と同等である要素には、同じ参照番号を振ってある。
図示のように、蒸発器ウィック38は、毛細管作用および/またはシンセティックジェット44を用いて、流体容器26から液体の作動流体32を受け取る。この液体の作動流体32を用いて、蒸発器ウィック38は、密閉型ハウジング14のインタフェース部分20の内部表面28(図5には図示せず)上に、液体の作動流体32の薄層40(図5には図示せず)を作り出す。薄層40内の液体の作動流体32の蒸発により生成された気体の作動流体34(図5には図示せず)が、その後、蒸気室24を経由して密閉型ハウジング14の拡大部分22に移動する。シンセティックジェット44を使用して、気体の作動流体34を拡大部分22に移動させることができる。
拡大部分22の中では、気体の作動流体34が冷えて凝縮して液体の作動流体32に戻る。この液体の作動流体32は、拡大部分22の末端部30にある対応する捕集容器68で受け取ることができ、および/または戻りウィック60により集めることができる。戻りウィック60は、戻りウィック60が集めた液体の作動流体32を、および/または捕集容器68からの液体の作動流体32を、通常、毛細管作用を用いて、流体容器26に戻す。このようにして、作動流体34は、矢印で示す流体再循環ループに従う。
いくつかの実施形態では、インタフェース部分から気体の作動流体34を取り除くための追加の方法または他の方法を使用できる。例えば、衝突噴流を使用できる。さらに、いくつかの実施形態では、拡大部分22内に熱を拡散させる追加の方法または他の方法を使用できる。例えば、好ましい具現化ほど効率的ではないが、拡大部分22は振動ヒートパイプ(PHP)を含むことができる。振動ヒートパイプを使用するこのような実施形態は、PHPと蒸気室の間の伝導接触面積により制限される。
図6および図7を参照すると、技術的に知られているPHP技術を使用する放熱装置10の他の実施形態を示している。説明しやすいように、単一の拡大部分22またはフィンだけを記載しており、図2、図3A、および図3Bのようには上方に曲がっていない。しかしながら、上述のように、放熱装置10は製造後に必要に応じて成形できる。しかしながら、PHP技術を使用するために、この実施形態の放熱装置10は、図2の実施形態に関連して説明したように動作する。したがって、図2の放熱装置10の実施形態の議論の要素と同等である要素には、同じ参照番号を振ってある。
図6を参照すると、放熱装置10の平面図を示している。なお、インタフェース部分20のすべての詳細を図示しているわけではない。拡大部分22のそれぞれは、1つ以上のPHP80と、1つの熱交換器82と、を含んでいる。あるいは、拡大部分22は共通のPHPを共有できる。熱交換器82は、対応する拡大部分22の基底部のインタフェース部分20に隣接して通常位置している。さらに、PHP80は、対応する拡大部分22の末端部30から、対応する熱交換器82に通常延びている。
熱交換器82は、蒸気室24から気体の作動流体34を受け取る。熱交換器の82の中では、PHP80が気体の作動流体34からの熱を吸収して、このPHP80は吸収した熱を拡大部分22の末端部30まで運んで、外部環境に放散する。PHP80が熱を吸収すると、気体の作動流体34が凝縮して液体の作動流体32に戻り、液体の作動流体32は流体容器26に戻される。
図7を参照すると、熱交換器82の部分斜視図を示している。熱交換器82のそれぞれは捕集容器84を含み、この捕集容器84の中に、凝縮した作動流体32が集まっている。捕集容器84は、熱交換器82の中に延びるPHP80の部分の真下に通常位置している。さらに、PHP80の方向にかかわらず、当業者は他の方向の可能性もあることを理解するであろう。
より高い熱流束を与えるとの理由から、「結露」が一般に望ましい。この結露は、熱交換器82の中に延びるPHP80の部分の表面を疎水性材料86を用いて覆うことにより、および/または包み込むことにより、促進される。焦げ付き防止加工のフライパン上に見られるような、例えば、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)の薄層などで、PHP80のこれらの部分の表面を覆うことができる。図示のように、PHP80を疎水性材料86内に包み込むと、PHP80により、液体の作動流体32の液滴88ができて、液滴88が捕集容器84の中に落ちるようになる。
凝縮した作動流体32を流体容器26に戻すために、拡大部分22のそれぞれは、対応する捕集容器84から流体容器26まで延びる戻りウィック90を含んでいる。戻りウィック90は、捕集容器84内の液体の作動流体32を運ぶのに、上述のように毛細管作用を使用する。
Claims (10)
- 熱発生体のための熱拡散および熱冷却を提供する放熱装置であって、
作動流体を用いて前記熱発生体から熱を除去するために前記熱発生体と熱連通している薄膜蒸発器と、
前記薄膜蒸発器が除去した熱を前記放熱装置の外部環境に放散するために、前記薄膜蒸発器と一体化しており、前記薄膜蒸発器から延びているヒートパイプと、
1)前記薄膜蒸発器に作動流体を送り込むことと、2)前記薄膜蒸発器への作動流体の移動を増大させることと、のうちの少なくとも1つを行うポンプ要素と、
を含む、放熱装置。 - 前記ポンプ要素が、1)前記薄膜蒸発器に作動流体を送り込むことと、2)前記薄膜蒸発器への作動流体の移動を増大させることと、のうちの少なくとも1つを行う振動アクチュエータを含む、請求項1に記載の放熱装置。
- 前記ポンプ要素が、密閉型ハウジング内で、前記薄膜蒸発器および前記ヒートパイプと一体化している、請求項1に記載の放熱装置。
- 前記ポンプ要素が、前記薄膜蒸発器への作動流体の移動を増大させるシンセティックジェットを含む、請求項1に記載の放熱装置。
- 前記薄膜蒸発器が、流体容器から液相の作動流体を受け取り、前記熱発生体からの熱を用いて前記受け取った液相の作動流体を気相に移動させ、前記ヒートパイプが、気相の前記作動流体を冷却して凝縮して液相の作動流体にして、前記凝縮した液相の作動流体を前記流体容器に戻す、請求項1に記載の放熱装置。
- 前記放熱装置が、
液相の作動流体用の流体容器と、前記薄膜蒸発器から前記ヒートパイプに延びる蒸気室と、を含む密閉型ハウジングを含み、
前記薄膜蒸発器が、前記流体容器から液相の作動流体を受け取り、前記受け取った液相の作動流体を蒸発させて気相の作動流体にして、気相の前記作動流体を前記蒸気室を経由して前記ヒートパイプに移動させる、請求項1に記載の放熱装置。 - 熱発生体のための熱拡散および熱冷却を提供する放熱法であって、
前記熱発生体と熱連通している薄膜蒸発器により、作動流体を用いて前記熱発生体から熱を除去することと、
前記薄膜蒸発器と一体化しており、前記薄膜蒸発器から延びているヒートパイプにより、前記薄膜蒸発器が除去した熱を前記放熱装置の外部環境に放散することと、
ポンプ要素により、1)前記薄膜蒸発器に作動流体を送り込むことと、2)前記薄膜蒸発器への作動流体の移動を増大させることと、のうちの少なくとも1つを行うことと、
を含む、放熱法。 - 前記ポンプ要素の振動アクチュエータにより、1)前記薄膜蒸発器に作動流体を送り込むことと、2)前記薄膜蒸発器への作動流体の移動を増大させることと、のうちの少なくとも1つを行うことをさらに含む、請求項7に記載の放熱法。
- 前記ポンプ要素のシンセティックジェットにより前記薄膜蒸発器への作動流体の移動を増大させることをさらに含む、請求項7に記載の放熱法。
- 前記薄膜蒸発器により、流体容器から液相の作動流体を受け取ることと、前記熱発生体からの熱を用いて前記受け取った液相の作動流体を気相に移動させることと、
前記ヒートパイプにより、気相の前記作動流体を冷却して凝縮して液相の作動流体にすることと、前記凝縮した液相の作動流体を前記流体容器に戻すことと、
をさらに含む、請求項7に記載の放熱法。
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