JP5768501B2 - 配線基板の製造方法 - Google Patents
配線基板の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5768501B2 JP5768501B2 JP2011117676A JP2011117676A JP5768501B2 JP 5768501 B2 JP5768501 B2 JP 5768501B2 JP 2011117676 A JP2011117676 A JP 2011117676A JP 2011117676 A JP2011117676 A JP 2011117676A JP 5768501 B2 JP5768501 B2 JP 5768501B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- functional liquid
- substrate
- wiring board
- region
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
まず、配線基板の構成について説明する。図1は、配線基板の構成を示す断面図である。図1に示すように、配線基板1は、基板10と、基板10に形成された貫通孔20と、導電性を有する配線パターン100と、を備えている。本実施形態では、基板10の一方の第1平面部11aに形成された配線パターン100と、基板10の他方の第2平面部11bに形成された配線パターン100が、貫通孔20の壁面21に形成された配線パターン100を介して電気的に接続されている。基板10は、例えば、アルミナセラミック基板であり、厚みが250μmであり、貫通孔20の直径は80μmである。
図2は、液滴吐出装置の構成を示す斜視図である。液滴吐出装置IJは、液滴吐出ヘッド1001と、X軸方向駆動軸1004と、Y軸方向ガイド軸1005と、制御装置CONTと、ステージ1007と、クリーニング機構1008と、基台1009と、ヒーター1015を備えている。
次に、配線基板の製造方法について説明する。図4および図5は、配線基板の製造方法を示す工程図である。本実施形態の配線基板の製造方法は、基板上に配線パターンが形成された配線基板の製造方法であって、基板の第1領域に対して、配線パターンの材料を含むとともに、基準の表面張力を有する第1機能液を液滴として吐出して、第1領域に第1機能液を塗布する第1塗布工程と、基板の第2領域に対して、配線パターンの材料を含むとともに、記第1機能液の表面張力よりも小さい(低い)表面張力を有する第2機能液を液滴として吐出して、第2領域に第2機能液を塗布する第2塗布工程と、を含むものである。なお、本実施形態では、基板としてのアルミナセラミック基板に導電性を有する配線パターンが形成された配線基板の製造方法について説明する。
Claims (3)
- 基板上に配線パターンが形成された配線基板の製造方法であって、
前記基板の第1領域に対して、前記配線パターンの材料を含むとともに、第1の表面張力を有する第1機能液を液滴として吐出して、前記第1領域に前記第1機能液を塗布する第1塗布工程と、
前記基板の第2領域に対して、前記配線パターンの材料を含むとともに、前記第1の表面張力よりも小さい第2の表面張力を有する第2機能液を液滴として吐出して、前記第2領域に前記第2機能液を塗布する第2塗布工程と、を含み、
前記第1領域が、前記基板の平面部であり、
前記第2領域が、前記基板に形成された貫通孔の壁面であることを特徴とする配線基板の製造方法。 - 請求項1に記載の配線基板の製造方法において、
前記第1機能液は、導電性微粒子が第1分散媒に分散された分散液であり、
前記第2機能液は、前記導電性微粒子が第2分散媒に分散された分散液であることを特徴とする配線基板の製造方法。 - 請求項1または2に記載の配線基板の製造方法において、
前記第2塗布工程では、
前記貫通孔の周縁部に対して、前記第1塗布工程における単位面積当たりの前記第1機
能液の塗布量よりも多くの量の前記第2機能液を塗布することを特徴とする配線基板の製
造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011117676A JP5768501B2 (ja) | 2011-05-26 | 2011-05-26 | 配線基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011117676A JP5768501B2 (ja) | 2011-05-26 | 2011-05-26 | 配線基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012248595A JP2012248595A (ja) | 2012-12-13 |
JP5768501B2 true JP5768501B2 (ja) | 2015-08-26 |
Family
ID=47468814
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011117676A Active JP5768501B2 (ja) | 2011-05-26 | 2011-05-26 | 配線基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5768501B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01236687A (ja) * | 1988-03-17 | 1989-09-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | スルホール印刷基板の製造方法 |
JP2003318542A (ja) * | 2002-04-22 | 2003-11-07 | Seiko Epson Corp | 多層配線の形成方法、多層配線基板、デバイス、デバイスの製造方法及び電子機器 |
JP2005057140A (ja) * | 2003-08-06 | 2005-03-03 | Seiko Epson Corp | 多層配線基板とその製造方法 |
JP2008294244A (ja) * | 2007-05-25 | 2008-12-04 | Ricoh Co Ltd | 配線パターンの接続方法、配線シート及び配線シート積層体 |
-
2011
- 2011-05-26 JP JP2011117676A patent/JP5768501B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012248595A (ja) | 2012-12-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7754597B2 (en) | Bonding pad fabrication method, method for fabricating a bonding pad and an electronic device, and electronic device | |
JP3966059B2 (ja) | 製膜方法と液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及びデバイスの製造方法、デバイス並びに電子機器 | |
KR100728149B1 (ko) | 박막 패턴 기판, 디바이스의 제조 방법, 전기 광학 장치 및전자 기기 | |
JP2008013466A (ja) | ギ酸銅錯体、銅粒子の製造方法および配線基板の製造方法 | |
JP2003317945A (ja) | デバイスの製造方法、デバイス、及び電子機器 | |
JP2006140437A (ja) | 多層構造形成方法、配線基板の製造方法、および電子機器の製造方法 | |
JP2003318516A (ja) | 製膜方法及びデバイス及び電子機器並びにデバイスの製造方法 | |
JP3966293B2 (ja) | パターンの形成方法及びデバイスの製造方法 | |
JP3966294B2 (ja) | パターンの形成方法及びデバイスの製造方法 | |
JP4742715B2 (ja) | 配線パターンの形成方法、及び配線基板の製造方法 | |
JP5113008B2 (ja) | パターン形成方法およびデバイスの形成方法 | |
KR100544820B1 (ko) | 패턴의 형성 방법 및 디바이스의 제조 방법, 전기 광학장치 및 전자 기기 | |
JP2005268693A (ja) | パターン形成方法、回路基板および電子機器 | |
JP2005109184A (ja) | 膜パターン形成方法、回路素子、電気光学装置、および電子機器 | |
JP2005177710A (ja) | 導電性膜の形成方法及び形成装置、並びに配線基板、電気光学装置、及び電子機器 | |
JP5768501B2 (ja) | 配線基板の製造方法 | |
JP4539032B2 (ja) | 膜パターン形成方法及びデバイスの製造方法 | |
JP2007083227A (ja) | 層形成方法、アクティブマトリクス基板の製造方法、および多層配線基板の製造方法 | |
JP3951792B2 (ja) | 膜パターンの形成方法、膜パターン形成装置、導電膜配線、電気光学装置、電子機器、並びに非接触型カード媒体 | |
JP2008226947A (ja) | 配線基板の製造方法及び製造装置 | |
KR100697683B1 (ko) | 패턴 형성 방법 및 기능성 막 | |
KR20040093399A (ko) | 세정 방법 및 보관 방법, 패턴의 형성 방법 및 디바이스의제조 방법, 전기 광학 장치 및 전자 기기 | |
JP4816209B2 (ja) | 膜パターン形成方法及びデバイスの製造方法 | |
JP2005093691A (ja) | 薄膜パターンの形成方法及び電気光学装置及び電子機器 | |
JP2003318515A (ja) | 膜パターンの形成方法及び膜パターン形成装置、デバイスの製造方法及び製造装置、デバイス及び電子機器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140421 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20150107 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150115 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150203 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150326 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150526 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150608 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Ref document number: 5768501 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |