JP5772082B2 - 圧電振動素子、圧電振動子、圧電発振器及び電子デバイス - Google Patents
圧電振動素子、圧電振動子、圧電発振器及び電子デバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JP5772082B2 JP5772082B2 JP2011051312A JP2011051312A JP5772082B2 JP 5772082 B2 JP5772082 B2 JP 5772082B2 JP 2011051312 A JP2011051312 A JP 2011051312A JP 2011051312 A JP2011051312 A JP 2011051312A JP 5772082 B2 JP5772082 B2 JP 5772082B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- axis
- vibration element
- excitation
- along
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011051312A JP5772082B2 (ja) | 2011-03-09 | 2011-03-09 | 圧電振動素子、圧電振動子、圧電発振器及び電子デバイス |
| CN201210058926.7A CN102684636B (zh) | 2011-03-09 | 2012-03-07 | 振动元件、振子、振荡器以及电子设备 |
| CN2012200836344U CN202535316U (zh) | 2011-03-09 | 2012-03-07 | 振动元件、振子、振荡器以及电子设备 |
| US13/416,612 US9030078B2 (en) | 2011-03-09 | 2012-03-09 | Vibrating element, vibrator, oscillator, and electronic device |
| US14/682,466 US9837982B2 (en) | 2011-03-09 | 2015-04-09 | Vibrating element, vibrator, oscillator, and electronic device with stepped excitation section |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011051312A JP5772082B2 (ja) | 2011-03-09 | 2011-03-09 | 圧電振動素子、圧電振動子、圧電発振器及び電子デバイス |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2012191300A JP2012191300A (ja) | 2012-10-04 |
| JP2012191300A5 JP2012191300A5 (enExample) | 2014-04-10 |
| JP5772082B2 true JP5772082B2 (ja) | 2015-09-02 |
Family
ID=47084016
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2011051312A Expired - Fee Related JP5772082B2 (ja) | 2011-03-09 | 2011-03-09 | 圧電振動素子、圧電振動子、圧電発振器及び電子デバイス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5772082B2 (enExample) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5943186B2 (ja) | 2012-03-19 | 2016-06-29 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、電子デバイス、および電子機器 |
| JP5943187B2 (ja) | 2012-03-21 | 2016-06-29 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動子、電子デバイス、および電子機器 |
| JP6592906B2 (ja) | 2015-01-29 | 2019-10-23 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、振動デバイス、発振器、電子機器、および移動体 |
| JP2017079388A (ja) | 2015-10-20 | 2017-04-27 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動子、電子機器及び移動体 |
| JP6820690B2 (ja) * | 2016-08-26 | 2021-01-27 | 京セラ株式会社 | 水晶振動素子の製造方法 |
| JP6923059B2 (ja) * | 2018-10-18 | 2021-08-18 | セイコーエプソン株式会社 | 振動デバイス、電子機器及び移動体 |
| CN113302838B (zh) * | 2019-03-27 | 2024-03-26 | 株式会社村田制作所 | 振动元件、振子以及振动元件的制造方法 |
| JP7375579B2 (ja) * | 2020-01-28 | 2023-11-08 | セイコーエプソン株式会社 | 電子時計 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004200777A (ja) * | 2002-12-16 | 2004-07-15 | Toyo Commun Equip Co Ltd | メサ構造の圧電基板、圧電振動素子、圧電振動子、及び圧電発振器 |
| JP4396336B2 (ja) * | 2004-03-16 | 2010-01-13 | エプソントヨコム株式会社 | 圧電振動素子、およびこれを用いた圧電振動子 |
| JP4075893B2 (ja) * | 2004-05-21 | 2008-04-16 | セイコーエプソン株式会社 | 水晶振動子の製造方法、その装置及び水晶振動子 |
| JP4938366B2 (ja) * | 2006-06-30 | 2012-05-23 | 京セラキンセキ株式会社 | 圧電振動子 |
| JP2008218951A (ja) * | 2007-03-08 | 2008-09-18 | Epson Toyocom Corp | コンベックス型の圧電デバイス |
| JP2008263387A (ja) * | 2007-04-11 | 2008-10-30 | Epson Toyocom Corp | メサ型圧電振動片 |
| JP4936221B2 (ja) * | 2007-06-08 | 2012-05-23 | セイコーエプソン株式会社 | メサ型圧電振動片、メサ型圧電振動デバイス、発振器、及び電子機器 |
| JP5088686B2 (ja) * | 2007-11-21 | 2012-12-05 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片および振動デバイス |
| JP5035750B2 (ja) * | 2007-11-22 | 2012-09-26 | セイコーエプソン株式会社 | 水晶振動片、水晶振動子、及び水晶発振器 |
| JP5151823B2 (ja) * | 2008-09-02 | 2013-02-27 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片、圧電振動子及び発振器 |
| JP5245731B2 (ja) * | 2008-11-06 | 2013-07-24 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電素子製造方法 |
-
2011
- 2011-03-09 JP JP2011051312A patent/JP5772082B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2012191300A (ja) | 2012-10-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102684636B (zh) | 振动元件、振子、振荡器以及电子设备 | |
| JP5708089B2 (ja) | 圧電振動素子、圧電振動子、圧電発振器及び電子デバイス | |
| JP5589167B2 (ja) | 圧電振動片および圧電振動子 | |
| JP5772082B2 (ja) | 圧電振動素子、圧電振動子、圧電発振器及び電子デバイス | |
| JP5982898B2 (ja) | 振動素子、振動子、電子デバイス、発振器、及び電子機器 | |
| JP5796355B2 (ja) | 圧電振動素子、圧電振動子、電子デバイス、及び電子機器 | |
| JP5505647B2 (ja) | 圧電振動片および圧電振動子 | |
| JP5772081B2 (ja) | 圧電振動素子、圧電振動子、圧電発振器及び電子デバイス | |
| CN203747763U (zh) | 振动元件、振子、电子器件以及电子设备 | |
| JP2013042440A (ja) | 圧電振動素子、圧電振動子、電子デバイス、及び電子機器 | |
| JP2013162265A (ja) | 振動素子、振動子、電子デバイス、発振器、及び電子機器 | |
| JP5824958B2 (ja) | 振動素子、振動子、電子デバイス、及び電子機器 | |
| JP5741876B2 (ja) | 圧電振動片および圧電振動子 | |
| JP6137274B2 (ja) | 振動素子、振動子、電子デバイス、及び電子機器 | |
| JP6327307B2 (ja) | 圧電振動片および圧電振動子 | |
| JP6008151B2 (ja) | 圧電振動片および圧電振動子 | |
| JP7725963B2 (ja) | 水晶振動板および水晶振動デバイス | |
| JP5871144B2 (ja) | 圧電振動子 | |
| JP4784699B2 (ja) | Atカット水晶振動子 | |
| JP6687471B2 (ja) | 水晶素子および水晶デバイス |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140225 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140225 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20141117 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20141209 |
|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20150106 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150206 |
|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20150206 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150602 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150615 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5772082 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |